專利名稱：石英管廢氣排風(fēng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光伏行業(yè)中的擴(kuò)散機(jī)，特別涉及一種石英管廢氣排風(fēng)裝置。
背景技術(shù)：
當(dāng)前光伏電池片行業(yè)飛速發(fā)展，市場對產(chǎn)品質(zhì)量的要求越來越高，產(chǎn)品競爭越來越激烈，要想在市場競爭中立足腳跟，必須從產(chǎn)品質(zhì)量和降低成本下功夫。現(xiàn)有的擴(kuò)散機(jī)在使用過程中，排風(fēng)控制不穩(wěn)定，產(chǎn)品在工藝過程中排風(fēng)時大時?。粡U氣管太粗，閥門太大不能有效的控制排風(fēng)工作，從而浪費(fèi)P0CL3電能、硅片；另外，由于P0CL3屬于劇毒，也需要保證廢氣需要完全排出。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種石英管廢氣排風(fēng)裝置，在擴(kuò)散過程中能夠有效地控制排風(fēng)量，時排風(fēng)不穩(wěn)，減少到最小。節(jié)約電能片源。其技術(shù)方案是主要由主排風(fēng)管、球閥、廢氣管、廢液瓶、大石英管、恒溫槽、進(jìn)氣管和出氣管組成，恒溫槽內(nèi)設(shè)有三氯氧磷，恒溫槽通過進(jìn)氣管與大石英管連通，大石英管的出氣管連接多個廢液瓶，廢液瓶的末端通過廢氣管連接到主排風(fēng)管中，在所述的廢氣管與主排風(fēng)管之間設(shè)有球閥。上述的廢液瓶設(shè)有兩組或三組，形成兩級或三級廢氣過濾。本實(shí)用新型的有益效果是在擴(kuò)散過程中能夠有效地控制排風(fēng)量，時排風(fēng)不穩(wěn)，減少到最小，同時降低了電能，水、HF等的使用，節(jié)省了成本。

附圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；上圖中主排風(fēng)管I、球閥2、廢氣管3、廢液瓶4、大石英管5、恒溫槽6、進(jìn)氣管7和出氣管8、小孔9。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖I，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述本實(shí)用新型主要由主排風(fēng)管I、球閥2、廢氣管3、廢液瓶4、大石英管5、恒溫槽6、進(jìn)氣管7和出氣管8組成，恒溫槽6內(nèi)設(shè)有三氯氧磷，恒溫槽6通過進(jìn)氣管7與大石英管5連通。大石英管5內(nèi)腔的出氣管設(shè)有多個小孔9，大石英管外側(cè)的出氣管8連接兩組廢液瓶4或者三組廢液瓶4，形成兩級或三級廢氣過濾；廢液瓶4的末端通過直徑8毫米的廢氣管3連接到主排風(fēng)管I中，在所述的廢氣管3與主排風(fēng)管I之間設(shè)有球閥2，通過球閥的調(diào)節(jié)，可以使擴(kuò)散工藝更好的發(fā)揮作用；減少因排風(fēng)不穩(wěn)造成的浪費(fèi)硅片的問題，同時降低了電能，水、HF的使用。
權(quán)利要求1.一種石英管廢氣排風(fēng)裝置，其特征是主要由主排風(fēng)管(I)、球閥(2)、廢氣管(3)、廢液瓶(4)、大石英管(5)、恒溫槽(6)、進(jìn)氣管(7)和出氣管(8)組成，恒溫槽(6)內(nèi)設(shè)有三氯氧磷，恒溫槽(6)通過進(jìn)氣管(7)與大石英管(5)連通，大石英管(5)的出氣管(8)連接多個廢液瓶(4)，廢液瓶(4)的末端通過廢氣管(3 )連接到主排風(fēng)管(I)中，在所述的廢氣管(3 )與主排風(fēng)管(I)之間設(shè)有球閥(2 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英管廢氣排風(fēng)裝置，其特征是所述的廢液瓶(4)設(shè)有兩組或三組，形成兩級或三級廢氣過濾。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種光伏行業(yè)中的擴(kuò)散機(jī)，特別涉及一種石英管廢氣排風(fēng)裝置。其技術(shù)方案是主要由主排風(fēng)管、球閥、廢氣管、廢液瓶、大石英管、恒溫槽、進(jìn)氣管和出氣管組成，恒溫槽內(nèi)設(shè)有三氯氧磷，恒溫槽通過進(jìn)氣管與大石英管連通，大石英管的出氣管連接多個廢液瓶，廢液瓶的末端通過廢氣管連接到主排風(fēng)管中，在所述的廢氣管與主排風(fēng)管之間設(shè)有球閥。有益效果是在擴(kuò)散過程中能夠有效地控制排風(fēng)量，時排風(fēng)不穩(wěn)，減少到最小，同時降低了電能，水、HF等的使用，節(jié)省了成本。
文檔編號C30B31/16GK202786516SQ20122020839
公開日2013年3月13日 申請日期2012年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月10日
發(fā)明者宋道新, 殷海峰, 楊洪軍 申請人:山東天信光伏新能源有限公司