專利名稱：一種單晶爐及其取單晶棒的保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐及其取單晶棒的保護(hù)
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
單晶棒生產(chǎn)完成后，在出棒的過程中，設(shè)備的旋轉(zhuǎn)會造成單晶棒的晃動，尤其在旋轉(zhuǎn)啟動、停止過程中由于慣性作用會加劇單晶棒的晃動，容易造成單晶棒的掉落。目前大部分單晶爐上裝有的保護(hù)裝置，大多為固定在設(shè)備一側(cè)的單側(cè)旋轉(zhuǎn)式，例如北京京運通單晶爐、寧晉陽光半導(dǎo)體設(shè)備。如圖I所示，這種單側(cè)旋轉(zhuǎn)式的保護(hù)裝置，具有沿豎直方向設(shè)置的彈性回復(fù)裝置，下端連接有保護(hù)盤子，平時整個保護(hù)裝置固定在設(shè)備的左側(cè)，不影響其正常工作；如圖2所示，在使用時用力拉下該保護(hù)裝置的搖臂，再將保護(hù)盤子旋轉(zhuǎn)至設(shè)備的正下方，以防止單晶棒的掉落，而為了能夠托起重達(dá)上百公斤的單晶棒，彈簧裝置往往被設(shè)置具有較大的回復(fù)力，在保護(hù)盤子旋轉(zhuǎn)至中央位置后，搖臂向上歸位的過程中，會給設(shè)備帶來較大的沖擊，容易引起單晶棒晃動，從而帶來安全隱患。請參閱圖3，還有一種美國kayex的單晶爐晶棒保護(hù)裝置是兩側(cè)為孔洞設(shè)計，保護(hù)盤子采用從一側(cè)插入另一側(cè)的方式，即單側(cè)插入式。在操作過程中，保護(hù)裝置容易接觸、碰撞單晶棒尾部，同樣存在安全隱患?？梢?，現(xiàn)有技術(shù)中的保護(hù)裝置在使用過程中容易碰撞單晶棒，會對單晶棒產(chǎn)品質(zhì)量造成損傷，甚至是砸壞設(shè)備。因此，如何設(shè)計一種取單晶棒的保護(hù)裝置，盡量避免與單晶棒的過多接觸，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的重要技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型首先提供了一種取單晶棒的保護(hù)裝置，減少保護(hù)裝置對單晶棒的碰撞，增加操作過程中的安全系數(shù)。本實用新型還提供了一種具有上述取單晶棒的保護(hù)裝置的單晶爐。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種取單晶棒的保護(hù)裝置，具有用于托接單晶棒的保護(hù)托盤，所述取單晶棒的保護(hù)裝置還具有用于懸掛在單晶爐外壁上的懸掛機構(gòu)。優(yōu)選的，所述懸掛機構(gòu)具體為設(shè)置在所述保護(hù)托盤兩側(cè)的兩個吊桿，兩個所述吊桿的端部均開設(shè)有懸掛槽，分別用于懸掛在固定于所述單晶爐外壁兩側(cè)的螺栓上。優(yōu)選的，所述吊桿的長度與所述單晶棒伸出所述單晶爐的部分相配合。優(yōu)選的，所述吊桿上至少開設(shè)有兩個所述懸掛槽，并沿所述吊桿的長度方向均勻分布。優(yōu)選的，所述保護(hù)托盤具有中空的圓孔結(jié)構(gòu)，且所述圓孔的直徑小于所述單晶棒的最大直徑。[0015]優(yōu)選的，所述圓孔結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁具有與所述單晶棒的倒錐形尾部配合的錐形結(jié)構(gòu)。一種單晶爐，具有用于取單晶棒的保護(hù)裝置，所述取單晶棒的保護(hù)裝置為上述的取單晶棒的保護(hù)裝置，所述單晶爐外壁兩側(cè)分別設(shè)置有供所述取單晶棒的保護(hù)裝置懸掛的螺栓。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實用新型提供的取單晶棒的保護(hù)裝置，采用懸掛式設(shè)計，在單晶爐設(shè)備上安裝固定螺栓，保護(hù)裝置通過其懸掛機構(gòu)可以輕松懸掛于螺栓上，不至于接觸單晶棒。此外，由于懸掛式結(jié)構(gòu)的活動性，單晶棒接觸保護(hù)裝置后，保護(hù)裝置會跟隨單晶棒一起晃動，產(chǎn)生甚少阻力，從另一角度增加了設(shè)備的安全性。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中單側(cè)旋轉(zhuǎn)式保護(hù)裝置在使用前的示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中單側(cè)旋轉(zhuǎn)式保護(hù)裝置在使用過程中的示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中單側(cè)插入式保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的取單晶棒的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型實施例提供的單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型公開了一種取單晶棒的保護(hù)裝置，減少保護(hù)裝置對單晶棒的碰撞，增加操作過程中的安全系數(shù)。下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖4和圖5，本實用新型實施例提供的取單晶棒的保護(hù)裝置，具有用于托接單晶棒4的保護(hù)托盤1，其核心改進(jìn)點在于，該保護(hù)裝置還具有用于懸掛在單晶爐5外壁上的懸掛機構(gòu)，為保護(hù)裝置的懸掛提供依托，方便此裝置的懸掛。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的取單晶棒的保護(hù)裝置，采用懸掛式設(shè)計，在單晶爐5設(shè)備上安裝固定螺栓6，保護(hù)裝置通過其懸掛機構(gòu)可以輕松懸掛于螺栓6上，不至于接觸單晶棒4。此外，由于懸掛式結(jié)構(gòu)的活動性，單晶棒4接觸保護(hù)裝置后，保護(hù)裝置會跟隨單晶棒4 一起晃動，產(chǎn)生甚少阻力，從另一角度減少保護(hù)裝置對單晶棒的碰撞，增加操作過程中的安全系數(shù)。請參閱圖4和圖5，懸掛機構(gòu)具體為連接在保護(hù)托盤I兩側(cè)的兩個吊桿2，兩個吊桿2的端部均開設(shè)有懸掛槽3，形成掛鉤結(jié)構(gòu)，分別用于懸掛在固定于單晶爐5外壁兩側(cè)的螺栓6上。保護(hù)裝置其懸掛槽3的角度和開孔如圖4所示，懸掛槽3的槽口沿水平方向開設(shè)，且槽口的尺寸小于槽內(nèi)的尺寸，方便了掛鉤結(jié)構(gòu)其懸掛過程的實現(xiàn)，能夠輕松的對其進(jìn)行裝卸；同時懸掛機構(gòu)不會由于晃動而掉落，提高了安全性。當(dāng)然，懸掛機構(gòu)的具體形式并不唯一，還可以在懸掛機構(gòu)上開設(shè)懸掛孔，通過小于上述懸掛孔尺寸的螺栓進(jìn)行懸掛，效果相同，在此不再贅述。作為優(yōu)選，吊桿2的長度與單晶棒4伸出單晶爐5的部分相配合，保護(hù)裝置的吊桿2向下延伸，為單晶棒4預(yù)留充足的活動空間，方便懸掛過程中不與單晶棒尾部接觸，避免發(fā)生磕碰，消除安全隱患，在使用過程中安全系數(shù)更高，同時為今后增加單晶棒4長度預(yù)留空間。進(jìn)一步的，吊桿2上至少開設(shè)有兩個懸掛槽3，并沿吊桿2的長 度方向均勻分布，以懸掛不同長度的單晶棒。還可以將吊桿2與保護(hù)托盤I進(jìn)行可拆卸的連接，這樣一來就可以通過準(zhǔn)備不同長度的吊桿2，來適應(yīng)不用尺寸的單晶棒4。本實用新型實施例提供的取單晶棒的保護(hù)裝置，其保護(hù)托盤I具有中空的圓孔結(jié)構(gòu)，且圓孔的直徑小于單晶棒4的最大直徑，保證單晶棒4晃動掉落后能夠掉落進(jìn)保護(hù)托盤I的圓孔內(nèi)，做到真正意義的保護(hù)。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述的技術(shù)方案，圓孔結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁具有用于與單晶棒4的倒錐形尾部相配合的錐形結(jié)構(gòu)，使單晶棒4尾部能夠自然落入保護(hù)裝置，并在其中保持穩(wěn)定，方便之后再將其取出。本實用新型實施例還提供了一種單晶爐，具有用于取單晶棒的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置為上述的取單晶棒的保護(hù)裝置，單晶爐5外壁兩側(cè)分別設(shè)置有供取單晶棒的保護(hù)裝置懸掛的螺栓6，減少保護(hù)裝置對單晶棒的碰撞，增加操作過程中的安全系數(shù)。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種取單晶棒的保護(hù)裝置，具有用于托接單晶棒(4)的保護(hù)托盤(1)，其特征在于，所述取單晶棒的保護(hù)裝置還具有用于懸掛在單晶爐(5)的外壁上的懸掛機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的取單晶棒的保護(hù)裝置，其特征在于，所述懸掛機構(gòu)具體為設(shè)置在所述保護(hù)托盤(I)兩側(cè)的兩個吊桿(2)，兩個所述吊桿(2)的端部均開設(shè)有懸掛槽(3)，分別用于懸掛在所述單晶爐(5)外壁兩側(cè)的螺栓(6)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的取單晶棒的保護(hù)裝置，其特征在于，所述吊桿(2)的長度與所述單晶棒(4)伸出所述單晶爐(5)的部分相配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的取單晶棒的保護(hù)裝置，其特征在于，所述吊桿(2)上至少開設(shè)有兩個所述懸掛槽(3)，并沿所述吊桿(2)的長度方向均勻分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的取單晶棒的保護(hù)裝置，其特征在于，所述保護(hù)托盤(I)具有中空的圓孔結(jié)構(gòu)，且所述圓孔的直徑小于所述單晶棒(4)的最大直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的取單晶棒的保護(hù)裝置，其特征在于，所述圓孔結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁具有與所述單晶棒(4)的倒錐形尾部配合的錐形結(jié)構(gòu)。
7.一種單晶爐，具有用于取單晶棒的保護(hù)裝置，其特征在于，所述取單晶棒的保護(hù)裝置為權(quán)利要求1-6任意一項所述的取單晶棒的保護(hù)裝置，所述單晶爐(5)外壁兩側(cè)分別設(shè)置有供所述取單晶棒的保護(hù)裝置懸掛的螺栓(6 )。
專利摘要本實用新型公開了一種取單晶棒的保護(hù)裝置，具有用于托接單晶棒的保護(hù)托盤，所述保護(hù)裝置還具有用于懸掛在單晶爐外壁上的懸掛機構(gòu)。本實用新型提供的取單晶棒的保護(hù)裝置，采用懸掛式設(shè)計，在單晶爐設(shè)備上安裝固定螺栓，保護(hù)裝置通過其懸掛機構(gòu)可以輕松懸掛于螺栓上，不至于接觸單晶棒。此外，由于懸掛式結(jié)構(gòu)的活動性，單晶棒接觸保護(hù)裝置后，保護(hù)裝置會跟隨單晶棒一起晃動，產(chǎn)生甚少阻力，從另一角度增加了設(shè)備的安全性。本實用新型還公開了一種具有上述取單晶棒的保護(hù)裝置的單晶爐，具有較好的安全性。
文檔編號C30B15/00GK202595348SQ201220206940
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月10日
發(fā)明者趙曙光, 張剛, 王永輝, 李盼 申請人:英利能源(中國)有限公司