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直拉硅單晶爐熱場提升裝置的制作方法

文檔序號:8163682閱讀:254來源:國知局
專利名稱:直拉硅單晶爐熱場提升裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及直拉硅單晶爐的配件設(shè)計及制造技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種直拉硅單晶爐熱場提升裝置。
背景技術(shù)
直拉法是制備硅單晶材料的一種主要方法。硅單晶爐設(shè)有齒狀環(huán)形石墨加熱器,是加熱熔化塊狀硅原材料的功率來源,又稱熱場。在單晶爐加熱過程中,熱場會固定在單晶爐底。當(dāng)單晶拉制完成時,熱場一般需要拆卸并提升清理,然后再固定在單晶爐底以備下一次的單晶制備。目前,熱場提升由人工操作進行。對于直徑較大的熱場,如6英寸以上單晶的熱場,需要兩人協(xié)同操作。而加熱器一般由脆性材料石墨制成,人工協(xié)調(diào)又較為困難,在提升過程中易將熱場掰壞。另外,在單晶制備結(jié)束時,熱場還有較高的溫度(一般在500° C 以上),從該溫度降到人工可操作的溫度范圍(一般低于100° C)需要很長的時間,影響生產(chǎn)效率。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種直拉硅單晶爐熱場提升裝置,用以解決高溫下熱場提升以及人工提升熱場協(xié)調(diào)性差的問題。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種直拉硅單晶爐熱場提升裝置,包括起吊器、起吊連接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盤,所述的托盤中心垂直設(shè)置有轉(zhuǎn)動軸,所述的轉(zhuǎn)動軸上固定連接伸縮桿,伸縮桿與托盤之間連接托板,所述的托板上、與轉(zhuǎn)動軸平行方向上垂直固定有擋桿。為了節(jié)省空間,并且便于收放,本實用新型所述的伸縮桿為多端連接結(jié)構(gòu),伸縮桿的一端固定在轉(zhuǎn)動軸上,另一端與托板相連接。本實用新型所述的伸縮桿在收縮狀態(tài)下,伸縮桿與托板的總長度小于熱場的內(nèi)半徑;在伸展?fàn)顟B(tài)下,伸縮桿與托板的總長度與熱場下沿齊平。這樣的結(jié)構(gòu)使得本實用新型能夠方便快捷的出入熱場并將熱場提升。進一步的說,本實用新型所述的起吊器為吊車或液壓機;所述的起吊連接部件為鋼絲、繩索或緊固件。本實用新型的有益效果是,解決了背景技術(shù)中存在的缺陷,該裝置結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,能夠使熱場在高溫下完好提升,實現(xiàn)了熱場提升的自動化,并允許熱場在較高溫度下進行拆卸分離,具有降低熱場損壞率,提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點;本實用新型提及裝置不僅限于硅單晶熱場的提升,同時也適用于其他類似材料生長設(shè)備的熱場提升。
以下結(jié)合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。圖I是本實用新型的起托器的結(jié)構(gòu)示意圖;[0011]圖2是圖I的俯視圖;圖中1、托盤,2、托板,3、轉(zhuǎn)動軸,4、伸縮桿,5、檔桿。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實施例對本實用新型作進ー步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。如圖I所示的ー種直拉硅單晶爐熱場提升裝置的起托器結(jié)構(gòu),起托器包括底部的托盤1,托盤I中心垂直設(shè)置有轉(zhuǎn)動軸3,轉(zhuǎn)動軸3上固定連接伸縮桿4,伸縮桿4與托盤I之間連接托板2,伸縮桿4為多端連接結(jié)構(gòu),伸縮桿4的一端固定在轉(zhuǎn)動軸3上,另一端與托板2相連接。伸縮桿4在收縮狀態(tài)下,伸縮桿與托板的總長度小于熱場的內(nèi)半徑;在伸展?fàn)顟B(tài) 下,伸縮桿與托板的總長度與熱場下沿齊平。托板上、與轉(zhuǎn)動軸平行方向上垂直固定有擋桿5。在熱場提升時,將起吊器和起托部件用起吊連接部件牢固連接。起吊器為吊車,起吊連接部件為鋼絲。在起吊器的控制下,將伸縮桿處于收縮狀態(tài)的起托器與熱場的圓心對準(zhǔn)緩慢放下,當(dāng)托盤上沿所在平面低于熱場下沿所在平面吋,旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動軸使伸縮桿處于伸展?fàn)顟B(tài),使檔桿輕輕抵住熱場內(nèi)徑,同時緩慢抬起起托器,使托板與熱場牢固接觸,此時可以緩慢提升熱場。在將熱場抬離單晶爐后,將其緩慢放下,將伸縮桿收攏即可。以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式
,各種舉例說明不對本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容構(gòu)成限制,所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在閱讀了說明書后可以對以前所述的具體實施方式
做修改或變形,而不背離實用新型的實質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求1.一種直拉硅單晶爐熱場提升裝置,包括起吊器、起吊連接部件和起托器,其特征在于所述的起托器包括底部的托盤,所述的托盤中心垂直設(shè)置有轉(zhuǎn)動軸,所述的轉(zhuǎn)動軸上固定連接伸縮桿,伸縮桿與托盤之間連接托板,所述的托板上、與轉(zhuǎn)動軸平行方向上垂直固定有擋桿。
2.如權(quán)利要求I所述的直拉硅單晶爐熱場提升裝置,其特征在于所述的伸縮桿為多端連接結(jié)構(gòu),伸縮桿的一端固定在轉(zhuǎn)動軸上,另一端與托板相連接。
3.如權(quán)利要求I所述的直拉硅單晶爐熱場提升裝置,其特征在于所述的伸縮桿在收縮狀態(tài)下,伸縮桿與托板的總長度小于熱場的內(nèi)半徑;在伸展?fàn)顟B(tài)下,伸縮桿與托板的總長度與熱場下沿齊平。
4.如權(quán)利要求I所述的直拉硅單晶爐熱場提升裝置,其特征在于所述的起吊器為吊車或液壓機。
5.如權(quán)利要求I所述的直拉硅單晶爐熱場提升裝置,其特征在于所述的起吊連接部件為鋼絲、繩索或緊固件。
專利摘要本實用新型涉及一種直拉硅單晶爐熱場提升裝置,包括起吊器、起吊連接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盤,所述的托盤中心垂直設(shè)置有轉(zhuǎn)動軸,所述的轉(zhuǎn)動軸上固定連接伸縮桿,伸縮桿與托盤之間連接托板,所述的托板上、與轉(zhuǎn)動軸平行方向上垂直固定有擋桿。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,能夠使熱場在高溫下完好提升,實現(xiàn)了熱場提升的自動化,并允許熱場在較高溫度下進行拆卸分離,具有降低熱場損壞率,提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點;本實用新型提及裝置不僅限于硅單晶熱場的提升,同時也適用于其他類似材料生長設(shè)備的熱場提升。
文檔編號C30B15/14GK202610381SQ20122020522
公開日2012年12月19日 申請日期2012年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月7日
發(fā)明者劉富林, 陳雷, 陶文元 申請人:常州順風(fēng)光電材料有限公司
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