專利名稱：一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，尤其是一種爐體冷卻系統(tǒng)背景技術(shù)
目前，藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐大整個(gè)外殼大多采用雙層筒體中間有水冷夾層的方案進(jìn)行爐體冷卻，腔室主體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，尺寸較大，采用此種方案較為合適。但藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐是一種非常復(fù)雜的設(shè)備，對(duì)于上爐蓋，其上不僅有籽晶通孔，觀察孔以及各種測(cè)試裝置通孔，這些都給上爐蓋的水冷系統(tǒng)的加裝帶來(lái)了一定的難度；對(duì)于下?tīng)t蓋，有些爐型裝有電極通孔，有些爐型裝有升降裝置，不利于水冷系統(tǒng)的加裝，這些都使得設(shè)備造價(jià)居高不下。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，解決設(shè)備成本高的問(wèn)題。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，包括腔室主體水冷系統(tǒng)，上爐蓋水冷系統(tǒng)和下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)，其特征在于，所述腔室主體水冷系統(tǒng)為雙層筒體之間加導(dǎo)流槽，冷卻水一進(jìn)一出，所述上爐蓋水冷系統(tǒng)為單層爐蓋懸掛金屬導(dǎo)熱板，金屬導(dǎo)熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進(jìn)一出，所述下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)為單層爐蓋支撐金屬導(dǎo)熱板，金屬導(dǎo)熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進(jìn)一出。
上述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述腔室主體上有3-12個(gè)電極樁，I個(gè)進(jìn)水管和I個(gè)出水管，所述上爐蓋上有I個(gè)籽晶通孔，I個(gè)籽晶腔室，I 個(gè)觀察孔，I個(gè)觀察孔遮擋片伺服機(jī)構(gòu)，I個(gè)進(jìn)水管和I個(gè)出水管，所述下?tīng)t蓋上有3個(gè)電極樁，I個(gè)進(jìn)水管和I個(gè)出水管。
上述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述金屬導(dǎo)熱板和金屬水管的材質(zhì)為鎢，鑰，銅和鋁四中材料中的任意一種。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于此種爐體冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，冷卻能力強(qiáng)，制造成本低，換熱效果更好。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
圖I是晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)示意圖。
圖2是腔室主體水冷系統(tǒng)示意圖。
圖3是上爐蓋水冷系統(tǒng)不意圖。
圖4是上爐蓋俯視圖。
圖5是上爐蓋金屬導(dǎo)熱板示意圖。
圖6是下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)不意圖。
圖7是下?tīng)t蓋金屬導(dǎo)熱板示意圖。
具體實(shí)施方式
圖I所示，晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)包括腔室主體水冷系統(tǒng)17，上爐蓋水冷系統(tǒng) 15和下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)16。圖2所示，腔室主體上有電極樁11，進(jìn)水管19和出水管18，在雙層不銹鋼夾層中間設(shè)置導(dǎo)流板20，使得冷卻水自下而上流經(jīng)整個(gè)爐殼。圖3，圖4和圖5所示，上爐蓋水冷系統(tǒng)15為單層爐蓋懸掛金屬導(dǎo)熱板5，金屬導(dǎo)熱板5上焊接有金屬水管7， 冷卻水一進(jìn)一出。上爐蓋4有一個(gè)籽晶通孔2，一個(gè)籽晶腔室1，一個(gè)觀察孔3，一個(gè)觀察孔遮擋片伺服機(jī)構(gòu)6，一個(gè)進(jìn)水管8和一個(gè)出水管9。圖6和圖7所示，下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)16為單層爐蓋上支撐金屬導(dǎo)熱板14，金屬導(dǎo)熱板14上焊接有金屬水管10，冷卻水一進(jìn)一出。金屬導(dǎo)熱板和金屬水管材質(zhì)為銅。下?tīng)t蓋上有3個(gè)電極樁11, 一個(gè)進(jìn)水管12和一個(gè)出水管 13。
權(quán)利要求
1.一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，包括腔室主體水冷系統(tǒng)，上爐蓋水冷系統(tǒng)和下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)，其特征在于，所述腔室主體水冷系統(tǒng)為雙層筒體之間加導(dǎo)流槽，冷卻水一進(jìn)一出，所述上爐蓋水冷系統(tǒng)為單層爐蓋懸掛金屬導(dǎo)熱板，金屬導(dǎo)熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進(jìn)一出，所述下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)為單層爐蓋支撐金屬導(dǎo)熱板，金屬導(dǎo)熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進(jìn)一出。
2.根據(jù)權(quán)利I所述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述腔室主體上有3-12個(gè)電極樁，I個(gè)進(jìn)水管和I個(gè)出水管，所述上爐蓋上有I個(gè)籽晶通孔，I個(gè)籽晶腔室，I個(gè)觀察孔，I個(gè)觀察孔遮擋片伺服機(jī)構(gòu)，I個(gè)進(jìn)水管和I個(gè)出水管，所述下?tīng)t蓋上有3個(gè)電極樁，I個(gè)進(jìn)水管和I個(gè)出水管。
3.根據(jù)權(quán)利I所述的一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述金屬導(dǎo)熱板和金屬水管的材質(zhì)為鎢，鑰，銅和鋁四中材料中的任意一種。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐爐體冷卻系統(tǒng)，包括腔室主體水冷系統(tǒng)，上爐蓋水冷系統(tǒng)和下?tīng)t蓋水冷系統(tǒng)。此種爐體冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，冷卻能力強(qiáng)，制造成本低，換熱效果更好。
文檔編號(hào)C30B15/00GK102978690SQ201210567620
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月24日
發(fā)明者滑喜寶 申請(qǐng)人:蘇州工業(yè)園區(qū)杰士通真空技術(shù)有限公司