專利名稱：一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種藍寶石晶體生長爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計，尤其是一種籽晶伺服機構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著國內(nèi)LED行業(yè)的逐漸發(fā)展，對藍寶石襯底片的加工技術(shù)的要求越來越高，目前國內(nèi)大多數(shù)采用KY晶體生長工藝，此種工藝是目前最易產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，晶體質(zhì)量最高的一種工藝。而這種技術(shù)的關(guān)鍵點在于引晶，引晶的質(zhì)量好壞直接決定著晶體的質(zhì)量。在引晶過程中，籽晶的伺服機構(gòu)決定著操作者引晶的培訓(xùn)周期，引晶質(zhì)量的穩(wěn)定，以及可重復(fù)性。傳統(tǒng)的泡生法KY技術(shù)其籽晶伺服機構(gòu)粗糙，基本上都是手動操作，稱重系統(tǒng)不夠精密，并且不夠穩(wěn)定，其工藝掌握的程度很大程度上依賴于操作者的實踐經(jīng)驗，并且自動化程度較低，操作者勞動強度較大，晶體質(zhì)量極不穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)，解決引晶的穩(wěn)定性問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案為一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)，包括升降機構(gòu)伺服電機，升降導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機，籽晶夾持機構(gòu)和稱重系統(tǒng)，其特征在于，所述升降機構(gòu)伺服電機采用變頻電機，轉(zhuǎn)速從0-30000rpm無級可調(diào)，所述升降導(dǎo)軌為絲杠結(jié)構(gòu)，通過螺桿和螺母帶動升降系統(tǒng)其它部件運動，升降速率0-7000mm/h無級可調(diào)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機采用變頻電機，轉(zhuǎn)速從O-IOOrpm無級可調(diào)，所述籽晶夾持機構(gòu)以鑰為材質(zhì)，使用鍛造鑰棒加工而成，純度99. 95%，是夾持籽晶的機構(gòu)，所述稱重系統(tǒng)為一圓環(huán)形壓力傳感器，傳感器分辨率為O. Olg，量程為0-200kg。上述一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機，籽晶夾持機構(gòu)，稱重系統(tǒng)和連接裝置都放于升降系統(tǒng)上，在長晶爐開爐前，所述籽晶伺服機構(gòu)嚴格和熱場的中心對中，籽晶升降伺服機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)全部采用工控機PLC控制。本發(fā)明的優(yōu)點在于籽晶伺服機構(gòu)大大提高了自動化程度，降低了人員勞動強度，可以很好的解決引晶的穩(wěn)定性問題，對于工藝培訓(xùn)和保證晶體質(zhì)量的穩(wěn)定性非常有利。


下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細的說明。圖I是監(jiān)寶石晶體生長系統(tǒng)整體不意圖。圖2是籽晶伺服機構(gòu)示意圖。圖3是壓力傳感器示意圖。
具體實施方式
圖1，圖2和圖3所示，藍寶石晶體生長系統(tǒng)包括升降機構(gòu)伺服電機1，升降導(dǎo)軌2，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機3，稱重傳感器4，止推軸承5，波紋管6，上爐蓋7，鎢坩堝8，晶體9，熔體10和籽晶夾持機構(gòu)14，籽晶伺服機構(gòu)置于上爐蓋7上，通過籽晶通孔將籽晶桿14置于爐腔內(nèi)，通過控制爐腔內(nèi)的溫度使熔體10逐漸在籽晶表面凝固成晶體9，開爐前將籽晶桿14與鎢坩堝8的中心嚴格對中。籽晶伺服機構(gòu)包括升降機構(gòu)伺服電機1，升降導(dǎo)軌2，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機3，籽晶夾持機構(gòu)14和稱重系統(tǒng)4。升降機構(gòu)伺服電機I為變頻電機，帶動螺桿12，轉(zhuǎn)速從0-30000rpm無級可調(diào)，升降導(dǎo)軌2通過螺桿12帶動螺母11升降，兩個螺母之間通過連接桿13硬連接，升降速率0-7000mm/h無級可調(diào)，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機3為變頻電機，轉(zhuǎn)速從O-IOOrpm無級可調(diào)，籽晶夾持機構(gòu)14以鑰為材質(zhì)，使用鍛造鑰棒加工而成，純度99. 95%，是夾持籽晶的機構(gòu)，稱重系統(tǒng)4為一圓環(huán)形壓力傳感器15，分辨率為O. Olg，量程0_200kgo
權(quán)利要求
1.一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)，包括升降機構(gòu)伺服電機，升降導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機，籽晶夾持機構(gòu)和稱重系統(tǒng)，其特征在于，所述升降機構(gòu)伺服電機采用變頻電機，轉(zhuǎn)速從0-30000rpm無級可調(diào)，所述升降導(dǎo)軌為絲杠結(jié)構(gòu)，通過螺桿和螺母帶動升降系統(tǒng)其它部件運動，升降速率0-7000mm/h無級可調(diào)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機采用變頻電機，轉(zhuǎn)速從O-IOOrpm無級可調(diào)，所述籽晶夾持機構(gòu)以鑰為材質(zhì)，使用鍛造鑰棒加工而成，純度99. 95%，是夾持籽晶的機構(gòu)，所述稱重系統(tǒng)為一圓環(huán)形壓力傳感器，傳感器分辨率為O.Olg，量程為 O 至 200kg。
2.根據(jù)權(quán)利I所述一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機，籽晶夾持機構(gòu)，稱重系統(tǒng)和連接裝置都放于升降系統(tǒng)上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構(gòu)，包括升降機構(gòu)伺服電機，升降導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)伺服電機，籽晶夾持機構(gòu)和稱重系統(tǒng)，大大提高了自動化程度，降低了人員勞動強度，可以很好的解決引晶的穩(wěn)定性問題，對于工藝培訓(xùn)和保證晶體質(zhì)量的穩(wěn)定性非常有利。
文檔編號C30B17/00GK102978703SQ20121051648
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者滑喜寶 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)杰士通真空技術(shù)有限公司