專利名稱:高溫爐加熱棒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
高溫爐加熱棒技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及熔體籽晶法單晶生長設(shè)備,尤其涉及高溫爐加熱棒。 技術(shù)背景[0002]目前市場上很多鎢棒發(fā)熱體高溫電阻爐采用低電壓大電流方式供電,其中加熱鎢棒均是在底部過渡處彎曲,形成U型。此種加熱鎢棒做成高溫爐,軸向溫度梯度且周向完全對稱的溫度分布不合理,生成的晶體質(zhì)量不高。因為其形狀復(fù)雜,且極易損壞,難以修復(fù)。發(fā)明內(nèi)容[0003]為了克服現(xiàn)有高溫電阻爐的發(fā)熱體技術(shù)的不足,本發(fā)明提供高溫爐加熱棒,其形狀為“彎折U型”,將其做成高溫爐,具有完全的軸向溫度梯度且周向完全對稱的溫度分布。[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是將難熔金屬裁切成長度一致的金屬棒,并將其加工成形狀為“彎折U型”,即形成加熱棒,并且加熱棒兩端設(shè)計成螺紋形狀。[0005]作為本發(fā)明的進一步改進,所述難熔金屬可以是鎢或者鉬。[0006]本發(fā)明產(chǎn)生的有益效果是,材料加工方便;大量用于高溫爐;能適用于各類低電壓大功率鎢絲電阻爐,典型應(yīng)用是藍寶石晶體生長爐及單晶硅晶體生長爐。
[0007]
以下結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。[0008]圖1是本發(fā)明加熱棒的平面圖。[0009]圖2是本發(fā)明加熱棒的側(cè)視圖。[0010]圖3是本發(fā)明加熱棒彎折部分的示意圖。[0011]附圖標記說明1.加熱棒。
具體實施方式
[0012]在圖1、2、3中,高溫爐加熱棒,將難熔金屬裁切成長度一致的金屬棒,將裁切好的金屬加工成形狀為“彎折U型”,并且加熱棒兩端設(shè)計成螺紋形狀。[0013]在安裝成高溫爐時,先在加熱棒兩端分別以螺紋連接方式連接于兩個金屬棒的對應(yīng)端,然后將兩個金屬棒另一端固定于兩個極性不同的電極圈上,即形成高溫爐加熱體。
權(quán)利要求1.高溫爐加熱棒,其特征在于將難熔金屬裁切成長度一致的金屬棒,然后將其加工成形狀為“彎折U型”,即形成加熱棒,并且加熱棒兩端設(shè)計成螺紋形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫爐加熱棒,其特征在于所述難熔金屬可以是鎢或者鉬。
專利摘要本實用新型公布了一種高溫爐加熱棒,其特征在于將難溶金屬裁切成設(shè)計長度,并將其加工成形狀為“彎折U型”,并且加熱棒兩端設(shè)計成螺紋形狀,即形成加熱棒,將其做成高溫爐,具有完全的軸向溫度梯度且周向完全對稱的溫度分布。其能適用于各類低電壓大功率鎢絲電阻爐,典型應(yīng)用是藍寶石晶體生長爐以及單晶硅晶體生長爐。
文檔編號H05B3/40GK202282875SQ20112038991
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月13日
發(fā)明者劉世全, 徐家慶 申請人:劉世全