專利名稱：一種半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，特別是涉及一種半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體原件里的分子要求整齊排列，半導(dǎo)體的原材料放置在玻璃管中在高溫下，里面的分子重新有序的排列，在現(xiàn)有技術(shù)中，所有的結(jié)晶爐是用電阻絲制成的爐子，這樣的爐子具有爐腔，盛放原料的玻璃管就在爐腔中加熱，這樣的爐子玻璃管也會受熱、具有浪費能源、加熱均勻性差的缺點，影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種玻璃管不會受熱、節(jié)約能源、加熱均勻性好的半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐，其特征是它包括一個高頻感應(yīng)加熱電源，高頻感應(yīng)加熱電源接有加熱管道，所述的加熱管道繞成圓環(huán)形。進一步的講，所述的加熱管道是空心的，空心里面有循環(huán)水。進一步的講，所述的管道繞成的圓形環(huán)是多個的。本實用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐具有玻璃管不會受熱、節(jié)約能源、加熱均勻性好、效率高的優(yōu)點。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、高頻感應(yīng)加熱電源 2、加熱管道。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。如圖1所示，一種半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐，其特征是它包括一個高頻感應(yīng)加熱電源1，高頻感應(yīng)加熱電源1接有加熱管道2，所述的加熱管道2繞成圓環(huán)形。進一步的講，所述的加熱管道2是空心的，空心里面有循環(huán)水。進一步的講，所述的管道繞成2的圓形環(huán)是多個的。加熱是只要將盛有原料的玻璃管在圓環(huán)中間經(jīng)過，就能達到重新排列原料中分子的作用、使用非常方便。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐，其特征是它包括一個高頻感應(yīng)加熱電源，高頻感應(yīng)加熱電源接有加熱管道，所述的加熱管道繞成圓環(huán)形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐，其特征是所述的加熱管道是空心的，空心里面有循環(huán)水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐，其特征是所述的管道繞成的圓形環(huán)是多個的。
專利摘要本實用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，特別是涉及一種半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐，其特征是它包括一個高頻感應(yīng)加熱電源，高頻感應(yīng)加熱電源接有加熱管道，所述的加熱管道繞成圓環(huán)形，進一步的講，所述的加熱管道是空心的，空心里面有循環(huán)水，進一步的講，所述的管道繞成的圓形環(huán)是多個的，這樣結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料結(jié)晶爐具有玻璃管不會受熱、節(jié)約能源、加熱均勻性好、效率高的優(yōu)點。
文檔編號C30B35/00GK202297876SQ20112033894
公開日2012年7月4日 申請日期2011年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月10日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司