專利名稱:真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石單晶生產(chǎn)領(lǐng)域,特別是一種真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置。
背景技術(shù):
藍(lán)寶石是一種簡單配位型氧化物晶體。具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性,被廣泛的應(yīng)用于民用航天、半導(dǎo)體襯底、紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料等,同時(shí)晶體生長設(shè)備-單晶生長爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。藍(lán)寶石單晶生長爐屬于高真空密封裝置,對真空泄漏率的要求很高。由于其工作狀態(tài)的特殊性,當(dāng)爐內(nèi)出現(xiàn)意外情況,例如漏水、誤操作等,爐內(nèi)氣壓瞬間成萬倍數(shù)量級增長,嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)斐蓡尉t體爆炸,危及生命財(cái)產(chǎn)安全。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種爐內(nèi)壓力穩(wěn)定,從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置。本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,包括泄壓盲板;真空管道,所述真空管道設(shè)置在所述泄壓盲板上;導(dǎo)桿,所述導(dǎo)桿的一端與所述泄壓盲板連接。所述真空管道通過真空焊接法蘭與所述泄壓盲板連接。所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板之間還設(shè)有0形密封圈。所述泄壓盲板上還設(shè)有安裝孔。所述導(dǎo)桿通過所述安裝孔與所述泄壓盲板連接。所述安裝孔的數(shù)量為八個(gè),所述安裝孔為均勻分布在所述泄壓盲板圓周上。在所述導(dǎo)桿的外側(cè)設(shè)有壓縮彈簧。所述真空管道與所述泄壓盲板及所述真空焊接法蘭同軸連接。本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置通過自動(dòng)調(diào)節(jié),使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定,從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)。并且此機(jī)械密封裝置密封性好,磨損小,結(jié)構(gòu)簡單,可長期重復(fù)使用,并且整個(gè)過程無需人工操作,自動(dòng)完成。
圖1為本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置剖視圖;圖2為本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置結(jié)構(gòu)示意圖;本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置附圖中附圖標(biāo)記說明1-真空管道 2-真空焊接法蘭 3-0形密封圈 4-導(dǎo)桿5-壓縮彈簧 6-泄壓盲板7-安裝孔
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖1、圖2所示,本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,包括泄壓盲板6;真空管道1,真空管道1設(shè)置在泄壓盲板6上;導(dǎo)桿4,導(dǎo)桿4的一端與泄壓盲板6連接。真空管道1通過真空焊接法蘭2與泄壓盲板6連接。真空焊接法蘭2與泄壓盲板6之間還設(shè)有0形密封圈3。泄壓盲板6上還設(shè)有安裝孔7。導(dǎo)桿4通過安裝孔7與泄壓盲板6連接。安裝孔7的數(shù)量為八個(gè),安裝孔7為均勻分布在泄壓盲板6圓周上。在導(dǎo)桿4的外側(cè)設(shè)有壓縮彈簧5。真空管道1與泄壓盲板6及真空焊接法蘭2同軸連接。工作時(shí),真空管道1、真空焊接法蘭2、0型密封圈3、泄壓盲板6共同組成了真空腔體正常運(yùn)行時(shí)的密封裝置。根據(jù)泄壓盲板6的重力及要求的開啟壓力,計(jì)算出壓縮彈簧 5的壓縮量,通過導(dǎo)桿4的螺紋端面安裝到位,控制密封接觸面緊密結(jié)合,密封效果良好,無泄漏。當(dāng)爐內(nèi)壓力過高,超過要求的開啟壓力時(shí),壓縮彈簧5被進(jìn)一步壓縮,泄壓盲板6位置下移,與真空焊接法蘭2產(chǎn)生間隙,爐內(nèi)部分氣體從空隙出排出,從而使?fàn)t內(nèi)壓力下降。 壓縮彈簧5由于受等高導(dǎo)桿4下端面限制,積蓄彈性勢能,當(dāng)爐內(nèi)壓力下降到低于開啟壓力時(shí),密封接觸面重新結(jié)合,恢復(fù)密封狀態(tài)。裝置繼續(xù)運(yùn)行。本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置通過自動(dòng)調(diào)節(jié),使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定,從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)。并且此機(jī)械密封裝置密封性好,磨損小,結(jié)構(gòu)簡單,可長期重復(fù)使用,并且整個(gè)過程無需人工操作,自動(dòng)完成。以上已對本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說明,但本實(shí)用新型創(chuàng)造并不限于實(shí)施例,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換,這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,包括泄壓盲板;真空管道,所述真空管道設(shè)置在所述泄壓盲板上;導(dǎo)桿,所述導(dǎo)桿的一端與所述泄壓盲板連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,所述真空管道通過真空焊接法蘭與所述泄壓盲板連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板之間還設(shè)有0形密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,所述泄壓盲板上還設(shè)有安裝孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,所述導(dǎo)桿通過所述安裝孔與所述泄壓盲板連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,所述安裝孔的數(shù)量為八個(gè),所述安裝孔為均勻分布在所述泄壓盲板圓周上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,在所述導(dǎo)桿的外側(cè)設(shè)有壓縮彈簧。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,其特征在于,所述真空管道與所述泄壓盲板及所述真空焊接法蘭同軸連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置,包括泄壓盲板;真空管道,所述真空管道設(shè)置在所述泄壓盲板上;導(dǎo)桿,所述導(dǎo)桿的一端與所述泄壓盲板連接。本實(shí)用新型真空管道自動(dòng)泄壓防爆裝置通過自動(dòng)調(diào)節(jié),使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定,從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)。并且此機(jī)械密封裝置密封性好,磨損小,結(jié)構(gòu)簡單,可長期重復(fù)使用,并且整個(gè)過程無需人工操作,自動(dòng)完成。
文檔編號C30B29/20GK202247010SQ20112032309
公開日2012年5月30日 申請日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者呂立強(qiáng) 申請人:上海朗兆機(jī)電設(shè)備有限公司