專利名稱:單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種石墨件裝置,尤其是一種單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置。
背景技術(shù):
目前,在單晶硅直拉爐的運行過程中,由于硅原料,石英坩堝,石墨坩堝等部件有時會出現(xiàn)異常,比如在單晶硅的制造過程中,硅由于被加熱至熔點以上的溫度在石英坩堝中呈現(xiàn)液態(tài),而石英坩堝被加熱后其硬度會降低變得很柔軟,當(dāng)石英坩堝由于某些原因破裂后,液態(tài)的硅就會從石英坩堝和石墨坩堝中流出。而現(xiàn)有技術(shù)的石墨件裝置都是如圖1 所示的結(jié)構(gòu),石墨托桿的上半部分為用于托住坩堝的石墨托,石墨托下沒有專門用來盛裝漏出硅液的裝置,石墨托的下邊緣為圓弧形設(shè)計,當(dāng)硅液漏出往下流時,這種結(jié)構(gòu)又不具備導(dǎo)流功能,導(dǎo)致融化的硅液從石英坩堝流出,流進石墨熱場中,燒毀不銹鋼材質(zhì)的爐體,甚至導(dǎo)致安全事故的發(fā)生,造成較大的損失。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種可使漏出的硅液得到有效控制,不會燒毀不銹鋼材質(zhì)的爐體,增強生產(chǎn)安全性,避免經(jīng)濟損失的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置。為了達到上述目的,本實用新型所設(shè)計的一種單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,它包括置于坩堝下的石墨托桿,石墨托桿包含托住坩堝的石墨托和石墨托下的桿體,在石墨托下設(shè)有漏液容納裝置。所述的漏液容納裝置可由內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)組成,內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)用石墨材料制成,漏液容納裝置環(huán)設(shè)在桿體的周邊。漏液容納裝置的底部可以直接利用爐底壓板,也就是內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)直接設(shè)在石墨的爐底壓板上。漏液容納裝置用來盛裝漏出的硅液,使硅液能被良好地控制起來,不致于燒毀不銹鋼材質(zhì)的爐體、導(dǎo)致安全事故的發(fā)生。為了使從石墨托上滴落的硅液能落在內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)之間。在石墨托下設(shè)有導(dǎo)流邊緣。漏出的硅液可順著導(dǎo)流邊緣滴落,使硅液得到有效的控制。所述的導(dǎo)流邊緣可以為倒三角形結(jié)構(gòu),漏出的硅液會順著三角形的導(dǎo)流邊緣滴落到內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)之間,導(dǎo)流邊緣還可以是有導(dǎo)流功能的鉤狀結(jié)構(gòu)。本實用新型所得到的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,結(jié)構(gòu)簡單,效果明顯。在單晶硅直拉爐的運行過程中,一旦遇到硅原料、石英坩堝、石墨坩堝等部件出現(xiàn)異常,導(dǎo)致硅液從坩堝內(nèi)流出的情況,本裝置即可將漏出的硅液導(dǎo)流至固定的區(qū)間內(nèi),如內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)之間,使硅液得到有效的控制,不致于燒毀不銹鋼材質(zhì)的爐體,大大增強了生產(chǎn)安全性,為企業(yè)避免了損失。
圖1是現(xiàn)有單晶爐石墨件裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實用新型實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖;[0009]圖3是本實用新型實施例2石墨托桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中石墨托桿1、石墨托2、導(dǎo)流邊緣3、內(nèi)防漏環(huán)4、外防漏環(huán)5、坩堝6、桿體7、 漏液容納裝置8、爐底壓板9。
具體實施方式
下面通過實施例結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。實施例1 如圖2所示,本實施例所描述的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,它包括置于坩堝6 下的石墨托桿1,石墨托桿1包含托住坩堝6的石墨托2和石墨托2下的桿體7,在石墨托2 下設(shè)有漏液容納裝置8。所述的漏液容納裝置8由內(nèi)防漏環(huán)4和外防漏環(huán)5組成,內(nèi)防漏環(huán) 4和外防漏環(huán)5用石墨材料制成,漏液容納裝置8環(huán)設(shè)在桿體7的周邊,漏液容納裝置8的底部直接利用爐底壓板9,也就是內(nèi)防漏環(huán)4和外防漏環(huán)5直接設(shè)在石墨的爐底壓板9上。為了使從石墨托2上滴落的硅液能落在內(nèi)防漏環(huán)4和外防漏環(huán)5之間,在石墨托 2下設(shè)有導(dǎo)流邊緣3,所述的導(dǎo)流邊緣3是倒三角形結(jié)構(gòu),漏出的硅液可順著導(dǎo)流邊緣3滴落,使硅液得到有效的控制。實施例2:如圖3所示,本實施例所描述的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,是將實施例1中的石墨托2下所述的導(dǎo)流邊緣3制成有導(dǎo)流功能的鉤狀結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求1.一種單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,它包括置于坩堝(6)下的石墨托桿(1),石墨托桿⑴包含托住坩堝(6)的石墨托(2)和石墨托(2)下的桿體(7),其特征是在石墨托(2) 下設(shè)有漏液容納裝置(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,其特征是所述的漏液容納裝置(8)由內(nèi)防漏環(huán)(4)和外防漏環(huán)(5)組成,漏液容納裝置(8)環(huán)設(shè)在桿體(7)的周邊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,其特征是在石墨托(2)下設(shè)有導(dǎo)流邊緣(3)。
4.根據(jù)權(quán)得要求3所述的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,其特征是所述的導(dǎo)流邊緣 (3)為倒三角形結(jié)構(gòu)或鉤狀結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型涉及一種石墨件裝置,尤其是一種單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置。它包括置于坩堝下的石墨托桿,石墨托桿包含托住坩堝的石墨托和石墨托下的桿體,在石墨托下設(shè)有漏液容納裝置。本實用新型所得到的單晶爐直拉爐防漏液石墨裝置,結(jié)構(gòu)簡單,效果明顯。在單晶硅直拉爐的運行過程中,一旦遇到硅原料、石英坩堝、石墨坩堝等部件出現(xiàn)異常,導(dǎo)致硅液從坩堝內(nèi)流出的情況,本裝置即可將漏出的硅液導(dǎo)流至固定的區(qū)間內(nèi),如內(nèi)防漏環(huán)和外防漏環(huán)之間,使硅液得到有效的控制,不致于燒毀不銹鋼材質(zhì)的爐體,大大增強了生產(chǎn)安全性,為企業(yè)避免了損失。
文檔編號C30B15/10GK202039154SQ20112010562
公開日2011年11月16日 申請日期2011年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月3日
發(fā)明者彭軒 申請人:湖南省長宇新型炭材料有限公司