專利名稱：元件安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于使從多個吸嘴中選擇的吸嘴下降從而吸附元件的元件安裝裝置。
背景技術(shù)：
以往已知的一種元件安裝裝置具備多個升降自如的吸嘴，并使從多個吸嘴中選擇的一個吸嘴下降，由該吸嘴進行元件的吸附。此外，為選擇性地切換從多個吸嘴中下降的吸嘴，已提出有多種機構(gòu)。例如，在專利文獻1的元件安裝裝置中，各吸嘴在吸嘴座(nozzle holder)的上方設(shè)有卡合吸嘴而限制該吸嘴下降的卡合鉤。多個吸嘴中沒有用于吸附元件的吸嘴卡合于卡合鉤而維持在上方，另一方面，用于吸附元件的吸嘴被解除與卡合鉤的卡合而下降。此外，該元件安裝裝置中設(shè)有用于解除卡合鉤與吸嘴的卡合的卡合阻止部件，通過由該卡合阻止部件對被解除與卡合鉤的卡合的吸嘴進行變更，選擇性地切換用于吸附元件而下降的吸嘴。具體而言，使作為卡合解除對象的吸嘴的卡合鉤面對卡合阻止部件，使卡合阻止部件和吸嘴座由該狀態(tài)上升。由此，卡合阻止部件從下方抵接作為卡合解除對象的吸嘴的卡合鉤，該卡合鉤轉(zhuǎn)動。這樣，吸嘴脫離卡合鉤而下降。另一方面，之前用于吸附元件的吸嘴與吸嘴座一起上升，與其上方的卡合鉤相卡合，下降被限制。專利文獻1如上所述地選擇性地切換用于吸附元件而下降的吸嘴。此外，為切換從多個吸嘴中下降的吸嘴，專利文獻2的元件安裝裝置具備有按壓部件。該按壓部件固定于由升降轉(zhuǎn)動裝置升降、轉(zhuǎn)動的Z軸的下端，受到升降轉(zhuǎn)動裝置的驅(qū)動力，可與Z軸成一體地升降、轉(zhuǎn)動。即，升降轉(zhuǎn)動裝置使按壓部件與Z軸一起轉(zhuǎn)動、在水平方向上移動，使按壓部件位于作為下降對象的吸嘴的上方，接著使按壓部件與Z軸一起下降，按下該吸嘴。即，在專利文獻2中，通過選擇性地使按壓部件移動至作為下降對象的吸嘴的上方，可以選擇性地切換用于吸附元件而下降的吸嘴。然而，專利文獻1中，切換用于吸附元件而下降的吸嘴時，需使支承多個吸嘴的吸嘴座及卡合阻止部件等各部分上升。因此，為使其上升，必須具有產(chǎn)生較大驅(qū)動力的驅(qū)動組件(致動器等)，有驅(qū)動組件大型化的問題。此外，專利文獻2中，切換用于吸附元件的吸嘴時，需使按壓部件與Z軸成一體地轉(zhuǎn)動、升降。因此，對其進行驅(qū)動的驅(qū)動組件(升降轉(zhuǎn)動裝置)具有轉(zhuǎn)動Z軸的伺服電動機和升降Z軸的伺服電動機兩個伺服電動機。其結(jié)果，有驅(qū)動組件大型化的問題。專利文獻1 日本特開平09-270595號公報專利文獻2 日本特開2004-311807號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述課題而作，目的在于提供一種選擇性地使多個吸嘴下降以吸附元件的元件安裝裝置，該元件安裝裝置所提供的技術(shù)可使切換下降吸嘴所需的驅(qū)動組件小型化。為達成上述目的，本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置包括繞鉛直軸排列且分別升降自如的多個吸嘴；從多個吸嘴的上方分別對應(yīng)著多個吸嘴繞鉛直軸排列的多個吸嘴上方位置的任一者下降、按下對應(yīng)于該吸嘴上方位置的吸嘴的吸嘴按壓部件；與吸嘴按壓部件成一體地在鉛直軸方向上移動自如地設(shè)置的移動體；弓丨導(dǎo)在鉛直軸方向上往返移動的移動體使其繞鉛直軸轉(zhuǎn)動的引導(dǎo)體；以及在鉛直軸方向上驅(qū)動移動體的移動體驅(qū)動組件；移動體驅(qū)動組件通過使所述移動體向所述鉛直軸下方移動，執(zhí)行使所述吸嘴按壓部件從所述吸嘴上方位置下降至與該吸嘴上方位置相對應(yīng)的所述吸嘴處并按下該吸嘴的按下動作；通過使所述移動體進行所述往返移動，執(zhí)行將所述移動體引導(dǎo)至所述引導(dǎo)體并使所述移動體圍繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動，且使所述吸嘴按壓部件隨著所述移動體繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動，從而進行在所述各吸嘴上方位置之間移動的切換動作。。在如此構(gòu)成的發(fā)明(元件安裝裝置)中，圍繞鉛直軸排列多個吸嘴，并且在多個吸嘴的上方設(shè)有與在鉛直軸方向上移動自如地設(shè)置的移動體呈一體地移動的吸嘴按壓部件。該吸嘴按壓部件從多個吸嘴的上方分別對應(yīng)著多個吸嘴繞鉛直軸排列的多個吸嘴上方位置的任一者下降，將與該吸嘴上方位置相對應(yīng)的吸嘴按下。具體而言，在鉛直軸方向上驅(qū)動移動體的移動體驅(qū)動組件通過使移動體向鉛直軸下方移動，使吸嘴按壓部件從吸嘴上方位置下降至與該吸嘴上方位置相對應(yīng)的吸嘴處，進行按下該吸嘴的按下動作。此外，本發(fā)明中設(shè)有引導(dǎo)在鉛直軸方向上往返移動的移動體使其繞鉛直軸轉(zhuǎn)動的引導(dǎo)體。從而，移動體驅(qū)動組件可通過使移動體進行往返移動，使吸嘴按壓部件隨著移動體發(fā)生轉(zhuǎn)動，進行在各吸嘴上方位置之間移動的切換動作。可以說，本發(fā)明中，可僅通過使移動體在鉛直軸方向上往返移動，使吸嘴按壓部件在各吸嘴上方位置之間移動，選擇性地切換下降吸嘴。從而，作為切換下降吸嘴所需的移動體驅(qū)動組件，其驅(qū)動力能使該移動體往返移動即可，故可使移動體驅(qū)動組件小型化。此外，本發(fā)明中，只需在鉛直軸方向上驅(qū)動移動體(及吸嘴按壓部件)即可進行吸嘴的下降動作和切換動作兩種動作。從而，移動體驅(qū)動組件只需能在鉛直軸方向上驅(qū)動移動體即可，可使移動體驅(qū)動組件小型化。此外，移動體驅(qū)動組件也可將吸嘴按壓部件保持于多個吸嘴的鉛直軸方向上側(cè)區(qū)間地進行切換動作，另一方面使吸嘴按壓部件從該區(qū)間的鉛直軸方向下方下降至吸嘴，進行按下動作。采用這樣的結(jié)構(gòu)，吸嘴的切換動作在將吸嘴按壓部件維持于多個吸嘴的鉛直軸方向上側(cè)的區(qū)間內(nèi)的狀態(tài)下，無需由吸嘴按壓部件按下吸嘴即可進行。從而，無需進行不必要的吸嘴按下動作，可以適當?shù)貎H進行吸嘴的切換動作。因此，可以防止在進行吸嘴的切換動作時，無意中降下吸嘴對周圍其他部件造成干涉等不便。有時多個吸嘴采用圍繞鉛直軸轉(zhuǎn)動自如的結(jié)構(gòu)。例如，上述專利文獻2中，包括支承多個吸嘴的吸嘴座和對該吸嘴座進行轉(zhuǎn)動驅(qū)動的轉(zhuǎn)動裝置，在該轉(zhuǎn)動裝置的驅(qū)動力作用下使多個吸嘴和吸嘴座一起轉(zhuǎn)動。但是采用這樣的結(jié)構(gòu)，需要在為轉(zhuǎn)動裝置所轉(zhuǎn)動移動的吸嘴上方，移動按下該吸嘴的按壓部件。從而，驅(qū)動按壓部件的驅(qū)動組件(升降轉(zhuǎn)動裝置)必須在考慮伴隨轉(zhuǎn)動的吸嘴位移的同時，在吸嘴上方驅(qū)動按壓部件，有使該驅(qū)動組件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的危險。因此，也可使多個吸嘴支承在引導(dǎo)體上，引導(dǎo)體伴隨多個吸嘴、移動體和吸嘴按壓部件繞鉛直軸轉(zhuǎn)動自如。采用這樣的結(jié)構(gòu)，通過使引導(dǎo)體伴隨多個吸嘴轉(zhuǎn)動，可使多個吸嘴中下降的吸嘴向元件的上方位置移動。而且，引導(dǎo)體除吸嘴外還伴隨移動體和吸嘴按壓部件轉(zhuǎn)動。從而，不會因吸嘴的轉(zhuǎn)動，而使吸嘴與吸嘴按壓部件的相對位置關(guān)系發(fā)生變化。因此，驅(qū)動吸嘴按壓部件的移動體驅(qū)動組件無需考慮伴隨轉(zhuǎn)動的吸嘴位移，可使吸嘴按壓部件適當?shù)叵蚺c下降吸嘴相對應(yīng)的吸嘴上方位置移動，可謀求移動體驅(qū)動組件的結(jié)構(gòu)簡化。此時，還可以包括驅(qū)動引導(dǎo)體繞鉛直軸轉(zhuǎn)動的引導(dǎo)體驅(qū)動組件。采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于移動體驅(qū)動組件和弓I導(dǎo)體驅(qū)動組件可以分別獨立地進行驅(qū)動，可以并行地進行移動體驅(qū)動組件驅(qū)動下的吸嘴切換、按下動作和引導(dǎo)體驅(qū)動組件驅(qū)動下的吸嘴的轉(zhuǎn)動動作，從而改善作業(yè)效率。此外，所述多個吸嘴、所述吸嘴按壓部件、所述移動體及所述引導(dǎo)體構(gòu)成安裝頭，所述安裝頭為多個，它們沿水平方向排成一列，所述移動體驅(qū)動組件和所述引導(dǎo)體驅(qū)動組件對應(yīng)于所述多個安裝頭而分別設(shè)置，使多個移動體驅(qū)動組件在水平方向上排成一列且多個引導(dǎo)體驅(qū)動組件在水平方向上排成一列，并且多個移動體驅(qū)動組件的列和多個引導(dǎo)體驅(qū)動組件的列從鉛直軸方向上觀察相互并列地設(shè)置。采用這樣的結(jié)構(gòu)，可以緊湊地設(shè)置元件安裝裝置的各結(jié)構(gòu)部件，使元件安裝裝置小型化。特別是，由于使多個移動體組件的列和多個引導(dǎo)體組件的列并列設(shè)置地布局(與移動體組件和引導(dǎo)體組件相互間隔地排成一列的串聯(lián)設(shè)置相比)，可以縮短水平方向上相鄰的安裝頭之間的距離，進而縮短安裝頭所包含的吸嘴組(由多個吸嘴構(gòu)成的群)之間的距離。此外，移動體驅(qū)動組件也可包括，沿鉛直軸方向延伸的滾珠絲杠，對該滾珠絲杠進行轉(zhuǎn)動驅(qū)動的電動機，以及螺合于滾珠絲杠并對移動體予以支承的支承部件。由此，可以簡單低價的結(jié)構(gòu)使移動體在鉛直軸方向上往返移動。此外，引導(dǎo)體具有呈中心軸與鉛直軸同心的圓筒形、其周面上形成有引導(dǎo)通路和連接通路的引導(dǎo)部件，其引導(dǎo)通路分別對應(yīng)于多個吸嘴上方位置設(shè)置，長度方向為沿鉛直軸的方向，其連接通路連接繞鉛直軸鄰接的兩條引導(dǎo)通路；移動體具有移動部件，其形成有中心軸與鉛直軸同心且呈圓筒形狀的中空部，在該中空部中嵌入所述引導(dǎo)部件的狀態(tài)下相對于弓I導(dǎo)部件在鉛直軸方向上移動自如，且其內(nèi)壁上設(shè)有沿著引導(dǎo)通路及連接通路移動的滑塊；移動體的往返移動中，在移動體向鉛直軸方向的一側(cè)移動的去程上，滑塊沿著一引導(dǎo)通路移動至連接通路或通過該連接通路的位置上，另一方面在移動體向鉛直軸方向的另一側(cè)移動的回程上，滑塊從一引導(dǎo)通路上向連接通路岔開，向與一引導(dǎo)通路相鄰接的另一引導(dǎo)通路移動。由此，可以簡單低價的結(jié)構(gòu)使進行往返移動的移動體繞鉛直軸轉(zhuǎn)動。本發(fā)明的另一實施方式包括中心線沿鉛直軸延伸的軸芯體；設(shè)置在圍繞所述軸芯體設(shè)定的多個吸嘴設(shè)置位置上且分別相對于該軸芯體升降自如的多個吸嘴；與所述軸芯體相連接的同時，位于設(shè)置在所述吸嘴設(shè)置位置上的多個吸嘴的任一者上方、按下該吸嘴的吸嘴按壓部件；在為按下所述吸嘴而設(shè)定的第1行程范圍和為切換所按壓的所述吸嘴而設(shè)定的第2行程范圍內(nèi)，驅(qū)動所述吸嘴按壓部件使所述吸嘴按壓部件相對于所述軸芯體相對升降的吸嘴按壓部件驅(qū)動組件；以及分別設(shè)于所述吸嘴按壓部件和所述軸芯體、連接所述吸嘴按壓部件和所述軸芯體的連接組件，其使所述吸嘴按壓部件在所述第1行程范圍內(nèi)，進行所述吸嘴按壓部件按下設(shè)置在所述多個吸嘴設(shè)置位置中任一者上的吸嘴的按下動作，在所述第2行程范圍內(nèi)，通過所述吸嘴按壓部件從升降運動變換為在該軸芯體圓周方向上移動的運動使所述吸嘴按壓部件在該軸芯體的圓周方向上移動，進行切換作為所述按下動作的對象的吸嘴的切換動作。在理想的實施方式中，所述連接組件包括固定在所述軸芯體上、底面上具有向圍繞該軸芯體的一方向傾斜的第1棘輪的第1棘輪引導(dǎo)體；與所述第1棘輪引導(dǎo)體同心地設(shè)置在所述軸芯體上，且僅在沿所述軸芯體中心線的方向上可相對于所述第1棘輪引導(dǎo)體往返移動地與所述軸芯體相連，并在底面上具有與所述第1棘輪向同一方向傾斜且具有規(guī)定相位差的第2棘輪的第2棘輪引導(dǎo)體；與所述吸嘴按壓部件成一體地設(shè)置、具有可與所述第1及第2棘輪引導(dǎo)體的兩棘輪相嚙合的棘爪的爪部件；以及通常向棘輪引導(dǎo)體側(cè)壓靠所述爪部件的棘爪的壓靠組件。作為切換下降吸嘴所需的移動體驅(qū)動組件，其驅(qū)動力能使該移動體往返移動即可，故可使移動體驅(qū)動組件小型化。此外，只需在鉛直軸方向上驅(qū)動移動體(及吸嘴按壓部件)即可進行吸嘴的下降動作和切換動作兩種動作，故移動體驅(qū)動組件只需能在鉛直軸方向上驅(qū)動移動體即可，可使移動體驅(qū)動組件小型化。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的一實施方式的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是頭部單元的局部立體圖。圖3是從別的角度觀察頭部單元的局部立體圖。圖4是頭部單元的局部側(cè)視圖。圖5是安裝頭的局部剖視圖。圖6是作為連接組件的引導(dǎo)部件的立體圖。圖7A是圖6的A-A線局部剖視圖。圖7B是圖6的B-B線局部剖視圖。圖8是圖6的引導(dǎo)部件的展開圖。圖9是表示作為連接組件的引導(dǎo)部件和移動部件的變形例的分解圖。圖10是表示圖9的棘輪相位關(guān)系的說明圖。圖11是引導(dǎo)部件和移動部件的變形例的動作(狀態(tài)遷移)說明圖。圖12是引導(dǎo)部件和移動部件的變形例的動作(狀態(tài)遷移)說明圖。
具體實施例方式圖1是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的一實施方式的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。另外，在圖1及稍后說明的附圖中，為了明確各圖的方向關(guān)系，標有XYZ直角坐標軸。在該元件安裝裝置1中，基臺11上設(shè)有基板輸送機構(gòu)2，可在規(guī)定的輸送方向X上輸送基板3。更詳細而言，基板輸送機構(gòu)2具有在基臺11上將基板3從圖1的右側(cè)向左側(cè)輸送的一對輸送帶21、21。輸送帶21、21搬入基板3，使基板3在指定的安裝作業(yè)位置(本圖所示的基板3的位置)停止，用圖略的保持裝置來固定保持基板3。由元件供給部4供給的電子元件通過搭載于頭部單元6中的安裝頭8移載至基板3。然后，當應(yīng)安裝到基板3上的所有元件的安裝處理完成后，基板輸送機構(gòu)2搬出基板3。另外，基臺11上設(shè)有元件用識別攝像機7。該元件識別用攝像機7包括照明部和CCD (Charge Coupled Device)攝像機等，從下側(cè)對頭部單元6的各安裝頭8所保持的電子元件進行拍攝。
如此構(gòu)成的基板輸送機構(gòu)2的前方側(cè)(+Y軸方向側(cè))以及后方側(cè)(-Y軸方向側(cè))，設(shè)置有上述元件供給部4。這些元件供給部4具備多個帶式送料器41。而且，在各帶式送料器41上，設(shè)置有對收納/保持電子元件的帶進行卷繞的卷軸(省略圖示)，可將電子元件供應(yīng)給頭部單元6。即，在各帶上，隔開指定間隔而收納、保持著集成電路(IC)、晶體管、電容器等小片狀的芯片式電子元件。并且，帶式送料器41從卷軸向頭部單元6側(cè)送出帶，該帶內(nèi)的電子元件由此被間歇性地陸續(xù)送出，其結(jié)果，可實現(xiàn)頭部單元6的安裝頭8對電子元件的吸附。該頭部單元6在保持由安裝頭8在元件供給部吸附的電子元件的狀態(tài)下將其輸送至基板3，并且移載到由用戶指示的位置。接著，用圖2至圖5對該頭部單元6以及頭部單元6所包含的安裝頭8的詳情予以說明。在此，圖2是頭部單元的局部立體圖，圖3是頭部單元的局部等角投影圖，圖4是頭部單元的局部側(cè)視圖。此外，圖5是安裝頭的局部剖視圖。頭部單元6的4個安裝頭8在X方向(水平方向)上排成一列，并從后方(-Y方向)由支承框架61對它們予以支承。具體而言，這些安裝頭8由從支承框架61向前方(+Y方向)延伸的兩條臂61a、61b支承。另外，由于4個安裝頭8具有大致共同的結(jié)構(gòu)，以下對安裝頭8的說明基本以一個安裝頭8為代表進行，為其他的安裝頭8付予相當?shù)姆枺m當省略說明。安裝頭8包括其中心線VA在鉛直軸(Z軸)方向上延伸的較長的軸體81。軸體81是本發(fā)明的軸芯體的一個例子，在該軸體81的下部同心地固定有環(huán)狀的吸嘴座82。吸嘴座82中，在軸體81的一圓周上形成有間隔一定距離均等設(shè)置的收容部，在以該收容部設(shè)定的吸嘴設(shè)置位置上，8個吸嘴83相對于該吸嘴座82升降自如地受到支承。另一方面，在上述8個吸嘴83的上方設(shè)有選擇性地按下上述吸嘴83中的一個以吸附元件的機構(gòu)。具體而言，該機構(gòu)包括引導(dǎo)部件84、相對于引導(dǎo)部件84移動自如的移動部件85、與移動部件85成一體地移動的吸嘴按壓部件86和將吸嘴按壓部件86結(jié)合在移動部件85上的連桿部件87。在本實施方式中，弓I導(dǎo)部件84及移動部件85構(gòu)成對吸嘴按壓部件86和作為軸芯體的軸體81予以連接的連接組件。另外，在以下說明中，將設(shè)置于吸嘴設(shè)置位置的吸嘴83的正上方、向下俯視該吸嘴的位置稱為“吸嘴上方位置”。S卩，在軸體81的上部設(shè)有其中心軸沿著Z軸方向的圓筒形狀的引導(dǎo)部件84。該引導(dǎo)部件84以其中心軸與軸體81的中心軸相一致的方式安裝，并在其周面上形成有細節(jié)后述的槽C。引導(dǎo)部件84的下部(圖5)設(shè)有相對于引導(dǎo)部件84升降自如的移動部件85。該移動部件85呈同心地覆蓋引導(dǎo)部件84的下部且中空部SP上下貫穿的圓筒形狀。移動部件85的內(nèi)徑稍大于引導(dǎo)部件84的外徑，移動部件85在將引導(dǎo)部件84收容于其中空部SP中的狀態(tài)下，相對于引導(dǎo)部件84升降自如。此外，移動部件85中設(shè)有兩個沿徑向突出到中空部SP內(nèi)的銷形狀的滑塊851。各滑塊851以移動部件85的中心軸為中心，設(shè)置在相互偏移180°的位置上。具體而言，對應(yīng)于各滑塊851形成有貫穿移動部件85的外壁至內(nèi)壁的小徑孔，各滑塊851移動自如地嵌于對應(yīng)的小徑孔中。進而，各滑塊851的兩端中移動部件85外壁側(cè)的一端與壓靠該滑塊851的板簧852相抵接。板簧852的下端部固定于移動部件85的外壁，另一方面板簧852的上端為自由端，滑塊851與該自由端相抵接。由該板簧852向內(nèi)(引導(dǎo)部件84側(cè))壓靠滑塊851。結(jié)構(gòu)如上的移動部件85的滑塊851 —邊嵌入引導(dǎo)部件84的槽C中，一邊被板簧852的壓靠力按壓于槽C中。移動部件85在該狀態(tài)下相對于引導(dǎo)部件84升降。此時，滑塊851沿槽C移動，移動部件85的移動由引導(dǎo)部件84所引導(dǎo)。由此，移動部件85除在鉛直軸方向(Z方向)上直線下降的動作外，還在向鉛直軸方向(Z方向)往返移動時在引導(dǎo)部件84的引導(dǎo)下繞鉛直軸(Z軸)進行轉(zhuǎn)動動作。另外，稍后用圖6及圖7對實現(xiàn)該引導(dǎo)動作的結(jié)構(gòu)的詳情進行說明。在移動部件85的鉛直軸方向(Z方向)的下端，通過連桿部件87固定有吸嘴按壓部件86。該吸嘴按壓部件86為在鉛直軸方向(Z方向)上延伸的棒狀部件，與移動部件85成一體地移動。具體如后所述，吸嘴按壓部件86除與移動部件85成一體地于鉛直軸方向(Z方向)下降的動作外，還可進行與移動部件85成一體地繞鉛直軸(Z軸)轉(zhuǎn)動的動作。然后，由該吸嘴按壓部件86選擇性地將8個吸嘴83中的一個在鉛直軸方向(Z方向)上按下，以吸附元件。8個吸嘴83分別在不用于吸附元件時，在彈簧部件(未圖示)的作用力下被拉向上方(+Z方向)，另一方面，在用于吸附元件時，被吸嘴按壓部件86逆著彈簧部件的作用力(-Z方向)按下。在以下的說明中，稱吸嘴按壓部件86按下吸嘴83的動作為按下動作。為從多個吸嘴83中選擇需要的吸嘴，詳細情況如后所述，吸嘴按壓部件86通過與移動部件85成一體地繞鉛直軸(Z軸)轉(zhuǎn)動，可以將位置變更為繞鉛直軸(Z軸)排列的8個吸嘴83中的一個的上方。在以下的說明中，稱吸嘴按壓部件86繞鉛直軸移動切換吸嘴83的動作為切換動作。然后，吸嘴按壓部件86按下所選擇的吸嘴83。如此按下的吸嘴83用其前端部吸附元件。在圖2、圖3中，從上述圖的左側(cè)數(shù)第3個安裝頭8所包含的8個吸嘴83之一被按下。此外，軸體81繞其中心線VA轉(zhuǎn)動自如。由此，與軸體81成一體設(shè)置的吸嘴座82由于一體地在中心線VA的圓周方向上轉(zhuǎn)動，通過該轉(zhuǎn)動，設(shè)置在吸嘴座82上的多個吸嘴83可以變化圍繞中心線Va的相位。上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)點可以列舉如下。S卩，吸嘴83前端部(的開口)為長方形時，較為理想的是，在使吸嘴83前端部的長度方向與元件的長度方向一致的狀態(tài)下，由吸嘴83吸附元件。因為這樣可以充分發(fā)揮吸嘴83的吸引力，穩(wěn)固地吸附保持元件。這一點，若采用8個吸嘴83的相位變化自如的結(jié)構(gòu)，則可以在吸附元件之前，適當?shù)刈兓?3的相位，使吸嘴83前端部和元件的各長度方向一致。或者，在向基板3安裝所吸附的元件時，需使吸附元件的朝向與基板3表面的圖案相符，若采用8個吸嘴83的相位變化自如的結(jié)構(gòu)，則可容易地進行上述吸附元件的朝向的調(diào)整。進而，通過使多個吸嘴83在X-Y面內(nèi)移動并且適當?shù)刈兓鲜鑫?3的相位，可以更方便并高精度地使吸嘴83位于吸附對象元件的正上方。此外，吸嘴按壓部件86也隨著多個吸嘴83移動，以使吸嘴83的相位變化不至導(dǎo)致吸嘴83和吸嘴按壓部件86的位置關(guān)系發(fā)生偏移。具體而言，軸體81隨著移動部件85、連桿部件87、吸嘴按壓部件86和多個吸嘴83繞中心線VA轉(zhuǎn)動。通過軸體81的轉(zhuǎn)動，變更吸嘴83的相位，并且吸嘴按壓部件86也成一體地追隨該吸嘴83的移動。以上為安裝頭8的結(jié)構(gòu)。接著，對驅(qū)動安裝頭8的兩種驅(qū)動組件(Z軸驅(qū)動組件62、R軸驅(qū)動組件63)進行說明。如上所述，在安裝頭8中，通過移動部件85與吸嘴按壓部件86成一體地升降，進行吸嘴83的按下動作及切換動作。為此，Z軸驅(qū)動組件62作為在鉛直軸方向(Z方向)上驅(qū)動該移動部件85的組件而設(shè)置。該Z軸驅(qū)動組件62設(shè)置于支承框架61和安裝頭8之間，由從支承框架61向前方(Y軸方向(+)側(cè))延伸的兩條臂61b、61c予以支承。參照圖4，更為具體地，在Z軸驅(qū)動組件62中設(shè)有，在鉛直軸方向(Z軸方向)上延伸的滾珠絲杠621，設(shè)置在滾珠絲杠621的上方而驅(qū)動滾珠絲杠621轉(zhuǎn)動的Z軸電動機622，以及螺合滾珠絲杠621的可動部件623。Z軸電動機622驅(qū)動滾珠絲杠621繞鉛直軸(Z軸)正逆轉(zhuǎn)動，從而可動部件623在鉛直軸方向(Z軸方向)上升降。該可動部件623通過球軸承88對結(jié)合移動部件85和吸嘴按壓部件86的連桿部件87予以支承。具體而言，如圖5所示，包含用內(nèi)環(huán)881和外環(huán)882夾住球體883的結(jié)構(gòu)的球軸承88設(shè)置于可動部件623和連桿部件87之間，球軸承88的內(nèi)環(huán)881固定在連桿部件87上，且球軸承88的外環(huán)882固定在可動部件623上。這樣，可動部件623圍繞中心線VA(Z軸)轉(zhuǎn)動自如地支承移動部件85、吸嘴按壓部件86以及連桿部件87，且隨著可動部件623在鉛直軸方向(Z軸方向)上的升降，移動部件85、吸嘴按壓部件86、球軸承88及連桿部件87在鉛直軸方向(Z軸方向)上升降。如此，可在Z軸驅(qū)動組件62的作用下，使移動部件85和吸嘴按壓部件86成一體地升降。此外，如上所述，在安裝頭8中，軸體81隨著移動部件85、連桿部件87、吸嘴按壓部件86和多個吸嘴83繞中心線VA(Z軸)轉(zhuǎn)動。R軸驅(qū)動組件63為驅(qū)動軸體81繞中心線VA (Z軸)轉(zhuǎn)動而設(shè)。具體而言，R軸驅(qū)動組件63包括安裝于軸體81上端的R軸電動機631，在R軸電動機631的轉(zhuǎn)動驅(qū)動力作用下，軸體81可繞鉛直軸(Z軸)正逆轉(zhuǎn)動。此外，在頭部單元6中，4個安裝頭8在水平方向(X方向)上排成一列，且分別對應(yīng)于上述安裝頭8設(shè)置有Z軸驅(qū)動組件62和R軸驅(qū)動組件63。此時，4個Z軸驅(qū)動組件62也在水平方向(X方向)上排成一列，且4個R軸驅(qū)動組件63也在水平方向(X方向)上排成一列。并且，4個Z軸驅(qū)動組件62的列和4個R軸驅(qū)動組件63的列從鉛直軸方向(Z方向)上觀察相互并列地設(shè)置。換言之，各安裝頭8中，Z軸驅(qū)動組件62和R軸驅(qū)動組件63從側(cè)面觀察在Y軸方向上相對設(shè)置。采用這樣的結(jié)構(gòu)，可以緊湊地設(shè)置元件安裝裝置1的各結(jié)構(gòu)部件(安裝頭8、Z軸驅(qū)動組件62、R軸驅(qū)動組件63)，可使元件安裝裝置1小型化。特別是，由于使4個Z軸驅(qū)動組件62的列和4個R軸驅(qū)動組件63的列并列設(shè)置地布局(與Z軸驅(qū)動組件62和R軸驅(qū)動組件63相互間隔地排成一列的串聯(lián)設(shè)置相比)，可以縮短水平方向(X方向)上相鄰的安裝頭8之間的距離，進而縮短各安裝頭8所包含的吸嘴組(由8個吸嘴83構(gòu)成的群)之間的距離。另外，如上所述的本實施方式的安裝頭8具備形成有用于引導(dǎo)移動部件85的槽C的引導(dǎo)部件。接著，對該引導(dǎo)部件84的詳情予以說明。如圖6及圖8所示，圓柱狀的引導(dǎo)部件84周圍的槽C包含，分別沿鉛直軸方向(Z方向)延伸規(guī)定長度的8個引導(dǎo)槽Ca，和在圓周方向上連接相鄰引導(dǎo)槽Ca彼此的8個連接槽Cb。8個引導(dǎo)槽Ca以相對于安裝頭8的8個吸嘴83(換言之，8個吸嘴設(shè)置位置)一一對應(yīng)的關(guān)系設(shè)置，在圓周方向(R軸方向)上形成45° ( = 360° /8)的間隔。當然，圓周方向的角度只是符合本實施方式的例子。引導(dǎo)槽Ca的數(shù)量N隨吸嘴83的數(shù)量而變化，其圓周方向的角度(間隔)與引導(dǎo)槽Ca的數(shù)量N相應(yīng)地等分(360° /N)設(shè)置。
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參照圖8，引導(dǎo)槽Ca中設(shè)定有，用于向下方按入吸嘴83的、作為第1行程范圍的按下行程STl ；設(shè)定在該按下行程STl的上方，允許移動部件85相對于引導(dǎo)部件84在圓周方向上相對移動的、作為第2行程的切換行程ST2 ；以及設(shè)定在兩行程ST1、ST2之間的間距ST3。在按下行程STl中，引導(dǎo)槽Ca沿軸方向直線延伸，可在圓周方向的移動受限的狀態(tài)下向上下方向引導(dǎo)移動部85。此外，連接槽Cb在切換行程ST2的范圍內(nèi)連接各引導(dǎo)槽Ca，其一端(R方向(-)側(cè))設(shè)定為低于另一端(R方向(+)側(cè))，由此分別設(shè)定切換行程ST2的下端和上端。若以切換動作時移動部件85轉(zhuǎn)動的R方向的下游側(cè)(+R側(cè))為正轉(zhuǎn)側(cè)，上游側(cè)(-R側(cè))為逆轉(zhuǎn)側(cè)，則連接槽Cb的-端側(cè)與引導(dǎo)槽Ca相連通的下側(cè)分支開口 Pl形成于引導(dǎo)槽Ca的逆轉(zhuǎn)側(cè)(-R側(cè))的側(cè)壁，另一方面連接槽Cb的另一端側(cè)與引導(dǎo)槽Ca相連通的上側(cè)分支開口 P2形成于引導(dǎo)槽Ca的正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))的側(cè)壁、下側(cè)分支開口 Pl的上側(cè)。連接槽Cb對R方向上相鄰的2個引導(dǎo)槽Ca中，從逆轉(zhuǎn)側(cè)(-R側(cè))的引導(dǎo)槽Ca的下側(cè)分支開口Pl到正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))的引導(dǎo)槽Ca的上側(cè)分支開口 P2，予以直線連接。即，R方向上相鄰的2個引導(dǎo)槽Ca由呈向正轉(zhuǎn)方向(+R方向)向上傾斜狀的連接槽Cb相連。由此，在引導(dǎo)部件84的圓周面上，以R軸方向上45°的周期，周期性地形成引導(dǎo)槽Ca和連接槽Cb。移動部件85經(jīng)由從該移動部件85的內(nèi)壁突出的滑塊851受到引導(dǎo)槽Ca及連接槽Cb的引導(dǎo)，執(zhí)行上述吸嘴83的切換、按下動作。在此，下側(cè)分支開口 Pl處形成有與連接槽Cb的棱線(ridge line)相連續(xù)的臺階BPl0臺階BPl在切換行程(stroke) ST2的上側(cè)較高。因此，切換行程ST2中，從引導(dǎo)槽Ca向下移動的滑塊851落下臺階BP1，可以下降，另一方面從臺階BPl下側(cè)沿引導(dǎo)槽Ca向上移動的滑塊851，向上側(cè)的移動受到臺階BPl的限制，因此由連接槽Cb所引導(dǎo)。另一方面，上側(cè)分支開口 P2處形成有與引導(dǎo)槽Ca的棱線相連續(xù)的臺階BP2。臺階BP2在連接槽Cb的下游側(cè)較高。因此，在連接槽Cb中向正轉(zhuǎn)側(cè)移動的滑塊851落下臺階BP1，可向正轉(zhuǎn)側(cè)的引導(dǎo)槽Ca內(nèi)移動，另一方面落下臺階BP2的滑塊851因為臺階BP2不能向逆轉(zhuǎn)側(cè)移動。于是，滑塊851在上升方向上受力作用時，被引導(dǎo)至延伸至上側(cè)分支開口P2上側(cè)的引導(dǎo)槽Ca的上端側(cè)，另一方面滑塊851在下移方向上受力作用時，不能返回連接槽Cb內(nèi)，保持該狀態(tài)被向下引導(dǎo)。以下，一邊對滑塊851的動作予以說明，一邊對上述切換、按下動作進行描述。此外，如上所述，雖然移動部件85中設(shè)有兩個滑塊851，但上述滑塊851的動作共通，故以下說明就一個滑塊851進行。上述為切換吸嘴83而使吸嘴按壓部件86轉(zhuǎn)動的切換動作按如下方式進行。艮口，在從移動部件85的內(nèi)壁突出的滑塊851受到板簧852的作用力而嵌入槽Ca、Cb中的狀態(tài)下，通過移動部件85相對于引導(dǎo)部件84在鉛直軸方向(Z方向)上的往返移動，滑塊851受到槽Ca、Cb的引導(dǎo)從一引導(dǎo)槽Ca(Cal)向與其鄰接的另一引導(dǎo)槽Ca(Ca2)移動，并且移動部件85及吸嘴按壓部件86隨之向正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))轉(zhuǎn)動。就此，以滑塊851從引導(dǎo)槽Cal向Ca2移動的情況為代表加以詳述。吸嘴按壓部件86退避于上方時，滑塊851位于例如引導(dǎo)槽Ca的上側(cè)分支開口 P2的上方。在該狀態(tài)下，移動部件85在切換行程ST2內(nèi)按以下方式移動，進行切換動作。首先，在滑塊851向下移動的去程FW中，滑塊851從引導(dǎo)槽Cal的上端下降至下側(cè)分支開口 Pl (或超過下側(cè)分支開口 Pl的位置)。在該去程FW中，滑塊851逆板簧852的作用力攀上形成于引導(dǎo)槽Cal中的上坡US1，最后越過臺階BP1，隨板簧852的壓靠力而下落(圖6及圖7的A-A線局部剖視圖)。隨后在回程BW中，滑塊851沿著鉛直軸方向(Z方向)在引導(dǎo)槽Cal內(nèi)上升。在該回程BW中，滑塊851到達下側(cè)分支開口 Pl時，與臺階BPl發(fā)生沖突。與臺階BPl沖突后的滑塊851由于無法沿著引導(dǎo)槽Cal繼續(xù)上升，故向連接槽Cb岔開，沿著該連接槽Cb向R方向的正轉(zhuǎn)側(cè)移動，并且向鉛直軸方向(Z方向)的上方移動，逆板簧852的作用力而沿連接槽Cb中形成的上坡US2到達上側(cè)分支開口 P2。越過該上側(cè)分支開口 P2處形成的臺階BP2后，隨板簧852的壓靠力而落入引導(dǎo)槽Ca2 (圖6及圖7的B-B線局部剖視圖)。如此滑塊851沿連接槽Cb從一引導(dǎo)槽Cal向與其相鄰的另一引導(dǎo)槽Ca2移動，移動部件85及固定于其上的吸嘴按壓部件86隨之轉(zhuǎn)動。由此，吸嘴按壓部件86從設(shè)置于與一引導(dǎo)槽Cal相對應(yīng)的一吸嘴設(shè)置位置的吸嘴83的上方，向設(shè)置于與另一引導(dǎo)槽Ca2相對應(yīng)的另一吸嘴設(shè)置位置的吸嘴83的上方移動。從而，Z軸驅(qū)動組件62可通過使移動部件85在鉛直軸方向(Z方向)上往返移動，進行吸嘴83的切換動作。另一方面，吸嘴83的按下動作基本可通過在按下行程STl的范圍內(nèi)沿著引導(dǎo)槽Ca使滑塊851從任意高度下降而進行。該安裝頭8設(shè)定從吸嘴切換動作中的滑塊851的切換行程ST2向下方隔開間距ST3的按下行程ST1，滑塊851到達設(shè)定于該按下行程STl內(nèi)的按下開始位置P3時，吸嘴按壓部件86與吸嘴83的上端相抵接，開始按下吸嘴83。其理由如下。S卩，吸嘴83為吸附元件而下降后，在保持所吸附的元件的狀態(tài)下適當?shù)剡M行上升動作。此時，為使吸嘴83上升，吸嘴按壓部件86及移動部件85也向鉛直軸方向(Z方向)上方移動。然而，通過該移動部件85向上方的移動，滑塊851到達吸嘴83切換動作時的往返移動范圍時，有可能無意中進行吸嘴83的切換動作。為此，該安裝頭8設(shè)定從切換行程ST2向下方隔著間距ST3的按下行程ST1，在該按下行程STl內(nèi)設(shè)定按下開始位置P3，若使滑塊851上升至按下開始位置P3時，則可完成吸嘴83的上升。Z軸驅(qū)動組件62使移動部件85從滑塊851位于吸嘴83的切換動作時的切換行程ST2的下方且吸嘴按下開始位置P3的上方的狀態(tài)開始下降，進行吸嘴83的按下動作。進而，在該實施方式中，Z軸驅(qū)動組件62將吸嘴按壓部件86保持于8個吸嘴83的鉛直軸方向上側(cè)(+Z方向)區(qū)間內(nèi)地進行切換動作，另一方面使吸嘴按壓部件86從該區(qū)間的鉛直軸方向下方(-Z方向)下降至吸嘴83，進行按下動作。由此，吸嘴83的切換動作在將吸嘴按壓部件86維持于8個吸嘴83的鉛直軸方向上側(cè)(+Z方向)區(qū)間內(nèi)的狀態(tài)下，無需由吸嘴按壓部件86按下吸嘴即可進行。從而，無需進行不必要的吸嘴83的按下動作，可以適當?shù)貎H進行吸嘴83的切換動作。因此，可以防止在進行吸嘴83的切換動作時，無意中降下吸嘴83對周圍其他部件造成干涉等不便。如上所述，在本實施方式所涉及的元件安裝裝置1中，8個吸嘴83圍繞鉛直軸(Z軸)排列，并且在8個吸嘴的上方設(shè)有與在鉛直軸(Z軸)方向上移動自如地設(shè)置的移動部件85成一體地移動的吸嘴按壓部件86。該吸嘴按壓部件86從8個吸嘴83的上方從分別與8個吸嘴83相對應(yīng)地圍繞著鉛直軸(Z軸)排列的8個吸嘴上方位置中的一個位置下降，將與該吸嘴上方位置相對應(yīng)的吸嘴83按下。具體而言，在鉛直軸方向(Z方向)上驅(qū)動移動部件85的Z軸驅(qū)動組件62，通過使移動部件85向鉛直軸下方(-Z方向)移動，使吸嘴按壓部件86從吸嘴上方位置下降至與該吸嘴上方位置相對應(yīng)的吸嘴83處，進行按下該吸嘴83的按下動作。另外，在該元件安裝裝置1中設(shè)有引導(dǎo)在鉛直軸方向(Z方向)上往返移動的移動部件85使其繞鉛直軸(Z軸)轉(zhuǎn)動引導(dǎo)部件84。從而，Z軸驅(qū)動組件62可通過使移動部件85進行往返移動，使吸嘴按壓部件86隨著移動部件85發(fā)生轉(zhuǎn)動，進行在各吸嘴上方位置之間移動的切換動作。換言之，該元件安裝裝置1中，可僅通過使移動部件85在鉛直軸(Z軸)方向上往返移動，使吸嘴按壓部件86在各吸嘴上方位置之間移動，選擇性地切換下降的吸嘴83。從而，作為切換下降吸嘴83所需的Z軸驅(qū)動組件62，其驅(qū)動力能使該移動部件85往返移動即可，故可小型化。此外，該元件安裝裝置1只需在鉛直軸(Z軸)方向上驅(qū)動移動部件85 (及吸嘴按壓部件86)，即可進行吸嘴83的下降動作和切換動作兩種動作。從而，該驅(qū)動組件只需能在鉛直軸方向(Z方向)上驅(qū)動移動部件85即可，可使該驅(qū)動組件小型化。此外，在上述實施方式中，各安裝頭8的8個吸嘴83支承在軸體81上，軸體81伴隨8個吸嘴83、移動部件85和吸嘴按壓部件86繞鉛直軸(Z軸)轉(zhuǎn)動自如。采用這樣的結(jié)構(gòu)，軸體81可伴隨8個吸嘴83轉(zhuǎn)動。而且，軸體81除吸嘴83外還伴隨移動部件85和吸嘴按壓部件86轉(zhuǎn)動。從而，不會因吸嘴83的轉(zhuǎn)動，而使吸嘴83與吸嘴按壓部件86的相對位置關(guān)系發(fā)生變化。因此，驅(qū)動吸嘴按壓部件86的Z軸驅(qū)動組件62無需考慮伴隨轉(zhuǎn)動的吸嘴83的位移，可使吸嘴按壓部件86合適地向與下降吸嘴83相對應(yīng)的吸嘴上方位置移動，可謀求Z軸驅(qū)動組件的結(jié)構(gòu)簡化。此外，上述實施方式的元件安裝裝置1還包括驅(qū)動軸體81繞鉛直軸(Z軸)轉(zhuǎn)動的R軸驅(qū)動組件63。采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于Z軸驅(qū)動組件62和R軸驅(qū)動組件63可以分別獨立地進行驅(qū)動，可以并行地進行Z軸驅(qū)動組件62驅(qū)動下的吸嘴83的切換、按下動作和R軸驅(qū)動組件驅(qū)動下的吸嘴83的轉(zhuǎn)動動作，從而改善作業(yè)效率。此外，Z軸驅(qū)動組件包括，沿鉛直軸方向(Z方向)延伸的滾珠絲杠621，對該滾珠絲杠621進行轉(zhuǎn)動驅(qū)動的Z軸電動機622，以及螺合于滾珠絲杠621并通過球軸承88對移動部件85予以支承的可動部件623(支承部件)。由此，可以簡單低價的結(jié)構(gòu)使移動部件85在鉛直軸方向(Z方向)上往返移動。此外，在上述實施方式中，較為理想的是，用相對于由引導(dǎo)槽Ca和連接槽Cb形成的引導(dǎo)部件84，使具有嵌入上述槽Ca、Cb的滑塊851的移動部件85往返移動的簡單低價的結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)進行往返移動的移動部件85繞鉛直軸(Z軸)的轉(zhuǎn)動。如上所述，在本實施方式中，8個吸嘴83相當于本發(fā)明的“多個吸嘴”，吸嘴按壓部件86相當于本發(fā)明的“吸嘴按壓部件”，移動部件85和連桿部件87相當于本發(fā)明的“移動體”，引導(dǎo)部件84、軸體81和吸嘴座82相當于本發(fā)明的“引導(dǎo)體”，Z軸驅(qū)動組件62相當于本發(fā)明的“移動體驅(qū)動組件”，R軸驅(qū)動組件相當于本發(fā)明的“引導(dǎo)體驅(qū)動組件”，安裝頭8相當于本發(fā)明的“安裝頭”，引導(dǎo)部件84相當于本發(fā)明的“引導(dǎo)部件”，引導(dǎo)槽Ca相當于本發(fā)明的“引導(dǎo)通路”，連接槽Cb相當于本發(fā)明的“連接通路”，移動部件85相當于本發(fā)明的“移動部件”，滑塊851相當于本發(fā)明的“滑塊”。此外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，只要不脫離其主旨，能夠進行上述之外的各種變形。例如，在上述實施方式中，移動部件85只要進行一次鉛直軸方向(Z方向)的往返動作，吸嘴按壓部件86就從一吸嘴上方位置向與其鄰接的另一吸嘴上方位置移動。然而，也可進行2次或2次以上的移動部件85的往返動作，吸嘴按壓部件86才從一吸嘴上方位置向與之鄰接的另一吸嘴上方位置移動。此外，雖然上述實施方式中，移動部件85中設(shè)有兩個滑塊851，但移動部件85中設(shè)置的滑塊851的數(shù)量并不局限于此。此外，在上述實施方式中，由“引導(dǎo)槽”和“銷”構(gòu)成本發(fā)明所涉及的“引導(dǎo)通路”和“滑塊”。然而，也可由凸形狀的“突條”構(gòu)成“引導(dǎo)通路”，并用與該“突條”相卡合的凹形狀的槽形成的“引導(dǎo)體”或“滾軸”構(gòu)成“滑塊”。此外，在上述實施方式中，將本發(fā)明所涉及的“引導(dǎo)通路”設(shè)置于引導(dǎo)部件84中，且將本發(fā)明所涉及的“滑塊”設(shè)置于移動部件85中。然而，也可將上述關(guān)系逆轉(zhuǎn)，即，可將“引導(dǎo)通路”設(shè)置于移動部件85中，且將“滑塊”設(shè)置于引導(dǎo)部件84中。此外，在上述實施方式中，滑塊851從下方向上方在引導(dǎo)槽Ca中移動，從引導(dǎo)槽Ca的中途沿著連接槽Cb向斜上方移動，移動至與該引導(dǎo)槽Ca相鄰接的引導(dǎo)槽Ca的上部側(cè)。然而，也可使滑塊851從上方向下方在引導(dǎo)槽Ca中移動，從引導(dǎo)槽Ca的中途沿著連接槽Cb向斜下方移動，移動至與該引導(dǎo)槽Ca相鄰接的引導(dǎo)槽Ca的下部側(cè)。此外，在上述實施方式中，引導(dǎo)槽Ca在鉛直軸方向(Z方向)上形成為直線狀。然而，引導(dǎo)槽Ca的形狀并不局限于此，還可適當?shù)夭捎没驈澢蛏咝行螤畹榷喾N形狀。此外，連接槽Cb的形狀也不局限于上述情形，可做適當變化。此外，在上述實施方式中，吸嘴上方位置設(shè)置在對應(yīng)的吸嘴83的鉛直軸方向(Z方向)的正上方，吸嘴按壓部件86在鉛直軸方向(Z方向)上平行地從吸嘴上方位置下降至吸嘴83，按下該吸嘴83。然而，吸嘴上方位置也可位于對應(yīng)的吸嘴83的鉛直軸方向(Z方向)的斜上方，吸嘴按壓部件86相對于鉛直軸方向(Z方向)傾斜地從吸嘴上方位置下降至吸嘴83，按下該吸嘴83。此外，引導(dǎo)部件84和移動部件85的結(jié)構(gòu)也可有各種變形，例如可以采用圖9所示的結(jié)構(gòu)。參照圖9，在該變形例中，引導(dǎo)部件84包括第1棘輪引導(dǎo)體841和第2棘輪引導(dǎo)體842。第1棘輪引導(dǎo)體841具有與軸體81同心設(shè)置的中空的大致圓筒形狀，其底面等齒距(pitch)地排列有多個第1棘輪齒841a。第1棘輪齒841a的齒數(shù)與吸嘴83的數(shù)量相對應(yīng)，例如設(shè)為8個。第1棘輪齒841a在R方向上，形成正轉(zhuǎn)側(cè)(+R) (R方向的正轉(zhuǎn)、逆轉(zhuǎn)，在本實施方式中，與圖6等的結(jié)構(gòu)相反)具有鉛直端面841b的鋸齒狀。在本實施方式中，該端面841b的高度規(guī)定了按下行程STl (參照圖11)。第1棘輪引導(dǎo)體841中沿一直徑方向形成有貫穿孔841c，并且在軸體81中沿一直徑方向形成有與該貫穿孔841c同徑的貫穿孔81c。然后，通過壓入上述貫穿孔841c、81c中的固定銷843，第1棘輪引導(dǎo)體841相對于軸體81以不能轉(zhuǎn)動也不能滑動的狀態(tài)同心固定。此外，第2棘輪引導(dǎo)體842具有大致圓筒形狀，同心地設(shè)置于第1棘輪引導(dǎo)體841與軸體81之間。第2棘輪引導(dǎo)體842的底面等齒距地排列有多個山形的第2棘輪齒842a。如圖10所示，第2棘輪齒84 的齒數(shù)設(shè)定為與第1棘輪齒841a相同。此外，以第1棘輪齒841a的任一端面841b為基準(θ = 0° )，以圖10的右轉(zhuǎn)方向為正，第1棘輪齒841a的相位角度的1/4為α °時，第1棘輪齒841a和第2棘輪齒84 設(shè)有+ α °的相位差。該第2棘輪引導(dǎo)體842中具有可穿插固定銷843的一對長孔842d(圖9中僅表示了一個)，安裝時，在該長孔842d中穿插固定銷843的狀態(tài)下連接軸體81。其結(jié)果，第2棘輪引導(dǎo)體842在R方向上，在相對于軸體81 (以及第1棘輪引導(dǎo)體841)的移動受到限制的狀態(tài)下，在Z軸方向上，可以相對于軸體81(以及第1棘輪引導(dǎo)體841)移動由長孔842d規(guī)定的行程。因此，第2棘輪引導(dǎo)體842可在下降至第1棘輪齒841a下方的按下位置Pll和上浮至第1棘輪齒841a上方的退避位置P12之間移位(參照圖11及圖12)。此外，在該行程范圍中，自按下位置Pll到包含按下行程STl的范圍內(nèi)，設(shè)定切換吸嘴的切換行程ST2。即，在本實施方式中，后述滑塊85a嚙合第1棘輪齒841a的范圍規(guī)定著按下行程STl，且到包含該按下行程STl的按下位置Pll為止的范圍設(shè)定著切換行程ST2。此外，移動部件85呈與軸體81同心設(shè)置的大致圓筒形狀，其上表面具有作為棘爪的一對滑塊85a。各滑塊8 在頂部具有可與第1棘輪齒841a和第2棘輪齒84 相嚙合的齒面，按相互繞移動部件85的中心軸錯開180°的位置設(shè)置。如圖10所示，第1棘輪齒841a的相位角度的1/4為α °時，滑塊8 的相位角度例如設(shè)定為2 α °。此外，滑塊85a的徑向尺寸設(shè)定為能與第1、第2棘輪齒841184 雙方相嚙合的尺寸。第1棘輪引導(dǎo)體841使其第1棘輪齒841a面對位于鉛直軸下方(_Z方向)的移動部件85的滑塊85a。第2棘輪引導(dǎo)體842從鉛直軸方向(Z方向)嵌入第1棘輪引導(dǎo)體841的中空部，使其第2棘輪齒84 面對位于鉛直軸下方(-Z方向)的移動部件85的滑塊85a。另一方面，移動部件85的滑塊8 可通過升降與第1棘輪齒841a及第2棘輪齒84 相抵接。與圖5的結(jié)構(gòu)同樣地，移動部件85根據(jù)與Z軸驅(qū)動組件62同樣的原理，在允許相對于軸體81在上下方向和圓周方向上相對移動的狀態(tài)下，與軸體81相連。雖然具體未圖示，第2棘輪引導(dǎo)體842通常通過螺旋彈簧(coiled spring)等彈簧部件或彈性體向移動部件85側(cè)施力。因此，若移動部件85上下升降，則第2棘輪引導(dǎo)體842在長孔842d允許的行程范圍內(nèi)追隨移動部件85，成一體地升降。另一方面，第2棘輪引導(dǎo)體842由長孔842d和銷843限制相對于軸81的轉(zhuǎn)動，而移動部件85則可相對于軸81相對轉(zhuǎn)動。因此，如下所述，移動部件85在按下行程STl中滑塊8 與第1棘輪齒841a相嚙合的范圍內(nèi)，保持同一相位升降。另一方面，移動部件85下降至按下行程STl以外，第1棘輪齒841a和滑塊8 的嚙合脫開的范圍內(nèi)，升降的過程中滑塊8 被傳遞給第2棘輪齒842a，從一端面841b被送往與該一端面841b相鄰接的另一端面841b，從而可以變更相位。就此，用圖11和圖12進行說明。首先，參照圖11，按下動作時，位于按下行程STl的上死點時，滑塊85a上升至一與第1棘輪齒841a完全深度嚙合的位置，第2棘輪842被推向退避位置一側(cè)。在該狀態(tài)1下，移動部件85由于轉(zhuǎn)動受到第1棘輪引導(dǎo)體841的限制，即便第2棘輪引導(dǎo)體842通過彈性體對移動部件85施力，移動部件85也不能向與第2棘輪引導(dǎo)體842完全嚙合的相位移位。因此，第2棘輪引導(dǎo)體842的第2棘輪齒84 在不完全的狀態(tài)下與滑塊8 局部相抵接(不完全嚙合)。此外，按下行程STl的下死點由于設(shè)定在滑塊8 和一第1棘輪齒841a維持嚙合的范圍內(nèi)，即便在移動部件85下降至該按下行程STl的下死點的狀態(tài)2，移動部件85的相位也可維持于相同的位置。因此，與移動部件85相連接的未圖示的吸嘴按壓部件可以按下設(shè)置在與圖示的一第1棘輪齒841a相對應(yīng)的吸嘴設(shè)置位置上的吸嘴。
下面，參照圖12，在需要切換動作時，移動部件85從圖11的狀態(tài)2的位置下降至更下方。因此，移動部件85的滑塊8 脫離第1棘輪引導(dǎo)體841，進而完全向下方脫離第1棘輪齒841a(狀態(tài)幻。此外，由未圖示的彈性部件按壓移動部件85的第2棘輪引導(dǎo)體842由于追隨該移動部件85的下降而下降，第2棘輪齒84 通過與圓周方向移動自如的滑塊8 相嚙合，向正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))送出滑塊8 并與滑塊8 完全嚙合(狀態(tài)3)。由此，移動部件85向正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))轉(zhuǎn)動，相對于第1棘輪引導(dǎo)部841向本圖左側(cè)稍加偏移。接著，從該狀態(tài)開始，若移動部件85和第2棘輪引導(dǎo)體841上升，則滑塊8 抵接相對于一第1棘輪齒841a在正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))鄰接的另一第1棘輪齒841a (狀態(tài)4)，并且接受該另一第1棘輪齒841a的引導(dǎo)，進一步向正轉(zhuǎn)側(cè)(+R側(cè))轉(zhuǎn)動，進而移位至與該另一第1棘輪齒841a完全深度嚙合的位置(狀態(tài)幻。這樣，可使向鉛直軸方向(Z方向)往返移動的移動部件85繞鉛直軸(Z軸)轉(zhuǎn)動第1棘輪齒841a的1個齒距。即使在該變形例中，作為切換下降吸嘴83所需的驅(qū)動組件62，其驅(qū)動力能使移動部件85往返移動即可，故可使驅(qū)動組件62小型化。此外，由于只需在鉛直軸方向(Z方向)上驅(qū)動移動部件85 (及吸嘴按壓部件86)即可進行吸嘴83的下降動作和切換動作兩種動作，驅(qū)動組件62只需能在鉛直軸方向(Z方向)上驅(qū)動移動部件85即可，可使驅(qū)動組件62小型化。如上所述，本實施方式包括中心線VA沿鉛直軸(Z軸)的軸體81 ；設(shè)置在圍繞軸體81設(shè)定的多個吸嘴設(shè)置位置上且分別相對于該軸體81升降自如的多個吸嘴83 ；與軸體81相連接，并且位于設(shè)置在吸嘴設(shè)置位置上的多個吸嘴83中的任一個上方、按下該吸嘴83的吸嘴按壓部件86 ；在為按下吸嘴83而設(shè)定的作為第1行程范圍的按下行程STl和為切換所按壓的吸嘴而設(shè)定的作為第2行程范圍的切換行程ST2內(nèi)，驅(qū)動吸嘴按壓部件86使吸嘴按壓部件86相對于軸體81升降的Z軸驅(qū)動組件62 ；以及分別設(shè)于吸嘴按壓部件86和軸體81、連接吸嘴按壓部件86和軸體81的連接組件(引導(dǎo)部件84及移動部件85)，其使吸嘴按壓部件86在按下行程STl內(nèi)，進行吸嘴按壓部件86按下設(shè)置在多個吸嘴設(shè)置位置中任一個位置的吸嘴83的按下動作，在切換行程ST2內(nèi)，通過使吸嘴按壓部件86從升降運動變換為在該軸體81的圓周方向上移動的運動而使吸嘴按壓部件86在該軸體81的圓周方向上移動，進行切換作為按下動作的對象的吸嘴83的切換動作。因此本實施方式中，可利用Z軸驅(qū)動組件62的上下方向的驅(qū)動力，實現(xiàn)按下動作和切換動作兩者，有利于裝置的簡單化、小型化。此外，在優(yōu)選的實施方式中，連接組件包括固定在軸芯體81上、底面上具有向圍繞該軸體81的一方向傾斜的第1棘輪齒841a的第1棘輪引導(dǎo)體841 ；與第1棘輪引導(dǎo)體841同心地設(shè)置在軸體81上，且僅在沿軸體81的中心線VA的方向上可相對于第1棘輪引導(dǎo)體841往返移動地與軸體81相連，并在底面上具有與第1棘輪齒841a向同一方向傾斜且具有與第1棘輪齒841a的規(guī)定相位差(+α)的第2棘輪齒84 的第2棘輪引導(dǎo)體842 ；與吸嘴按壓部件86—體設(shè)置的作為爪部件的移動部件85，其具有作為可與第1及第2棘輪引導(dǎo)體842的兩棘輪齒相嚙合的棘爪的滑塊85a ；以及通常向棘輪引導(dǎo)體側(cè)對滑塊8 施力的施力組件。從而，可通過結(jié)構(gòu)簡單的棘輪機構(gòu)，利用Z軸驅(qū)動組件62的上下方向的驅(qū)動力，實現(xiàn)按下動作和切換動作兩者，有利于裝置的簡單化、小型化。此外，上述實施方式中，在水平方向(X方向)上直線地排列安裝頭8。然而，安裝頭8的排列方式并不局限于此，例如還可在水平方向(X方向)上排列成千鳥格狀。此外，上述實施方式中，雖未對控制Z軸驅(qū)動組件62和R軸驅(qū)動組件63的控制機構(gòu)進行特別說明，但該控制機構(gòu)可通過例如元件安裝裝置1內(nèi)置的電氣結(jié)構(gòu)等予以實現(xiàn)。此外，頭部單元6所包含的安裝頭8的數(shù)量、安轉(zhuǎn)用頭部8所包含的吸嘴83的數(shù)量等其他結(jié)構(gòu)也可適當?shù)剡M行各種變化。
權(quán)利要求
1.一種元件安裝裝置，其特征在于包括多個吸嘴，繞鉛直軸排列且分別升降自如；吸嘴按壓部件，從所述多個吸嘴的上方的分別對應(yīng)于所述多個吸嘴而繞所述鉛直軸排列的多個吸嘴上方位置中的任一個位置下降，按下對應(yīng)于該吸嘴上方位置的所述吸嘴；移動體，與所述吸嘴按壓部件成一體地在所述鉛直軸方向上移動自如地設(shè)置；引導(dǎo)體，引導(dǎo)在所述鉛直軸方向上往返移動的所述移動體而使其繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動；以及移動體驅(qū)動組件，在所述鉛直軸方向上驅(qū)動所述移動體；其中所述移動體驅(qū)動組件，通過使所述移動體向所述鉛直軸下方移動，執(zhí)行使所述吸嘴按壓部件從所述吸嘴上方位置下降至與該吸嘴上方位置相對應(yīng)的所述吸嘴處并按下該吸嘴的按下動作；通過使所述移動體進行所述往返移動，執(zhí)行將所述移動體引導(dǎo)至所述引導(dǎo)體并使所述移動體圍繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動，且使所述吸嘴按壓部件隨著所述移動體繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動，從而進行在所述各吸嘴上方位置之間移動的切換動作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于所述移動體驅(qū)動組件，將所述吸嘴按壓部件保持于所述多個吸嘴的所述鉛直軸方向上側(cè)區(qū)間而進行所述切換動作，另一方面，使所述吸嘴按壓部件從該區(qū)間的所述鉛直軸方向下方下降至所述吸嘴，而進行所述按下動作。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于所述多個吸嘴由所述引導(dǎo)體支承，所述引導(dǎo)體伴隨所述多個吸嘴、所述移動體和所述吸嘴按壓部件繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動自如。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件安裝裝置，其特征在于還包括驅(qū)動所述弓I導(dǎo)體繞所述鉛直軸轉(zhuǎn)動的弓I導(dǎo)體驅(qū)動組件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的元件安裝裝置，其特征在于所述多個吸嘴、所述吸嘴按壓部件、所述移動體及所述引導(dǎo)體構(gòu)成安裝頭，所述安裝頭為多個，它們沿水平方向排成一列，所述移動體驅(qū)動組件和所述引導(dǎo)體驅(qū)動組件對應(yīng)于所述多個安裝頭而分別設(shè)置，所述多個移動體驅(qū)動組件在所述水平方向上排成一列且所述多個引導(dǎo)體驅(qū)動組件在所述水平方向上排成一列，并且所述多個移動體驅(qū)動組件的列和所述多個引導(dǎo)體驅(qū)動組件的列從所述鉛直軸方向上觀察相互并列地設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于所述移動體驅(qū)動組件包括，沿所述鉛直軸方向延伸的滾珠絲杠、對該滾珠絲杠進行轉(zhuǎn)動驅(qū)動的電動機、以及螺合于所述滾珠絲杠并支承所述移動體的支承部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的元件安裝裝置，其特征在于所述引導(dǎo)體具有引導(dǎo)部件，所述引導(dǎo)部件為中心軸與所述鉛直軸同心的圓筒形，所述引導(dǎo)部件的周面上形成有引導(dǎo)通路和連接通路，所述引導(dǎo)通路分別對應(yīng)于所述多個吸嘴上方位置而設(shè)置且沿所述鉛直軸方向為其長度方向，所述連接通路連接繞鉛直軸鄰接的兩條引導(dǎo)通路；所述移動體具有移動部件，所述移動部件形成有中心軸與所述鉛直軸同心且呈圓筒形狀的中空部，在該中空部中嵌入所述引導(dǎo)部件的狀態(tài)下相對于所述引導(dǎo)部件在所述鉛直軸方向上移動自如，且所述移動部件的內(nèi)壁上設(shè)有沿著所述引導(dǎo)通路及所述連接通路移動的滑塊；所述移動體的往返移動中，在所述移動體向鉛直軸方向的一側(cè)移動的去程中，所述滑塊沿著一所述引導(dǎo)通路移動至所述連接通路或經(jīng)過該連接通路的位置上，另一方面，在所述移動體向鉛直軸方向的另一側(cè)移動的回程中，所述滑塊從一所述引導(dǎo)通路上分支到所述連接通路，向與一所述弓I導(dǎo)通路相鄰接的另一所述弓I導(dǎo)通路移動。
8.—種元件安裝裝置，其特征在于包括軸芯體，其中心線沿鉛直軸延伸；多個吸嘴，設(shè)置在圍繞所述軸芯體設(shè)定的多個吸嘴設(shè)置位置且分別相對于該軸芯體升降自如；吸嘴按壓部件，與所述軸芯體相連接，且位于設(shè)置在所述吸嘴設(shè)置位置的多個吸嘴中任一個吸嘴的上方從而按下該吸嘴；吸嘴按壓部件驅(qū)動組件，在用于按下所述吸嘴而設(shè)定的第1行程范圍和用于切換所按壓的所述吸嘴而設(shè)定的第2行程范圍內(nèi)，驅(qū)動所述吸嘴按壓部件而使所述吸嘴按壓部件相對于所述軸芯體升降；以及連接組件，分別設(shè)于所述吸嘴按壓部件和所述軸芯體，用于連接所述吸嘴按壓部件和所述軸芯體，所述連接組件使所述吸嘴按壓部件在所述第1行程范圍內(nèi)，進行所述吸嘴按壓部件按下設(shè)置在所述多個吸嘴設(shè)置位置中任一個位置的吸嘴的按下動作，在所述第2行程范圍內(nèi)，通過使所述吸嘴按壓部件從升降運動變換為在該軸芯體圓周方向上移動的運動而使所述吸嘴按壓部件在該軸芯體的圓周方向上移動，從而進行切換作為所述按下動作的對象的吸嘴的切換動作。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的元件安裝裝置，其特征在于，所述連接組件包括第1棘輪引導(dǎo)體，固定于所述軸芯體、底面上具有向繞該軸芯體的一方向傾斜的第1棘輪齒；第2棘輪引導(dǎo)體，與所述第1棘輪引導(dǎo)體同心地設(shè)置于所述軸芯體，且僅在沿所述軸芯體中心線的方向上能夠相對于所述第1棘輪引導(dǎo)體往返移動地與所述軸芯體相連，并在底面上具有與所述第1棘輪齒向同一方向傾斜且具有規(guī)定相位差的第2棘輪齒；爪部件，與所述吸嘴按壓部件一體設(shè)置，具有能夠與所述第1及第2棘輪引導(dǎo)體的兩棘輪齒相嚙合的棘爪；以及施力組件，向棘輪引導(dǎo)體側(cè)對所述爪部件的棘爪施力。
全文摘要
本發(fā)明提供一種元件安裝裝置，僅通過使吸嘴按壓部件(86)在鉛直軸(Z軸)方向上往返移動，使吸嘴按壓部件(86)在設(shè)置于軸芯體(81)周圍的多個吸嘴設(shè)置位置之間移動，選擇性地切換使之下降的吸嘴(83)。由此，作為切換下降吸嘴(83)所需的驅(qū)動組件，其驅(qū)動力能使該移動部件(85)往返移動即可，故可使驅(qū)動組件小型化。進而，僅通過在鉛直軸(Z軸)方向上驅(qū)動吸嘴按壓部件(86)，實現(xiàn)吸嘴(83)的下降動作和切換動作兩個動作，謀求驅(qū)動組件的小型化。
文檔編號H05K13/04GK102387698SQ201110264109
公開日2012年3月21日 申請日期2011年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月1日
發(fā)明者稻垣重義 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社