專利名稱：有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法、以及有機(jī)顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法、以及有機(jī)顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來，開展了利用有機(jī)材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的顯示裝置的研究和開發(fā)。在該示裝置中，各像素部構(gòu)成為具有陽電極和陰電極、以及介于該陽電極和陰電極之間的有機(jī)發(fā)光層。于是，在顯示裝置的驅(qū)動(dòng)中，從陽電極注入空穴，從陰電極注入電子，在有機(jī)發(fā)光層內(nèi)通過空穴與電子復(fù)合來進(jìn)行發(fā)光。相鄰的像素部的有機(jī)發(fā)光層彼此之間通過由絕緣材料構(gòu)成的隔壁(提)來區(qū)劃。 對于有機(jī)發(fā)光層的形成，例如，通過按由隔壁區(qū)劃的各區(qū)域滴下含有有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，由此來形成有機(jī)發(fā)光層。但是，如上所述形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚存在難以做得均勻的問題。于是，為了使有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻，例如專利文獻(xiàn)1中記載了如下技術(shù)在隔壁的面部設(shè)置凸?fàn)畈?，由此控制對于隔壁的面部的墨的鎖住(pinning)位置。即，通過采用專利文獻(xiàn)1中提出的技術(shù)，能夠?qū)⒁粋€(gè)像素部中的滴下墨時(shí)的鎖住位置鎖住在形成于面部的凸?fàn)畈浚纱四軌虼_保某種程度的膜厚均勻性。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-311235號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題對于顯示裝置的有機(jī)發(fā)光面板，認(rèn)為采用由上述專利文獻(xiàn)1提出的技術(shù)，預(yù)先把握有機(jī)發(fā)光層膜厚的偏差，基于該偏差按區(qū)域、或者按隔壁的對應(yīng)面部而高精度地形成微細(xì)的凸?fàn)畈渴潜容^困難的。因此，在有機(jī)發(fā)光面板的區(qū)域整體中，不容易使有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻。本發(fā)明是為了謀求解決上述問題而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種謀求面板整個(gè)面的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻化、面內(nèi)的輝度(brightness)不均少的顯示裝置及其制
造方法。用于解決問題的手段因此，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的特征在于采用如下結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板包括第一像素部、第二像素部、非像素部、
第一隔壁以及第二隔壁。第一像素部具有依次排列了發(fā)光色各不相同的第一發(fā)光部、第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部的多個(gè)發(fā)光部，所述第一發(fā)光部位于一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第二發(fā)光部位于中央側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第三發(fā)光部位于另一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，各發(fā)光部具備包含第一電極的基底層、與基底層相對設(shè)置的按發(fā)光色涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層而設(shè)置在與基底層相反的一側(cè)的第二電極、以及與基底層相對設(shè)置的區(qū)劃多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。第二像素部與第一像素部不同，具有依次排列了發(fā)光色各不相同的第一發(fā)光部、 第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部的多個(gè)發(fā)光部，所述第一發(fā)光部位于一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第二發(fā)光部位于中央側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第三發(fā)光部位于另一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨， 各發(fā)光部具備包含第一電極的基底層、與基底層相對設(shè)置的按發(fā)光色涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層而設(shè)置在與基底層相反的一側(cè)的第二電極、以及與基底層相對設(shè)置的區(qū)劃多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。非像素部設(shè)于第一像素部與第二像素部之間，不具備有機(jī)發(fā)光層，具備第二電極和含有與第一電極分離的相同材料構(gòu)成的第三電極，第二電極和第三電極電連接。第一隔壁配設(shè)在第一像素部與非像素部之間，區(qū)劃第一像素部的第三發(fā)光部和非像素部，與上述第一像素部和上述第二像素部各自的多個(gè)隔壁不同。第二隔壁配設(shè)在第二像素部與非像素部之間，區(qū)劃第二像素部的第一發(fā)光部和非像素部，與上述第一像素部和上述第二像素部各自的多個(gè)隔壁不同。在上述結(jié)構(gòu)中特征在于，第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。發(fā)明的效果在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，由于采用第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，所以能夠使對于第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部涂敷了用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的鎖住位置高于面向該第三發(fā)光部的另一隔壁的部分的鎖住位置。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，針對由于涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的蒸汽濃度的分布而存在第一像素部的第三發(fā)光部的第一隔壁側(cè)部分的膜厚要變厚的傾向，如上所述，通過增高鎖住位置，能夠抑制第一像素部的第三發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，由于還一并采用第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，所以能夠使對于第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部涂敷了用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的鎖住位置高于面向該第一發(fā)光部中的另一隔壁的部分的鎖住位置。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，針對由于涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的蒸汽濃度的分布而存在第二像素部的第一發(fā)光部的第二隔壁側(cè)部分的膜厚要變厚的傾向，如上所述，通過增高鎖住位置，也能夠抑制第二像素部的第一發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。在第一像素部的第三發(fā)光部與第二像素部的第一發(fā)光部之間存在非像素部的結(jié)構(gòu)的情況下，在非像素部不涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨。因此，在第一像素部的第三發(fā)光部的第一隔壁側(cè)和第二像素部的第一發(fā)光部的第二隔壁側(cè)，由于存在不涂敷墨的非像素部，蒸汽濃度相對變低，由此存在有機(jī)發(fā)光層的膜厚在該部分要變厚的傾向。在本發(fā)明的一種方式中，針對這種傾向，通過以如上所述的關(guān)系設(shè)定隔壁的面部的傾斜角度，能夠抑制第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，由于采用第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度小于面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度，另外，第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度小于面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，所以能夠防止在非像素部的第一隔壁和第二隔壁的邊界部分產(chǎn)生第二電極的層斷和/或泄露電流。即，在第一隔壁和第二隔壁，使面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度比面向第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部各側(cè)的面部的傾斜角度相對小，因此，能夠防止在這些隔壁的上部也連續(xù)形成的第二電極產(chǎn)生層斷和/或泄流電流，能夠謀求第二電極和第三電極之間的切實(shí)的電連接。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，能夠防止夾著非像素部的第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部這兩者中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差， 能得到良好的發(fā)光特性。


圖1是表示實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示裝置1的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是表示顯示面板10中的一部分子像素100的示意剖視圖。圖3是表示顯示面板10中的提105的示意俯視圖。圖4是表示顯示面板10的像素部100a、100b的子像素IOOal 100a3、IOObl和非像素部IOOc及提10 105f的結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。圖5的(a)是表示提側(cè)面部的錐角小時(shí)的鎖住位置的示意剖視圖，圖5的(b)是表示提側(cè)面部的錐角大時(shí)的鎖住位置的示意剖視圖，圖5的(c)是表示提側(cè)面部的錐角小時(shí)的干燥后的有機(jī)發(fā)光層的狀態(tài)的示意剖視圖，圖5的(d)是表示提側(cè)面部的錐角大時(shí)的干燥后的有機(jī)發(fā)光層的狀態(tài)的示意剖視圖。圖6是匯總表示提的面部的傾斜角度(錐角)θ與鎖住位置的高度H及有機(jī)發(fā)光層的膜厚T的關(guān)系的圖。圖7是表示樣品1 3的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的圖。圖8是表示樣品4、5的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的圖。圖9的(a) (c)是依次表示顯示面板10的制造方法的主要工序的示意剖視圖。圖10的(a)、(b)是依次示出顯示面板10的制造方法的主要工序的示意剖視圖。圖11是表示顯示面板10的制造方法中的墨涂敷工序的示意剖視圖。圖12是表示變形例1涉及的制造方法中的主要工序的示意剖視圖。圖13的(a)、(b)是依次示出變形例2涉及的制造方法中的主要工序的示意剖視圖。圖14的(a)、(b)是依次示出變形例2涉及的制造方法中的主要工序的示意剖視圖。圖15的(a)是表示曝光、顯影處理和提的錐角的關(guān)系的圖，圖15的(b)是表示所形成的提的形狀的AFM(原子力顯微鏡圖)。圖16的(a)、(b)是用于說明錐角的定義的示意剖視圖。圖17是用于說明顯示面板10的區(qū)域10al、10a2、10b的示意俯視圖。
圖18是表示包括有機(jī)顯示裝置1的設(shè)備的外觀的一個(gè)例子的外觀立體圖。圖19是表示變形例3涉及的顯示面板80具備的提805的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。圖20是表示顯示面板中的像素部90a、90b的各子像素的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的偏差狀態(tài)的示意剖視圖。圖21的(a) (C)是表示形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)的蒸汽濃度分布和墨干燥工序中的膜形狀的偏差狀態(tài)的示意剖視圖。標(biāo)號說明1 顯示裝置10、80 顯示面板IOal 發(fā)光中央?yún)^(qū)域10a2:發(fā)光周邊區(qū)域IOb 虛設(shè)區(qū)域20 驅(qū)動(dòng)控制部21 24:驅(qū)動(dòng)電路25:控制電路100a、100b 像素部IOOal 100a3、IOObl 子像素IOOc 非像素部101 基板102:陽電極103、303 電極覆蓋層104 空穴注入層105、105a 105f、105x、105y、605、705、805 提106、106x、106y 有機(jī)發(fā)光層107:電子注入層108:陰電極109 封止層302 母線501 505 掩模1000a、1000b 像素預(yù)定區(qū)域IOOOal 1000a2、IOOObl 子像素預(yù)定區(qū)域IOOOc 非像素預(yù)定區(qū)域1050、1051b、1051c、1051d、1051e、1051f 提材料層1060al 1060a3、1060bl、1060x、1060y 墨
具體實(shí)施例方式[本發(fā)明的一種方式的概要]本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板包括第一像素部、第二像素部、非像素部、
第一隔壁以及第二隔壁。
第一像素部具有依次排列了發(fā)光色互不相同的第一發(fā)光部、第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部的多個(gè)發(fā)光部，所述第一發(fā)光部位于一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第二發(fā)光部位于中央側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第三發(fā)光部位于另一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，各發(fā)光部具備包含第一電極的基底層、與基底層相對設(shè)置的按發(fā)光色涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層而設(shè)置在與基底層相反的一側(cè)的第二電極、以及與基底層相對設(shè)置的區(qū)劃多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。第二像素部與第一像素部不同，具有依次排列了發(fā)光色互不相同的第一發(fā)光部、 第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部的多個(gè)發(fā)光部，所述第一發(fā)光部位于一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第二發(fā)光部位于中央側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第三發(fā)光部位于另一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨， 各發(fā)光部具備包含第一電極的基底層、與基底層相對設(shè)置的按發(fā)光色涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層而設(shè)置在與基底層相反的一側(cè)的第二電極、以及與基底層相對設(shè)置的區(qū)劃多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。非像素部設(shè)于第一像素部與第二像素部之間，不具備有機(jī)發(fā)光層，具備第二電極和含有與第一電極分離的相同材料構(gòu)成的第三電極，第二電極和第三電極電連接。第一隔壁配設(shè)在第一像素部與非像素部之間，區(qū)劃第一像素部的第三發(fā)光部和非像素部，與上述第一像素部和上述第二像素部各自的多個(gè)隔壁不同。第二隔壁配設(shè)在第二像素部與非像素部之間，區(qū)劃第二像素部的第一發(fā)光部和非像素部，與上述第一像素部和上述第二像素部各自的多個(gè)隔壁不同。在上述結(jié)構(gòu)中特征在于，第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，由于采用第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，所以能夠使對于第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部涂敷了用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的鎖住位置高于面向該第三發(fā)光部中的另一隔壁的部分的鎖住位置。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，針對由于涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的蒸汽濃度的分布而存在第一像素部的第三發(fā)光部的第一隔壁側(cè)部分的膜厚要變厚的傾向，如上所述，通過增高鎖住位置，能夠抑制第一像素部的第三發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，由于也一并采用第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，所以能夠使對于第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部涂敷了用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的鎖住位置高于面向該第一發(fā)光部中的另一隔壁的部分的鎖住位置。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，針對由于涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨時(shí)的蒸汽濃度的分布而存在第二像素部的第一發(fā)光部中的第二隔壁側(cè)部分的膜厚要變厚的傾向，如上所述，通過增高鎖住位置，也能夠抑制第二像素部的第一發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。此外，在第一像素部的第三發(fā)光部與第二像素部的第一發(fā)光部之間存在非像素部的結(jié)構(gòu)的情況下，在非像素部不涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨。因此，在第一像素部的第三發(fā)光部的第一隔壁側(cè)和第二像素部的第一發(fā)光部中的第二隔壁側(cè)，由于存在不涂敷墨的非像素部，蒸汽濃度相對變低，由此存在有機(jī)發(fā)光層的膜厚在該部分要變厚的傾向。在本發(fā)明的一種方式中，針對這種傾向，通過以如上所述的關(guān)系設(shè)定隔壁的面部的傾斜角度，能夠抑制第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，由于采用第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度小于面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度，另外，第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度小于面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，所以能夠防止在非像素部的第一隔壁和第二隔壁的邊界部分產(chǎn)生第二電極的層斷和/或泄流電流。即，在第一隔壁和第二隔壁，使面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度比面向第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部各側(cè)的面部的傾斜角度相對小，因此，能夠防止在這些隔壁的上部也連續(xù)形成的第二電極產(chǎn)生層斷和/或泄流電流，能夠謀求第二電極和第三電極之間的切實(shí)的電連接。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，能夠防止夾著非像素部的第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部這兩者中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差， 能得到良好的發(fā)光特性。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu) 第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于第一像素部的規(guī)定第三發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度，并且，第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于第二像素部的規(guī)定第一發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度。在采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠使對于第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的墨的鎖住位置高于對于第一像素部的規(guī)定第三發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的墨的鎖住位置，能夠防止由如上所述的涂敷墨時(shí)的蒸汽濃度的分布引起的第一像素部的第三發(fā)光部中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。另外，能夠使對于第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的墨的鎖住位置高于對于第二像素部的規(guī)定第一發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的墨的鎖住位置， 能夠防止由如上所述的涂敷墨時(shí)的蒸汽濃度的分布引起的第二像素部的第一發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。因而，在采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠防止第一像素部的第三發(fā)光部和第二像素部的第一發(fā)光部這兩者中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差，能得到良好的發(fā)光特性。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu) 在第一像素部和第二像素部各自中，規(guī)定第二發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度相等。在有機(jī)發(fā)光面板中，在第一像素部和第二像素部各自中，對于配置于各中央部的第二發(fā)光部，在兩側(cè)配置第一發(fā)光部和第三發(fā)光部，難以產(chǎn)生蒸汽濃度的偏差。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，通過采用在第一像素部和第二像素部各自中規(guī)定第二發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度彼此相等的結(jié)構(gòu)，能夠防止第一像素部和第二像素部各自的第二發(fā)光部中的膜厚的偏差。因而，在采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠防止在第一像素部和第二像素部各自的第二發(fā)光部中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差，能得到良好的發(fā)光特性。此外，上述的“相等”不是意味著在數(shù)值上完全相等，而是考慮了有機(jī)發(fā)光面板的制造中的尺寸誤差等。具體而言，意味著在面板的中央部和外周部，在實(shí)用上能夠允許各自所屬的子像素部的發(fā)光效率的差異(輝度不均)范圍內(nèi)，使傾斜角度相等。對此，以下也是相同的。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu) 第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度和第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度相等。由此，能夠?qū)⒎窍袼夭康牡谝桓舯诘姆窍袼夭總?cè)和第二隔壁的非像素部側(cè)這兩個(gè)邊界部分的第二電極的膜厚取為相同厚度，能夠更有效地抑制發(fā)生層斷和/或泄流電流的問題。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu) 在第一像素部和第二像素部各自中，第一發(fā)光部、第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部是通過同時(shí)涂敷與各發(fā)光色對應(yīng)的墨來形成有機(jī)發(fā)光層而成的。在采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，由于在像素部與像素部之間配置有非像素部，在各像素部的第一發(fā)光部的非像素部側(cè)和第三發(fā)光部的非像素部側(cè)存在有機(jī)發(fā)光層的膜厚要變厚的傾向。對此，如上所述，規(guī)定第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度和第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度，因此，能夠抑制第一像素部中的第三發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚和第二像素部中的第一發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的各偏差。因而，在采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，能在第一像素部和第二像素部的各發(fā)光部中防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差，能得到良好的發(fā)光特性。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，上述結(jié)構(gòu)中，“傾斜角度”可規(guī)定為隔壁的上述相對的各面部和形成有隔壁的基底層(第一電極或空穴注入層，進(jìn)一步，空穴注入輸送層與此相當(dāng))的上表面所成的角度。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示裝置的特征在于，包括上述任意一個(gè)本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板。因而，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示裝置具備上述本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板具有的效果，即，通過防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差， 能得到良好的發(fā)光特性。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法是用于制造有機(jī)發(fā)光面板的方法，該有機(jī)發(fā)光面板具備分別具有多個(gè)發(fā)光部的第一像素部和第二像素部以及設(shè)于該第一像素部與第二像素部之間的非像素部，所述制造方法包括以下工序。(第一工序)在基板上形成包含第一電極的基底層。(第二工序)在基底層上層疊感光性抗蝕劑材料。(第三工序)通過對所層疊的感光性抗蝕劑材料進(jìn)行掩模曝光而形成圖案，從而作為第一像素部，形成與第一發(fā)光部對應(yīng)的第一開口、與第二發(fā)光部對應(yīng)的第二開口、與第三發(fā)光部對應(yīng)的第三開口，并形成區(qū)劃相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁，作為第二像素部，形成與第一發(fā)光部對應(yīng)的第一開口、與第二發(fā)光部對應(yīng)的第二開口、與第三發(fā)光部對應(yīng)的第三開口，并形成區(qū)劃相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁，在第一像素部與第二像素部之間形成與非像素部對應(yīng)的開口，并形成區(qū)劃第一像素部和非像素部的第一
11隔壁以及區(qū)劃第二像素部和非像素部的第二隔壁。(第四工序)分別對第一像素部和第二像素部中的第一開口到第三開口滴下含有有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，形成有機(jī)發(fā)光層。(第五工序)在有機(jī)發(fā)光層的上方形成第二電極。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述第三工序中，將第一隔壁形成為其面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，將第二隔壁形成為使得其面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。另外，在上述第四工序中，分別對第一像素部和第二像素部中的第一開口到第三開口同時(shí)滴下與各發(fā)光色對應(yīng)的墨，形成有機(jī)發(fā)光層。通過使用這種制造方法，能夠制造具有如下特征的有機(jī)發(fā)光面板第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度， 并且，第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，如上所述，能夠有效地防止由涂敷墨時(shí)的蒸汽濃度的分布造成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。因而，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，能夠制造具有良好的發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光面板。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述構(gòu)成中，作為增大隔壁的適當(dāng)?shù)拿娌康膬A斜角度的具體方法，例如可以采用如下的方法。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，可以在上述第三工序中，關(guān)于感光性抗蝕劑材料的曝光，通過使對與第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看笥趯εc第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬?，將第一隔壁形成為其面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，通過使對與第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看笥趯εc第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬?，將第二隔壁形成為其面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。這樣，通過按照部位使曝光量變化，能夠相對地增大隔壁的適當(dāng)?shù)拿娌康膬A斜角度。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，也可以在第三工序中，關(guān)于感光性抗蝕劑材料的曝光，為了使對與第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市∮趯εc第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎?，使用對于與各個(gè)面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎驶ゲ幌嗤难谀＃瑢⒌谝桓舯谛纬蔀槠涿嫦虻谝幌袼夭康牡谌l(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，為了使對與第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市∮趯εc第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎?，使用對于與各個(gè)面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎驶ゲ幌嗤难谀?，將第二隔壁形成為其面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。這樣，通過按部位使掩模的光透射量變化，能夠相對地增大隔壁的適當(dāng)?shù)拿娌康膬A斜角度。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，也可以在第三工序中，通過在對感光性抗蝕劑材料進(jìn)行曝光、顯影后，對與第一隔壁的面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部相同的部分追加進(jìn)行曝光處理，從而將第一隔壁形成為其面向第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，通過對與第二隔壁的面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，從而將第二隔壁形成為其面向第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。這樣，通過按部位使曝光的執(zhí)行次數(shù)變化，能夠相對地增大隔壁的適當(dāng)?shù)拿娌康膬A斜角度。[得到本發(fā)明涉及的實(shí)施方式的經(jīng)過]關(guān)于背景技術(shù)中記載的有機(jī)發(fā)光面板和具備該有機(jī)發(fā)光面部的有機(jī)顯示裝置，本發(fā)明人進(jìn)行了專心的研究，結(jié)果得到如以下的見解。如圖20所示，在X軸方向上，像素部90a和像素部90b配置成在其間設(shè)有非像素部90c的狀態(tài)。像素部90a和像素部90b分別包括與紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色⑶的三種發(fā)光色對應(yīng)的子像素 90al、90a2、90a3、90bl、90b2、90b3。在各子像素 90al、90a2、90a3、90bl、 90b2,90b3中，在基板901上設(shè)有陽電極902和覆蓋該陽電極902的電極覆蓋層903，進(jìn)一步，形成空穴注入層904以使得覆蓋電極覆蓋層902和基板901的表面，在空穴注入層904 上按對應(yīng)的各發(fā)光色而層疊形成有有機(jī)發(fā)光層906al、906a2、906a3、9(^bl、9(^b2、9(^b3。 有機(jī)發(fā)光層906al、906a2、906a3、906bl、906l32、906b3通過立設(shè)于空穴注入層904上的提 905a 905d、905e 905h進(jìn)行區(qū)劃。另一方面，在非像素部90c中，具有母線932和覆蓋該母線932的電極覆蓋層933， 但不具有有機(jī)發(fā)光層。如圖20所示，現(xiàn)有技術(shù)涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在像素部90a、90b的分別與非像素部90c相鄰的子像素90a3、90bl的有機(jī)發(fā)光層906a3、906bl中，膜厚有時(shí)會(huì)產(chǎn)生偏差。具體而言，產(chǎn)生子像素90a3的有機(jī)發(fā)光層906a3的提905d側(cè)的部位(6的高度高于提905c側(cè)的部位C5的高度和子像素90a2的有機(jī)發(fā)光層906a2的提90恥、905(3各側(cè)的部位C3、C4的高度的現(xiàn)象。同樣地，子像素90bl的有機(jī)發(fā)光層906bl的提90 側(cè)的部位C7的高度高于提905f側(cè)的部位仏的高度和子像素9(Λ2的有機(jī)發(fā)光層906b2的提905f、905g各側(cè)的部位C9、Cltl的高度。對于子像素90al、90b3的有機(jī)發(fā)光層906al、906b3的提90fe、905h各側(cè)的部位C1,
C12的高度，也同樣地變得較高。關(guān)于上述現(xiàn)象，本發(fā)明人經(jīng)過反復(fù)研究后，推斷為有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻性的下降如以下說明的那樣是由于墨干燥時(shí)的蒸汽濃度分布不均勻所引起的。具體而言，如圖 21的(a)所示，假設(shè)在提905c與提905d之間所規(guī)定的區(qū)域涂敷了用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨9060a3的狀態(tài)，此時(shí)的蒸汽濃度分布如雙點(diǎn)劃線所示那樣，圖21的(a)的右側(cè)低于左側(cè)時(shí)，認(rèn)為由于如下的關(guān)系而使有機(jī)發(fā)光層的膜厚會(huì)產(chǎn)生偏差。在此，圖21的(a)的右側(cè)的蒸汽濃度分布比左側(cè)的蒸汽濃度分布低是認(rèn)為由于在提905d的右側(cè)存在非像素部90c (參照圖20)、不涂覆墨而引起的。
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如圖21的(a)所示，剛滴下墨9060a3后，墨9060a3的表面輪廓L90成為子像素的中央部分隆起的形狀。在使其干燥時(shí)，由于如上所述的蒸汽濃度的分布而使得在蒸汽濃度低的一側(cè)蒸發(fā)速度快、在蒸汽濃度高的一側(cè)蒸發(fā)速度慢，因此，形式上認(rèn)為會(huì)變化為表面輪廓L91。但是，如圖21的(b)所示，在干燥途中的墨9061a3的內(nèi)部，產(chǎn)生由虛線箭頭Li32所示的溶劑的移動(dòng)。這是溶劑移動(dòng)以使得補(bǔ)充已蒸發(fā)的量(進(jìn)行移動(dòng)以使得表面自由能量最小)，伴隨溶劑的移動(dòng)，溶質(zhì)(有機(jī)發(fā)光材料)也發(fā)生移動(dòng)。因此，如圖21的(c)所示那樣， 在蒸汽濃度分布存在偏差的情況下，形成表面輪廓L93向右側(cè)隆起(部位C6的高度高于部位C5的高度)的有機(jī)發(fā)光層906a3。如以上那樣，關(guān)于有機(jī)發(fā)光面板，本發(fā)明人得出以下推論由于墨干燥時(shí)的蒸汽濃度分布的不均勻，所形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻性下降。并且，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了如下的技術(shù)特征在面板面內(nèi)，通過使提的面部的傾斜角度不同，使墨的提側(cè)面部的鎖住位置不同，其結(jié)果，能謀求有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻化。[實(shí)施方式]以下，參照附圖來說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式的一個(gè)例子。以下的說明中使用的方式是用于易于理解地說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和作用效果的例子，除了其本質(zhì)的特征部分以外，本發(fā)明不受以下方式的任何限定。1.顯示裝置1的概略結(jié)構(gòu)使用圖1來說明本實(shí)施方式涉及的顯示裝置1的整體結(jié)構(gòu)。如圖1所示，顯示裝置(有機(jī)顯示裝置)1構(gòu)成為具有顯示面板部10和與其連接的驅(qū)動(dòng)控制部20。顯示面板部10是利用了有機(jī)材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的有機(jī)發(fā)光面板，在 X-Y面方向二維排列有多個(gè)像素部。另外，驅(qū)動(dòng)控制部20由4個(gè)驅(qū)動(dòng)電路21 M和控制電路25構(gòu)成。在實(shí)際的顯示裝置1中，對于顯示面板部10的驅(qū)動(dòng)控制部20的配置不限于此。2.顯示面板10的結(jié)構(gòu)使用圖2來說明顯示面板10的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式涉及的顯示面板10作為一個(gè)例子，采用頂部發(fā)射型的有機(jī)發(fā)光面板，構(gòu)成為呈矩陣狀配置有多個(gè)像素部，所述多個(gè)像素部具備具有紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的任意一種發(fā)光色的有機(jī)發(fā)光層，但在圖2中，抽出一個(gè)像素部中的一個(gè)子像素100來進(jìn)行描述。如圖2所示，顯示面板10在TFT基板(以下，簡記為“基板”)101上形成有陽電極 102，在陽電極102上依次層疊形成有電極覆蓋層103和空穴注入輸送層104。陽電極102 和電極覆蓋層103形成為按各子像素100而分離的狀態(tài)。在空穴注入輸送層104上立設(shè)有由絕緣材料形成的對子像素100彼此之間進(jìn)行區(qū)劃的提(隔壁)105。在各子像素100的由提105區(qū)劃出的區(qū)域形成有機(jī)發(fā)光層106，在其上依次層疊形成有電子注入層107、陰電極108以及封止層109。a)基板 101基板101例如將無堿玻璃、鈉玻璃、無熒光玻璃、磷酸類玻璃、硼酸類玻璃、石英、 丙烯酸類樹脂、苯乙烯類樹脂、聚碳酸酯類樹脂，環(huán)氧類樹脂、聚乙烯、聚酯、硅酮類樹脂、或者氧化鋁等的絕緣性材料作為基礎(chǔ)來形成。并且，在基板101，雖然省略了圖示，但層疊形成有TFT層、鈍化膜、還有層間絕緣膜等。b)陽電極 102陽極102由導(dǎo)電性材料制的單層、或者層疊多層而成的層疊體構(gòu)成，例如，使用 Al (鋁)、包含鋁的合金、Ag (銀)、APC (銀、鈀、銅的合金),ARA (銀、銣、金的合金),MoCr (鉬和鉻的合金)、NiCr (鎳和鉻的合金)等形成。如本實(shí)施方式，在頂部發(fā)射型的情況下，優(yōu)選用高反射性的材料形成。c)電極覆蓋層103電極覆蓋層103例如使用ITO(氧化銦錫)形成，覆蓋陽電極102的Z軸方向上部的表面的至少一部分。d)空穴注入輸送層104空穴注入輸送層104例如是由銀(Ag)、鉬(Mo)、鉻(Gr)、釩(V)、鎢(W)、鎳(Ni)、 銦(Ir)等的氧化物、或者PED0T(聚噻吩(polythiophene)和聚苯乙烯磺酸酯的混合物) 等的導(dǎo)電性聚合物材料形成的層。在上述中，由氧化金屬形成的空穴注入輸送層104具有使空穴穩(wěn)定、或者輔助空穴的生成而對有機(jī)發(fā)光層106注入以及輸送空穴的功能，具有較大的功函數(shù)。在此，在由過渡金屬的氧化物構(gòu)成空穴注入輸送層104的情況下，由于取得多個(gè)氧化數(shù)，由此能夠取得多個(gè)能級，其結(jié)果，空穴注入變得容易，能夠降低驅(qū)動(dòng)電壓。e)提 105提(隔壁)105由樹脂等有機(jī)材料形成，具有絕緣性。作為用于形成提105的有機(jī)材料的例子，可列舉丙烯酸類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等。并且，提105 優(yōu)選具有有機(jī)溶劑耐性。進(jìn)一步，在提105的形成中，由于實(shí)施蝕刻處理和烘焙處理等，因此優(yōu)選通過對于這些處理不會(huì)過渡地發(fā)生變形、變質(zhì)等的耐性較高的材料來形成。另外，為了具有撥水性， 也可以對側(cè)面部進(jìn)行氟處理。對于用于形成提105的絕緣材料，可以使用以上述各材料為中心、特別是電阻率在105Ω · cm以上且具有撥水性的材料。這是因?yàn)?，在使用了電阻率?05Ω 以下的材料的情況下，成為產(chǎn)生陽電極102和陰電極108之間的泄漏電流、或者相鄰子像素100之間的泄漏電路的原因，會(huì)產(chǎn)生功耗增加等的各種問題。另外是因?yàn)?，在使用親水性的材料形成了提105的情況下，提105的側(cè)面部和空穴注入輸送層104的表面的親液性/撥液性的差異變小，會(huì)難以使為了形成有機(jī)發(fā)光層106 而含有有機(jī)物質(zhì)的墨選擇性地保持在提105的開口部。進(jìn)一步，對于提105的構(gòu)造，不僅可以是如圖2所示的單層構(gòu)造，也可以采用兩層以上的多層構(gòu)造。在該情況下，既可以在各層組合上述材料，也可以在各層使用無機(jī)材料和有機(jī)材料。f)有機(jī)發(fā)光層106有機(jī)發(fā)光層106具有通過從陽電極102注入的空穴和從陰電極108注入的電子復(fù)合而產(chǎn)生激發(fā)態(tài)進(jìn)行發(fā)光的功能。用于形成有機(jī)發(fā)光層106的材料需要使用能夠使用濕式印刷法進(jìn)行制膜的發(fā)光性的有機(jī)材料。具具體而言，優(yōu)選例如由特許公開公報(bào)(日本特開平5-163488號公報(bào))所記載的類喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物(7 >卜， -t >化合物)、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、奠(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鐺化合物、噻喃鐺化合物、硒吡喃鐺化合物、碲吡喃鐺化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、 噻噸化合物、蒽化合物(7 > 7，力 >化合物)、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、 8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質(zhì)形成。g)電子注入層107電子注入層107具有將從陰電極108注入的電子向有機(jī)發(fā)光層106輸送的功能， 優(yōu)選例如由鋇、酞菁(phthalocyanine)、氟化鋰、或者它們的組合來形成。h)陰電極 108陰電極108例如由ΙΤ0、ΙΖ0(氧化銦鋅)等形成。在頂部發(fā)射型的顯示面板10的情況下，優(yōu)選由光透射性的材料形成。對于光透射性，優(yōu)選透射率為80%以上。作為用于形成陰極108的材料，除了上述以外，例如還可以使用將包含堿金屬、堿土類金屬、或者使它們的鹵化物的層和包含銀的層按該順序進(jìn)行層疊而得到的結(jié)構(gòu)。在上述中，包含銀的層可以由銀單獨(dú)形成，也可以由銀合金形成。另外，為了謀求提高光取出效率，也可以從該包含銀的層的上方設(shè)置透明度高的折射率調(diào)整層。i)封止層 109封止層109具有抑制有機(jī)發(fā)光層106暴露于水分、暴露于空氣中的功能，例如使用 SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料來形成。在頂部發(fā)射型的顯示面板10的情況下， 優(yōu)選用光透射性的材料來形成。3.提105的結(jié)構(gòu)如圖3所示，在本實(shí)施方式涉及的顯示面板10中，作為一個(gè)例子采用線狀的提 105。具體而言，提105各自在Y軸方向上延伸形成，對在X軸方向相鄰的像素部的各子像素進(jìn)行區(qū)劃，另外，對像素部和非像素部之間進(jìn)行區(qū)劃(在圖3中，對于非像素部省略了圖示)。并且，各像素部內(nèi)的子像素100按由提105區(qū)劃的各區(qū)域而形成為發(fā)光色不同，例如以紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的各發(fā)光色的3個(gè)子像素的組合構(gòu)成一像素部。4.顯示面板10中的一部分區(qū)域的結(jié)構(gòu)使用圖4來說明顯示面板10中的一部分區(qū)域的結(jié)構(gòu)。圖4是以A-A’剖面切斷圖 1中的顯示面板10而示意表示出其一部分的剖視斷面圖。如圖4所示，顯示面板10將TFT基板(以下，簡記為“基板”)101作為基底，像素部IOOa和像素部IOOb配置成其間設(shè)有非像素部IOOc的狀態(tài)。像素部IOOaUOOb分別與子像素100al、100a2、100a3、100bl、......對應(yīng)地形成有陽電極102，在陽電極102上依次
層疊形成有電極覆蓋層103和空穴注入輸送層104。在空穴注入輸送層104上立設(shè)有由絕緣材料形成的分別規(guī)定子像素lOOal、 100a2、100a3、100bl、......的提 105a 105f。在各子像素 100al、100a2、100a3、IOObl.......的由提10 105f區(qū)劃的各區(qū)域，依次層疊形成有有機(jī)發(fā)光層、電子注入
層、陰電極以及封止層(在圖4中省略圖示)。在本實(shí)施方式涉及的顯示面板10中，像素部IOOa以子像素IOOal 100a3的組
合構(gòu)成，像素部IOOb以子像素IOObl.......(與像素部IOOa同樣地由3個(gè)子像素構(gòu)成)
的組合構(gòu)成。并且，如上所述，在像素部IOOa與像素部IOOb之間設(shè)有非像素部100c。像素部IOOa的子像素100a3與非像素部IOOc之間通過提105d進(jìn)行區(qū)劃，像素部IOOb與非像素部IOOc通過提10 進(jìn)行區(qū)劃。如圖4所示，在非像素部IOOc中，設(shè)有由與陽電極102相同的材料構(gòu)成的與陽電極102分離的電極(母線)302、和覆蓋該電極(母線)302的電極覆蓋層303，在電極覆蓋層303上延伸設(shè)置有空穴注入輸送層104。并且，雖然省略了圖示，但在其上形成有陰電極， 母線302和陰電極108電連接。在非像素部IOOc中不形成有機(jī)發(fā)光層。通過采用這種結(jié)構(gòu)，能夠謀求降低由ITO 等形成的陰電極108(參照圖2)的電阻，能夠抑制電壓下降。如圖4所示，在本實(shí)施方式涉及的顯示面板10中，提10 105f的各面部10恥2、 105c2、105c3、105d3、105dc、105ec、105el、105fl和作為基底層的空穴注入輸送層104的表面分另Ij成角度 θ b2、θ C2、θ C3、θ d3、θ dc、θ ec、θ el, θ fl。在此，本實(shí)施方式中，角度θ b2、θ C2、θ C3、θ d3、θ dc、θ ec、θ el、θ Π滿足由以下各式表示的關(guān)系。[式 1] θ d3 > θ dc[式 2] θ el > θ ec[式 3] θ d3 > θ c3[式 4] θ el > θ fl[式 5] θ b2 = θ c2[式 6] θ dc = θ ec在本實(shí)施方式中，例如，能夠在如以下的范圍內(nèi)設(shè)定各個(gè)角度θ 1^2、0c2, 0C3、 θ d3、θ dc、θ ec、θ el、θ fl。[式 7]25° < θ b2 = θ c2 = θ c3 = θ dc = θ ec = θ fl < 35°[式 8]；35° < θ d3 < 45°[式 9]；35° < θ el < 45°用上述式1 式9的關(guān)系來規(guī)定提10 105f的各面部10釙2、105c2、105c3、 105d3、105dc、105ec、105el、105fl 的傾斜角度 θ b2、θ c2、θ c3、θ d3、θ dc、θ ec、θ el, θ fl是基于在相鄰的像素部100a與像素部IOOb之間配置非像素部100c、和后述的墨 1060al 1060a3、1060bl、......的涂敷方式。5.提105的側(cè)面部的傾斜角度θ和有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的關(guān)系使用圖5和圖6來說明提105的面部的傾斜角度θ和有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的關(guān)系。在圖5中，示意描繪了一個(gè)子像素的構(gòu)造。如圖5的(a)所示，提10 的面部的傾斜角度(提10 的面部和空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度θ χ，如圖5的(b)所示，提105y的面部的傾斜角度(提 105y的面部和空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度9y。角度ΘΧ和角度0y滿足以下關(guān)系。[式 10] θ y > θ χ當(dāng)在由各提10h、105y區(qū)劃的開口部滴下(涂敷)含有有機(jī)發(fā)光材料的墨1060X、 1060y時(shí)，各鎖住位置Px、Py的高度Hx、Hy成為如下的關(guān)系。[式 ll]Hy>Hx如圖5的(c)所示，當(dāng)使墨1060x干燥時(shí)，由于鎖住位置I3X的高度Hx相對低，在所形成的有機(jī)發(fā)光層106x中，子像素的中央部分隆起，其膜厚成為厚度Tx。另一方面，如圖5的(d)所示，當(dāng)使墨1060y干燥時(shí)，由于鎖住位置Py的高度Hy 相對高，在所形成的有機(jī)發(fā)光層106y中，子像素的中央部分凹陷，其膜厚成為厚度Ty。厚度Tx和厚度Ty滿足以下關(guān)系。[式 12] Tx > Ty圖6中匯總示出上述的關(guān)系。如圖6所示，當(dāng)減小提105的面部的傾斜角度(錐角)θ時(shí)，則鎖住位置的高度H變低，結(jié)果所得到的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚T變厚。相反地， 當(dāng)增大提105的面部的傾斜角度(錐角)θ時(shí)，則鎖住位置的高度H變高，結(jié)果所得到的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚T變薄。對于以上的事項(xiàng)，制作5個(gè)樣品進(jìn)行了評價(jià)。圖7和圖8中示出結(jié)果。如圖7和圖8所示，在相對于樣品2的膜厚分布而增大了錐角的樣品3和樣品4 中，鎖住位置變高。在圖7和圖8中，橫軸表示橫向方向，縱軸表示高度方向。但是，在將提的錐角(傾斜角度)增大到50°的樣品5中，與樣品2相比，膜厚的均勻性下降。6.顯示面板10的制造方法使用圖9、圖10和圖11來說明本實(shí)施方式涉及的顯示面板10的制造方法的成為特征的部分。對于以下省略說明的制造工序，可以采用作為現(xiàn)有技術(shù)提出的各種工序。首先，如圖9的(a)所示，在基板101的Z軸方向上面，分別與像素部預(yù)定區(qū)域
1000a、IOOOb的各子像素預(yù)定區(qū)域IOOOal 1000a3、lOOObl、......對應(yīng)地依次層疊形成
陽電極102和電極覆蓋層103。另外，與非像素預(yù)定區(qū)域1000c對應(yīng)地依次層疊形成母線 302和電極覆蓋層303。然后，從電極覆蓋層103、303上形成空穴注入輸送層104以使得覆蓋整個(gè)表面。對于陽電極102和母線302的形成，例如，使用濺射法、真空蒸鍍法制成由 Al或其合金形成的薄膜或者^Vg薄膜之后，使用光刻法使該薄膜形成圖案，由此形成陽電極 102和母線302。另外，對于電極覆蓋層103、303的形成，例如，對于陽電極102和母線302的各表面使用濺射法等制成ITO薄膜，使用光刻法等使該ITO薄膜形成圖案，由此形成電極覆蓋層 103、303。然后，在空穴注入輸送層104的形成中，首先對于包含電極覆蓋層103、303的各表面的基板101的表面，使用濺射法等制成金屬膜。之后，使所形成的金屬膜氧化，形成空穴注入輸送層104。接著，如圖9的(b)所示，例如使用旋涂法等，形成提材料層1050以使得將空穴注入輸送層104上覆蓋。在提材料層1050的形成中使用感光性抗蝕劑材料，具體而言，如上所述，可以使用丙烯酸類樹脂、聚酰亞胺系樹脂、酚醛清漆(novolac)類酚醛樹脂等具有絕緣性的有機(jī)材料。
接著，如圖9的(c)所示，在提材料層1050的上方配置掩模501，該掩模在要形成提的部位設(shè)有開口 501a、501b、501c。在該狀態(tài)下通過掩模501的開口 501、501b、501c執(zhí)行
曙光ο如圖9的(c)所示，掩模501的開口 501a的寬度Wc由要形成的提105c的面部 105c2、105c3(參照圖4)的下端的點(diǎn)Pel、Pc2來規(guī)定。另一方面，位于子像素預(yù)定區(qū)域1000a3與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間及子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl與非像素預(yù)定區(qū)域IOOOc之間的掩模501的開口 501b、501c的寬度Wdl、Wel 由要形成的提105d、105e的面部105d3、105el (參照圖4)的各上端的點(diǎn)PdUPel和非像素預(yù)定區(qū)域1000c側(cè)(參照圖4)的各下端部分的點(diǎn)Pd2、Pe2來規(guī)定。接著，如圖10的(a)所示，在提材料層1050的上方配置掩模502，該掩模502在與提105d、l(^e的面部105dc、l(^ec(參照圖4)對應(yīng)的部位設(shè)有開口 5(^b、502c。然后，在該狀態(tài)下通過掩模502的開口 502b、502c執(zhí)行第二次曝光。如圖10的(a)所示，掩模502的開口 502b、502c的各寬度Wd2Je2由要形成的提 105d、105e的各面部105dc、105ec的各下端的點(diǎn)Pd3、Pe3和各上端的點(diǎn)Pdl、Pel來規(guī)定。接著，如圖10的(b)所示，通過實(shí)施顯影和烘焙，形成提10 105f。提105d 的子像素預(yù)定區(qū)域1000a3側(cè)的面部105d3和提10 的子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl側(cè)的面部 105el如上所述，其傾斜角度比提10 的面部10恥2、提105c的面部105c3、提105d的面部 105dc、提10 的面部l(^ec以及提105f的面部105fl的傾斜角度大。之后，如圖11所示，使用噴墨法等同時(shí)對由提10 和提10 區(qū)劃的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域IOOOal)涂敷(滴下)墨(含有有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060al，對由提10 和提105c區(qū)劃的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000U)涂敷(滴下)墨(含有有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060a2，對由提105c和提105d區(qū)劃的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000a3)涂敷(滴下) 墨(含有有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060a3，對由提10 和提105f區(qū)劃的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl)涂敷(滴下)墨(含有有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060bl。雖未圖示，但對其他子像素預(yù)定區(qū)域也同時(shí)涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨。在此，通過如上所述那樣形成提，使提10 的子像素預(yù)定區(qū)域IOOOal側(cè)的面部 lOfel、提105d的子像素預(yù)定區(qū)域1000a3側(cè)的面部105d3以及提10 的子像素預(yù)定區(qū)域 IOOObl側(cè)的面部的傾斜角度大于提10 的面部10恥2、提105c的面部105c3、提 105d的面部105dc、提10 的面部l(^ec以及提105f的面部105fl的各傾斜角度，因此， 對于提10 的面部IOfel的墨1060al的鎖住位置Qal、對于提105d的面部105d3的墨 1060a3的鎖住位置Qd3以及對于提10 的面部IOkl的墨1060bl的鎖住位置Qel成為比其他鎖住位置Qbl、Qb2、Qc2、Qc3、Qfl高的位置。這樣，通過將鎖住位置Qal、Qd3、Qel的高度取為比其他鎖住位置Qbl、Qb2、Qc2、 Qc3、Qfl的高度高的位置，能防止所形成的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的偏差。即，在采用同時(shí)涂敷墨1060al、1060a2、1060a3、1060bl的方式的情況下，對子像素預(yù)定區(qū)域1000a3而言，在右側(cè)存在不涂敷墨的非像素預(yù)定區(qū)域1000c，另外對子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl而言， 在左側(cè)存在不涂敷墨的非像素預(yù)定區(qū)域1000c，所以對于這兩個(gè)子像素預(yù)定區(qū)域1000a3、 lOOObl，蒸汽濃度左右會(huì)產(chǎn)生偏差。對此，通過使提10 的面部lOfel、提105d的面部 105d3以及提10 的面部IOkc的各傾斜角度θ d3、θ el.......大于其他面部的傾斜角度，能夠防止所形成的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的偏差。雖然省略了圖示，但此后，通過執(zhí)行墨的干燥，之后依次層疊形成電子注入層107、 陰電極108和封止層109等，由此形成顯示面板10。7.效果如圖4所示，在本實(shí)施方式涉及的顯示裝置1的顯示面板10中，將提10 的子像素IOOal側(cè)的面部105的傾斜角度、提105d的子像素100a3側(cè)的面部105d3的傾斜角度 θ d3以及提10 的子像素IOObl側(cè)的面部IOkl的傾斜角度θ el設(shè)定得大于其他面部 105b2、105c2、105c3、105dc、105ec、105fl 的傾斜角度 θ b2、θ c2、θ c3、θ dc、θ ec、θ Π。
因此，如圖11所示，在涂敷墨1060al、1060a2、1060a3、1060bl、......時(shí)，鎖住位置Qal、
Qd3、Qel 高于其他鎖住位置 Qbl、Qb2、Qc2、Qc3、Qfl、.......而且，面部105bl、105b2、105c2、105c3、105dc、105ec、105fl 的各傾斜角度 θ b2、
θ c2, θ c3, θ dc, θ ec, θ Π、......彼此相等。因此，在顯示面板10中，干燥后的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚在包括子像素lOOal、 100a2、100a3、IOObl的所有子像素中沒有偏差而變得均勻，具有輝度不均小的效果。當(dāng)采用使用圖9、圖10和圖11說明了的本實(shí)施方式涉及的顯示裝置1的制造方法時(shí)，則能制造具有上述效果的顯示裝置1。另外，如上所述，“相等”不是意味著在數(shù)值上完全相等，而是考慮了顯示裝置1的制造中的尺寸誤差等。具體而言，意味著在顯示面板10中，在實(shí)用上能夠允許各自所屬的
子像素IOOal、100a2、100a3、IOObl.......的發(fā)光效率的差異(亮度不均)的范圍內(nèi)，使傾
斜角度相等。進(jìn)一步，在提105d、105e,使面向非像素部IOOc側(cè)的面部105dc、105ec的傾斜角度 θ dc、θ ec比提105d的面部105d3和提10 的面部的各傾斜角度θ d3、θ el相對小，因此，能夠防止在這些提105d、105e的上部也連續(xù)形成的陰電極108發(fā)生層斷和/泄露電流，能夠謀求陰電極108與母線302之間的切實(shí)的電連接。[變形例1]接著，使用圖12來說明顯示裝置1的制造方法的變形例1。圖12表示與圖9的 (c)至圖10的(a)所示的工序?qū)?yīng)的工序。如圖12所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成了提材料層1050之后，在其上方配置掩模503。在掩模503設(shè)有光透射部503a、503bl、503l32、503cl、503c2。各光透射部 503a與要形成提105c的部位對應(yīng)設(shè)置，光透射部50北1、503132與要形成提105d的部位對應(yīng)設(shè)置，光透射部503cl、503c2與要形成提10 的部位對應(yīng)設(shè)置。本變形例1涉及的顯示裝置1的制造方法中，與子像素預(yù)定區(qū)域1000a2和子像素預(yù)定區(qū)域1000a3之間對應(yīng)的區(qū)域的光透射部503a的寬度Wc由要形成的提105c的面部 105c2、105c3(參照圖4)的各下端的點(diǎn)Pel、Pc2來規(guī)定。另一方面，分別與子像素預(yù)定區(qū)域1000a3和非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間、子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl和非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間對應(yīng)的區(qū)域的光透射部50;3bl、503Cl的寬度Wdl、Wel由要形成的提105d、105e的面部105dc、IOkc (參照圖4)的各下端的點(diǎn)Pd2、 Pe2來規(guī)定，光透射部50;3b2、503c2的寬度Wd2、We2由提105d、105e的面部105d3、105el (參照圖4)的上端的點(diǎn)PdUPel和下端的點(diǎn)Pd3、Pe3來規(guī)定。
在此，掩模503使用半色調(diào)等的掩模構(gòu)成，光透射部503a、503bl、503cl和光透射部50;3b2、503c2的光透射率不同。具體而言，光透射部50;3b2、503c2的光透射率大于光透射部503a、503bl、503cl的光透射率。在配置了具有如以上的結(jié)構(gòu)的掩模503的狀態(tài)下，執(zhí)行了曝光、顯影之后進(jìn)行烘焙，由此能形成如圖10的(b)所示的提10 105f。即，在通過光透射率被設(shè)定得較大的光透射部50;3b2、503c2而被曝光的部位，與通過其他的光透射部503a、503bl、503cl而被曝光的部位相比，如上述式1 式4所表示的關(guān)系那樣，側(cè)壁面的傾斜角度變大。之后的工序與上述實(shí)施方式等是同樣的。根據(jù)如以上的制造方法，也能制造顯示裝置1。[變形例2]接著，使用圖13和圖14來說明顯示裝置1的制造方法的變形例2。圖13和圖14 表示與圖的9(c)至圖10的(b)所示的工序?qū)?yīng)的工序。如圖13的(a)所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成了提材料層1050之后，在其上方配置掩模504。在掩模504，與要形成提105的各部位對應(yīng)地設(shè)置有開口 5(Ma、504b、 504c ο開口 50 是以與上述實(shí)施方式的制造方法中使用的掩模501的開口 501a相同的寬度形成的。另一方面，如圖13的(a)中的用雙點(diǎn)劃線包圍的部分所示，設(shè)置于要形成提105d、 105e(參照圖4)的部位的開口 504b、5(Mc的寬度W3Je3被設(shè)定成大于由提105d、105e (參照圖4)的各下端的點(diǎn)Pd2、Pd3、Pe2、Pe3規(guī)定的寬度，所述提105d、l(^e是要分別形成于子像素預(yù)定區(qū)域1000a3與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間和子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間的提。具體而言，在要增大傾斜角度的部位增大了寬度。在配置了圖13的(a)所示的方式的掩模504的狀態(tài)下，執(zhí)行第一次的曝光、顯影。
由此，如圖13的(b)所示，在分別與開口 50 5(Mc.......對應(yīng)的部位殘留提材料層
1051b 1051fo如圖13的(b)所示，在執(zhí)行了第一次的曝光、顯影的狀態(tài)下，提材料層1051b 1051f的各面部的傾斜角度是均勻的。但是，提材料層1051d、1051e的在X軸方向上的寬度比提材料層1051a、1051c、1051f的在X軸方向上的寬度寬。本變形例2中，此時(shí)刻不進(jìn)行烘焙。接著，如圖14的(a)所示，在形成了提材料層1051b 1051f的狀態(tài)下，在其上方
配置掩模505。在掩模505，在與要形成的提10 105f.......的面部對應(yīng)的部位內(nèi)，限
定于要增大傾斜角度的部位(提105d的面部105d3和提10 的面部I(^el)而設(shè)置有開 Π 505b、505c。在配置了掩模505的狀態(tài)下，進(jìn)行了第二次的曝光、顯影后進(jìn)行烘焙，由此能形成
如圖14的(b)所示的提105b 105f、.......由此，提105d的面部105d3和提105e的面
部105el的傾斜角度大于其他面部105b2、105c2、105c3、105dc、105ec、105n的傾斜角度。此后，通過執(zhí)行與上述實(shí)施方式等同樣的工序，能夠制造顯示裝置1。[制造方法的驗(yàn)證]針對上述實(shí)施方式和變形例1、2涉及的各制造方法，以具體例對形成后的提形狀進(jìn)行了驗(yàn)證。使用圖16說明其結(jié)果。如圖15的(a)所示，越增加曝光量，所形成的提側(cè)面部的傾斜角度越大。具體而言，在將曝光量取為200mJ而進(jìn)行了曝光、顯影時(shí)所形成的提側(cè)面部的傾斜角度為23°， 相對于此，在將曝光量取為300mJ而進(jìn)行了曝光、顯影時(shí)所形成的提側(cè)面部的傾斜角度為 38°。對于該結(jié)果，也示出于圖15的(b)所示的AFM (Atomic Force Microscope)。進(jìn)一步，如圖15的(a)和(b)所示，在將曝光量取為200mJ而進(jìn)行了第一次的曝光、顯影之后，將曝光量取為IOOmJ而進(jìn)行了第二次的曝光、顯影時(shí)，所形成的提側(cè)面部的傾斜角度變?yōu)?0°。這對應(yīng)于上述變形例2涉及的制造方法，可認(rèn)為對增大提側(cè)面部的傾斜角度是有效的。在圖15的(b)中，橫軸表示橫向方向，縱軸表示高度方向。[其他事項(xiàng)]首先，在上述實(shí)施方式和變形例1、2中，雖然示意地示出了提105、10fe 105f、 105xU05y的各面部為平面，但對于提的面部，也可以不一定是平面。例如，如圖16的(a) 所示，在提605的情況下，點(diǎn)P61至點(diǎn)P62之間的面和點(diǎn)P62至點(diǎn)P63之間的面交叉。在該情況下，涂覆墨時(shí)的鎖住位置Qyl存在于點(diǎn)P62至點(diǎn)P63之間的面上。并且，在引出了穿過點(diǎn)P62 的假想直線L1時(shí)所形成的面部的傾斜角度θ y2，在與鎖住位置的關(guān)系方面是重要的。但是，在提605的形成中，通過控制作為基底層的空穴注入輸送層104和提605的點(diǎn)P61至點(diǎn)P62之間的面所成的角度9yl，角度θ y2也得到控制，因此，實(shí)質(zhì)上，通過控制傾斜角度θ yl，能夠得到如上所述的效果。S卩，對于圖16的(a)所示的角度eyl，在形成了點(diǎn)P71至點(diǎn)P72之間的面的角度θ yll大的提705的情況下(圖16的(b))，如圖16的(b) 所示，點(diǎn)P72至點(diǎn)P73之間的面相對假想直線L2所成的角度θ Υ12也相對于圖16的(a)的角度9y2變大。另外，在上述實(shí)施方式和變形例1、2中，并未限定顯示面板10的上述結(jié)構(gòu)的應(yīng)用區(qū)域，但既可以對于顯示面板的整個(gè)區(qū)域應(yīng)用上述結(jié)構(gòu)，也可以限定在一部分區(qū)域而應(yīng)用上述結(jié)構(gòu)。如圖17所示，可以使顯示面板10在沿其面的方向，形式上區(qū)分為配置在中央部的區(qū)域IOa和配置在其周邊的區(qū)域10b。在此，區(qū)域IOa是陽電極與在其下部形成的TFT層的源電極或者漏電極連接、有助于發(fā)光的區(qū)域，與此相對，區(qū)域IOb是陽電極與在其下部形成的TFT層的源電極和漏電極的任一電極都不連接、對發(fā)光沒有幫助的區(qū)域。并且，在使區(qū)域IOa進(jìn)一步形式上分為中央?yún)^(qū)域IOal和周邊區(qū)域10a2的情況下，根據(jù)涂覆墨時(shí)的蒸氣濃度的分布狀態(tài)，認(rèn)為在周邊區(qū)域10a2更加顯著地產(chǎn)生子像素內(nèi)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏差。合并了周邊區(qū)域10a2和區(qū)域IOb的區(qū)域，被認(rèn)為是面板的外周部的0. 5% 數(shù)％ 左右(例如，1%)的像素部。這是考慮不調(diào)整提的面部的傾斜角度時(shí)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻而得到的。在上述實(shí)施方式和變形例1、2中，為了便于理解地說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和作用效果，采用作為一個(gè)例子的各結(jié)構(gòu)，本發(fā)明除了本質(zhì)的部分以外，并不限定于上述方式。例如， 在上述實(shí)施方式中，如圖2所示，對于有機(jī)發(fā)光層106，采用在其Z軸方向下側(cè)配置陽電極 102的結(jié)構(gòu)來作為一個(gè)例子，但本發(fā)明不限定于此，對于有機(jī)發(fā)光層106，也可以采用如在其Z軸方向下側(cè)配置陰電極108的結(jié)構(gòu)。
22
對于有機(jī)發(fā)光層106，在為在其Z軸方向下側(cè)配置陰電極108的結(jié)構(gòu)的情況下，成為頂部發(fā)射構(gòu)造，因此，采用將陰電極108作為反射電極層、在其上方形成電極覆蓋層103 的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實(shí)施方式等中，雖然未示出顯示裝置1的具體的外觀形狀，但例如可以為如圖18所示的系統(tǒng)一部分。對于有機(jī)EL顯示裝置，因?yàn)椴恍枰缫壕э@示裝置那樣的背光源，因此適于進(jìn)行薄型化，從系統(tǒng)設(shè)計(jì)的觀點(diǎn)出發(fā)能發(fā)揮優(yōu)異的特性。另外，在上述實(shí)施方式和變形例1、2中，作為提105、10 105f、105x、105y、605、 705的形態(tài)，采用了如圖3所示的所謂線提(line bank)構(gòu)造，但也可以采用如圖19所示的包括在Y軸方向延伸的提要素80 和在X軸方向延伸的提要素80 的像素提805來構(gòu)成顯示面板80。如圖19所示，在采用了像素提805的情況下，對于規(guī)定各子像素800a、800b、800c 的提805，通過使成為其X軸方向和Y軸方向的各外側(cè)的側(cè)壁部的傾斜角度變大，能夠得到上述同樣的效果。具體而言，能夠通過適當(dāng)調(diào)整箭頭Bi、B2、B3、B4所指示的面部的傾斜角度來得到上述效果。另外，對于在上述實(shí)施方式和變形例1、2中采用的提的面部的傾斜角度的調(diào)整， 可以個(gè)別地根據(jù)制造時(shí)與形成有機(jī)發(fā)光層有關(guān)的墨涂敷工序和干燥工序中的蒸氣濃度分布來進(jìn)行適當(dāng)變更。例如，在干燥裝置的構(gòu)造等中，在墨干燥時(shí)的蒸氣流是從面板外周部朝向面板中央部的方向那樣的情況下，與有機(jī)發(fā)光層的膜厚變厚的部位對應(yīng)地增大提側(cè)面部的傾斜角度即可。由此，能夠使有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻化，能夠降低面板整體的輝度不均。另外，在上述實(shí)施方式和變形例1、2中，按各發(fā)光色(紅色、綠色、藍(lán)色)，在提的面部的傾斜角度(錐角)的設(shè)定中沒有區(qū)別，但認(rèn)為包含有機(jī)發(fā)光材料的墨的特性會(huì)根據(jù)發(fā)光色而發(fā)生變化，因此，在該情況下，可以根據(jù)各發(fā)光色的墨特性來規(guī)定對應(yīng)的提的面部的傾斜角度。進(jìn)一步，在上述實(shí)施方式和變形例1、2中，雖然母線302和陽電極102由相同材料構(gòu)成，但并不需要一定由相同材料構(gòu)成。但是，在由相同材料構(gòu)成的情況下，能夠在同一工序中形成，從降低制造成本的觀點(diǎn)來看是優(yōu)選的。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明對于實(shí)現(xiàn)輝度不均少、具有高畫質(zhì)性能的有機(jī)發(fā)光面板以及有機(jī)顯示裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光面板，包括第一像素部，其具有依次排列了發(fā)光色互不相同的第一發(fā)光部、第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部的多個(gè)發(fā)光部，所述第一發(fā)光部位于一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第二發(fā)光部位于中央側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第三發(fā)光部位于另一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，各發(fā)光部具備包含第一電極的基底層、與所述基底層相對設(shè)置的按發(fā)光色涂覆含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于所述有機(jī)發(fā)光層而設(shè)置在與所述基底層相反的一側(cè)的第二電極、以及與所述基底層相對設(shè)置的區(qū)劃所述多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁；與所述第一像素部不同的第二像素部，其具有依次排列了發(fā)光色互不相同的第一發(fā)光部、第二發(fā)光部以及第三發(fā)光部的多個(gè)發(fā)光部，所述第一發(fā)光部位于一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨， 所述第二發(fā)光部位于中央側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，所述第三發(fā)光部位于另一側(cè)并涂敷對應(yīng)的墨，各發(fā)光部具備包含第一電極的基底層、與所述基底層相對設(shè)置的按發(fā)光色涂覆含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于所述有機(jī)發(fā)光層而設(shè)置在與所述基底層相反的一側(cè)的第二電極、以及與所述基底層相對設(shè)置的區(qū)劃所述多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁；非像素部，其設(shè)于所述第一像素部與所述第二像素部之間，不具備有機(jī)發(fā)光層，具備所述第二電極和含有與所述第一電極分離的相同材料構(gòu)成的第三電極，所述第二電極和所述第三電極電連接；與所述多個(gè)隔壁不同的第一隔壁，其配設(shè)在所述第一像素部與所述非像素部之間，區(qū)劃所述第一像素部的所述第三發(fā)光部和所述非像素部；以及與所述多個(gè)隔壁不同的第二隔壁，其配設(shè)在所述第二像素部與所述非像素部之間，區(qū)劃所述第二像素部的所述第一發(fā)光部和所述非像素部，所述第一隔壁的面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，所述第二隔壁的面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，所述第一隔壁的面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于所述第一像素部的規(guī)定第三發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度，并且，所述第二隔壁的面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于所述第二像素部的規(guī)定第一發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板， 在所述第一像素部和所述第二像素部各自中，規(guī)定所述第二發(fā)光部的相鄰的隔壁的相對的面部的傾斜角度相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，所述第一隔壁的面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度和所述第二隔壁的面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板， 在所述第一像素部和所述第二像素部各自中，所述第一發(fā)光部、所述第二發(fā)光部以及所述第三發(fā)光部是同時(shí)涂敷與各發(fā)光色對應(yīng)的墨來形成所述有機(jī)發(fā)光層而成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，所述傾斜角度是所述隔壁的各面部與形成有所述隔壁的所述基底層的上面所成的角度。
7.一種有機(jī)顯示裝置，具備權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光面板。
8.一種有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，所述有機(jī)發(fā)光面板具備各自具有多個(gè)發(fā)光部的第一像素部和第二像素部、以及設(shè)于所述第一像素部與第二像素部之間的非像素部，所述有機(jī)發(fā)光面板的制造方法包括第一工序，在基板上形成包含第一電極的基底層； 第二工序，在所述基底層上層疊感光性抗蝕劑材料；第三工序，通過對所述層疊的感光性抗蝕劑材料進(jìn)行掩模曝光而形成圖案，從而作為所述第一像素部，形成與第一發(fā)光部對應(yīng)的第一開口、與第二發(fā)光部對應(yīng)的第二開口、與第三發(fā)光部對應(yīng)的第三開口，并形成區(qū)劃相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁，作為所述第二像素部，形成與第一發(fā)光部對應(yīng)的第一開口、與第二發(fā)光部對應(yīng)的第二開口、與第三發(fā)光部對應(yīng)的第三開口，并形成區(qū)劃相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁，在所述第一像素部與所述第二像素部之間形成與非像素部對應(yīng)的開口，并形成區(qū)劃所述第一像素部和所述非像素部的第一隔壁和區(qū)劃所述第二像素部和所述非像素部的第二隔壁；第四工序，分別對所述第一像素部和所述第二像素部的所述第一開口 所述第三開口滴下含有有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，形成有機(jī)發(fā)光層； 第五工序，在所述有機(jī)發(fā)光層的上方形成第二電極， 在所述第三工序中，將所述第一隔壁形成為其面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，將所述第二隔壁形成為其面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，在所述第四工序中，分別對所述第一像素部和所述第二像素部的所述第一開口 所述第三開口同時(shí)滴下與各發(fā)光色對應(yīng)的所述墨，形成有機(jī)發(fā)光層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法， 在所述第三工序中，關(guān)于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，通過使對與所述第一隔壁的面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看笥趯εc所述第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬?，從而將所述第一隔壁形成為其面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，通過使對與所述第二隔壁的面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看笥趯εc所述第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬?，從而將所述第二隔壁形成為其面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，在所述第三工序中，關(guān)于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，為了使對與所述第一隔壁的面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市∮趯εc所述第一隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎?，使用對于與各個(gè)面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎驶ゲ幌嗤难谀?，由此將所述第一隔壁形成為其面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，為了使對與所述第二隔壁的面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市∮趯εc所述第二隔壁的面向非像素部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎剩?使用對于與各個(gè)面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎驶ゲ幌嗤难谀?，由此將所述第二隔壁形成為其面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，在所述第三工序中，通過在對所述感光性抗蝕劑材料進(jìn)行曝光、顯影后，對與所述第一隔壁的面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，從而將所述第一隔壁形成為其面向所述第一像素部的第三發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度，并且，通過對與所述第二隔壁的面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，從而將所述第二隔壁形成為其面向所述第二像素部的第一發(fā)光部側(cè)的面部的傾斜角度大于面向所述非像素部側(cè)的面部的傾斜角度。
12.—種有機(jī)顯示裝置，具備通過權(quán)利要求8 11中的任意一項(xiàng)所述的制造方法得到的有機(jī)發(fā)光面板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法、以及有機(jī)顯示裝置。像素部(100a)和像素部(100b)配置成在其間設(shè)有非像素部(100c)的狀態(tài)。對像素部(100a)中的子像素(100a1、100a2、100a3)和像素部(100b)中的子像素(100b1)同時(shí)涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨。另方面，在非像素部(100c)不形成有機(jī)發(fā)光層，因此不涂覆墨。堤(105d)的面向子像素(100a3)側(cè)的面部(105d3)的傾斜角度(θd3)大于面向非像素部(100c)側(cè)的面部(105dc)的傾斜角度(θdc)，同樣地，堤(105e)的面向子像素(100b1)側(cè)的面部(105e1)的傾斜角度(θe1)大于面向非像素部(100c)側(cè)的面部(105ec)的傾斜角度(θec)。
文檔編號H05B33/22GK102577612SQ201080020700
公開日2012年7月11日 申請日期2010年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者松島英晃 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社