專利名稱：石墨加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及石墨加熱器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體用石墨加 熱器。
背景技術(shù)：
隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展，化合物半導(dǎo)體逐漸被更為廣泛的應(yīng)用，III - V族化合 物半導(dǎo)體如砷化鎵、磷化鎵、銻化銦等也越來越受到人們的重視，而生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體其大 部分過程是吸熱過程，即需要外部供給熱量，因?yàn)槭叩碾娮杪瘦^高，對電流的阻礙作用 也較大，當(dāng)給石墨通電時，會放出大量熱，因它具有高熔點(diǎn)3500°C、高沸點(diǎn)4827°C的特性， 在惰性氣體保護(hù)下不會熔化、蒸發(fā)、反應(yīng)，因此石墨具常常被用于生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體的單晶 爐加熱器具。目前，國內(nèi)單晶爐所用石墨加熱器均為直筒型石墨加熱器，直筒型石墨加熱器 具有橫向、縱向溫度梯度變化巨大，加熱器內(nèi)熱對流劇烈，爐溫溫場不穩(wěn)定的缺點(diǎn)。使得拉 晶過程中，單晶容易變?yōu)槎嗑?，用電量過高。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于上述不足之處，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是如何提供一種具有更加均 勻的熱場，使坩堝中料的溫度更穩(wěn)定的用于化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)的石墨加熱器。本實(shí)用新型所提出的技術(shù)問題是這樣解決的構(gòu)造一種石墨加熱器，由筒狀加熱 器本體構(gòu)成，所述加熱器本體中下部收窄，底部設(shè)有與電極相連的引腳，整個加熱器本體呈 杯狀。本實(shí)用新型的有益效果為本實(shí)用新型把將現(xiàn)有的直筒狀石墨加熱器的中下部收 窄，使整個加熱器本體呈杯狀，貼近坩堝托桿，使得加熱器下部也通過電流發(fā)熱，從而讓加 熱器內(nèi)溫場更穩(wěn)定，原料受熱均勻，解決了石墨加熱器橫向、縱向溫度梯度變化巨大，加熱 器內(nèi)熱對流劇烈，爐溫溫場不穩(wěn)定的問題。

圖1是本實(shí)用新型所提供的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的豎向剖面圖。圖中1.加熱器本體，2.引腳。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。如圖1和圖2所示，一種石墨加熱器，由筒狀加熱器本體1構(gòu)成，加熱器本體1中 下部收窄，底部設(shè)有與電極相連的引腳2，整個加熱器本體1呈杯狀。
權(quán)利要求1. 一種石墨加熱器，由筒狀加熱器本體(1)構(gòu)成，其特征在于所述加熱器本體(1)中 下部收窄，底部設(shè)有與電極相連的引腳(2)，整個加熱器本體(1)呈杯狀。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種石墨加熱器，由筒狀加熱器本體構(gòu)成，所述加熱器本體中下部收窄，底部設(shè)有與電極相連的引腳，整個加熱器本體呈杯狀。本實(shí)用新型的有益效果為本實(shí)用新型把將現(xiàn)有的直筒狀石墨加熱器的中下部收窄，使整個加熱器本體呈杯狀，貼近坩堝托桿，使得加熱器下部也通過電流發(fā)熱，從而讓加熱器內(nèi)溫場更穩(wěn)定，原料受熱均勻，解決了石墨加熱器橫向、縱向溫度梯度變化巨大，加熱器內(nèi)熱對流劇烈，爐溫溫場不穩(wěn)定的問題。
文檔編號C30B15/14GK201933199SQ20102069507
公開日2011年8月17日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者周雅清 申請人:樂山凱亞達(dá)光電科技有限公司