專利名稱：Rrs型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及超精密定位技術，特別是一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位
D ο
背景技術：
常規(guī)的三自由度并聯(lián)機構(gòu)一般都是運用剛性元件來實現(xiàn)，為了實現(xiàn)精密定位，通 常采用伺服電機和精密絲杠傳動方案，然而這種定位方式由于螺紋間隙和傳動摩擦的存 在，其定位精度一般只能達到微米級。為了補償傳動誤差，提高分辨率，往往采用電磁或壓 電驅(qū)動對工作平臺進行精細位置調(diào)整，但調(diào)整過程長、系統(tǒng)復雜，且由于空間耦合作用使得 空間定位精度調(diào)整難以實現(xiàn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型目的是克服上述不足，提供一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺。本實用新型技術方案一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺，將三個相同 柔順支鏈1分別緊固在固定基座3的三個面上，末端執(zhí)行器2安裝在三個柔順支鏈的動平 臺7上，超精密定位平臺13固定于末端執(zhí)行器2上；柔順支鏈1中的定平臺5與柔性連桿10 —端連接，柔性連桿10另一端依次與轉(zhuǎn) 動關節(jié)12、11相連接，柔性連桿9 一端通過轉(zhuǎn)動關節(jié)11與柔性連桿10連接，動平臺7通過 球面關節(jié)8與柔性連桿9另一端相連接，壓電陶瓷驅(qū)動4驅(qū)動轉(zhuǎn)動關節(jié)12所連接柔順連桿 10，形成具有全柔順結(jié)構(gòu)支鏈；通過螺釘孔6，三個相同柔順支鏈1分別用螺釘緊固在固定基座3的三個面上。有益效果利用柔順元件的彈性變形傳遞或轉(zhuǎn)換運動、力或能量的一種新型免裝 配機構(gòu)，避免了并聯(lián)機構(gòu)由于運動副軸線裝配誤差及運動副存在的間隙對末端平臺運動特 性所造成的影響，定位精準；克服常規(guī)方式由于螺紋孔行程和傳動摩擦等因素對精密定位 精度的影響，達到納米級超精密定位。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中一個柔順支鏈的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
三個結(jié)構(gòu)相同的柔順支鏈1通過螺釘分別固定在固定基座3上，同時末端執(zhí)行器2 固定在三個柔順支鏈的動平臺7上。安裝在柔順支鏈上的壓電陶瓷驅(qū)動4驅(qū)動后，柔性連 桿10和柔性連桿9由于轉(zhuǎn)動關節(jié)11、12的彈性變形而產(chǎn)生運動，運動通過球面關節(jié)8傳到 動平臺7，根據(jù)三個柔順支鏈的運動來確定超精密定位平臺的空間三轉(zhuǎn)動運動，最終實現(xiàn)超精密定位。本實用新型中末端執(zhí)行器2、固定基座3、超精密定位平臺13、壓電陶瓷驅(qū)動4等均 為現(xiàn)有產(chǎn)品。本實用新型中球面關節(jié)8，連接在柔性連桿9和動平臺7之間，為超精密定位平臺 提供移動約束，實現(xiàn)其柔性微轉(zhuǎn)動運動。
權利要求一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺，其特征在于將三個相同柔順支鏈(1)分別緊固在固定基座(3)的三個面上，末端執(zhí)行器(2)安裝在三個柔順支鏈(1)的動平臺(7)上，超精密定位平臺(13)固定于末端執(zhí)行器(2)上。
2.根據(jù)權利要求1所述一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺，其特征在于柔 順支鏈(1)中的定平臺(5)與柔性連桿(10) —端連接，柔性連桿(10)另一端依次與轉(zhuǎn)動 關節(jié)(12)、(11)相連接，柔性連桿(9) 一端通過轉(zhuǎn)動關節(jié)(11)與柔性連桿(10)連接，動平 臺(7)通過球面關節(jié)(8)與柔性連桿(9)另一端相連接，壓電陶瓷驅(qū)動(4)驅(qū)動轉(zhuǎn)動關節(jié) (12)所連接柔順連桿(10)，形成具有全柔順結(jié)構(gòu)支鏈。
3.根據(jù)權利要求1所述一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺，其特征在于三 個相同柔順支鏈(1)分別通過螺釘緊固在固定基座(3)的三個面上。
專利摘要本實用新型涉及超精密定位技術，特別是一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動微動超精密定位平臺。本實用新型是將三個相同柔順支鏈分別緊固在固定基座的三個面上，末端執(zhí)行器安裝在三個柔順支鏈的動平臺上，超精密定位平臺固定于末端執(zhí)行器上。其繼承了并聯(lián)機構(gòu)空間多自由度運動特性，克服了常規(guī)方式由于螺紋孔行程和傳動摩擦等因素對精密定位精度的影響，達到納米級超精密定位。
文檔編號G12B5/00GK201732585SQ20102027284
公開日2011年2月2日 申請日期2010年7月24日 優(yōu)先權日2010年7月24日
發(fā)明者朱大昌, 陳強, 顧起華, 黃勇 申請人:江西理工大學