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Rrs型空間三轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)超精密定位平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8150725

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及超精密定位技術(shù),特別是一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)超精密定位D ο背景技術(shù)常規(guī)的三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)一般都是運(yùn)用剛性元件來(lái)實(shí)現(xiàn),為了實(shí)現(xiàn)精密定位,通 常采用伺服電機(jī)和精密絲杠傳動(dòng)方案,然而這種定位方式由于螺紋間隙和傳動(dòng)摩擦的存 在,其定位精度一般只能達(dá)到微米級(jí)。為了補(bǔ)償傳動(dòng)誤差,提高分辨率,往往采用電磁或壓 電驅(qū)動(dòng)對(duì)工作平臺(tái)進(jìn)行精細(xì)位置調(diào)整,但調(diào)整過(guò)程長(zhǎng)、系統(tǒng)復(fù)雜,且由于空間耦合作用使得 空間定位精度調(diào)整難以實(shí)現(xiàn)。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是克服上述不足,提供一種RRS型空間三轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)超精密定位平臺(tái)...
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