專利名稱：一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于酸腐蝕、清洗硅錠、硅塊、硅棒的設(shè)備，特別是一種用于大直徑單晶位錯腐蝕清洗的設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著大直徑單晶的生產(chǎn)量越來越大，客戶的要求越來越嚴(yán)格，現(xiàn)在基本上要求無滑移的單晶。原檢驗方法是在單晶等徑位置截取樣品進(jìn)行滑移檢測。如果檢測出有滑移， 還要再進(jìn)行取樣，而且取樣長度只能靠經(jīng)驗估計。為了更準(zhǔn)確的劃分滑移和無滑移部分，需要將整根單晶浸泡在配制的酸腐蝕液中。考慮到人的安全問題，原先在腐蝕取樣樣片時，腐蝕完樣片的酸都要排放到酸罐里，而且排放的酸不能再重新使用，如果還按照之前的方法腐蝕整根單晶的話，單晶太重(以Φ360πιπι L :200mm單晶為例重量大約W :48Kg，實際生產(chǎn)中有Φ400πιπι，L :380mm的單晶)，單靠人來搬運(yùn)的話，不僅單晶存在磕碰的問題，而且最重要的是人的安全無法得到保證。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于大直徑單晶位錯腐蝕、清洗的設(shè)備，使用本設(shè)備可以準(zhǔn)確的劃分滑移和無滑移部分、使酸重復(fù)使用，減少酸的使用量和排放量、保證操作人員以及單晶的安全，大大降低了生產(chǎn)的成本，提高了生產(chǎn)的效率。為達(dá)到上述發(fā)明的目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案這種大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，它包括儲酸罐，清洗機(jī)箱體，箱體內(nèi)設(shè)有供腐蝕或清洗硅錠、硅塊、硅棒用的清洗槽，箱體的上部面板部位設(shè)有安全防護(hù)門，箱體的上部設(shè)接抽風(fēng)系統(tǒng)的接口，還包括液體管路部分、水氣槍部分，在設(shè)備的底部裝有活動腳輪。箱體的骨架部分可采用不銹鋼方管，不銹鋼方管外包德國產(chǎn)3mm瓷白PVC板，保證了設(shè)備的整體強(qiáng)度和防腐。所述的箱體上部接抽風(fēng)系統(tǒng)接口可設(shè)在箱體后部，形成上雙排風(fēng)的抽風(fēng)形式。槽外設(shè)有防止酸液外泄的防漏盤，防漏盤的底部可為傾斜式。清洗槽底部設(shè)排液口和排水口。加液方式可采用的是PVDF隔膜泵。設(shè)備排酸和排水可采取分流排放。清洗工藝流程檢查水、電、氣正常一啟動電源一手動配酸一將硅錠置于籃具內(nèi)一通過升降手推車將硅錠、硅棒放入酸洗槽(清洗槽)一進(jìn)入酸泡程序一手動排酸(到儲酸罐)一水洗(同時排液閥打開)一合格一通過升降手推車將硅錠從清洗槽取出一完成清洗。


圖1 本清洗機(jī)的主視圖
圖2:圖1的右視3:圖1的俯視4:圖1中的筐籃示意5:本清洗機(jī)的立體中，1為安全防護(hù)門，2為酸洗和水洗用的清洗槽，3為支撐骨架，4為防漏盤，5為地腳及地輪，6為排風(fēng)系統(tǒng)的接口，7為儲酸槽，8為循環(huán)泵，9為水汽槍，10為照明，11為臺面板，12為筐籃，13為操作按鈕，14為4循環(huán)管，15為緩沖底板，16為清洗機(jī)箱體。
具體實施例方式清洗機(jī)箱體全封閉柜體式結(jié)構(gòu)，為方便設(shè)備的挪動、維修、維護(hù)，在設(shè)備的底部裝有活動膠輪及可調(diào)整高度的地腳5，主體采用Icrl8ni9ti不銹鋼方管鋼外包3MMPVC板，它具有堅固耐用又有防腐蝕的作用，外形整體為IOmmPVC板，安全防護(hù)門1上下高度可自由調(diào)整。箱體底部裝有活動腳輪，可調(diào)整水平的地腳。升降手推車SUS304，液壓升降清洗槽槽體采用進(jìn)口 IOmm的PVDF焊接而成，內(nèi)槽底部設(shè)有過濾網(wǎng)，以防止碎屑堵塞管路。槽體四周有加強(qiáng)筋，底部座在平板上，防止槽體變形。槽底采用傾斜式，以便清洗液排空。注酸通過氣動隔膜泵自動打入酸洗槽內(nèi)，廢酸排放通過手閥排入儲酸槽7。清洗水通過排水管路手動排出。槽內(nèi)設(shè)有高液位控制，防止溶液溢出。配有PVC填充箱。防漏盤為防止酸洗槽(清洗槽)內(nèi)的酸液溢流而對人身安全和環(huán)境造成損害，在酸洗槽(清洗槽)的外面，設(shè)置了防漏盤。為便于排液，防漏盤底部設(shè)置為傾斜式.槽底的底處設(shè)排液口和排水口。為方便維修和清理，排液口裝有可拆卸式濾網(wǎng)，以防止零件脫落或玻璃進(jìn)入管道中阻塞管道。儲酸罐槽體采用IOmm象牙白PVC焊接而成.槽體四周有加強(qiáng)筋，底部座在平板上，防止槽體變形。槽底采用傾斜式，以便清洗液排空。通過氣動隔膜泵酸循環(huán)管路打入酸洗槽內(nèi)，廢酸及廢水分別排放通過手閥排出。槽內(nèi)設(shè)有高低液位控制，防止干抽及溶液溢
出ο筐籃采用IOmmPVDF材質(zhì)焊接而成，安全防護(hù)門為防止酸霧對人體的傷害和對周圍環(huán)境的保護(hù)在設(shè)備操作部位裝有透明PVC防護(hù)門，防護(hù)門的高度可以根據(jù)現(xiàn)場工藝人員的操作需求自由定位和滑動。抽風(fēng)系統(tǒng)設(shè)備頂部可配有抽風(fēng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥。管路部分采用PVC/PVDF材質(zhì)，管道盡可能使用焊接工藝，為了機(jī)器維修和運(yùn)輸方便，采用法蘭連接。
權(quán)利要求
1.一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于它包括儲酸罐，清洗機(jī)箱體，箱體內(nèi)設(shè)有供腐蝕或清洗硅錠、硅塊、硅棒用的清洗槽，箱體的上部面板部位設(shè)有安全防護(hù)門，箱體的上部設(shè)接抽風(fēng)系統(tǒng)的接口，還包括液體管路部分、水氣槍部分，在設(shè)備的底部裝有活動腳輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于箱體的骨架部分采用不銹鋼方管，不銹鋼方管外包德國產(chǎn)3mm瓷白PVC板，保證了設(shè)備的整體強(qiáng)度和防腐。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于所述的箱體上部接抽風(fēng)系統(tǒng)接口設(shè)在箱體后部，形成上雙排風(fēng)的抽風(fēng)形式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于槽外設(shè)有防止酸液外泄的防漏盤。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于防漏盤的底部為傾斜式。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于清洗槽底部設(shè)排液口和排水口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于加液方式采用的是PVDF隔膜泵。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，其特征在于設(shè)備排酸和排水采取分流排放。
全文摘要
一種用于大直徑單晶位錯的腐蝕清洗機(jī)，它包括儲酸罐，清洗機(jī)箱體，箱體內(nèi)設(shè)有供腐蝕或清洗硅錠、硅塊、硅棒的清洗槽，箱體的上面板部位設(shè)有安全防護(hù)門，箱體的上部接抽風(fēng)系統(tǒng)，還包括液體管路部分、水氣槍部分，整臺設(shè)備底部裝有接液盤，在設(shè)備的底部裝有活動腳輪。本設(shè)備通過帶有升降功能的移動推車將裝有硅錠的籃具放入酸洗槽(清洗槽)內(nèi)，通過點(diǎn)接觸按鈕開關(guān)控制相應(yīng)的泵、閥進(jìn)行供酸、排酸，完成硅錠、硅塊、硅棒的清洗腐蝕。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是將大直徑單晶整根位錯腐蝕，避免取樣或者重復(fù)取樣，并且可以準(zhǔn)確的劃分滑移和無滑移部分；儲酸罐的結(jié)構(gòu)可以使酸重復(fù)使用，減少了酸的使用量和排放量。
文檔編號C30B33/10GK102485977SQ201010577650
公開日2012年6月6日 申請日期2010年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月2日
發(fā)明者曹孜, 李惠, 李晨, 石宇 申請人:有研半導(dǎo)體材料股份有限公司