專利名稱：電子部件搭載頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電子部件搭載頭，其在通過使吸附嘴升降而吸附保持電子部件， 向配線基板等安裝對象進行搭載時進行負載控制。
背景技術(shù)：
通常，在電子部件搭載頭(下面稱為搭載頭)中，在相對于搭載頭可上下移動地被 支撐的吸附嘴從部件供給裝置吸附保持電子部件時、或?qū)⑺３值碾娮硬考蚺渚€基板上 搭載時，進行下述負載控制，即，利用下降的吸附嘴前端部，以規(guī)定負載將電子部件向下方按壓。例如在專利文獻1中，如本申請的圖1所示，公開了一種進行電子部件的負載控制 的搭載頭。在圖1中，搭載頭具有移動體114，其相對于基座部111可上下移動地被支撐；支 撐軸133，其相對于移動體114可上下移動地被支撐；旋轉(zhuǎn)殼體131，其固定于所述支撐軸 133的下端；管狀的吸附嘴軸141，其相對于旋轉(zhuǎn)殼體131可上下移動地被支撐；吸附嘴支 架113，其設(shè)置于吸附嘴軸141的下端部；吸附嘴112，其由吸附嘴支架113保持，利用空氣 吸力在前端部吸附保持電子部件C ；第1上下移動單元120，其沿上下方向驅(qū)動所述移動體 114 ；第2上下移動單元130，其安裝在所述移動體114上，并且沿上下方向驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)殼 體131 ；負載補償用壓縮彈簧116，其抵消所述吸附嘴112和所述吸附嘴支架113的重量；測 力傳感器115，其檢測向所述吸附嘴112的前端部施加的加壓力；以及壓縮彈簧117，其位于 該測力傳感器115和吸附嘴支架側(cè)之間，沿上下方向傳遞負載。所述第1上下移動單元120 具有Z軸電動機121。所述第2上下移動單元130具有音圈電動機(VCM) 134。在將電子部件C向基板上搭載的情況下，通過Z軸電動機121的動作，使移動體 114下降，從而使吸附嘴112下降至基板附近，然后，通過VCM 134的動作時旋轉(zhuǎn)殼體131下 降，將保持在吸附嘴112上的該電子部件C向基板上加壓搭載。另外，在該搭載頭中，下端部安裝有吸附嘴112的吸附嘴軸141使用花鍵軸，從而 可以相對于基座部111或移動體114上下移動及繞軸中心旋轉(zhuǎn)。如上所述，作為花鍵軸使用滾珠循環(huán)式，該花鍵軸用于在通過Z軸電動機121使吸 附嘴112上下動作的同時，將由θ軸電動機154產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)向吸附嘴軸傳遞，而不會妨礙 上下動作。但是，對于滾珠循環(huán)式花鍵軸，由于在滾珠循環(huán)時滑動阻力較大，所以產(chǎn)生下述問 題，g卩，由于摩擦或震動而導(dǎo)致在吸附嘴軸141中產(chǎn)生阻力，無論吸附嘴112的前端是否進 行接觸，都如同已經(jīng)接觸那樣檢測出負載。為了解決上述問題，如專利文獻2公開所示，已知一種搭載頭，其采用在螺母和軸 之間設(shè)置保持滾珠的保持器(retainer)的保持器式花鍵軸，使?jié)L珠之間形成非接觸構(gòu)造， 以可以與微小負載對應(yīng)。專利文獻1 日本國特開2005-32860號公報
專利文獻2 日本國專利第3961083號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，在所述專利文獻2所公開的搭載頭中，保持器式花鍵軸對于高精度的搭載 負載控制有效，但由于其自身要求較高加工精度等的制約，所以難以制作具有滾珠循環(huán)式 這樣的長行程的花鍵軸，因此，存在無法用于由于使用Z軸電動機而要求長行程動作的搭 載頭中的問題。本發(fā)明的課題在于，提供一種搭載頭，其可以使吸附嘴以長行程上下移動，并且可 以在搭載電子部件時實現(xiàn)高精度的負載控制。本發(fā)明為一種電子部件搭載頭，其具有可動部，其可以相對于基座部沿上下方向 移動；吸附嘴軸，其分別可以繞軸旋轉(zhuǎn)及上下移動地支撐在該基座部及可動部上，在下端 部支撐吸附嘴；加壓軸，其將該吸附嘴軸向下方按壓；以及負載傳感器，其被支撐在檢測軸 上，檢測在由該加壓軸進行按壓時施加在吸附嘴軸上的負載，該電子部件搭載頭在部件搭 載時進行負載控制，其特征在于，在所述吸附嘴軸中配置有多個形式不同的花鍵軸，其中包括低阻力花鍵軸，該低 阻力花鍵軸可以相對于所述可動部繞軸旋轉(zhuǎn)以及進行滑動阻力較低的上下移動，從而解決 上述課題。本發(fā)明也可以在所述多個形式不同的花鍵軸中，包含滾珠循環(huán)式花鍵軸和作為所 述低阻力花鍵軸的有限行程式花鍵軸。另外，也可以設(shè)置剛性聯(lián)軸器，設(shè)置有剛性聯(lián)軸器，其固定可滑動地支撐所述有限 行程式花鍵軸的有限行程式花鍵螺母，僅可以繞軸旋轉(zhuǎn)地支撐在所述可動部上。此外，也可以使所述負載傳感器朝向下方的所述檢測軸，相對于所述吸附嘴軸偏 移地配置，并且在所述加壓軸的下部與所述加壓軸連續(xù)形成，負載臂經(jīng)由軸承與所述吸附 嘴軸連結(jié)，并且在該負載臂上卡合所述負載傳感器，經(jīng)由被所述加壓軸下壓的所述負載傳 感器將該負載臂下壓，從而將所述吸附嘴軸向下方按壓。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，由于在吸附嘴軸中配置有多個花鍵軸，其中包括可以相對于可動部 繞軸旋轉(zhuǎn)及進行滑動阻力較低的上下移動的低阻力花鍵軸，所以通過在例如進行長行程 移動時，使用滾珠循環(huán)式花鍵軸，在電子部件搭載時，使用滑動阻力較低的有限行程的花鍵 軸，從而可以同時實現(xiàn)吸附嘴的迅速上下移動、以及電子部件以高精度的負載進行搭載。


圖1是表示現(xiàn)有的搭載頭的一個例子的縱剖面圖。圖2是表示可以應(yīng)用本發(fā)明的部件安裝裝置的整體斜視圖。圖3是示意地表示本發(fā)明所涉及的第1實施方式的搭載頭的特征的剖面圖。圖4是示意地表示在本實施方式中所使用的空氣軸承的穿過軸中心的縱向要部 剖面的斜視圖。
具體實施例方式首先，說明使用本發(fā)明所涉及的第1實施方式的搭載頭的電子部件安裝裝置的概要。通常，電子部件安裝裝置1如圖2所示，具有搭載頭10，其將由部件供給部3供給 的電子部件，安裝在通過沿左右方向延伸的基板輸送路徑2輸送并定位的基板S上；以及X 軸移動機構(gòu)12及Y軸移動機構(gòu)14，它們分別使該搭載頭10在沿在水平方向上彼此正交的 X方向及Y方向上移動。X軸移動機構(gòu)12使搭載頭10沿X軸方向移動，并且，Y軸移動機構(gòu)14使搭載頭 10與X軸移動機構(gòu)12 —體地沿Y軸方向移動，該搭載頭10上可以安裝用于吸附部件的1 個或者2個或2個以上吸附嘴10A。搭載頭10具有Z軸移動機構(gòu)，其使吸附嘴IOA可沿垂 直軸(Z軸)方向升降地進行移動；以及θ軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其使吸附嘴IOA以吸附嘴軸(吸附 軸)為中心旋轉(zhuǎn)。另外，在搭載頭I0中經(jīng)由支撐部件安裝有基板識別照相機16，其對在基板S上形 成的基板標(biāo)記進行拍攝。在部件供給部3的側(cè)部配置有部件識別照相機18，其從下方拍攝 吸附在吸附嘴IOA上的部件。在上述所示的電子部件安裝裝置1中，在芯片等電子部件由搭載頭10具有的吸附 嘴IOA吸附保持之后，向被定位的印刷基板等基板S上搭載。本實施方式的搭載頭10，如圖3中示意地示出的穿過吸附嘴軸20的軸中心的剖 面圖所示，其固定在所述χ軸移動機構(gòu)12上而沿X軸方向移動的基座部70，由搭載頭板22 和固定在其上的托架24構(gòu)成。在該托架24上安裝Z軸電動機26，沿著垂直方向構(gòu)成Z軸28的滾珠螺桿28Α，經(jīng) 由Z軸聯(lián)軸器26Α可旋轉(zhuǎn)地與該Z軸電動機26連結(jié)，通過該滾珠螺桿28Α的旋轉(zhuǎn)，固定有滾 珠螺桿螺母28Β的滑塊(可動部)30，可以相對于所述搭載頭板22而經(jīng)由直線引導(dǎo)部30Α 上下移動。即，由與Z軸電動機26聯(lián)動的上述各要素構(gòu)成Z軸移動機構(gòu)。另外，在該托架24上安裝θ軸電動機32，該θ軸電動機32經(jīng)由θ聯(lián)軸器32Α 與圓筒狀的θ殼體34連結(jié)，該θ殼體34經(jīng)由θ軸軸承34Α，可繞軸中心旋轉(zhuǎn)地支撐在該 托架24上。另外，在該θ殼體34的下端部，固定有可以長行程地上下移動的滾珠循環(huán)式花鍵 螺母36。在該花鍵螺母36中插入僅可以沿上下方向滑動的花鍵軸36Α?；ㄦI軸36Α的下 端部固定有剛性聯(lián)軸器38。所述剛性聯(lián)軸器38由聯(lián)軸器用軸承38Α支撐，僅可以相對于所述滑塊30繞軸旋 轉(zhuǎn)。在該剛性聯(lián)軸器38的下方內(nèi)部，固定有有限行程的花鍵螺母40。另外，在該有限行程的花鍵螺母40中插入有限行程的花鍵軸40Α，該花鍵軸40Α 與滾珠循環(huán)式花鍵軸36Α同軸地被支撐，在其外周設(shè)置花鍵螺母40。該有限行程的花鍵軸 40Α與所述專利文獻2所公開的保持器式花鍵軸相同，具有雖然行程較短，但滑動阻力較小 的特征。即，該有限行程的花鍵軸40Α構(gòu)成低阻力花鍵軸。由與θ軸電動機32聯(lián)動的上 述各要素構(gòu)成θ軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。在本實施方式中，吸附嘴軸20構(gòu)成為，具有所述θ殼體34、滾珠循環(huán)式花鍵螺 母36、滾珠循環(huán)式花鍵軸36Α、剛性聯(lián)軸器38、有限行程的花鍵螺母40、有限行程的花鍵軸 40Α,該吸附嘴軸20繞軸旋轉(zhuǎn)及上下移動地支撐在所述托架24及滑塊30上，在吸附嘴軸20的下部20A的下端部可以安裝吸附嘴10A。另外，在所述滑塊30上固定音圈電動機(VCM)46，可以利用該VCM 46向下方按壓 VCM軸(加壓軸)48，該VCM軸48經(jīng)由固定在該滑塊30上的VCM花鍵螺母46A，相對于吸附 嘴軸20偏移地設(shè)置，且與吸附嘴軸20平行地被支撐，并且，在該VCM軸48的下部，一體地 連續(xù)形成檢測軸50A，該檢測軸50A在下端部支撐測力傳感器(負載傳感器)50。另一方面，在所述吸附嘴軸20的中間，經(jīng)由軸承單元(軸承)52連結(jié)負載臂54，該 負載臂54沿與所述吸附嘴軸20正交的Y方向延伸。該軸承單元52成為可以經(jīng)由內(nèi)置的 軸承而退避的機構(gòu)，以使得吸附嘴軸20的旋轉(zhuǎn)力不會傳遞至VCM軸48。另外，該負載臂54的收容在測力傳感器殼體56內(nèi)的部分，與上端部固定在測力傳 感器50上的加壓彈簧56A的下端部、和自重抵消彈簧56B的上端部連結(jié)，在該殼體56內(nèi)可 沿上下方向移動地被支撐。由此，如果驅(qū)動VCM 46，則測力傳感器50經(jīng)由加壓彈簧56A下壓負載臂54，從而 可以將吸附嘴IOA向下方按壓，并且，此時的負載經(jīng)由該加壓彈簧56A傳遞至測力傳感器 50，從而被檢測。在由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本實施方式的搭載頭10中，Z軸28將來自Z軸電動機26的 力，經(jīng)由構(gòu)成該Z軸28的滾珠螺桿28A直接向由滑塊30及直線引導(dǎo)部30A等構(gòu)成的滑塊 部傳遞。安裝在該滑塊30上的所述VCM 46、空氣軸承44等，由滾珠螺桿28A —體地上下驅(qū) 動，搭載頭10沿著安裝在搭載頭板22上的導(dǎo)軌22A，由直線引導(dǎo)部30A上下引導(dǎo)。在所述吸附嘴軸20中，通過利用構(gòu)成該吸附嘴軸20的滾珠循環(huán)式花鍵軸36A沿 上下方向自由移動，從而不妨礙滑塊30的上下動作，并且，通過由θ軸電動機32產(chǎn)生的θ 方向的旋轉(zhuǎn)動作，使在吸附嘴軸下部20Α上安裝的吸附嘴IOA進行旋轉(zhuǎn)，該吸附嘴軸下部 20Α經(jīng)由中間的θ聯(lián)軸器32Α及花鍵用聯(lián)軸器42等與θ軸電動機32連結(jié)。并且，該吸附嘴軸20在通過滾軸螺桿28Α產(chǎn)生的移動之外，經(jīng)由所述保持器式花 鍵軸40Α，通過驅(qū)動VCM軸48的VCM 46而以用于加壓的行程量(士 2mm)獨立地進行動作。如上述所示，在本實施方式中具有下述特征，即，對于傳遞僅可以上下移動的θ 軸旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)，使用滾珠循環(huán)式和摩擦(滑動)阻力較小的有限行程(保持器式)這兩種 不同形式的花鍵軸，可以防止錯誤檢測吸附嘴前端的負載，并且可以檢測微小負載，同時可 以確保吸附嘴IOA的長行程。在由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本實施方式中，在安裝部件吸附·搭載時對施加于吸附嘴 IOA的前端的負載進行檢測時，如下所示進行動作。由吸附嘴IOA承受的垂直方向的力，通過空氣軸承44向軸承單元52和從軸承單 元52開始水平延伸的負載臂54傳遞。該負載臂54通過加壓彈簧56Α和自重抵消彈簧56Β 保持平衡，此時，通過將來自吸附嘴IOA的力傳遞至負載臂54，然后經(jīng)由加壓彈簧56Α傳遞 至測力傳感器50，從而可以檢測負載。另外，在部件搭載時，從吸附嘴IOA向安裝部件施加負載時，如下所示進行動作。通過VCM 46下壓測力傳感器50，從而向加壓彈簧56Α施加力。該力傳遞至負載臂 54和軸承單元52，通過空氣軸承44下壓吸附嘴10Α，從而可以對安裝部件加壓。另外，在使θ軸旋轉(zhuǎn)時，如下所示進行動作。
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來自θ軸電動機32的旋轉(zhuǎn)力，經(jīng)由θ聯(lián)軸器32Α傳遞至θ殼體34。該θ殼體 34可以利用θ軸軸承34Α，避免向托架24傳遞旋轉(zhuǎn)運動，S卩，該θ殼體34可繞軸旋轉(zhuǎn)地 被固定。由于在該θ殼體34中安裝有循環(huán)式花鍵螺母36，所以旋轉(zhuǎn)運動通過循環(huán)式花鍵 螺母36傳遞至花鍵軸36Α，進而傳遞至剛性聯(lián)軸器38，從而傳遞至安裝在該剛性聯(lián)軸器38 上的有限行程花鍵螺母40。在此情況下，與所述θ軸軸承34Α相同地，剛性聯(lián)軸器38被安 裝為，可以通過聯(lián)軸器用軸承38Α避免向滑塊30傳遞旋轉(zhuǎn)力。傳遞至有限行程花鍵螺母40的旋轉(zhuǎn)運動，通過其花鍵軸40Α，經(jīng)由由花鍵用聯(lián)軸 器42連結(jié)的空氣軸承軸(吸附嘴軸下部)20Α，向吸附嘴IOA傳遞旋轉(zhuǎn)力。此外，負載臂54如上述所示，通過內(nèi)置有未圖示的軸承的軸承單元52而不妨礙旋 轉(zhuǎn)運動。此外，在Z軸進行動作時，如下述所示進行動作。對于Z軸28，來自Z軸電動機26的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由Z軸聯(lián)軸器26Α傳遞至滾珠螺桿 28Α。通過該滾珠螺桿28Α將旋轉(zhuǎn)運動變換為直線運動，并傳遞至滑塊30。在該滑塊30上安裝有VCM 46、空氣軸承44等，它們由滾珠螺桿28Α —體地驅(qū)動， 沿著安裝在搭載頭板22上的導(dǎo)軌22Α而被直線引導(dǎo)部30Α上下引導(dǎo)。但是，如上述所示，吸附嘴軸20Α、VCM軸48相對于通過滾珠螺桿28Α而移動的滑 塊30，通過VCM 46而僅以用于進行加壓的行程量(士2mm)獨立地進行動作。并且，通過使 搭載頭板22以安裝在所述X軸移動機構(gòu)12上的狀態(tài)沿XY方向移動，從而可以進行電子部 件的吸附·搭載。作為在該Z軸28動作時傳遞θ軸電動機32的旋轉(zhuǎn)運動的花鍵軸，在由Z軸電動 機26驅(qū)動滑塊30時，僅循環(huán)式花鍵軸36Α沿Z軸方向上下移動，有限行程花鍵軸40Α不移動。另一方面，構(gòu)成下述機構(gòu)，S卩，在利用VCM 46使吸附嘴軸下部20Α上下移動時，僅 有限行程花鍵軸40Α沿Z軸方向上下移動，循環(huán)式花鍵軸36Α不進行動作。根據(jù)以上詳細記述的本實施方式，可以得到下述效果。(1)對于用于向吸附嘴軸20傳遞由θ軸電動機32產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)運動的花鍵軸，由 于是使用雙軸(兩段)的構(gòu)造，所以，即使通過Z軸電動機26而沿Z軸方向(上下方向) 進行動作，也僅有循環(huán)式花鍵軸36Α進行動作。由此，為了傳遞θ軸電動機32產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn) 運動，即使使用行程較短的有限行程花鍵軸40Α，也可以在保證Z軸方向的長行程動作的基 礎(chǔ)上，傳遞θ軸方向的旋轉(zhuǎn)運動。(2)循環(huán)式花鍵軸36Α和有限行程花鍵軸40Α經(jīng)由限制吸附嘴軸20沿上下方向的 移動的剛性聯(lián)軸器38進行連接，形成上下的運動分離的構(gòu)造，由此，即使在驅(qū)動Z軸28時 循環(huán)式花鍵軸36Α進行長行程的動作，也可以不將該動作時的摩擦或震動的影響傳遞至吸 附嘴前端。(3)循環(huán)式花鍵軸36Α和有限行程花鍵軸40Α經(jīng)由限制吸附嘴軸20沿上下方向 的移動的剛性聯(lián)軸器38進行連接，形成上下的運動分離的構(gòu)造，由此，可以在確保通過Z軸 28進行的長行程的動作的基礎(chǔ)上，使用可以進行低摩擦滑動的有限行程花鍵軸40Α向吸附 嘴前端傳遞由θ軸電動機32產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)運動，并且可以高精度地實現(xiàn)負載檢測。
(4)通過使檢測軸50A與吸附嘴軸20的位置關(guān)系偏移，該檢測軸50A與利用VCM 46上下移動的VCM軸48相連續(xù)地形成，在下端部連結(jié)測力傳感器50，從而，即使該吸附嘴 軸20繞軸旋轉(zhuǎn)，測力傳感器50也可以不旋轉(zhuǎn)，由此，可以可靠地防止現(xiàn)有技術(shù)中測力傳感 器的線纜(未圖示)被拉拽、斷開。下面，在圖4中說明第2實施方式，其特征在于，作為可以在傳遞θ軸方向的旋轉(zhuǎn) 運動的同時進行低阻力的直線運動的裝置，取代所述有限行程花鍵螺母40 ·軸40Α而使用 空氣軸承。作為該空氣軸承60，使用空氣花鍵螺母62和空氣花鍵軸62Α，以分別取代上述圖 3所示的有限行程花鍵螺母40及其花鍵軸40Α。空氣花鍵螺母62由收容在剛性聯(lián)軸器38內(nèi)的易于空氣通過的燒結(jié)金屬等多孔質(zhì) 材料構(gòu)成，空氣花鍵軸62Α被制作為，比該空氣花鍵螺母62略小。因此，如果從空氣供給部64向空氣花鍵螺母62供給加壓空氣，則通過多孔質(zhì)材 料，在空氣花鍵螺母62和軸62Α之間的微小的間隙中產(chǎn)生氣壓。由此，由于在其中，空氣花 鍵軸62Α相對于空氣花鍵螺母62處于非接觸狀態(tài)，所以可以通過低摩擦的滑動而上下移動。另外，由于空氣花鍵軸62Α形成為長方柱狀，所以與空氣花鍵螺母62嵌合的部分 形成矩形形狀(多邊形狀)，因此，可以可靠地傳遞θ軸方向的旋轉(zhuǎn)運動。此外，也可以設(shè) 置多個相同種類的花鍵軸，將各個花鍵軸的行程等條件設(shè)定得不同。
權(quán)利要求
一種電子部件搭載頭，其具有可動部，其可以相對于基座部沿上下方向移動；吸附嘴軸，其分別可以繞軸旋轉(zhuǎn)及上下移動地支撐在該基座部及可動部上，在下端部支撐吸附嘴；加壓軸，其將該吸附嘴軸向下方按壓；以及負載傳感器，其被支撐在檢測軸上，檢測在由該加壓軸進行按壓時施加在吸附嘴軸上的負載，該電子部件搭載頭在部件搭載時進行負載控制，其特征在于，在所述吸附嘴軸中配置有多個形式不同的花鍵軸，其中包括低阻力花鍵軸，該低阻力花鍵軸可以相對于所述可動部繞軸旋轉(zhuǎn)以及進行滑動阻力較低的上下移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件搭載頭，其特征在于，在所述多個形式不同的花鍵軸中，包含滾珠循環(huán)式花鍵軸和作為所述低阻力花鍵軸的 有限行程式花鍵軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子部件搭載頭，其特征在于，設(shè)置有剛性聯(lián)軸器，其固定可滑動地支撐所述有限行程式花鍵軸的有限行程式花鍵螺 母，僅可以繞軸旋轉(zhuǎn)地支撐在所述可動部上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件搭載頭，其特征在于，使所述負載傳感器朝向下方的所述檢測軸，相對于所述吸附嘴軸偏移地配置，并且在 所述加壓軸的下部與所述加壓軸連續(xù)形成，負載臂經(jīng)由軸承與所述吸附嘴軸連結(jié)，并且在該負載臂上卡合所述負載傳感器，經(jīng)由 被所述加壓軸下壓的所述負載傳感器將該負載臂下壓，從而將所述吸附嘴軸向下方按壓。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電子部件搭載頭，其實現(xiàn)吸附嘴的長行程移動和高精度的搭載負載控制。該搭載頭具有由Z軸(28)驅(qū)動的可動部(30)；吸附嘴軸(20)，其可繞軸旋轉(zhuǎn)及上下移動地支撐在該可動部上；加壓軸(48)，其將吸附嘴軸相對于可動部向下方按壓；以及負載傳感器(50)，其檢測在由加壓軸進行按壓時施加在吸附嘴軸上的負載，配置多個花鍵軸(36A、40A)，使得吸附嘴軸可以相對于可動部繞軸旋轉(zhuǎn)及上下移動，檢測軸(50A)與吸附嘴軸偏移地設(shè)置，與加壓軸連續(xù)形成，經(jīng)由軸承(52)與吸附嘴軸連結(jié)的負載臂(54)與負載傳感器卡合，經(jīng)由被加壓軸下壓的負載傳感器將該負載臂下壓，從而將吸附嘴軸向下方按壓。
文檔編號H05K13/04GK101909423SQ20101019471
公開日2010年12月8日 申請日期2010年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月5日
發(fā)明者加藤禮貴, 黑田潔 申請人:Juki株式會社