專利名稱：拉晶爐初級吸塵儲塵箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及拉晶爐的除塵設(shè)備。背景技術(shù)：
隨著太陽能電池的不斷推廣應(yīng)用，硅棒的需求量越來越大。目前，硅棒通常采用拉晶爐拉制，俗稱直拉法。直拉法是拉晶爐在真空的腔室內(nèi)設(shè)有石英坩堝，將經(jīng)過處理的高純 多晶硅料或次品硅(單晶硅和多晶硅頭尾料)裝入石英坩堝內(nèi)，并向拉晶爐內(nèi)充入保護性 氣體，加熱至1500°C使硅料熔化，然后將子晶夾頭中的子晶降下與多晶熔硅充分接觸，子晶 嚴格定向，并以一定的速度旋轉(zhuǎn)提升，在晶核誘導(dǎo)下從熔體上被緩緩提拉出來。在拉晶過程 中，硅熔液會產(chǎn)生揮發(fā)性煙氣，主要包括硅氧化物(SiO、少量的SiO2,呈黃色煙塵狀)和雜 質(zhì)揮發(fā)物。這些氣塵粒子必須及時由真空泵抽吸到拉晶爐的初級儲塵箱內(nèi)，否則氣體中灰 塵粒子就會飄浮在單晶生長界面周圍，從而直接影響硅棒的品質(zhì)。因此生產(chǎn)中必須向拉晶 爐中充入氬氣，氬氣由上至下穿過單晶生長區(qū)域，帶走氣塵雜質(zhì)。當氬氣的流量偏小時，能 明顯看到硅熔液上方有煙塵翻騰，俗稱“冒煙”，此時，SiO粒子可能會被吸附到單晶生長界 面上，造成正在生長的單晶的原子晶向發(fā)生位錯，使單晶生長失敗，俗稱“斷苞”，降低了成 晶率。由于電池的單位成本隨著電池尺寸的增加而降低，因此生產(chǎn)大規(guī)格的硅棒是必然 趨勢，這樣一次向拉晶爐內(nèi)投入的硅料量就更大，必須使用更大的石英坩堝。在拉棒過程中 產(chǎn)生的氣塵雜質(zhì)必然會更多，也就增加了硅棒產(chǎn)生位錯的機率。所以，大直徑晶棒需要更迅 速地排除氣塵雜質(zhì)。目前，拉晶爐所配備的初級吸塵儲塵箱的結(jié)構(gòu)如圖1所示，它為豎直的筒狀體，包 括筒體1、筒蓋2和不銹鋼濾網(wǎng)芯3，不銹鋼濾網(wǎng)芯3安裝在筒體1內(nèi)，不銹鋼濾網(wǎng)芯3將筒 體1內(nèi)分隔成存塵室4和真空室5。拉晶爐與初級吸塵儲塵箱和真空泵三者之間連接關(guān)系 如圖2所示，拉晶爐31中的廢氣通過吸塵管32與初級吸塵儲塵箱中的存塵室4相通，真空 泵33通過真空管34與真空室5相通連。在拉晶過程中，拉晶爐31的中含有灰塵的廢氣首 先通過吸塵管32被吸入存塵室4中，然后在真空泵33的抽吸作用下，經(jīng)不銹鋼濾網(wǎng)芯3過 濾，大顆粒的灰塵則阻擋在真空室5外，而小顆粒的灰塵仍會進入真空室5中，由于進入初 級吸塵儲塵箱內(nèi)的廢氣溫度比較高，一般在120°C 150°C，真空泵33長期抽吸含有細小顆 ?；覊m的廢氣，廢氣中的高溫灰塵會直接滲透到真空泵旋轉(zhuǎn)主軸軸承內(nèi)，導(dǎo)致軸承卡死，因 此真空泵的使用壽命很難保證，在實際生產(chǎn)中真空泵的維修次數(shù)較多，費用較高，一旦出現(xiàn) 故障將直接影響硅棒的品質(zhì)，嚴重時導(dǎo)致硅棒報廢，迫使拉晶爐停產(chǎn)維修，拉晶爐的生產(chǎn)效 率沒有得到充分發(fā)揮，到目前為止，太陽能電池生產(chǎn)企業(yè)還沒有理想的解決方法。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種拉晶爐初級吸塵儲塵箱。它不僅能對進入初級吸塵儲塵箱中的廢氣進行多次過濾，提高真空泵的使用壽命，而且更便于對其中的灰塵吸除。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是所述拉晶爐初級吸塵儲塵箱，包括筒體和筒蓋，筒蓋密封地設(shè)置在筒體的上口，在筒蓋上開設(shè)真空管接口，筒體的內(nèi)腔與吸塵管相通連，其特征是在筒體內(nèi)設(shè)有第一過濾網(wǎng) 板和第二過濾網(wǎng)板，二層過濾網(wǎng)板將筒體內(nèi)分隔成存塵室、細塵室和真空室。進一步，第一過濾網(wǎng)板和第二過濾網(wǎng)板均為不銹鋼網(wǎng)板。進一步，第一過濾網(wǎng)板的目數(shù)為30 60目，第二過濾網(wǎng)板的目數(shù)為50 100目。
進一步，在筒蓋上的真空管接口處設(shè)有第三過濾網(wǎng)片。由于在筒體內(nèi)增設(shè)了二層過濾網(wǎng)板，在筒蓋上增設(shè)了第三過濾網(wǎng)片，從拉晶爐中 吸入廢氣進入筒體內(nèi)腔后，依次經(jīng)過第一過濾網(wǎng)板、第二過濾網(wǎng)板和第三過濾網(wǎng)片的過濾， 廢氣中灰塵顆粒經(jīng)三層濾網(wǎng)過濾，大幅度減少了廢氣中灰塵對真空泵的侵害，提高了真空 泵的使用壽命，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足。

圖1為現(xiàn)有初級吸塵儲塵箱的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為拉晶爐、現(xiàn)有初級吸塵儲塵箱、真空泵三者間的連接示意圖；圖中，1-筒體；2-筒蓋；3-不銹鋼濾網(wǎng)芯；4-存塵室；5-真空室；31-拉晶爐； 32-吸塵管；33-真空泵；34-真空管。圖3、圖4為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3中的A-A剖視圖；圖中1_筒體；2-筒蓋；4-存塵室；5-真空室；6-第一過濾網(wǎng)板；7-第二過濾網(wǎng) 板；8-細塵室；21-真空管接口 ；22-第三過濾網(wǎng)片。
具體實施方式下面結(jié)合

本發(fā)明的具體實施方案本發(fā)明所述拉晶爐初級吸塵儲塵箱，如圖3、圖4所示，它包括筒體1和筒蓋2，筒 蓋2密封地設(shè)置在筒體1的上口，在筒蓋2上開設(shè)真空管接口 21，筒體1的內(nèi)腔與吸塵管 32相通連，其特征是在筒體1內(nèi)設(shè)有第一過濾網(wǎng)板6和第二過濾網(wǎng)板7，第一過濾網(wǎng)板6 和第二過濾網(wǎng)板7均為不銹鋼網(wǎng)板，第一過濾網(wǎng)板的目數(shù)為30 60目，第二過濾網(wǎng)板的目 數(shù)為50 100目，二層不銹鋼濾網(wǎng)板將筒體1內(nèi)分隔成存塵室4、細塵室8和真空室5，在 筒蓋2上的真空管接口 21處設(shè)有第三過濾網(wǎng)片22。
權(quán)利要求
一種拉晶爐初級吸塵儲塵箱，其特征是包括筒體(1)和筒蓋(2)，筒蓋(2)密封地設(shè)置在筒體(1)的上口，在筒蓋(2)上開設(shè)真空管接口(21)，筒體(1)的內(nèi)腔與吸塵管(32)相通連，其特征是在筒體(1)內(nèi)設(shè)有第一過濾網(wǎng)板(6)和第二過濾網(wǎng)板(7)，二層過濾網(wǎng)板將筒體(1)內(nèi)分隔成存塵室(4)、細塵室(8)和真空室(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述拉晶爐初級吸塵儲塵箱，其特征是第一過濾網(wǎng)板(6)和第二 過濾網(wǎng)板⑵均為不銹鋼網(wǎng)板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述拉晶爐初級吸塵儲塵箱，其特征是第一過濾網(wǎng)板(6)的目數(shù) 為30 60目，第二過濾網(wǎng)板(7)的目數(shù)為50 100目。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述拉晶爐初級吸塵儲塵箱，其特征是在筒蓋(2)上的真空管接 口(21)處設(shè)有第三過濾網(wǎng)片(22)。
全文摘要
一種拉晶爐初級吸塵儲塵箱，包括筒體和筒蓋，筒蓋密封地設(shè)置在筒體的上口，在筒蓋上開設(shè)真空管接口，筒體的內(nèi)腔與吸塵管相通連，在筒體內(nèi)設(shè)有第一過濾網(wǎng)板和第二過濾網(wǎng)板，二層過濾網(wǎng)板將筒體內(nèi)分隔成存塵室、細塵室和真空室。從拉晶爐中吸入廢氣進入筒體內(nèi)腔后，依次經(jīng)過第一過濾網(wǎng)板、第二過濾網(wǎng)板和第三過濾網(wǎng)片的過濾，廢氣中灰塵顆粒經(jīng)三層濾網(wǎng)過濾，大幅度減少了廢氣中灰塵對真空泵的侵害，提高真空泵的使用壽命，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足。
文檔編號C30B15/00GK101831690SQ201010186540
公開日2010年9月15日 申請日期2010年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月31日
發(fā)明者周小偉 申請人:常州億晶光電科技有限公司