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一種坩堝的制作方法

文檔序號(hào):8205152閱讀:464來源:國知局
專利名稱:一種坩堝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于直拉法硅單晶制造技術(shù)領(lǐng)域,涉及直拉法硅單晶爐的 一種 坩堝。
背景技術(shù)
隨著世界范圍內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)的迅 展態(tài)勢,多晶硅缺料問題解決后,另一 個(gè)重要問題將是太陽能單硅晶提煉時(shí)所需要的單晶爐坩堝供應(yīng)問題。坩堝是用 來裝載多晶硅原料的容器,其生產(chǎn)技術(shù)難度較大,原料純度要求較高,使用環(huán)
境苛刻,是多晶硅生產(chǎn)過程不可替代的關(guān)鍵性消4€#料。l個(gè)爐子就需要l個(gè) 坩堝耗材,且使用壽命短。目前市場上供應(yīng)較多的是一種改進(jìn)后的三瓣石墨坩 堝,具有良好的熱穩(wěn)定性和承受熱沖擊強(qiáng)度能力,已被絕大多數(shù)太陽能光伏電 池生產(chǎn)廠選用,作為直拉式硅單晶爐生產(chǎn)硅單晶棒的重要熱場元件之一。三瓣
石墨坩堝比傳統(tǒng)的石英坩堝和整體式坩堝有4交好的抗熱應(yīng)力能力,可^^在實(shí)際
使用過程中發(fā)現(xiàn),在140(TC以上的硅熔化過程中,其受力點(diǎn)一一堝底與側(cè)壁的 圓弧連接處容易產(chǎn)生裂紋,影響了坩堝的使用壽命。坩堝的質(zhì)量不僅影響長晶 品質(zhì)和效率,而且也是生產(chǎn)硅單晶過程中需要具有絕對(duì)安全系數(shù)的一道工序, 坩堝一旦破裂,就^St成現(xiàn)場人員傷亡及危及爐子安全,人們只能提高生產(chǎn)成 本,提前報(bào)廢價(jià)值幾萬元的坩堝,來換取硅單晶提煉過程中的安全性。如何防 止坩堝在高低溫差距大的使用環(huán)境下,反復(fù)使用不破裂,如何提高硅單晶爐坩 堝的使用壽命和降低生產(chǎn)成本,成了專業(yè)技術(shù)人員努力研究的課題。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種使用安全可靠,經(jīng)久耐用的直拉法硅單 晶爐用的一種坩堝。
為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是, 一種坩堝,包括堝體和托 盤,堝體包括2瓣或2瓣以上側(cè)壁和一個(gè)堝底,側(cè)壁圍合成一薄壁柱形,堝底 活套在側(cè)壁內(nèi)壁的底部,側(cè)壁內(nèi)壁下部的圓弧與堝底上表面平滑銜接,側(cè)壁底 面與堝底底面平滑移f接
所述堝底上部為柱形或錐形,下部為倒錐形;堝底上表面為凹弧面,下表 面為平面。
堝體底部有凸臺(tái),托盤有盤邊和盤體。堝體底部的凸臺(tái)坐落在托盤內(nèi)的盤體上,托盤的盤邊與堝體下部相配合。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技一M目比,具有以下優(yōu)點(diǎn);這種坩堝由多瓣側(cè)壁和堝底
組成,可以在高低溫差距大的使用環(huán)境下,具有更大的抗熱應(yīng)力能力,側(cè)壁和 堝底的圓弧連接處不易產(chǎn)生裂紋,從而提高了坩堝的熱穩(wěn)定性和硅單晶爐的設(shè) 備安全可靠性。此外由于延長了硅單晶爐坩堝的使用壽命,也就降低了硅單晶 的提煉成本。以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)地/說明。
圖l是本實(shí)用新型實(shí)施例的主視示意圖; 圖2是

圖1的俯一見示意圖; 圖3是原有技術(shù)石墨坩堝的主視示意圖; 圖4是圖3的俯^L示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1:
如圖1和圖2所示, 一種石墨坩堝,包括堝體1和托盤2,堝體1包括3 瓣側(cè)壁1-1和一個(gè)堝底1-2,側(cè)壁1-1圍合成一薄壁柱形,堝底1-2活套在側(cè)壁 1-1內(nèi)壁的底部,側(cè)壁1-1內(nèi)壁下部的圓弧與堝底1-2上表面平滑游討妻,側(cè)壁1-1 底面與堝底l-2底面平滑銜接。
所述堝底1-2上部為柱形或錐形,下部為倒錐形;堝底1-2上表面為凹弧 面,下表面為平面。
堝體l底部有凸臺(tái)l-3,托盤2有盤邊2-2和盤體2-l。堝體l底部的凸臺(tái) 1-3坐落在托盤2內(nèi)的盤體2-1上,托盤2的盤邊2-2與堝體1下部相配合。
這種石墨坩堝在高^f氐溫差距大的環(huán)境下,其受力點(diǎn)一一側(cè)壁和堝底的圓弧 連接處不易產(chǎn)生裂紋,具有更強(qiáng)的抗熱應(yīng)力能力。
如圖3和圖4所示,原有技術(shù)的石墨坩堝,包括堝體3和托盤2,堝體3 由3瓣分體3-l圍合而成,分體3-1圍合后,形成了側(cè)壁、鍋底和底部凸臺(tái)。 堝體3底部的凸臺(tái)坐落在托盤2的盤體2-1上,托盤2的盤邊2-2與堝體3下 部相配合。
原有技術(shù)的石墨坩堝,在實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)在MO(TC以上的硅熔化過程中, 其受力點(diǎn)一一側(cè)壁與堝底圓弧連接處容易產(chǎn)生裂紋,從而降低了坩堝的使用壽 命。
權(quán)利要求1、一種坩堝,包括堝體(1)和托盤(2),其特征在于堝體(1)包括2瓣或2瓣以上側(cè)壁(1-1)和一個(gè)堝底(1-2),側(cè)壁(1-1)圍合成一薄壁柱形,堝底(1-2)活套在側(cè)壁(1-1)內(nèi)壁的底部,側(cè)壁(1-1)內(nèi)壁下部的圓弧與堝底(1-2)上表面平滑銜接,側(cè)壁(1-1)底面與堝底(1-2)底面平滑銜接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝,其特征在于所述堝底(1-2)上部 為柱形或錐形,下部為倒錐形;堝底(1-2)上表面為凹弧面,下表面為平面。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2說所述的一種坩堝,其特征在于堝體(1)底部 有凸臺(tái)(卜3),托盤(2)有盤邊(2-2)和盤體(2-1);堝體(1)底部的凸臺(tái)(1-3)坐落在托盤(2)內(nèi)的盤體(2-1)上,托盤(2)的盤邊(2-2)與堝體 (1)下部相配合。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種直拉法硅單晶爐用的坩堝,堝體包括堝體和托盤,堝體由2瓣或2瓣以上側(cè)壁和一個(gè)堝底組成,側(cè)壁圍合成一薄壁柱形,堝底活套在側(cè)壁內(nèi)壁的底部,側(cè)壁內(nèi)壁下部的圓弧與堝底上表面平滑銜接。堝底上部為柱形或錐形,下部為倒錐形;堝底上表面為凹弧面,下表面為平面。堝體底部有凸臺(tái),托盤有盤邊和盤體,堝體底部的凸臺(tái)坐落在托盤內(nèi)的盤體上,托盤的盤邊與堝體下部相配合。這種坩堝由多瓣側(cè)壁和堝底組成,可以在高低溫差距大的使用環(huán)境下,具有更大的抗熱應(yīng)力能力,側(cè)壁和堝底的圓弧連接處不易產(chǎn)生裂紋,從而提高了坩堝的熱穩(wěn)定性和硅單晶爐的設(shè)備安全可靠性。此外由于延長了硅單晶爐坩堝的使用壽命,也就降低了硅單晶的提煉成本。
文檔編號(hào)C30B15/10GK201358322SQ20092003622
公開日2009年12月9日 申請日期2009年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月9日
發(fā)明者李云霞, 程宜紅, 力 范 申請人:常州有則科技有限公司
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