專利名稱：基于數(shù)字信號(hào)處理器的雙相機(jī)直拉單晶直徑檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于圖像檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于數(shù)字信號(hào)處理器 的雙相機(jī)直拉單晶直徑檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
硅單晶是半導(dǎo)體工業(yè)和太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的"糧食"，目前直拉法是制造硅單晶
的主要方法。直拉單晶制造法(Czochralski， CZ法)是將多晶硅塊放入石 英坩堝中加熱融化，并保持特定的高溫和負(fù)壓環(huán)境。將直徑只有10mm的 棒狀晶種(稱籽晶)浸入融液中，在合適的溫度下，融液中的硅原子會(huì)順著 晶種的硅原子排列結(jié)構(gòu)在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶，成為單晶體。在適 當(dāng)?shù)臈l件下，將籽晶旋轉(zhuǎn)提升，融液中的硅原子會(huì)在原來的基礎(chǔ)上繼續(xù)按照 特定的原子排列結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)，形成與籽晶原子排列結(jié)構(gòu)對(duì)齊的硅單晶。若結(jié)晶 速度加快，晶體直徑會(huì)變粗，提高溫度或增加提拉速度可以使晶體直徑變細(xì)； 反之亦然。拉晶開始的階段，先引出直徑為3-5mm具有一定長(zhǎng)度的細(xì)頸， 以消除結(jié)晶位錯(cuò)，這個(gè)階段稱為引細(xì)頸；引細(xì)頸結(jié)束后，通過控制使晶體直 徑平滑放大，直到大致達(dá)到要求直徑，這個(gè)階段稱為放肩和轉(zhuǎn)肩；之后，晶 體需按照要求的直徑等徑生長(zhǎng)，稱為等徑控制階段，這個(gè)階段是晶體生長(zhǎng)的 主要階段；當(dāng)坩堝內(nèi)剩余的料達(dá)到一定量時(shí)，開始使直徑平滑減小，直至單 點(diǎn)離開液面，稱為收尾階段。
在整個(gè)晶體生長(zhǎng)過程中都需要自動(dòng)控制晶體直徑的按要求變化，需要對(duì) 直徑進(jìn)行檢測(cè)。拉晶的過程中，由于液體結(jié)晶要釋放熱量，固態(tài)晶體與液態(tài) 融液的交界處溫度較周圍溫度高，亮度也較高，對(duì)坩堝壁的亮光產(chǎn)生更強(qiáng)的 反射，會(huì)形成一個(gè)明亮的光環(huán)，稱為光圈。光圈的變化能夠反映直徑的變化
3情況，通過檢測(cè)光圈可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體生長(zhǎng)過程中直徑的檢測(cè)。
早期的自動(dòng)直徑檢測(cè)是基于感光元件Ircon探頭的直徑變化量檢測(cè)，在 小直徑單晶爐上得到廣泛應(yīng)用。但是Ircon系統(tǒng)只能得到直徑的變化量，無 法反映真實(shí)的直徑是多少；隨著拉制硅單晶直徑的增大和具有熱屏的熱系統(tǒng) 的使用，基于Ircon系統(tǒng)的直徑檢測(cè)己經(jīng)無法使用。另一種是圖像掃描直徑 檢測(cè)(Scan Image Measure System),采用一個(gè)機(jī)械反射鏡和感光元件掃描預(yù) 設(shè)掃描線上的光圈位置。這個(gè)系統(tǒng)中機(jī)械結(jié)構(gòu)的磨損、機(jī)械掃描速度的不精 確和晶體的晃動(dòng)，尤其是引細(xì)徑階段會(huì)嚴(yán)重影響檢測(cè)的效果。因此很快被采 用相同原理的電子掃描系統(tǒng)CCD所取代，目前，采用CCD進(jìn)行直拉單晶硅 棒直徑己經(jīng)成為大直徑單晶硅檢測(cè)的主流技術(shù)。
采用CCD的直徑檢測(cè)技術(shù)又分為如下幾種采用變焦距普通CCD、采 用不同焦距的雙普通CCD、采用高分辨率的單攝像頭。采用普通攝像頭， 分辨率在640*480左右，只需在主控計(jì)算機(jī)中插入一個(gè)圖像處理卡，就可以 完成基于圖像的檢測(cè)。如果等徑生長(zhǎng)為300mm，引頸與等徑比為1-2/100， 這樣引細(xì)頸時(shí)的分辨率無法達(dá)到要求，因此，在設(shè)計(jì)時(shí)采用氣動(dòng)調(diào)節(jié)裝置， 改變焦距，實(shí)現(xiàn)引頸和等徑階段不同的分辨率。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，CCD 的價(jià)格大幅度下降，而作為高檔光學(xué)產(chǎn)品的變焦鏡頭價(jià)格仍然居高不下，而 且需要一套復(fù)雜的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)。采用不同焦距的兩個(gè)普通CCD模擬相機(jī) 取代了變焦單普通CCD模擬相機(jī)，使得整個(gè)成本和復(fù)雜性降低。所付出的 代價(jià)是需要在計(jì)算機(jī)中多加一個(gè)圖像處理卡，占用主機(jī)更多的資源。隨著 CCD分辨率的提高，使用高分辨率CCD數(shù)字相機(jī)可以使在相同焦距的情況 下，引頸階段的分辨率滿足要求，使得結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加簡(jiǎn)化。但高分辨率相機(jī) 和其所匹配的圖像處理卡，價(jià)格較高，仍然需要在主機(jī)中加一塊圖像處理卡 或采用單獨(dú)的計(jì)算機(jī)，占用主機(jī)的資源，整個(gè)系統(tǒng)的成本仍然很高。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種基于數(shù)字信號(hào)處理器的雙相機(jī)直拉單晶 直徑檢測(cè)裝置，設(shè)計(jì)性能價(jià)格比高，可靠性高。
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，基于數(shù)字信號(hào)處理器的雙相機(jī)直拉單晶 直徑檢測(cè)裝置，包括核心處理器，核心處理器分別與視頻輸入電路、視頻輸 出電路、程序存儲(chǔ)器接口電路、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接口電路、以太網(wǎng)接口電路和串
行通信接口電路相連接，視頻輸入電路還與兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)模擬CCD相機(jī)連 接，視頻輸出電路與顯示器連接，核心處理器采用TMS320DM642。
本實(shí)用新型的有益效果是，使用低成本的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)模擬雙CCD相機(jī)和 基于DSP的嵌入式系統(tǒng)，構(gòu)成了晶體直徑信息的采集、處理和傳輸系統(tǒng)， 具有成本低、便于產(chǎn)品化批量生產(chǎn)的特點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型檢測(cè)裝置一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實(shí)用新型裝置中視頻輸入接口示意圖； 圖3是本實(shí)用新型裝置中視頻輸出接口示意圖； 圖4是本實(shí)用新型裝置中動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接口示意圖； 圖5是本實(shí)用新型裝置中系統(tǒng)程序存儲(chǔ)器接口示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。 本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置，由核心處理器和分別與核心處理器相連接的視 頻輸入電路、視頻輸出電路、程序存儲(chǔ)器接口電路、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接口電路、 以太網(wǎng)接口電路和串行通信接口電路組成，視頻輸入電路與兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)模 擬CCD相機(jī)連接，視頻輸出電路與顯示器連接，核心處理器選用 TMS320面642。
圖1是本實(shí)用新型提供的一種實(shí)施例。
核心處理器TMS320DM642是2002年TI宣布推出的針對(duì)網(wǎng)絡(luò)視頻終端的高性能處理器，廣泛的運(yùn)用于視頻點(diǎn)播機(jī)頂盒、可視IP電話、數(shù)字視頻
監(jiān)控等多媒體網(wǎng)絡(luò)通信應(yīng)用中。其特點(diǎn)是1)核心處理器TMS320DM642 基于TMS320C6000系列DSP中性能最高的定點(diǎn)DSP C64X內(nèi)核。在600MHz 的時(shí)鐘頻率下，核心處理器TMS320DM642的數(shù)字處理能力可以達(dá)到 4800MIPS，每秒百萬條指令。2)三個(gè)可配置的視頻端口 VP0、 VP1和VP2。 可提供與普通視頻編、解碼器的無縫接口。 3) 10/100Mbps以太網(wǎng)媒體存取 控制器EMAC ?？刂破鱁MAC提供了核心處理器TMS320DM642與以太 網(wǎng)收發(fā)器LXT971A間高效的接口 ，支持IOBASE-T和100BASE-TX的全雙 工或半雙工數(shù)據(jù)傳輸。管理數(shù)據(jù)輸入/輸出MDIO模塊。MDIO模塊與EMAC 模塊配合使用，它通過N1D10總線與物理層器件連接，可輪詢最多32個(gè) MD10地址，即管理32個(gè)器件。4)多通道音頻串口 McASP、 I2C總線、兩 個(gè)多通道緩沖串口 McBSP、三個(gè)32位的通用定時(shí)器。用戶可編程的16位 或32位主機(jī)接口 HPI16/HPI32、 66MHz 32位的外圍部件互連接口 PCI與32 位寬的主機(jī)接口HPI復(fù)用。5)通用輸入/輸出共有16個(gè)GPIO端口。提供通 用I/O支持。還可以觸發(fā)CPU中斷或EDMA事件。6) 64位外部存儲(chǔ)器接 口 EMIFA?？梢耘c多種存儲(chǔ)器如動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器SDRAM和閃爍存儲(chǔ)器FLASH 無縫連接。核心處理器TMS320DM642的強(qiáng)大處理能力和豐富的接口為整個(gè) 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和功能的實(shí)現(xiàn)提供了保障。
整個(gè)系統(tǒng)需要高可靠性的供電，以保證系統(tǒng)正常工作。本系統(tǒng)共需四個(gè) 不同的電壓等級(jí)的電壓源:+5V電源給外部接口電路供電;+3.3V電源為DSP 和周邊其他芯片供電；+1.4V電源為核心處理器TMS320DM642供電；+1.8V 電源為視頻編解碼芯片供電。
整個(gè)系統(tǒng)板輸入為+5V電源，由外部開關(guān)電源供電。在電路板的內(nèi)部， 十5V的電源經(jīng)兩片DC-DC變換芯片TPS54310分別產(chǎn)生+1.4V和+3.3V電壓。 視頻編解碼芯片需要的+1.8V電壓由+3.3 V電壓通過DC-DC變換芯片TPS767318產(chǎn)生；由變換芯片TPS54310產(chǎn)生的+3.3V (系統(tǒng)+3.3 V)電壓需要 給DSP和視頻輸入、輸出模塊之外的其他多個(gè)模塊供電，為了保證個(gè)模塊 之間不互相干擾，對(duì)系統(tǒng)+3.3V經(jīng)過LC濾波后產(chǎn)生本地+3.3V電壓為各個(gè) 模塊供電。
本系統(tǒng)的地分為系統(tǒng)地、視頻輸入地、視頻輸出數(shù)字地、視頻輸出模擬 地、音頻模擬地和網(wǎng)絡(luò)模擬地六個(gè)部分，從電源插座輸入進(jìn)來的是系統(tǒng)地。 在PCB設(shè)計(jì)中，各地與系統(tǒng)地之間采用220歐姆、100MHz的磁珠在一點(diǎn)連 接起來。
本實(shí)用新型的視頻輸入電路的連接如圖2所示。
視頻輸入端將從攝像頭采集的模擬信號(hào)通過編碼芯片TVP5150轉(zhuǎn)化為 CIF(352x288)， YUV(4:2:2)， ITU—R BT.656格式，內(nèi)嵌同步信號(hào)發(fā)送到核 心處理器TMS320DM642的VP 口 。編碼芯片TVP5150是一款超低功耗的 解碼芯片，正常操作時(shí)的功耗只有115mW，而且采用業(yè)界最小的32只接腳 TQFP封裝，使用方便，并且可以對(duì)PAL / NTSC / SECAM各制式自動(dòng)識(shí)別、 切換、置對(duì)應(yīng)寄存器位。作為視頻輸入口時(shí)，視頻數(shù)據(jù)的行/場(chǎng)同步又包含 在BT.656數(shù)字視頻數(shù)據(jù)流中的EAV和SAV時(shí)基信號(hào)控制，視頻口只需視頻 采樣時(shí)鐘和采樣使能信號(hào)，控制采樣起始即可，編碼芯片TVP5150用系統(tǒng) 時(shí)鐘SCLK提供采樣時(shí)鐘，用可編程輸出引腳GPCL提供采樣使能。該解碼 芯片不支持縮放，如果發(fā)現(xiàn)采集圖像的大小和需要不符，可以截取屏幕的一 部分傳輸，降低數(shù)據(jù)流量。具體操作是在對(duì)應(yīng)的寄存器中選擇視頻流的起始 行和結(jié)束行，控制圖像的縱向長(zhǎng)度?？刂茍D像的水平寬度可以利用圖像的 AVID功能，選擇單行的起始結(jié)束位。
核心處理器TMS320DM642對(duì)編碼芯片TVP5150內(nèi)部寄存器的訪問通 過I2C總線實(shí)現(xiàn)，核心處理器TMS320DM642和編碼芯片TVP5150應(yīng)答過 程中需要從編碼芯片TVP5150的地址101110x1，其中x代表0/1，在系統(tǒng)上電時(shí)可以配置。編碼芯片TVP5150在上電時(shí)會(huì)根據(jù)Yout7上的電位高低 來決定x代表0還是1。這樣編碼芯片TVP5150作為從片的地址只有兩個(gè) 10111001和10111011。
本實(shí)用新型的視頻輸出電路的電路的連接如圖3所示。 視頻輸出部分使用的是Philips公司視頻編碼芯片SAA7121H，其支持 PAL與NTSC格式的視頻編碼，輸出支持BT.656格式的數(shù)字視頻。視頻編 碼芯片SAA7121H有1路復(fù)合視頻CVBS和1路超級(jí)視頻(S-Video,YIC)輸 出。其配置是通過標(biāo)準(zhǔn)的I2C總線來完成的。視頻編碼芯片SAA7121H的I2C 總線只支持7位地址的格式，并只能作為從設(shè)備，支持寄存器的地址自動(dòng)加 一的功能。核心處理器TMS320DM642的VP 口支持BT.656格式的數(shù)字視 頻流的顯示功能，能與視頻編碼芯片SAA7121H的數(shù)據(jù)口進(jìn)行無纟ii連接。
當(dāng)VP0作為8-位的BT.656視頻顯示口時(shí)，視頻編碼芯片SAA7121H需 要HSYVC(行同步信號(hào))，VSYNC(場(chǎng)同步信號(hào))，LLC(WMHz的行鎖存信號(hào))。 這三個(gè)信號(hào)分別由VP0的VP0—CLK1， VP0CTL0， VP0CTL1提供。 本實(shí)用新型的動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接口電路的連接關(guān)系如圖4所示。 核心處理器TMS320DM642程序執(zhí)行過程中，代碼和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在動(dòng)態(tài) 存儲(chǔ)器SDRAM中，對(duì)應(yīng)核心處理器TMS320DM642上CE0映射的地址空 間。動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器SDRAM使用兩片MT148LC4M32B2， MT148LC4M32B2 是32位數(shù)據(jù)總線的同步動(dòng)態(tài)RAM，兩塊綁定使用DSP方面來的信號(hào)，高 32位存儲(chǔ)在一片RAM中，低32位存儲(chǔ)在另一位RAM中，滿足核心處理 器TMS320DM642的64位數(shù)據(jù)總線要求。由于動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器SDRAM最高頻 率為133MHz，為整個(gè)硬件系統(tǒng)片外工作頻率最高的地方，在PCB布線時(shí)需 要特別注意，如串接電阻降低高速電信號(hào)反射的影響，以及保證同一組數(shù)據(jù) 同步到達(dá)。信號(hào)在頂層、底層與信號(hào)中間層的傳輸阻抗和傳輸速率都不一樣， 在布線過程中應(yīng)盡量將接到同一器件的信號(hào)線拉到同一層上，并使導(dǎo)線等長(zhǎng)。在設(shè)計(jì)中，EMIFA的時(shí)鐘輸入引腳ECLKIN外接時(shí)鐘倍頻鎖相環(huán)芯片 ICS512,倍頻鎖相環(huán)芯片ICS512將輸入的25MHz晶振時(shí)鐘按照配置引腳 S0-S1的狀態(tài)，通過上拉電阻置為高電平或通過下拉電阻置為低電平倍頻至 EMIFA所需要的時(shí)鐘頻率。在系統(tǒng)目前的配置中，我們選擇EMIFA時(shí)鐘源 為1/6CPU時(shí)鐘，動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器SDRAM總線時(shí)鐘為lOOMHz， EMIFA對(duì)時(shí)鐘 源的選擇是通過設(shè)置與地址線EA19-EA20功能復(fù)用的引腳ECLKINSELO -ECLKINSEL 1在系統(tǒng)復(fù)位時(shí)的狀態(tài)，高電平或低電平實(shí)現(xiàn)的。
本實(shí)用新型的網(wǎng)絡(luò)傳輸接口電路主要由核心處理器TMS320DM642的 以太網(wǎng)媒體存取控制器EMAC、以太網(wǎng)收發(fā)器LXT971A等構(gòu)成。核心處理 器TMS320DM642的存取控制器EMAC負(fù)責(zé)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)幀收發(fā)，提供標(biāo)準(zhǔn) 的MII接口，可與外置以太網(wǎng)收發(fā)器LXT971A直接相連。MDIO模塊負(fù)責(zé) 對(duì)以太網(wǎng)收發(fā)器LXT971A進(jìn)行配置以及讀取其工作狀態(tài)。核心處理器 TMS320DM642通過I2C模塊與24WC256 EEPROM相連，該存儲(chǔ)器用于存 儲(chǔ)IP地址、MAC地址及一些相關(guān)配置參數(shù)。以太網(wǎng)收發(fā)器LXT971A可在 外部連接25MHz有源時(shí)鐘，以提供高達(dá)100Mb/s的網(wǎng)絡(luò)傳輸速率。在此基 礎(chǔ)上，以太網(wǎng)收發(fā)器LXT971A還負(fù)責(zé)提供EMAC部分的接收時(shí)鐘MRCLK 和發(fā)送時(shí)鐘MTCLK。在LXT971A與RJ-45之間連接了一個(gè)隔離變壓器 S558-5999-T77，其主要作用是將外部線路與以太網(wǎng)收發(fā)器LXT971A隔離， 防止信號(hào)干擾及外部沖擊竄入燒壞元器件，從而實(shí)現(xiàn)帶電插拔功能。
除DSP/BIOS操作系統(tǒng)外，'TI還為其C6000系列DSP提供了 TCP/IP協(xié) 議棧。作為C6000中的一員，核心處理器TMS320DM642甚至還將MAC層 集成在片上，且由TI提供驅(qū)動(dòng)程序。因此，用戶不需要再自行編寫網(wǎng)絡(luò)MAC 層的驅(qū)動(dòng)，從而大大簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)，為用戶快速開發(fā)網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用提供了方便。
本實(shí)用新型的串口通信接口電路由核心處理器TMS320DM642上的 MCBSP完成同步通訊，系統(tǒng)為了支持異步通訊，采用UART芯片TL16C550將并行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為串行數(shù)據(jù)，以及外圍串行輸入轉(zhuǎn)并行輸入，TL16C550連 接到核心處理器TMS320DM642上的EMIF上，最后要通過一塊電平轉(zhuǎn)換芯 片MAX3243，轉(zhuǎn)化為RS232標(biāo)準(zhǔn)格式，和外部設(shè)備相連。 本實(shí)用新型的系統(tǒng)程序存儲(chǔ)器接口連接關(guān)系如圖5所示。 系統(tǒng)的代碼固化在閃爍存儲(chǔ)器FLASH中，采用一片8M字節(jié)8Bit的 AM29LV640MT，對(duì)應(yīng)CE1映射的地址空間。8M地址空間需要占用23根 地址線，但是核心處理器TMS320DM642只能提供20根地址線，1M地址 范圍，所以將閃爍存儲(chǔ)器FLASH分為8頁(yè)，每頁(yè)1MBYTE，閃爍存儲(chǔ)器 FLASH上的高位地址用來分頁(yè)地址選擇，連接核心處理器TMS320DM642 上空閑的GPIO 口，通過電平的高低完成上面的功能。核心處理器 TMS320DM642對(duì)閃爍存儲(chǔ)器FLASH的訪問為二級(jí)引導(dǎo)，在上電之后核心 處理器TMS320DM642自動(dòng)從CE1對(duì)應(yīng)的地址空間閃爍存儲(chǔ)器FLASH拷貝 1 K代碼執(zhí)行?？梢栽?K代碼寫入對(duì)閃爍存儲(chǔ)器FLASH的訪問控制程序， 包括高位的分頁(yè)控制，并閃爍存儲(chǔ)器將FLASH中的代碼分塊COPY到動(dòng)態(tài) 存儲(chǔ)器SDRAM的相應(yīng)執(zhí)行區(qū)域。對(duì)閃爍存儲(chǔ)器FLASH、 ROM現(xiàn)場(chǎng)擦除 和編程吋，VPP引腳必須接3.3V，平時(shí)為了保護(hù)數(shù)據(jù)，VPP接低電平。
權(quán)利要求1、 基于數(shù)字信號(hào)處理器的雙相機(jī)直拉單晶直徑檢測(cè)裝置，其特征在于， 包括核心處理器，所述的核心處理器分別與視頻輸入電路、視頻輸出電路、 程序存儲(chǔ)器接口電路、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接口電路、以太網(wǎng)接口電路和串行通信接口電路相連接，所述的視頻輸入電路還與兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)模擬CCD相機(jī)連接， 所述的視頻輸出電路與顯示器連接、所述的核心處理器采用TMS320DM642。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的視頻輸入電路 采用視頻編碼芯片TVP5150。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的視頻輸出電路 采用視頻編碼芯片SAA7121H。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接 口電路動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器SDRAM使用兩片MT148LC4M32B2。
專利摘要本實(shí)用新型公開的一種基于數(shù)字信號(hào)處理器的雙相機(jī)直拉單晶直徑檢測(cè)裝置，包括核心處理器，核心處理器分別與視頻輸入電路、視頻輸出電路、程序存儲(chǔ)器接口電路、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器接口電路、以太網(wǎng)接口電路和串行通信接口電路連接，視頻輸入電路與兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)模擬CCD相機(jī)連接，視頻輸出電路還與顯示器連接，核心處理器采用TMS320DM642。本實(shí)用新型裝置采用嵌入式核心處理器結(jié)構(gòu)，可靠性高；采用雙標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)CCD分別處理不同階段的直徑，準(zhǔn)確度高，成本低。
文檔編號(hào)C30B15/26GK201154996SQ200820028058
公開日2008年11月26日 申請(qǐng)日期2008年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月8日
發(fā)明者任海鵬, 丁 劉, 希 陳 申請(qǐng)人:西安理工大學(xué)