專利名稱：一種真空旋轉(zhuǎn)升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機(jī)械傳動(dòng)領(lǐng)域，尤其涉及一種在機(jī)械傳動(dòng)過(guò)程中可旋轉(zhuǎn)升降的真空旋轉(zhuǎn)升降 裝置。
背景技術(shù)：
目前，在很多產(chǎn)品的制作過(guò)程中，為保證產(chǎn)品具有較高的質(zhì)量， 一般都是在無(wú)塵真空的 環(huán)境下進(jìn)行加工，這樣的產(chǎn)品都是通過(guò)現(xiàn)代化的機(jī)械來(lái)進(jìn)行加工和傳輸?shù)?，而在傳輸過(guò)程中， 要通過(guò)機(jī)械手來(lái)完成對(duì)產(chǎn)品的抓取和搬運(yùn)，但在抓取過(guò)程中，機(jī)械手難免會(huì)有抓取不到的區(qū) 域，這就需要其他種類的運(yùn)動(dòng)裝置來(lái)完成對(duì)產(chǎn)品所在位置的調(diào)整，以配合機(jī)械手更于便利的 對(duì)產(chǎn)品實(shí)施運(yùn)輸?，F(xiàn)有的實(shí)現(xiàn)此功能的傳動(dòng)裝置如圖1和2所示，該裝置包括伺服電機(jī)13、絲杠傳動(dòng)平臺(tái) 14、連接軸16、波紋管15、密封圈17和承載托盤12，其中伺服電機(jī)13連接絲杠傳動(dòng)平臺(tái)14， 絲杠傳動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端141與連接軸16相連，而連接軸16的法蘭邊161與波紋管15的一端通 過(guò)密封圈17實(shí)現(xiàn)真空密封連接，波紋管15的另一端與真空腔室通過(guò)密封圈17實(shí)現(xiàn)真空密封 連接，連接軸16的另一端伸入到真空腔室內(nèi)部，與承載產(chǎn)品的承載托盤12連接。另外，真 空腔室與絲杠傳動(dòng)平臺(tái)14對(duì)地是絕對(duì)靜止，當(dāng)伺服電機(jī)13轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)絲杠傳動(dòng)平臺(tái)14上 的傳動(dòng)端141上下運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)端141再帶動(dòng)著連接軸16上下運(yùn)動(dòng)，最終連接軸16再帶動(dòng)承載 托盤12上F升降運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)整承載托盤12中產(chǎn)品的垂直距離，同時(shí)波紋管15在整個(gè)過(guò)程 中，會(huì)根據(jù)上下運(yùn)動(dòng)的程度進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，可以起到密封調(diào)節(jié)的作用。從以上現(xiàn)有技術(shù)的裝置可以看出，該裝置只能夠在垂直方向上作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，而不能 夠使承載托盤在軸向上作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，限制了該裝置的調(diào)整范圍，使機(jī)械手不能夠更好的發(fā)揮 作用。發(fā)明內(nèi)容鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種即能夠在垂直方向作上下 往復(fù)運(yùn)動(dòng)，又能夠在軸向上作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置。本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，包括伺服電機(jī)，絲杠傳動(dòng)平臺(tái)和連接軸，伺服電機(jī)驅(qū) 動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，本發(fā)明還包括轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)，所述的絲杠傳動(dòng)平 臺(tái)的傳動(dòng)端與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)相連，帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)的輸出 軸與連接軸的-一端相連，驅(qū)動(dòng)連接軸作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。還包括連接塊，所述的絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端通過(guò)連接塊與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)剛性連接。還包括承載托盤，所述的連接軸的另一端伸入到真空腔室內(nèi)，與承載托盤相連接，帶動(dòng) 承載托盤作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)和軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。還包括磁流體密封裝置，所述的磁流體密封裝置位于轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)和連接軸之間， -端 軸與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)的輸出軸連接，另一端軸與連接軸剛性連接。還包括連軸器，所述的磁流體密封裝置的一端軸通過(guò)連軸器與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)的輸出軸剛 性連接。還包括波紋管和密封圈，所述的波紋管的兩端分別與真空腔室和磁流體密封裝置的法蘭 盤連接，在連接部位安裝有密封圈，通過(guò)密封圈來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封。由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明在軸向上增加了一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)，通 過(guò)絲杠傳動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，再通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接 軸作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，這樣連接軸不但能夠作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，又能夠作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而可 以帶動(dòng)承載托盤也作相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，達(dá)到調(diào)整承載托盤上產(chǎn)品位置的目的，且擴(kuò)大了調(diào)整范圍， 使機(jī)械手能夠更好的發(fā)揮作用。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的升降裝置在相對(duì)低位時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的升降裝置在相對(duì)高位時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明旋轉(zhuǎn)升降裝置在相對(duì)低位時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明旋轉(zhuǎn)升降裝置在相對(duì)高位時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明旋轉(zhuǎn)升降裝置旋轉(zhuǎn)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供了一種即能夠在垂直方向作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，又能夠在軸向上作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置。本發(fā)明的核心為在軸向上增加了一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)，通過(guò)絲杠傳動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，再通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接軸作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn) 動(dòng)，這樣連接軸不但能夠作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，又能夠作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而可以帶動(dòng)承載托盤 也作相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)。為更好的描述本發(fā)明，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一歩說(shuō)明如圖3和4所示，本發(fā)明包括伺服電機(jī)13，絲杠傳動(dòng)平臺(tái)24和連接軸26，伺服電機(jī)13啟 動(dòng)后，能夠驅(qū)動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)24的傳動(dòng)端241作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，本發(fā)明還包括轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī) 28,絲杠傳動(dòng)平臺(tái)24的傳動(dòng)端241與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28相連，它們之間也可以通過(guò)連接塊29 進(jìn)行連接的，本實(shí)施例中，連接塊29的兩端分別與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28和傳動(dòng)端241剛性連接， 這樣，當(dāng)絲杠傳動(dòng)平臺(tái)24的傳動(dòng)端241作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，就能夠帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28作同 樣的上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28的輸出軸可與連接軸26的一端直接相連，也可以通過(guò)連軸器30與連接 軸26的一端相連，同時(shí)，在兩者之間還可加入一個(gè)磁流體密封裝置31。其中的磁流體密封 裝置是一種應(yīng)用磁流體密封技術(shù)在磁性流體的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的，當(dāng)磁流體注入磁場(chǎng)的間隙 時(shí)，它可以充滿整個(gè)間隙，形成一種"液體的O型密封圈"，磁流體密封裝置的功能就是把旋 轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞到密封容器內(nèi)，常用于需要真空密封的領(lǐng)域，例如在單晶硅爐、化學(xué)氣相沉積、 離子鍍膜、液晶再生等真空設(shè)備，以及對(duì)真空環(huán)境要求較高的設(shè)備密封中的應(yīng)用較廣。本實(shí)施例中，轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28和連接軸26之間，即有連軸器30，也有磁流體密封裝置 31，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28的輸出軸通過(guò)連軸器30與磁流體密封裝置31的一端軸相連接， 磁流體密封裝置31的另一端軸與連接軸26的一端相連接。這樣在軸向上，轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28的輸出軸——連軸器30——磁流體密封裝置31——連 接軸26就均為串聯(lián)的剛性連接，所以，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28被帶動(dòng)著在垂直方向作上下往復(fù) 運(yùn)動(dòng)時(shí)，就能夠帶動(dòng)連接軸26也在垂直方向上作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，而當(dāng)需要連接軸26作軸向 旋轉(zhuǎn)時(shí)，就讓轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)28驅(qū)動(dòng)其輸出軸在軸向轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)連軸器30，致使磁流體密封 裝置31的真空、大氣兩端的輸出軸同步旋轉(zhuǎn)，最終就能夠帶動(dòng)連接軸26也作同歩軸向旋轉(zhuǎn) 運(yùn)動(dòng)。同時(shí)，將連接軸26的另一端伸入到真空腔室內(nèi)，與承接托盤12相連接，這樣就能夠 帶動(dòng)承載托盤12作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)和軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，如圖5所示，從而調(diào)整承載托盤12上產(chǎn)品 的位置。本實(shí)施例中還可包括波紋管25和密封圈27，波紋管25的兩端分別與真空腔室和磁流體 密封裝置31的法蘭盤311相連接，且在連接部位安裝有密封圈27，通過(guò)密封圈27來(lái)實(shí)現(xiàn)緊密 的真空密封，其中的波紋管25可以隨著上下運(yùn)動(dòng)的程度進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，從而起到密封調(diào)節(jié)的作用。綜上所述，通過(guò)本發(fā)明技術(shù)方案的實(shí)施，能夠使得連接軸不但可以作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，乂 可以作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而能夠帶動(dòng)承載托盤也作相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，達(dá)到調(diào)整承載托盤上產(chǎn)品位 置的目的，擴(kuò)大了產(chǎn)品調(diào)整范圍，有利于機(jī)械手的取用，使產(chǎn)品在現(xiàn)代化的機(jī)械加工過(guò)稃屮 更加地方便、高效。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何 熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵 蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，包括伺服電機(jī)(13)，絲杠傳動(dòng)平臺(tái)(24)和連接軸(26)，伺服電機(jī)(13)驅(qū)動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(24)的傳動(dòng)端(241)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)，所述的絲杠傳動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端(241)與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)相連，帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)的輸出軸與連接軸(26)的一端相連，驅(qū)動(dòng)連接軸(26)作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
2、 如權(quán)利要求1所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括連接塊(29)，所述 的絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(24)的傳動(dòng)端(241)通過(guò)連接塊(29)與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)剛性連接。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括承載托盤(12)， 所述的連接軸(26)的另一端伸入到真空腔室內(nèi)，與承載托盤(12)相連接，帶動(dòng)承載托 盤(12)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)和軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
4、 如權(quán)利要求3所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括磁流體密封裝置(31), 所述的磁流體密封裝置(31)位于轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)和連接軸(26)之間， 一端軸與轉(zhuǎn) 動(dòng)伺服電機(jī)(28)的輸出軸連接，另-一端軸與連接軸(26)剛性連接。
5、 如權(quán)利要求4所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括連軸器(30)，所述 的磁流體密封裝置(31)的一端軸通過(guò)連軸器(30)與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)的輸出軸剛性 連接。
6、 如權(quán)利要求4所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括波紋管(25)和密封 圈(27)，所述的波紋管(25)的兩端分別與真空腔室和磁流體密封裝置(31)的法蘭盤(311)連接，在連接部位安裝有密封圈(27)，通過(guò)密封圈(27)來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其核心為在軸向上增加了一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)，通過(guò)絲杠傳動(dòng)平臺(tái)(24)的傳動(dòng)端(241)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，再通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)驅(qū)動(dòng)連接軸(26)作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，這樣連接軸(26)不但能夠作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，又能夠作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而可以帶動(dòng)承載托盤(12)也作相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，達(dá)到調(diào)整承載托盤(12)上產(chǎn)品位置的目的，且擴(kuò)大了調(diào)整范圍，使機(jī)械手能夠更好的發(fā)揮作用，更加有利于產(chǎn)品的制作和運(yùn)輸。
文檔編號(hào)B66F19/00GK101224862SQ200710062730
公開(kāi)日2008年7月23日 申請(qǐng)日期2007年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月15日
發(fā)明者張之山 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司