專利名稱：同軸形微波等離子槍的制作方法
技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及微波等離子槍，尤其涉及同軸形微波等離子槍。
背景技術(shù)：
作為在大氣壓中可產(chǎn)生等離子體的微波等離子槍，一直以來，已知有波導(dǎo)管形微波等離子槍(例如，參照專利文獻1)。該以往的波導(dǎo)管形微波等離子槍由大致分為短線調(diào)諧器、波導(dǎo)管及反射板這3個構(gòu)成部分構(gòu)成，進而，為了在大氣壓中產(chǎn)生等離子體而需要點火裝置，從而具有多個構(gòu)成部分。因此，裝置的設(shè)計自由度低，具有在謀求裝置的小型化上存在限制的問題。
作為解決該以往的波導(dǎo)管形微波等離子槍的缺陷的方法，提出了具有接替了螺旋諧振器結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的同軸形微波等離子槍(例如，參照專利文獻2)。該微波等離子槍具備同軸形諧振器，其由通過蓋體關(guān)閉了上端開口的圓筒狀的外管構(gòu)成；同軸線路，其在該諧振器的外管的靠近上端與外管直角連結(jié)。而且，通過同軸線路的內(nèi)部中央的導(dǎo)體在外管內(nèi)朝上向蓋體方向彎曲并固定在蓋體的內(nèi)端面，蓋體通過外管與同軸線路的外部導(dǎo)體連接，進而，在蓋體的中央粘合有內(nèi)部導(dǎo)體，內(nèi)部導(dǎo)體由棒狀部和與棒狀部的前端粘合的具有導(dǎo)電性的電極構(gòu)成，在外管的下方，在電極的周圍面安裝有石英管，在外管的周壁設(shè)置有從外側(cè)朝向電極導(dǎo)入氣體的氣體導(dǎo)入口。
在該微波等離子槍中，如果通過與同軸線路連接的微波振蕩器輸出微波，則微波通過同軸線路并變換成同軸模式(TEM模式)而傳輸。其后，微波在通過同軸線路的內(nèi)部的導(dǎo)體在諧振器的外管內(nèi)向蓋體方向彎曲的部分，暫且變換模式，進而，在諧振器內(nèi)部再次變換成同軸模式，由內(nèi)部導(dǎo)體引導(dǎo)到電極，在電極的前端微波的電場集中，電場強度達到最大，從而從電極的前端產(chǎn)生等離子體。
但是，根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于使用諧振器，所以需要將等離子槍維持在某種程度的大小，難以使等離子槍小型化。另外，根據(jù)該結(jié)構(gòu)，微波在從同軸線路傳輸?shù)街C振器內(nèi)的期間，在暫且從同軸模式變換成其它模式后，再次變換成同軸模式，但如果進行如此的模式的變換，則與此對應(yīng)地產(chǎn)生能量損失，從而存在能量效率低的問題。此外，在該結(jié)構(gòu)中，難以在大氣壓中使等離子體點火。
專利文獻1日本國專利特開平9-295900號公報專利文獻2日本國專利特開平6-188094號公報發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種比以往的等離子槍小型且具有高的能量效率、而且能夠在大氣壓中容易地產(chǎn)生等離子體的同軸形微波等離子槍。
為解決上述問題，第1技術(shù)方案提供一種同軸形微波等離子槍，其特征在于，具備外側(cè)導(dǎo)體，其具有圓柱形狀；圓筒狀的放電管，其插入并固定于在所述外側(cè)導(dǎo)體的一端面?zhèn)刃纬傻妮S向的孔內(nèi)；微波傳輸用的同軸電纜，其一端從外側(cè)安裝在所述外側(cè)導(dǎo)體的另一端面，在所述同軸電纜的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體電連接的天線，在所述外側(cè)導(dǎo)體上形成從其另一端面?zhèn)瘸蛩鲚S向的孔軸向延伸的貫通孔，所述天線在與所述外側(cè)導(dǎo)體電絕緣的狀態(tài)下通過所述貫通孔并延伸到所述放電管內(nèi)，所述同軸電纜的外部導(dǎo)體與所述外側(cè)導(dǎo)體電連接，在所述外側(cè)導(dǎo)體上設(shè)置有向所述放電管內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路。
在第1技術(shù)方案的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選，在所述外側(cè)導(dǎo)體的軸向的孔的周面及所述放電管的外周面之間形成有圓筒狀的空間，所述圓筒狀的空間在所述外側(cè)導(dǎo)體的內(nèi)部，沿半徑方向延伸預(yù)先確定的長度，并從所述軸向的孔的底面沿軸向延伸任意的長度。
另外，為了解決上述問題，第2技術(shù)方案提供一種同軸形微波等離子槍，其特征在于，具備槍主體，該槍主體具有由圓筒狀的外側(cè)導(dǎo)體及在其內(nèi)側(cè)沿半徑方向留有間隔地配置的圓筒狀的放電管構(gòu)成的雙重管結(jié)構(gòu)，所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體由蓋關(guān)閉其一端開口，所述放電管的一端固定在所述蓋上，另一端從所述外側(cè)導(dǎo)體的另一端開口突出并延伸，在所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體的蓋上從外側(cè)安裝有微波傳輸用的同軸電纜的一端，在所述同軸電纜的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體電連接的天線，所述天線在與所述蓋電絕緣的狀態(tài)下通過形成在所述蓋上的貫通孔并軸向延伸到所述槍主體的所述放電管內(nèi)，所述同軸電纜的外部導(dǎo)體與所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體電連接，在所述槍主體上設(shè)置有向所述槍主體的所述放電管內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路。
在第2技術(shù)方案的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選，在形成于所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體及所述放電管之間的圓筒狀的空間內(nèi)，從所述外側(cè)導(dǎo)體的另一端開口側(cè)嵌入有圓筒狀的輔助導(dǎo)體，所述輔助導(dǎo)體可以通過使在與所述外側(cè)導(dǎo)體的內(nèi)周面之間及與所述放電管的外周面之間不產(chǎn)生微波的泄漏，并且與所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體電連接且沿所述放電管的軸向滑動運動，而使微波的相位適當(dāng)變化。
另外，優(yōu)選，所述氣體導(dǎo)入管路從所述槍主體的外側(cè)，貫通所述外側(cè)導(dǎo)體及所述蓋的雙方或任一方并延伸到所述外側(cè)導(dǎo)體及所述放電管之間的圓筒狀的空間內(nèi)后，與所述放電管連接，并在所述放電管的所述天線的前端附近區(qū)域開口。或者，所述槍主體的所述蓋至少具有由圓柱狀的電介質(zhì)構(gòu)成的、插入所述外側(cè)導(dǎo)體內(nèi)的插入部，所述放電管的一端固定在所述插入部，所述氣體導(dǎo)入管路包括管部分，其從所述槍主體的外側(cè)貫通所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體且具有電絕緣性；第1管路部分，其與所述管部分連接，且貫通所述蓋的插入部；第2管路部分，其與所述第1管路部分連接，在所述天線內(nèi)部延伸到內(nèi)側(cè)后，從此處在所述天線內(nèi)部朝向其前端軸向延伸，并在所述前端開口。
在第1及第2技術(shù)方案的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選，所述天線由所述同軸電纜的內(nèi)部導(dǎo)體構(gòu)成。
(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明，等離子槍的整體保持同軸結(jié)構(gòu)，因而不同于以往的微波等離子槍，不具備諧振器，所以在同軸電纜中傳輸?shù)奈⒉ū３滞S模式的狀態(tài)供給于天線，在天線的前端產(chǎn)生等離子體。因此，等離子槍的能量效率比以往格外地提高，另外，即使在大氣壓中也容易生等離子體。另外，根據(jù)本發(fā)明，由于與以往的波導(dǎo)管形的等離子槍不同，不需要采用匹配器或反射板，所以可得到更大的設(shè)計自由度，能夠使等離子槍小型化。


圖1是表示本發(fā)明的1實施例的同軸形微波等離子槍的圖，(A)是側(cè)剖面圖，(B)是從(A)的箭頭A方向看的俯視圖；圖2是表示本發(fā)明的另一實施例的同軸形微波等離子槍的圖，(A)是側(cè)剖面圖，(B)是沿(A)的X-X線的剖面圖；圖3是表示圖2的實施例的變形例的側(cè)剖面圖；圖4是本發(fā)明的又一實施例的同軸形微波等離子槍的側(cè)剖面圖。
圖中1-外側(cè)導(dǎo)體，2-軸向的孔，3-放電管，4-一端面，5-另一端面，6-同軸電纜，7-外部導(dǎo)體，8-內(nèi)部導(dǎo)體，9-天線，10-同軸連接器，11-貫通孔，12-螺栓，13-氣體導(dǎo)入管路，14-圓筒狀的空間。
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的優(yōu)選的實施例。圖1是表示本發(fā)明的1實施例的同軸形微波等離子槍的圖，(A)是側(cè)剖面圖，(B)是從(A)的箭頭A方向看的俯視圖。參照圖1，本發(fā)明的同軸形微波等離子槍具備外側(cè)導(dǎo)體1，其具有圓柱形狀；圓筒狀的放電管3，其插入并固定于在外側(cè)導(dǎo)體1的一端面4側(cè)形成的軸向的孔2內(nèi)；微波傳輸用的同軸電纜6，其一端從外側(cè)安裝在外側(cè)導(dǎo)體1的另一端面5。
在本實施例中，外側(cè)導(dǎo)體1通過接合一端面4側(cè)的圓柱狀的第1部分1a、和另一端面5側(cè)的圓柱狀的第2部分1b這2個部分而構(gòu)成。另外，軸向的孔2沿外側(cè)導(dǎo)體1的中心軸延伸，放電管3與外側(cè)導(dǎo)體1同軸地配置。另外，放電管3由石英管及氧化鋁管等電介質(zhì)形成。
在同軸電纜6的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體8電連接的天線9。在本實施例中，在同軸電纜6的一端安裝有同軸連接器10，經(jīng)由該同軸連接器10，同軸電纜6的內(nèi)部導(dǎo)體8和天線9電連接。另外，在外側(cè)導(dǎo)體1上形成從其另一端5側(cè)朝向軸向的孔2軸向延伸的貫通孔11，天線9在與外側(cè)導(dǎo)體1電絕緣的狀態(tài)下通過貫通孔11突出到放電管3內(nèi)，同軸連接器10由螺栓12安裝在外側(cè)導(dǎo)體1的另一端面5。在此種情況下，螺栓12不僅將同軸連接器10安裝在外側(cè)導(dǎo)體1上，而且也被用于相互接合外側(cè)導(dǎo)體1的第1部分1a及第2部分1b。同時，同軸電纜6的外側(cè)導(dǎo)體7經(jīng)由同軸連接器10與外側(cè)導(dǎo)體1電連接。
天線9由具有高的導(dǎo)電性的材料形成。而且，天線9和外側(cè)導(dǎo)體1的貫通孔11留有間隔地配置在半徑方向，這樣一來，天線9和外側(cè)導(dǎo)體1相互電絕緣。為了防止在產(chǎn)生等離子體時雜質(zhì)混入等離子體，優(yōu)選對天線9實施適當(dāng)?shù)谋砻嫱扛病Ｔ诒緦嵤├?，天線9作為與同軸電纜6的內(nèi)部導(dǎo)體8另成一體的構(gòu)件而形成，但也可以由內(nèi)部導(dǎo)體8形成天線9。
外側(cè)導(dǎo)體1的軸向的孔2，從該孔2的底面沿軸向延伸任意的長度(但是，不到達外側(cè)導(dǎo)體1的一端面4)，其徑比放電管3的外徑大預(yù)先確定的長度，在該區(qū)域(外側(cè)導(dǎo)體1的內(nèi)部)，在孔2的內(nèi)周面及放電管3的外周面之間，形成在半徑方向具有預(yù)先確定的厚度且具有任意的長度的圓筒狀的空間14。
圓筒狀的空間14用于得到傳輸阻抗的匹配。傳輸阻抗的匹配通過使同軸電纜6的內(nèi)部導(dǎo)體8和外部導(dǎo)體7的徑的比率、和天線9的外徑和外側(cè)導(dǎo)體1的內(nèi)徑的比率一致來進行。在此種情況下，通過外側(cè)導(dǎo)體1內(nèi)部的圓筒狀的空間14的半徑方向的長度，確定外側(cè)導(dǎo)體1的內(nèi)經(jīng)。還有，有時也不需要在外側(cè)導(dǎo)體1及放電管3之間設(shè)置圓筒狀的空間14。
在外側(cè)導(dǎo)體1上設(shè)置有用于向放電管3內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路13。氣體導(dǎo)入管路13由石英管等由電介質(zhì)構(gòu)成的管構(gòu)成，從外側(cè)導(dǎo)體1的外側(cè)，通過形成在外側(cè)導(dǎo)體1上的半徑方向的貫通孔，延伸到圓筒狀的空間14內(nèi)，其一端與放電管3連接，并在放電管3內(nèi)開口。
如此，在大氣壓中，在同軸電纜6的另一端連接(未圖示的)微波振蕩器，從微波振蕩器輸出規(guī)定波長的微波。另外，在氣體導(dǎo)入管路13上連接(未圖示的)氣體供給源。而且，從氣體供給源通過氣體導(dǎo)入管路13向放電管3內(nèi)導(dǎo)入氣體，并且從微波振蕩器輸出的微波在同軸電纜6中傳輸，經(jīng)由同軸連接器10以同軸模式傳輸于天線9。然后，微波在天線9的表面?zhèn)鬏?，在天線9的前端產(chǎn)生最高的電場，在天線9的前端和放電管3的內(nèi)壁之間生成等離子體，從放電管3的前端開口照射。
本發(fā)明的同軸形微波等離子槍由于整體保持同軸結(jié)構(gòu)，不需要像使用了以往的同軸形諧振器的微波等離子槍那樣具備諧振器，所以在同軸電纜中傳輸?shù)奈⒉ㄔ诒３滞S模式的狀態(tài)下供給于天線，產(chǎn)生等離子體。因此，等離子槍的能量效率比以往格外地提高，另外，即使在大氣壓中也能夠容易地點火，維持等離子體。另外，根據(jù)本發(fā)明，由于不需要像以往的波導(dǎo)管形的等離子槍那樣采用匹配器或反射板，能夠減少等離子槍的構(gòu)成部件數(shù)目，所以可得到更大的設(shè)計自由度，能夠使等離子槍小型化。
圖2是表示本發(fā)明的另一實施例的同軸形微波等離子槍的圖，(A)是側(cè)剖面圖，(B)是沿(A)的X-X線的剖面圖。如圖2所示，本發(fā)明的同軸形微波等離子槍具備槍主體20，該槍主體20具有由圓筒狀的外側(cè)導(dǎo)體21及在其內(nèi)側(cè)沿半徑方向留有間隔地配置的放電管22構(gòu)成的雙重管結(jié)構(gòu)。
槍主體20的外側(cè)導(dǎo)體21由蓋23關(guān)閉其一端開口。在本實施例中，蓋23由具有導(dǎo)電性的材料形成。放電管22的一端22a固定在蓋23上，另一端22b從外側(cè)導(dǎo)體21的另一端開口21a突出并延伸。放電管22由石英管及氧化鋁管等電介質(zhì)形成，并與蓋23電絕緣。另外，在槍主體20的外側(cè)導(dǎo)體21的蓋23上從外側(cè)安裝有微波傳輸用的同軸電纜24的一端，在同軸電纜24的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體25電連接的天線28。
在本實施例中，在同軸電纜24的一端安裝同軸連接器27，并經(jīng)由該同軸連接器27電連接同軸電纜24的內(nèi)部導(dǎo)體25和天線28。而且，天線28在與蓋23電絕緣的狀態(tài)下通過形成在蓋23上的貫通孔29并沿放電管22的軸向突出到槍主體20的放電管22內(nèi)，同軸連接器27由螺栓30安裝在蓋23上。在此種情況下，螺栓30不僅將同軸連接器27安裝在蓋23上，而且也用于將蓋23與外側(cè)導(dǎo)體21電結(jié)合。同時，同軸電纜24的外側(cè)導(dǎo)體26經(jīng)由同軸連接器27與槍主體20的外側(cè)導(dǎo)體21電連接。
天線28由具有高的導(dǎo)電性的材料形成。而且，天線28和蓋23的貫通孔29沿半徑方向留有間隔地配置，這樣一來，天線28和蓋23相互電絕緣。為了防止在產(chǎn)生等離子體時雜質(zhì)混入等離子體，優(yōu)選對天線28實施適當(dāng)?shù)谋砻嫱扛?。在本實施例中，天線28作為與同軸電纜24的內(nèi)部導(dǎo)體25另成一體的構(gòu)件而形成，但也可以由內(nèi)部導(dǎo)體25形成天線28。
另外，可通過使天線28的外徑和外側(cè)導(dǎo)體1的內(nèi)徑的比率，與同軸電纜24的內(nèi)部導(dǎo)體25和外部導(dǎo)體26的徑的比率一致，進行傳輸阻抗的匹配。
在槍主體20上設(shè)置有向槍主體20的放電管22內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路32。氣體導(dǎo)入管路32由石英管等由電介質(zhì)構(gòu)成的管構(gòu)成，從外側(cè)導(dǎo)體21的外側(cè)，通過形成在外側(cè)導(dǎo)體21上的半徑方向的貫通孔，延伸到外側(cè)導(dǎo)體21及放電管22之間的空間33內(nèi)，其一端與放電管22連接，并在放電管22的天線28的前端附近區(qū)域開口。
在形成于槍主體20的外側(cè)導(dǎo)體21及放電管22之間的圓筒狀的空間33內(nèi)，從外側(cè)導(dǎo)體21的另一端開口21a嵌入圓筒狀的輔助導(dǎo)體34。進而，在輔助導(dǎo)體34的外周面具有螺紋牙35，另一方面，在外側(cè)導(dǎo)體21的內(nèi)周面具有與輔助導(dǎo)體34的螺紋牙35卡合的螺紋槽36。而且，通過使輔助導(dǎo)體34繞放電管22旋轉(zhuǎn)，輔助導(dǎo)體34能夠使在與外側(cè)導(dǎo)體21的內(nèi)周面之間及與放電管22的外周面之間不產(chǎn)生微波泄漏，并且與槍主體20的外側(cè)導(dǎo)體21電接觸且沿放電管22的軸向滑動運動。還有，37是與輔助導(dǎo)體35結(jié)合的、用于容易進行輔助導(dǎo)體34的旋轉(zhuǎn)操作的操作旋鈕。
在本實施例中，輔助導(dǎo)體34通過與外側(cè)導(dǎo)體21螺紋卡合，能夠沿放電管22的軸向滑動運動，但是例如如圖3所示，通過輔助導(dǎo)體34的外周面與外側(cè)導(dǎo)體21的內(nèi)周面接觸，且內(nèi)周面與放電管22的外周面接觸這一結(jié)構(gòu)，也能夠使輔助導(dǎo)體34在不依靠螺紋卡合的情況下滑動運動。
如此，在大氣壓中，在同軸電纜24的另一端連接(未圖示的)微波振蕩器，從微波振蕩器輸出規(guī)定波長的微波。另外，在氣體導(dǎo)入管路32上連接(未圖示的)氣體供給源。而且，從氣體供給源通過氣體導(dǎo)入管路32向放電管22內(nèi)導(dǎo)入氣體，并且從微波振蕩器輸出的微波在同軸電纜24中傳輸，經(jīng)由同軸連接器27以同軸模式傳輸于天線28。然后，微波在天線28的表面?zhèn)鬏敚谔炀€28的前端產(chǎn)生最高的電場，在天線28的前端和放電管22的內(nèi)壁之間生成等離子體，從放電管22的前端開口照射。
在本實施例中也得到與圖1的實施例相同的效果，尤其在本實施例中，通過在放電管22內(nèi)維持等離子體，能夠生成長的等離子體。
圖4是本發(fā)明的又一實施例的同軸形微波等離子槍的側(cè)剖面圖。如圖4所示的實施例與圖2的實施例基本相同，只是蓋的結(jié)構(gòu)及氣體導(dǎo)入管路的結(jié)構(gòu)有所不同。因此，在圖4中，對與圖2的結(jié)構(gòu)要素相同的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同符號，省略說明。
參照圖4，槍主體20的蓋40的包括插入部42，其由圓柱狀的電介質(zhì)構(gòu)成，且插入外側(cè)導(dǎo)體21內(nèi)；凸緣部41，其設(shè)在插入部42的一端，且由導(dǎo)體構(gòu)成。而且，放電管22的一端固定在插入部42。
在本實施例中，氣體導(dǎo)入管路包括管部分43，其從槍主體20的外側(cè)沿半徑方向貫通槍主體20的外側(cè)導(dǎo)體21，且具有電絕緣性；第1管路部分44，其與管部分43連接，且沿半徑方向貫通蓋40的插入部42；第2管路部分45，其與第1管路部分44連接，在天線28內(nèi)部沿半徑方向延伸到內(nèi)側(cè)后，從此處在天線28內(nèi)部朝向其前端軸向延伸，并在該前端開口。
如此，在本實施例中，可從天線28的前端向放電管22內(nèi)導(dǎo)入氣體。在本實施例的情況下，也能得到與圖2的實施例相同的效果。
(工業(yè)上的可利用性)根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種在大氣壓中能夠容易地產(chǎn)生等離子體的、非常小型的、能量效率高的同軸形微波等離子槍。而且，本發(fā)明的微波等離子槍能夠代替以往的波導(dǎo)管形微波等離子槍而使用于刻蝕裝置、CVD裝置、表面處理裝置、表面改質(zhì)裝置及材料改質(zhì)裝置等。
權(quán)利要求
1.一種同軸形微波等離子槍，其特征在于，具備外側(cè)導(dǎo)體，其具有圓柱形狀；圓筒狀的放電管，其插入并固定于在所述外側(cè)導(dǎo)體的一端面?zhèn)刃纬傻妮S向的孔內(nèi)；微波傳輸用的同軸電纜，其一端從外側(cè)安裝在所述外側(cè)導(dǎo)體的另一端面，在所述同軸電纜的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體電連接的天線，在所述外側(cè)導(dǎo)體上形成從其另一端面?zhèn)瘸蛩鲚S向的孔軸向延伸的貫通孔，所述天線在與所述外側(cè)導(dǎo)體電絕緣的狀態(tài)下通過所述貫通孔并延伸到所述放電管內(nèi)，所述同軸電纜的外部導(dǎo)體與所述外側(cè)導(dǎo)體電連接，在所述外側(cè)導(dǎo)體上設(shè)置有向所述放電管內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路。
2.如權(quán)利要求1所述的同軸形微波等離子槍，其特征在于，在所述外側(cè)導(dǎo)體的軸向的孔的周面及所述放電管的外周面之間形成有圓筒狀的空間，所述圓筒狀的空間在所述外側(cè)導(dǎo)體的內(nèi)部，沿半徑方向延伸預(yù)先確定的長度，并從所述軸向的孔的底面沿軸向延伸任意的長度。
3.一種同軸形微波等離子槍，其特征在于，具備槍主體，該槍主體具有由圓筒狀的外側(cè)導(dǎo)體及在其內(nèi)側(cè)沿半徑方向留有間隔地配置的圓筒狀的放電管構(gòu)成的雙重管結(jié)構(gòu)，所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體由蓋關(guān)閉其一端開口，所述放電管的一端固定在所述蓋上，另一端從所述外側(cè)導(dǎo)體的另一端開口突出并延伸，在所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體的蓋上從外側(cè)安裝有微波傳輸用的同軸電纜的一端，在所述同軸電纜的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體電連接的天線，所述天線在與所述蓋電絕緣的狀態(tài)下通過形成在所述蓋上的貫通孔并軸向延伸到所述槍主體的所述放電管內(nèi)，所述同軸電纜的外部導(dǎo)體與所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體電連接，在所述槍主體上設(shè)置有向所述槍主體的所述放電管內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路。
4.如權(quán)利要求3所述的同軸形微波等離子槍，其特征在于，在形成于所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體及所述放電管之間的圓筒狀的空間內(nèi)，從所述外側(cè)導(dǎo)體的另一端開口側(cè)嵌入有圓筒狀的輔助導(dǎo)體，所述輔助導(dǎo)體可以通過使在與所述外側(cè)導(dǎo)體的內(nèi)周面之間及與所述放電管的外周面之間不產(chǎn)生微波的泄漏，并且與所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體電連接且沿所述放電管的軸向滑動運動，而使微波的相位適當(dāng)變化。
5.如權(quán)利要求3或4所述的同軸形微波等離子槍，其特征在于，所述氣體導(dǎo)入管路從所述槍主體的外側(cè)，貫通所述外側(cè)導(dǎo)體及所述蓋的雙方或任一方并延伸到所述外側(cè)導(dǎo)體及所述放電管之間的圓筒狀的空間內(nèi)后，與所述放電管連接，并在所述放電管的所述天線的前端附近區(qū)域開口。
6.如權(quán)利要求3或4所述的同軸形微波等離子槍，其特征在于，所述槍主體的所述蓋至少具有由圓柱狀的電介質(zhì)構(gòu)成的、插入所述外側(cè)導(dǎo)體內(nèi)的插入部，所述放電管的一端固定在所述插入部，所述氣體導(dǎo)入管路包括管部分，其從所述槍主體的外側(cè)貫通所述槍主體的所述外側(cè)導(dǎo)體且具有電絕緣性；第1管路部分，其與所述管部分連接，且貫通所述蓋的插入部；第2管路部分，其與所述第1管路部分連接，在所述天線內(nèi)部延伸到內(nèi)側(cè)后，從此處在所述天線內(nèi)部朝向其前端軸向延伸，并在所述前端開口。
7.如權(quán)利要求1～6中任一項所述的同軸形微波等離子槍，其特征在于，所述天線由所述同軸電纜的內(nèi)部導(dǎo)體構(gòu)成。
全文摘要
具備外側(cè)導(dǎo)體(1)，其具有圓柱形狀；圓筒狀的放電管(3)，其插入并固定于在外側(cè)導(dǎo)體的一端面(4)側(cè)形成的軸向的孔(2)內(nèi)；同軸電纜(6)，其一端從外側(cè)安裝在外側(cè)導(dǎo)體的另一端面。在同軸電纜的一端具備與其內(nèi)部導(dǎo)體(8)電連接的天線(9)，天線通過外側(cè)導(dǎo)體的另一端面(5)及軸向貫通軸向的孔的底面間的貫通孔(11)延伸到放電管內(nèi)，同軸電纜的外部導(dǎo)體(7)與外側(cè)導(dǎo)體電連接，在外側(cè)導(dǎo)體上設(shè)置有向放電管內(nèi)供給氣體的氣體導(dǎo)入管路(13)。
文檔編號H05H1/24GK1954647SQ20058001031
公開日2007年4月25日 申請日期2005年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月31日
發(fā)明者藤井修逸, 拉瑪沙米·拉茲, 浦山卓也, 藤岡萬也 申請人:阿德特克等離子技術(shù)公司