專利名稱：部件安裝機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將電子部件等部件安裝到電路基板等基板上的部件安裝機(jī)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的電子部件安裝機(jī)為由頭部的噴嘴吸著從供給部供給的部件并取出后而搬送到基板保持部所保持的基板上，然后，將部件安裝在該基板上。通過(guò)在其頭部的移動(dòng)路徑上所設(shè)置的檢查部來(lái)檢查噴嘴所吸著保持的部件的保持姿勢(shì)，并且基于其檢查結(jié)果來(lái)根據(jù)需要修正部件的姿勢(shì)和進(jìn)行安裝操作。
頭部預(yù)先設(shè)置了多個(gè)噴嘴，當(dāng)在檢查部檢查該噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)時(shí)，一個(gè)個(gè)輸入多個(gè)噴嘴所吸著部件的圖像信息而不進(jìn)行檢查，通過(guò)一次將多個(gè)噴嘴的圖像信息即多個(gè)部件的圖像信息通過(guò)檢查部所設(shè)置的1臺(tái)傳感器進(jìn)行輸入并檢查，能夠?qū)崿F(xiàn)縮短保持姿勢(shì)檢查所需要的時(shí)間。
當(dāng)檢查噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)時(shí)，盡管頭部在檢查部上方移動(dòng)，但也有通過(guò)使用線傳感器(line sensor)和帶有快門(shutter)功能的面?zhèn)鞲衅?area sensor)作為檢查部的傳感器，來(lái)進(jìn)行在檢查部上方不暫時(shí)使頭部停止就按原樣移動(dòng)的噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)進(jìn)行檢查(下面，將輸入在檢查部上方不使頭部停止就按原樣移動(dòng)的噴嘴所吸著部件的圖像信息并進(jìn)行保持姿勢(shì)檢查的動(dòng)作稱為掃描動(dòng)作)，實(shí)現(xiàn)縮短保持姿勢(shì)檢查所需要的時(shí)間(例如，參考特開(kāi)平9-186492號(hào)公報(bào))。
下面參考圖36簡(jiǎn)單說(shuō)明在現(xiàn)有技術(shù)電子部件安裝裝置中電子部件高度檢測(cè)動(dòng)作的一個(gè)例子。
圖36所示電子部件安裝裝置1020是所謂機(jī)器人類型部件安裝裝置的一個(gè)例子，具有保持電子部件的噴嘴的頭部通過(guò)在X，Y方向上移動(dòng)來(lái)進(jìn)行從部件保持到向電路基板1008的安裝，其包括供給部1002，用于供給電子部件1001；頭部1004，其包括多個(gè)用于從供給部1002取出電子部件1001的安裝噴嘴1003；識(shí)別部1005，用于平面識(shí)別安裝噴嘴1003所保持的電子部件1001的姿勢(shì)；電子部件高度檢測(cè)部1006，其具有用于發(fā)出平行光束的發(fā)光部和用于接收上述平行光束的光接收部，并進(jìn)行安裝噴嘴1003所保持電子部件1001的高度檢測(cè)；控制部1007，其基于上述識(shí)別部1005的識(shí)別結(jié)果來(lái)進(jìn)行電子部件1001的姿勢(shì)校正以及基于上述電子部件高度檢測(cè)部1006的檢測(cè)結(jié)果來(lái)進(jìn)行部件1001姿勢(shì)是否良好的判定；機(jī)器人1009，其將頭部1004在X，Y方向上從供給部1002移動(dòng)到電路基板1008上的部件安裝位置。
如圖37所示，在上述頭部1004上，多個(gè)安裝噴嘴1003被排列成一列，電子部件高度檢測(cè)部1006相對(duì)于頭部1004的檢測(cè)移動(dòng)方向α被配置成直角方向。
下面，簡(jiǎn)單說(shuō)明在現(xiàn)有技術(shù)電子部件安裝裝置1020中電子部件高度檢測(cè)動(dòng)作。
為了通過(guò)頭部1004所安裝的安裝噴嘴1003來(lái)取出由供給部1002被定位到吸著位置的電子部件1001，通過(guò)機(jī)器人1009來(lái)定位頭部1004以及頭部1004的安裝噴嘴1003保持電子部件1001。由于如上述在頭部1004上設(shè)置了多個(gè)安裝噴嘴1003，因此各個(gè)安裝噴嘴1003保持電子部件1001。
當(dāng)電子部件1001被保持在各個(gè)安裝噴嘴1003上時(shí)，為了平面地確認(rèn)電子部件1001的保持狀態(tài)，頭部1004通過(guò)機(jī)器人1009被定位到識(shí)別部1005中的識(shí)別位置。
識(shí)別部1005識(shí)別各個(gè)安裝噴嘴1003所保持電子部件1001的平面狀態(tài)，控制部1007基于上述識(shí)別結(jié)果對(duì)安裝位置進(jìn)行部件1001的位置校正。
接著，為了進(jìn)行電子部件1001高度方向的檢測(cè)，頭部1004的各個(gè)安裝噴嘴1003由機(jī)器人1009定位，如圖37所示，其沿著檢測(cè)移動(dòng)方向α在對(duì)置配置的部件高度檢測(cè)部1006之間通過(guò)。此時(shí)，各個(gè)安裝噴嘴1003在將所保持的電子部件1001定位在檢測(cè)高度的狀態(tài)下垂直通過(guò)于部件高度檢測(cè)部1006之用于檢測(cè)的平行光束1010(例如參考特開(kāi)2000-278000號(hào)公報(bào))。當(dāng)在部件高度檢測(cè)部1006之間通過(guò)時(shí)，基于在部件高度檢測(cè)部1006中檢測(cè)的、在各個(gè)安裝噴嘴1003所保持電子部件1001中所形成的圖像，控制部1007進(jìn)行各個(gè)電子部件1001的保持姿勢(shì)是否良好的判定。當(dāng)連續(xù)進(jìn)行多個(gè)電子部件1001的高度檢測(cè)時(shí)，通過(guò)在部件高度檢測(cè)部1006中檢測(cè)各個(gè)安裝噴嘴1003所保持的、鄰接電子部件1001之間的間隙，來(lái)區(qū)別各個(gè)電子部件1001并進(jìn)行各個(gè)電子部件1001的判別。
當(dāng)在控制部1007中判斷電子部件1001為良品時(shí)，頭部1004通過(guò)機(jī)器人1009的動(dòng)作來(lái)在電路基板1008上定位電子部件安裝位置。另一方面，當(dāng)判斷為不良品時(shí)，頭部1004移動(dòng)到電子部件1001的廢棄位置(未圖示)，廢棄不良品的電子部件1001。這樣，重復(fù)上述操作。
但是，現(xiàn)有的電子部件安裝機(jī)具有下述問(wèn)題。
即，當(dāng)通過(guò)檢查部進(jìn)行頭部上設(shè)置的多個(gè)噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查時(shí)，多個(gè)部件的圖像信息通過(guò)檢查部的一個(gè)傳感器被一次輸入。此時(shí)，由于通過(guò)進(jìn)行該圖像信息輸入的傳感器的視野范圍的外周所配置照明部照射的光線來(lái)進(jìn)行保持姿勢(shì)檢查，即由于通過(guò)同一照明部對(duì)多個(gè)部件在相同時(shí)刻照射被設(shè)定為相同光量的光線，因此通過(guò)部件的表面狀態(tài)/材質(zhì)/顏色等不能夠清楚地獲得部件形狀的圖像信息。因此，在一次掃描操作中，在保持姿勢(shì)檢查中存在不為檢查精度的部件的組合和不形成保持姿勢(shì)檢查自身的部件的組合的情況。這種情況下，需要通過(guò)變更來(lái)自照明部照射的光線的設(shè)定來(lái)再次輸入用于檢查不是檢查精度或者不形成檢查自身的部件的姿勢(shì)的圖像信息，由此增加了構(gòu)成進(jìn)行多次掃描操作之保持姿勢(shì)檢查所要的時(shí)間，其結(jié)果，就會(huì)有電子部件安裝機(jī)生產(chǎn)率下降的情況。
由于在檢查部設(shè)置的一個(gè)傳感器中一次輸入多個(gè)噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)信息，如果傳感器的視野范圍即視野角變大，則傳感器每一個(gè)象素的分辨率變差，不能夠獲得充分的檢查精度，其結(jié)果，就會(huì)有電子部件安裝機(jī)生產(chǎn)率下降的情況。
在上述電子部件的高度檢測(cè)時(shí)存在如下的問(wèn)題。即，當(dāng)頭部1004所包括的安裝噴嘴1003是1列時(shí)，如上述的部件高度檢測(cè)動(dòng)作成為沿著檢測(cè)移動(dòng)方向α在部件高度檢測(cè)部1006之間使安裝噴嘴1003僅僅通過(guò)一次。但是，如圖38所示，當(dāng)安裝噴嘴1003多列配置在頭部1004上時(shí)，如果使安裝噴嘴1003在垂直于部件高度檢測(cè)部1006的平行光束1010的方向上移動(dòng)，則由于變成一次檢測(cè)多個(gè)電子部件1001的影像，因此檢測(cè)動(dòng)作不能夠一次完成，必須進(jìn)行與各列相對(duì)應(yīng)的多次檢測(cè)動(dòng)作。
近年來(lái)，正謀求電子部件安裝裝置中循環(huán)周期的高速化，為此，存在頭部1004所包括的安裝噴嘴1003數(shù)目增加的趨勢(shì)，隨著設(shè)備尺寸的縮小，通過(guò)2列構(gòu)成來(lái)配置安裝噴嘴1003也增加了。在這種狀況下，通過(guò)分成多次來(lái)進(jìn)行部件1001的高度檢測(cè)動(dòng)作已經(jīng)變成妨礙上述循環(huán)周期的高速化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的第一個(gè)目的是提供一種電子部件安裝機(jī)，其能夠提高電子部件安裝機(jī)中的生產(chǎn)率。
本發(fā)明的第二個(gè)目的是提供一種謀求循環(huán)周期高速化的部件安裝裝置和在該部件安裝裝置中執(zhí)行的部件安裝方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述第一個(gè)目的，本發(fā)明按下述構(gòu)成。
根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)形式，特征在于，其構(gòu)成包括供給部，其用于供給部件；頭部，其將噴嘴列在與X方向正交的Y方向上至少并列配置2列以上，該噴嘴列是將取出和搬送從所述供給部供給的部件的噴嘴在X方向至少并排配置1個(gè)以上；基板保持部，其保持基板，該基板安裝由所述頭部所搬送的部件；檢查部，其被配置在從所述頭部的所述供給部到所述基板保持部的移動(dòng)路徑上，檢查所述噴嘴所保持部件的保持姿勢(shì)，所述檢查部具有在配置于所述頭部的所述噴嘴的每個(gè)噴嘴列中獨(dú)立的姿勢(shì)檢查用的傳感器；在姿勢(shì)檢查時(shí)向所述頭部照射光線的照明部；用于所述噴嘴所保持部件的圖像輸入的光信息入射口。根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)由一次掃描操作實(shí)現(xiàn)頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列所吸著多個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查，獲得保持姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短，同時(shí)謀求了噴嘴所保持部件的保持姿勢(shì)檢查精度的提高，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第二個(gè)形式，能夠?qū)z查部的各個(gè)傳感器設(shè)置獨(dú)立的入射口和照明部。通過(guò)該構(gòu)成，對(duì)于每個(gè)傳感器即頭部設(shè)置的各個(gè)噴嘴列吸著的每個(gè)部件，能夠獨(dú)立進(jìn)行照明部照射的光線的設(shè)定，由于能夠通過(guò)由一次掃描操作實(shí)現(xiàn)各噴嘴列所吸著多個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查，因此能夠獲得姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第三個(gè)形式，能夠?qū)z查部各個(gè)傳感器的視野中心在X方向并齊并列配置。通過(guò)該構(gòu)成，由于能夠在相同時(shí)刻進(jìn)行頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列所吸著部件的圖像信息的輸入，因此能夠獲得噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。而且，能夠使檢查部在X方向所占的空間小，從而能夠小型化，結(jié)果，能夠構(gòu)成小型化的部件安裝機(jī)。
根據(jù)本發(fā)明第四個(gè)形式，能夠?qū)z查部各個(gè)傳感器的視野中心在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置。根據(jù)該構(gòu)成，在頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列的間隔窄時(shí)，在將檢查部各個(gè)傳感器的視野在X方向并齊并列配置的狀態(tài)下，不能夠獲得足夠的照明部設(shè)置空間，即使在因照明部照射的光線的光量不夠使得不能夠確保噴嘴吸著部件的保持姿勢(shì)檢查精度的部件存在的情況下，通過(guò)將各個(gè)傳感器的視野在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置，能夠確保用于確保噴嘴所保持部件姿勢(shì)檢查精度的用于照射足夠光線光量的照明部設(shè)置空間，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第五形式，能夠在頭部設(shè)置的噴嘴列在Y方向被并列3列以上時(shí)，將檢查部各個(gè)傳感器的視野中心在X方向以蛇形錯(cuò)開(kāi)并列配置。根據(jù)該構(gòu)成，由于與將各個(gè)傳感器視野中心在X方向順次錯(cuò)開(kāi)并列配置的情況相比其在X方向所占的空間變小，因此能夠獲得頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列所吸著部件的保持姿勢(shì)之圖像信息輸入所要時(shí)間的縮短，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率，同時(shí)，能夠使檢查部小型化，結(jié)果，能夠構(gòu)成小型化的部件安裝機(jī)。
根據(jù)本發(fā)明第6形式，對(duì)于檢查部的全部傳感器，設(shè)置共同的入射口和照明部。根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)對(duì)于檢查部的全部傳感器設(shè)置共同的入射口和照明部，由于與頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列的間隔沒(méi)有關(guān)系而能夠確保照明部的設(shè)置空間，為了獲得噴嘴吸著部件的保持姿勢(shì)檢查的檢查精度，能夠容易地構(gòu)成用于獲得必需光線光量的照明部，能夠容易地謀求噴嘴所保持部件的保持姿勢(shì)檢查精度的提高，同時(shí)，通過(guò)將各個(gè)傳感器的視野中心在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置，能夠?qū)γ總€(gè)傳感器即頭部設(shè)置的各個(gè)噴嘴列吸著的每個(gè)部件進(jìn)行照明部照射的光線的光量設(shè)定，由于能夠通過(guò)由一次掃描操作實(shí)現(xiàn)各噴嘴列所吸著多個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查，因此能夠獲得姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第7形式，能夠?qū)⒁苑瓷溏R為代表的反射體設(shè)置在入射口和傳感器之間，將傳感器配置在檢查部的側(cè)面?zhèn)?。根?jù)該構(gòu)成，通過(guò)做成將入射口入射的噴嘴吸著部件的光信息由反射體反射到檢查部側(cè)面?zhèn)扰渲玫膫鞲衅鞣较蛏?，能夠降低檢查部的高度尺寸，作為該部分檢查部的剛性變高，能夠謀求噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查精度的提高，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。而且，通過(guò)將傳感器配置在檢查部側(cè)面，能夠使傳感器的調(diào)整和交換等維護(hù)變得容易。
根據(jù)本發(fā)明第8形式，能夠?qū)⒁园敕瓷溏R或者棱鏡為代表的反射/透過(guò)體設(shè)置在入射口和傳感器之間，在從入射口入射的噴嘴吸著部件的光信息的反射/透過(guò)體中，將檢查部的傳感器交互并列配置在其反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)。根據(jù)該構(gòu)成，在將傳感器并列配置在檢查部下面和側(cè)面的同一面上時(shí)，即使在因傳感器外形尺寸的影響使頭部配置的噴嘴列的間隔擴(kuò)展到需要之上的情況下，通過(guò)將反射/透過(guò)體設(shè)置在入射口和傳感器之間以及將檢查部的傳感器交互配置在該反射/透過(guò)體的反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)，能夠使所述頭部配置的噴嘴列的間隔變窄，結(jié)果，使頭部小型化。由于能夠使檢查部在Y方向所占空間變小，因此能夠使檢查部小型化。
根據(jù)本發(fā)明第9形式，能夠?qū)⑼哥R配置在反射/透過(guò)體和檢查部的傳感器之間。通過(guò)該構(gòu)成，即使在頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列的間隔窄，即在將檢查部各個(gè)傳感器并列配置在檢查部下面和側(cè)面之同一面上的狀態(tài)下，各個(gè)傳感器的間隔窄而不能夠確保用于傳感器之充分亮度的透鏡直徑使得輸入到傳感器的光信息亮度不夠、從而使得不能夠確保噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查精度的情況下，通過(guò)將反射/透過(guò)體設(shè)置在入射口和傳感器之間、將檢查部的傳感器交互配置在該反射/透過(guò)體的反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)以及將透鏡配置在該反射/透過(guò)體和檢查部的各個(gè)傳感器之間，由于能夠使該透鏡直徑變大，因此能夠謀求所述頭部配置的噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查精度的提高，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第10形式，能夠?qū)⒁园敕瓷溏R或者棱鏡為代表的反射/透過(guò)體設(shè)置在入射口和傳感器之間，在反射/透過(guò)體透過(guò)光側(cè)能夠輸入圖像的任意位置上追加配置傳感器。根據(jù)該構(gòu)成，在檢查部的多個(gè)傳感器內(nèi)，通過(guò)由最適合于各個(gè)噴嘴所吸著部件之保持姿勢(shì)檢查的傳感器來(lái)輸入部件的圖像信息，能夠謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高，同時(shí)，通過(guò)增加傳感器數(shù)量，能夠謀求噴嘴所吸著部件的姿勢(shì)檢查精度的提高，還能夠謀求檢查對(duì)象部件的擴(kuò)大，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第11形式，能夠使視野角不同的傳感器包括在檢查部的傳感器中。根據(jù)該構(gòu)成，在檢查部的多個(gè)傳感器內(nèi)，通過(guò)由視野角最適合于各個(gè)噴嘴所吸著部件之保持姿勢(shì)檢查的傳感器來(lái)輸入部件的圖像信息，能夠謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高，同時(shí)，通過(guò)包含視野角不同的傳感器，能夠謀求噴嘴所吸著部件的姿勢(shì)檢查精度的提高，還能夠謀求檢查對(duì)象部件的擴(kuò)大，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
根據(jù)本發(fā)明第12形式，能夠使分辨率不同的傳感器包括在檢查部的傳感器中。根據(jù)該構(gòu)成，在檢查部的多個(gè)傳感器內(nèi)，通過(guò)由分辨率最適合于各個(gè)噴嘴所吸著部件之保持姿勢(shì)檢查的傳感器來(lái)輸入部件的圖像信息，能夠謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高，同時(shí)，通過(guò)包含分辨率不同的傳感器，能夠謀求噴嘴所吸著部件的姿勢(shì)檢查精度的提高，還能夠謀求檢查對(duì)象部件的擴(kuò)大，作為結(jié)果，能夠提高部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
為了實(shí)現(xiàn)上述第二個(gè)目的，本發(fā)明按下述構(gòu)成。
即，本發(fā)明第13形式的部件安裝裝置，是保持來(lái)自電子部件供給裝置的電子部件并將所保持的電子部件安裝到電路基板的部件安裝裝置，特征在于，其包括部件保持頭部，其使保持上述電子部件的部件保持構(gòu)件多行多列排列并在相互正交的X、Y方向上移動(dòng)；部件高度檢測(cè)裝置，其是為了檢查多個(gè)上述部件保持構(gòu)件所保持的上述電子部件的保持姿勢(shì)是否良好而檢測(cè)上述部件保持構(gòu)件所保持的上述電子部件的高度的部件高度檢測(cè)裝置，具有一對(duì)發(fā)光部和光接收部，對(duì)于與由上述部件保持頭部所移動(dòng)的上述部件保持構(gòu)件的移動(dòng)方向正交的正交方向，其以可檢測(cè)角度(θ)發(fā)出和接收檢測(cè)用光，用來(lái)分別檢測(cè)各個(gè)部件保持構(gòu)件所保持的上述電子部件。
在將上述移動(dòng)方向中各個(gè)部件保持構(gòu)件的配置間隔設(shè)為P1以及將上述正交方向中部件保持構(gòu)件的配置間隔設(shè)為P2時(shí)，上述可檢測(cè)角度θ是通過(guò)tan-1((P1/2)/P2)求得的角度。
其被構(gòu)成為還包括控制裝置，其在上述部件高度檢測(cè)裝置送出的部件高度信息之內(nèi)，基于將上述部件保持構(gòu)件作為中心而在移動(dòng)方向的檢測(cè)區(qū)間中的上述部件高度信息，判斷上述電子部件的是否良好。
本發(fā)明第14形式的部件安裝方法，是保持電子部件并安裝到電路基板的部件安裝方法，特征在于，其包括在通過(guò)以多行多列排列的部件保持構(gòu)件保持上述電子部件之后，在安裝到上述電路基板之前，對(duì)于與上述部件保持構(gòu)件的移動(dòng)方向正交的正交方向，以可檢測(cè)角度(θ)發(fā)出檢測(cè)用光并接收該檢測(cè)用光，用來(lái)分別檢測(cè)各個(gè)部件保持構(gòu)件所保持的上述電子部件，并且檢查多個(gè)上述部件保持構(gòu)件所保持的上述電子部件的保持姿勢(shì)是否良好。
根據(jù)上述本發(fā)明第13形式的部件安裝裝置和第14形式的部件安裝方法，通過(guò)包括部件高度檢測(cè)裝置，以可檢測(cè)角度發(fā)出檢測(cè)用光并接收該檢測(cè)用光以用來(lái)分別檢測(cè)各個(gè)部件保持構(gòu)件所保持的電子部件來(lái)檢查多個(gè)上述部件保持構(gòu)件所保持的上述電子部件的保持姿勢(shì)是否良好。因此，即使在以多行多列排列部件保持構(gòu)件的情況下，不增加檢測(cè)次數(shù)而通過(guò)一次掃描，就能夠獲得全部電子部件的影像信息。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠謀求與部件安裝相關(guān)的循環(huán)周期的高速化。
而且，通過(guò)包括控制裝置并基于將上述部件保持構(gòu)件作為中心的檢測(cè)區(qū)間中的部件高度信息來(lái)判斷部件保持姿勢(shì)是否良好，即使在相鄰電子部件之間影像重疊的情況下，也能夠判別出求得了哪一個(gè)電子部件的部件高度信息。因此，結(jié)果，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠謀求與部件安裝相關(guān)的循環(huán)周期的高速化。


本發(fā)明的目的和特征通過(guò)將所附附圖關(guān)聯(lián)在優(yōu)選實(shí)施方式中的下述說(shuō)明將變得清楚。
圖1是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式部件安裝機(jī)的概略俯視圖。
圖2是表示上述第一實(shí)施方式之頭部的立體圖。
圖3是表示上述第一實(shí)施方式之檢查部的俯視圖。
圖4是在上述第一實(shí)施方式的檢查部中傳感器攝像的時(shí)序圖。
圖5是表示上述第一實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖6是表示上述第一實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖7是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖8是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖9是表示本發(fā)明第三實(shí)施方式檢查部的俯視圖。
圖10是表示上述第三實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖11是表示上述第三實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖12是表示本發(fā)明第四實(shí)施方式檢查部的俯視圖。
圖13是在上述第四實(shí)施方式的檢查部中傳感器攝像的時(shí)序圖。
圖14是表示上述第四實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖15是表示上述第四實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖16是表示本發(fā)明第五實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖17是表示上述第五實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖18是表示本發(fā)明第六實(shí)施方式檢查部的俯視圖。
圖19是表示上述第六實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖20是表示上述第六實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖21是表示本發(fā)明第七實(shí)施方式檢查部的俯視圖。
圖22是在上述第七實(shí)施方式的檢查部中傳感器攝像的時(shí)序圖。
圖23是表示上述第七實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖24是表示上述第七實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖25是表示本發(fā)明第八實(shí)施方式檢查部的俯視圖。
圖26是表示上述第八實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖27是表示上述第八實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖28是表示本發(fā)明第九實(shí)施方式檢查部的俯視圖。
圖29是表示上述第九實(shí)施方式檢查部的剖視圖。
圖30是表示上述第九實(shí)施方式檢查部的側(cè)視圖。
圖31是本發(fā)明第十實(shí)施方式部件安裝裝置的立體圖。
圖32是用于說(shuō)明在圖31所示部件高度檢測(cè)裝置中進(jìn)行的部件高度檢測(cè)動(dòng)作的立體圖。
圖33是用于說(shuō)明在圖31所示部件高度檢測(cè)裝置中進(jìn)行的部件高度檢測(cè)動(dòng)作的俯視圖。
圖34是表示在圖31所示部件高度檢測(cè)裝置中所得的部件的影像的圖。
圖35是用于說(shuō)明基于在圖31所示部件高度檢測(cè)裝置中所得部件的影像來(lái)求得部件高度的方法的圖。
圖36是現(xiàn)有技術(shù)部件安裝裝置的立體圖。
圖37是用于說(shuō)明在現(xiàn)有技術(shù)部件高度檢測(cè)部中的高度檢測(cè)方法的圖。
圖38是用于說(shuō)明在現(xiàn)有技術(shù)部件高度檢測(cè)部中當(dāng)多行多列排列部件保持構(gòu)件時(shí)的高度檢測(cè)方法的圖。
具體實(shí)施例方式
在說(shuō)明本發(fā)明之前，在附圖中對(duì)相同的部件給出了相同的參考標(biāo)記。
下面，參考附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施方式。
(實(shí)施方式1)下面，使用圖1到圖6，說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式。
圖1是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式電子部件安裝機(jī)的概略俯視圖，圖2是表示上述電子部件安裝機(jī)頭部的立體圖，圖3到圖6是上述電子部件安裝機(jī)之檢查部的俯視圖、檢查部中噴嘴所吸著部件之圖像信息輸入(以后稱為攝像)的時(shí)序圖、檢查部的剖視圖、以及檢查部的側(cè)視圖。
如圖1所示，供給部2安裝了多個(gè)用于供給部件(圖1中沒(méi)有圖示)的供給體3，通過(guò)該供給部2供給的部件由能夠在XY方向上移動(dòng)的頭部6所設(shè)置的多個(gè)噴嘴(后述)吸著保持，成為安裝到基板保持部4所保持的基板5上。該基板保持部4不僅保持所述基板5，還承擔(dān)在X方向搬送和定位基板5的任務(wù)。
在所述頭部6上，作為如圖2所示從噴嘴列1噴嘴8a到8e以及到噴嘴列2噴嘴9a到9e，分別在X方向配置5根并列的2個(gè)噴嘴列在Y方向2列共計(jì)10根噴嘴。從該噴嘴列1噴嘴8a到8e和從噴嘴列2噴嘴9a到9e的各個(gè)噴嘴列的5根噴嘴的配置間隔被設(shè)定為與所述供給部2的供給體3的配置間隔對(duì)應(yīng)，被構(gòu)成為能夠一次吸著多個(gè)部件。從該噴嘴列1噴嘴8a到8e和從噴嘴列2噴嘴9a到9e的2列噴嘴列的間隔通過(guò)考慮各個(gè)噴嘴列的噴嘴所吸著部件的外形尺寸，留出被吸著部件不接觸不干涉以上距離的間隔。10是用于校正從噴嘴列1噴嘴8a到8e、從噴嘴列2噴嘴9a到9e之軸芯旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)位置的馬達(dá)，其被構(gòu)成為通過(guò)使該馬達(dá)10旋轉(zhuǎn)使得能夠調(diào)整從噴嘴列1噴嘴8a到8e、以及從噴嘴列2噴嘴9a到9e各個(gè)噴嘴的旋轉(zhuǎn)位置。
檢查部7被配置在所述供給部2和基板保持部4之間，通過(guò)該檢查部7進(jìn)行所述頭部6上配置的從噴嘴列1噴嘴8a到8e、從噴嘴列2噴嘴9a到9e所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查。
該電子部件安裝機(jī)1上設(shè)置了用于控制所述各部動(dòng)作的控制部50。該控制部50存儲(chǔ)了基板5上所安裝的部件的種類、安裝的位置和角度等安裝位置信息。所述檢查部7從所攝像的部件的圖像信息中檢查頭部6上所配置的從噴嘴列1噴嘴8a到8e、從噴嘴列2噴嘴9a到9e所保持的部件的保持姿勢(shì)。當(dāng)部件的保持姿勢(shì)相對(duì)于規(guī)定的姿勢(shì)錯(cuò)位時(shí)，所述控制部50一邊運(yùn)算用于校正該錯(cuò)位的所述頭部6的XY移動(dòng)量和頭部6的馬達(dá)10的旋轉(zhuǎn)角度即從噴嘴列1噴嘴8a到8e、從噴嘴列2噴嘴9a到9e的旋轉(zhuǎn)角度，一邊通過(guò)控制部50控制各部動(dòng)作來(lái)進(jìn)行向部件的基板5的安裝。
而且，本實(shí)施方式的電子部件安裝機(jī)1為了謀求生產(chǎn)率的提高，按圖1所示的那樣，構(gòu)成為左右對(duì)稱的2級(jí)結(jié)構(gòu)，各級(jí)能夠獨(dú)立進(jìn)行安裝操作。
下面，詳細(xì)說(shuō)明頭部6上所配置的從噴嘴列1噴嘴8a到8e、從噴嘴列2噴嘴9a到9e上所吸著的部件在檢查部7中的保持姿勢(shì)檢查。
圖3的11a、11b是所述頭部6(圖3中沒(méi)有圖示)上所配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著保持的第一部件，12a、12b是噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著保持的第二部件。各個(gè)噴嘴列的第三根以后的噴嘴8c，8d，8e，9c，9d，9e和這些噴嘴所吸著的部件通過(guò)省略而在圖3中沒(méi)有圖示，在以后的說(shuō)明中也省略。13是用于攝像噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著保持的第一部件11a、11b保持姿勢(shì)的第一傳感器，15是在攝像時(shí)將光線照射到第一部件11a、11b的第一照明部，17是在攝像時(shí)用于取入光信息的第一入射口。同樣，14是用于攝像噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著保持的第二部件12a、12b的第二傳感器，16是在攝像時(shí)將光線照射到第二部件12a、12b的第二照明部，18是在攝像時(shí)用于取入光信息的第二入射口。第一、第二照明部15，16分別沿著第一、第二入射口17，18的外周部設(shè)置。這里，第一傳感器13的視野中心和第二傳感器14的視野中心的間隔被配置成為使得與頭部6上配置的噴嘴列的間隔即噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列2噴嘴9a的中心的間隔一致。而且配置使得第一入射口17的中心、第一照明部15的中心以及第一傳感器13的視野中心一致，同樣配置使得第二入射口18的中心、第二照明部16的中心以及第二傳感器14的視野中心一致。第一入射口17的中心和第二入射口18的中心在X方向不錯(cuò)開(kāi)地并列配置，與頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的Y方向相對(duì)應(yīng)的各個(gè)噴嘴中心的連接線，即噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列2噴嘴9a的中心的連接線與第一入射口17的中心和第二入射口18的中心的連接線被配置成為平行。
在進(jìn)行所述頭部配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一部件11a、11b、第二部件12a、12b的保持姿勢(shì)檢查時(shí)，首先，在使頭部6在Y方向上移動(dòng)使得頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b的各個(gè)噴嘴列與檢查部7的第一、第二傳感器13、14各個(gè)視野中心的Y方向位置一致之后(圖3為向Y方向的移動(dòng)已經(jīng)結(jié)束的狀態(tài))，如圖3的箭頭所示，通過(guò)使頭部6在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上通過(guò)，通過(guò)第一、第二傳感器13、14分別對(duì)每一個(gè)部件進(jìn)行第一、第二部件8a、8b與9a、9b的攝像。該第一、第二部件8a、8b與9a、9b的攝像在第一、第二傳感器13、14為面?zhèn)鞲衅鲿r(shí)通過(guò)使用面?zhèn)鞲衅鞯目扉T功能來(lái)在頭部6通過(guò)檢查部7的上方時(shí)不使頭部6在檢查部7的第一、第二入射口17，18上暫停來(lái)進(jìn)行。具體地，如圖4時(shí)序圖所示，通過(guò)使頭部6在檢查部7上X方向移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8a、噴嘴列2噴嘴9a分別通過(guò)第一、第二入射口17、18的中心即第一、第二傳感器13、14的視野中心的瞬間，打開(kāi)第一、第二傳感器13、14的快門來(lái)進(jìn)行曝光，同時(shí)進(jìn)行通過(guò)第一傳感器13對(duì)噴嘴列1噴嘴8a所吸著第一部件11a和通過(guò)第二傳感器14對(duì)噴嘴列2噴嘴9a所吸著第二部件12a的攝像。而且，使頭部6在X方向繼續(xù)移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8b、噴嘴列2噴嘴9b分別通過(guò)第一、第二傳感器13、14的視野中心的瞬間，打開(kāi)第一、第二傳感器13、14的快門來(lái)進(jìn)行曝光，同時(shí)進(jìn)行通過(guò)第一傳感器13對(duì)噴嘴列1噴嘴8b所吸著第一部件11b和通過(guò)第二傳感器14對(duì)噴嘴列2噴嘴9b所吸著第二部件12b的攝像。下面，沒(méi)有圖示的同樣，進(jìn)行頭部6上配置的10根噴嘴所吸著的全部部件的攝像。而且，在使用通過(guò)該第一、第二傳感器13、14的快門功能的攝像瞬間，對(duì)于通過(guò)所述控制部50的控制所攝像的部件，進(jìn)行通過(guò)第一、第二照明部15，16而對(duì)每個(gè)部件所設(shè)定光線的照射。而且，在將線傳感器用作為第一、第二傳感器13、14時(shí)，在使用所述面?zhèn)鞲衅髑闆r的說(shuō)明中，不是使用傳感器的快門功能，在攝像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二傳感器13、14視野內(nèi)期間通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入方面以及在攝像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二傳感器13、14視野內(nèi)期間即通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入期間由第一、第二照明部15，16進(jìn)行繼續(xù)光線照射方面僅僅不同，攝像順序是相同的。
通過(guò)成為這種構(gòu)成，對(duì)于在檢查部7上在Y方向并行通過(guò)的第一部件11a和第二部件12a以及第一部件11b和第二部件12b，能夠獨(dú)立進(jìn)行由第一、第二照明部17，18所照射的光線設(shè)定。因此，第一部件11a和第二部件12a以及第一部件11b和第二部件12b如果在相同光線設(shè)定下觀察方式不同，則即使在姿勢(shì)檢查精度不夠或者不能進(jìn)行自身姿勢(shì)檢查的部件存在組合的情況下，通過(guò)頭部6在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上僅僅通過(guò)一次，即通過(guò)一次掃描操作就能夠進(jìn)行整個(gè)部件的攝像和姿勢(shì)檢查。而且，由于使第一、第二傳感器13、14的視野中心在X方向不錯(cuò)開(kāi)地并列配置，由于能夠在同一時(shí)刻進(jìn)行2個(gè)部件的攝像，因此能夠謀求全部部件攝像需要時(shí)間的縮短，其結(jié)果，能夠謀求保持姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短。
由于在噴嘴列1噴嘴8a、8b以及噴嘴列2噴嘴9a、9b的每1根噴嘴上即在第一部件11a、11b和第二部件12a、12b的每一個(gè)部件上分別通過(guò)使用第一、第二傳感器13、14來(lái)進(jìn)行攝像，與如現(xiàn)有技術(shù)那樣用一個(gè)傳感器通過(guò)使視野變大來(lái)進(jìn)行多個(gè)部件攝像的情況相比，能夠使傳感器的每一個(gè)象素的分辨率不變差，從而謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高。
圖5、圖6的19是反射鏡等反射體，構(gòu)成為使在檢查部7上方配置的所述第一、第二入射口17，18中入射的第一、第二部件11a、11b和12a、12b的圖像的光信息反射，并在檢查部7的側(cè)面上配置用于攝像的第一、第二傳感器13、14。根據(jù)這種構(gòu)成，與通過(guò)將第一、第二傳感器13、14設(shè)置在檢查部7的下面而直接接收來(lái)自第一、第二入射口17，18的光信息的構(gòu)成情況相比，能夠降低檢查部7的高度尺寸，如果作為該部分檢查部7的剛性變高，能夠謀求部件保持姿勢(shì)檢查精度的提高，同時(shí)，通過(guò)將第一、第二傳感器13、14配置在檢查部7的側(cè)面，與不配置反射體19而將第一、第二傳感器13、14配置在檢查部7的下面即內(nèi)部的情況相比，能夠使第一、第二傳感器13、14的調(diào)整和更換等的維護(hù)變得容易。
而且，盡管沒(méi)有圖示，但第一傳感器13和第二傳感器14不需要是相同的視野角和分辨率，通過(guò)配置不同組合的傳感器來(lái)謀求保持姿勢(shì)檢查對(duì)象的部件擴(kuò)大即作為電子部件安裝機(jī)1對(duì)應(yīng)部件的擴(kuò)大和能夠謀求生產(chǎn)率的提高。作為具體例子，通過(guò)使第一傳感器13的視野角為8mm角而將保持姿勢(shì)檢查對(duì)象部件作為從外形尺寸是橫向6mm縱向3mm的方形芯片部件到外形尺寸6mm角的異型部件，通過(guò)使第二傳感器14的視野角為6mm角而將保持姿勢(shì)檢查對(duì)象部件作為從外形尺寸是橫向4mm縱向2mm的方形芯片部件到外形尺寸4mm角的異型部件，對(duì)所有的第一、第二傳感器13、14，通過(guò)將視野角作為8mm而使傳感器13的分辨率成為30萬(wàn)象素，傳感器14的分辨率成為80萬(wàn)象素，與第一傳感器13相比，能夠?qū)⒌诙鞲衅?4的保持姿勢(shì)檢查對(duì)象部件做成能夠?qū)?yīng)于更微小的部件。但是，在將第一、第二傳感器13、14作為視野角和分辨率不同的組合的情況下，為了使頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一部件11a、11b和第二部件12a、12b被分別限定到第一傳感器13和第二傳感器14的保持姿勢(shì)檢查對(duì)象部件上，需要鉆研供給部2供給體3的配置順序和來(lái)自供給體3的部件吸著順序。
在本實(shí)施方式中，盡管頭部所包括的噴嘴是2列，各列噴嘴為5根，但是不局限于此，顯然為3列以上是可以的，1列噴嘴的根數(shù)即使為5根之外也是可以的。與此對(duì)應(yīng)的傳感器、照明部、入射口的數(shù)目也可以為3個(gè)以上。即使在后面的第二實(shí)施方式，這也是相同的。
(實(shí)施方式2)下面，使用圖7和圖8進(jìn)行本發(fā)明第二實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第二實(shí)施方式將反射/透過(guò)體20配置在第一、第二入射口17，18和第一、第二傳感器13、14之間來(lái)替換所述實(shí)施方式1的反射體19，由于僅僅將另外方式備用的傳感器配置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)這一點(diǎn)不同而在其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在圖7和圖8中，20是以半反射鏡或者棱鏡為代表的反射/透過(guò)體，13是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、21是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)的第一傳感器和第一備用傳感器，其用于進(jìn)行頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b的攝像，14是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、22是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)的第二傳感器和第二備用傳感器，其用于進(jìn)行頭部6噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b的攝像。這里，第一傳感器13的視野中心和第一備用傳感器21的視野中心以及第二傳感器14的視野中心和第二備用傳感器22的視野中心被分別配置成為一致。第一傳感器13和第一備用傳感器21以及第二傳感器14和第二備用傳感器22，其各自分辨率或者視野角可以不同，或者分辨率和視野角兩者都不同。
這樣，為了頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一部件11a、11b與第二部件12a、12b之各個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查，作為存在其分辨率或者視野角的哪一個(gè)不同或者這兩者都不同的兩種傳感器的結(jié)構(gòu)，當(dāng)進(jìn)行攝像時(shí)，能夠通過(guò)根據(jù)攝像對(duì)象即部件來(lái)選擇地使用這兩種傳感器而謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高或者姿勢(shì)檢查對(duì)象部件的擴(kuò)大。
而且，在實(shí)施方式2中，對(duì)于噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一部件11a、11b與第二部件12a、12b，為了保持姿勢(shì)檢查，盡管作為存在其分辨率或者視野角的哪一個(gè)不同或者這兩者都不同的兩種傳感器的結(jié)構(gòu)，但是，根據(jù)作為電子部件安裝機(jī)1的需要，通過(guò)僅僅將第一備用傳感器21或者第二備用傳感器22的哪一個(gè)備用傳感器配置在檢查部7上，為了僅僅對(duì)第一部件11a、11b或者第二部件12a、12b的一個(gè)部件進(jìn)行保持姿勢(shì)檢查，也能夠做成存在其分辨率或者視野角的哪一個(gè)不同或者這兩者都不同的兩種傳感器的結(jié)構(gòu)。
(實(shí)施方式3)下面，使用圖9到圖11進(jìn)行本發(fā)明第三實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第三實(shí)施方式將反射/透過(guò)體20配置在入射口和傳感器之間來(lái)替換所述實(shí)施方式1的反射體19，由于僅僅在為了進(jìn)行檢查部7側(cè)面所配置的噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第二部件12a、12b的保持姿勢(shì)檢查而進(jìn)行攝像的第二傳感器14配置在反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)這一點(diǎn)以及限定將用于第一、第二傳感器13、14的透鏡配置在反射/透過(guò)體20和第一、第二傳感器13、14之間這一點(diǎn)上不同而對(duì)于其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在圖9到圖11中，20是在第一、第二入射口17，18和第一、第二傳感器13、14之間設(shè)置的半反射鏡等反射/透過(guò)體，23是用于頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b之保持姿勢(shì)檢查的第一傳感器13的第一透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第一傳感器13之間。24是用于噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b之保持姿勢(shì)檢查的第二傳感器14的第二透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第二傳感器14之間。
通過(guò)這種構(gòu)成，在將第一、第二傳感器13、14并列配置在檢查部7的下面或側(cè)面之同一面上時(shí)，即使在第一、第二傳感器13、14的外形尺寸大而不得不使第一、第二入射口17和18的間隔擴(kuò)大到需要之上的情況下，即在頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的噴嘴列的間隔變?yōu)樾枰系那闆r下，通過(guò)將反射/透過(guò)體20設(shè)置在第一、第二入射口17，18和第一、第二傳感器13、14之間、將檢查部7的傳感器交互配置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)即將第一傳感器13配置在反射光側(cè)、將第二傳感器14配置在透過(guò)光側(cè)，能夠使頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的噴嘴列的間隔變窄，從而使得頭部6形成為小型。由于能夠使檢查部7的第一入射口17和第二入射口18的間隔變窄，因此能夠使檢查部7之Y方向的尺寸變小。
在頭部6設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的間隔窄并將第一、第二傳感器13、14并列配置在檢查部7下面或側(cè)面之同一面上的狀態(tài)下，即使在因不能夠確保用于第一、第二傳感器13、14之充分亮度的透鏡直徑而使輸入到第一、第二傳感器13、14的光信息亮度不夠從而使得不能夠確保噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一、第二部件11a、11b和12a、12b的保持姿勢(shì)檢查精度的情況下，通過(guò)將第一、第二透鏡23，24配置在反射/透過(guò)體20和第一、第二傳感器13、14之間，也能夠使該透鏡直徑做大。因此，能夠謀求頭部6上設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一、第二部件11a、11b和12a、12b之保持姿勢(shì)檢查精度的提高。
(實(shí)施方式4)下面，使用圖12到圖15進(jìn)行本發(fā)明第四實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第四實(shí)施方式與所述實(shí)施方式1相比，通過(guò)追加噴嘴6在X方向5根并列的一列噴嘴列而以Y方向3列并列配置于頭部上來(lái)總共設(shè)置15根噴嘴，為了進(jìn)行這3列噴嘴列所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查，在檢查部7上追加1個(gè)傳感器，共計(jì)設(shè)置3個(gè)傳感器，由于僅僅在通過(guò)將這三個(gè)傳感器的視野中心在X方向蛇形錯(cuò)開(kāi)而并列配置這一點(diǎn)上不同但在其他點(diǎn)上是同樣的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
圖12的26a、26b是頭部6配置的噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著保持的第三部件。而且，通過(guò)省略噴嘴列3噴嘴之第3根到第5根噴嘴以及這些噴嘴所吸著部件而沒(méi)有在圖12中圖示，即使在以下的說(shuō)明中也省略。盡管沒(méi)有圖示，其仍然是在頭部6上在X方向并列5根噴嘴、在Y方向并列3列噴嘴列1，2，3、由共計(jì)具有15根噴嘴的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。
在圖12到圖15中，29是用于攝像噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著保持第三部件26a、26b之保持姿勢(shì)的第三傳感器，27是在該攝像時(shí)將光線照射到第三部件26a、26b的第三照明部，28是在該攝像時(shí)用于輸入光信息的第三入射口，所述第三照明部27沿著該第三入射口28的外周部設(shè)置。這里，將第一傳感器13的視野中心和第二傳感器14的視野中心在Y方向的間隔與第二傳感器14的視野中心和第三傳感器29的視野中心在Y方向的間隔被配置成為分別與頭部配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的噴嘴列間隔與噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b的噴嘴列間隔即噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列2噴嘴9a的中心的間隔與噴嘴列2噴嘴9a的中心和噴嘴列3噴嘴25a的中心的間隔相一致。而且配置使得第一入射口17的中心、第一照明部15的中心和第一傳感器13的視野中心相一致，同樣配置使得第二入射口18的中心、第二照明部16的中心和第二傳感器14的視野中心相一致，同樣配置使得第三入射口28的中心、第三照明部27的中心和第三傳感器29的視野中心也相一致。而且，配置使得第一入射口17的中心和第三入射口28的中心在X方向不錯(cuò)開(kāi)并列配置，也就是說(shuō)，使得在與頭部6之噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列3噴嘴25a、25b的Y方向相對(duì)應(yīng)的各個(gè)噴嘴中心上的連接線例如在噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列3噴嘴26a的中心上的連接線與在第一入射口17的中心和第三入射口28的中心上的連接線變?yōu)槠叫?。配置使得第一入射?7的中心和第二入射口18的中心在X方向錯(cuò)開(kāi)并列，使得第一、第二、第三入射口17，18，28的中心位置即第一、第二、第三傳感器13、14，29的各個(gè)視野中心在X方向變?yōu)樯咝巍?br> 下面，詳細(xì)說(shuō)明頭部6配置的噴嘴所吸著部件在檢查部7中的保持姿勢(shì)檢查。
在進(jìn)行所述頭部6所配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一部件11a、11b、第二部件12a、12b以及第三部件26a、26b的保持姿勢(shì)檢查時(shí)，首先，在使頭部6在Y方向上移動(dòng)使得頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴26a、26b的各個(gè)噴嘴列與檢查部7的第一、第二、第三傳感器13、14，29各個(gè)視野中心的Y方向位置一致之后，如圖12的箭頭所示，通過(guò)使頭部6在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上通過(guò)，通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29分別對(duì)每一個(gè)部件進(jìn)行第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b和26a、26b的攝像。在第一、第二、第三傳感器13、14，29為面?zhèn)鞲衅鲿r(shí)，該第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b、26a、26b的攝像通過(guò)使用第一、第二、第三傳感器13、14，29的快門功能來(lái)在頭部6通過(guò)檢查部7的上方時(shí)不使頭部在檢查部7的第一、第二、第三入射口17，18，28上暫停來(lái)進(jìn)行。具體地，如圖13時(shí)序圖所示，通過(guò)使頭部在檢查部7上X方向移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8a、噴嘴列3噴嘴25a分別通過(guò)第一、第三入射口17、28的中心即第一、第三傳感器13，29的視野中心的瞬間，打開(kāi)第一、第三傳感器13，29的快門來(lái)進(jìn)行曝光，同時(shí)進(jìn)行通過(guò)第一傳感器13對(duì)噴嘴列1噴嘴8a所吸著第一部件11a和通過(guò)第三傳感器29對(duì)噴嘴列3噴嘴25a所吸著第三部件26a的攝像。而且，繼續(xù)使頭部在X方向繼續(xù)移動(dòng)，在噴嘴列2噴嘴9a通過(guò)第二入射口18的中心即第二傳感器14的視野中心的瞬間，打開(kāi)第二傳感器14的快門來(lái)進(jìn)行曝光，同時(shí)進(jìn)行通過(guò)第二傳感器14對(duì)噴嘴列2噴嘴9a所吸著第二部件12a的攝像。繼續(xù)使頭部在X方向繼續(xù)移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8b、噴嘴列3噴嘴25b分別通過(guò)第一、第三傳感器13，29的視野中心的瞬間，打開(kāi)第一、第三傳感器13，29的快門來(lái)進(jìn)行曝光，同時(shí)進(jìn)行通過(guò)第一傳感器13對(duì)噴嘴列1噴嘴8b所吸著第一部件11b以及通過(guò)第三傳感器14對(duì)噴嘴列3噴嘴25b所吸著第三部件26b的攝像。繼續(xù)使頭部在X方向繼續(xù)移動(dòng)，在噴嘴列2噴嘴9b通過(guò)第二傳感器14的視野中心的瞬間，打開(kāi)第二傳感器14的快門來(lái)進(jìn)行曝光，并進(jìn)行通過(guò)第二傳感器14對(duì)噴嘴列2噴嘴9b所吸著第二部件12b的攝像。而且，在使用通過(guò)該第一、第二、第三傳感器13、14，29的快門功能的攝像瞬間，對(duì)于通過(guò)所述控制部50的控制所攝像的部件，進(jìn)行通過(guò)第一、第二、第三照明部15，16，27而對(duì)每個(gè)部件所設(shè)定光線的照射。而且，在將線傳感器用作為第一、第二、第三傳感器13、14，29時(shí)，在使用所述面?zhèn)鞲衅髑闆r的說(shuō)明中，僅僅在不是使用傳感器快門功能之?dāng)z像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29視野內(nèi)期間，通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入方面以及在攝像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29視野內(nèi)期間即通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入期間，由第一、第二、第三照明部15，16，27進(jìn)行繼續(xù)光線照射方面不同，但攝像順序是相同的。
而且，在前述保持姿勢(shì)檢查的詳細(xì)說(shuō)明中，噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一部件11a、11b、第二部件12a、12b以及第三部件26a、26b通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29的攝像順序是電子部件安裝機(jī)1情況的例子，該電子部件安裝機(jī)1構(gòu)成為在所述頭部設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b的各個(gè)噴嘴列中的噴嘴間隔即噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列1噴嘴8b的中心的間隔比第一入射口17的中心和第二入射口18的中心在X方向的間隔更大。沒(méi)有圖示出噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列1噴嘴8b的中心的間隔比第一入射口17的中心和第二入射口18的中心在X方向的間隔更小情況下所攝像部件的序號(hào)。這種情況下，首先分別通過(guò)第一、第三傳感器13，29同時(shí)進(jìn)行噴嘴列1噴嘴8a和噴嘴列3噴嘴25a所吸著第一、第三部件11a，26a的攝像，接著分別通過(guò)第一、第三傳感器13，29同時(shí)進(jìn)行噴嘴列1噴嘴8b和噴嘴列3噴嘴25b所吸著第一、第三部件11b，26b的攝像，接著通過(guò)第二傳感器14進(jìn)行噴嘴列2噴嘴9a所吸著第二部件12a的攝像，接著通過(guò)第二傳感器14進(jìn)行噴嘴列2噴嘴9b所吸著第二部件12b的攝像。沒(méi)有圖示出噴嘴列1噴嘴8a的中心和噴嘴列1噴嘴8b的中心的間隔與第一入射口17的中心和第二入射口18的中心在X方向的間隔一致情況下所攝像部件的序號(hào)。這種情況下，首先分別通過(guò)第一、第三傳感器13，29同時(shí)進(jìn)行噴嘴列1噴嘴8a和噴嘴列3噴嘴25a所吸著第一、第三部件11a，26a的攝像，接著分別通過(guò)第一、第二、第三傳感器13、14，29同時(shí)進(jìn)行噴嘴列1噴嘴8b和噴嘴列2噴嘴9a以及噴嘴列3噴嘴25b所吸著第一、第二、第三部件11b，12a，26b的攝像，接著通過(guò)第二傳感器14進(jìn)行噴嘴列2噴嘴9b所吸著第二部件12b的攝像。
通過(guò)成為這種構(gòu)成，對(duì)于在檢查部7上在Y方向排列地通過(guò)的第一部件11a、第二部件12a、第三部件26a以及第一部件11b、第二部件12b、第三部件26b，由于能夠獨(dú)立進(jìn)行由第一、第二、第三照明部17，18，27所照射的光線設(shè)定，因此，第一部件11a、第二部件12a、第三部件26a以及第一部件11b、第二部件12b、第三部件26b，如果在相同光線設(shè)定下觀察方式不同，則即使在姿勢(shì)檢查精度不夠或者不能進(jìn)行自身姿勢(shì)檢查的部件存在組合的情況下，通過(guò)頭部在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上僅僅通過(guò)一次，即通過(guò)一次掃描操作，就能夠進(jìn)行全部部件的攝像和姿勢(shì)檢查。
由于在噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b的每1根噴嘴上即在第一部件11a、11b、第二部件12a、12b和第三部件26a、26b的每一個(gè)部件上分別通過(guò)使用第一、第二、第三傳感器13、14，29來(lái)進(jìn)行攝像，與如現(xiàn)有技術(shù)那樣用一個(gè)傳感器通過(guò)使視野變大來(lái)進(jìn)行多個(gè)部件攝像的情況相比，能夠使傳感器的每一個(gè)象素的分辨率不變差，從而謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高。
在頭部設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b的噴嘴列間隔窄并將檢查部7的第一、第二、第三傳感器13、14，29的各個(gè)視野中心通過(guò)在X方向?qū)R而并列配置的狀態(tài)下，存在因不能夠獲得第一、第二、第三照明部15，16，27之足夠的照明設(shè)置空間以及由第一、第二、第三照明部15，16，27所照射的光線光亮不夠而使得不能夠確保噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b、26a、26b的保持姿勢(shì)檢查精度的情況。另一方面，通過(guò)將第一、第二、第三傳感器13、14，29的視野中心在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置，能夠確保用于照射用來(lái)確保姿勢(shì)檢查精度之足夠光線的第一、第二、第三照明部15，16，27的照明設(shè)置空間，能夠謀求姿勢(shì)檢查精度的提高。
與將第一、第二、第三傳感器13、14，29的視野在X方向順次錯(cuò)開(kāi)并列配置的情況相比，通過(guò)做成將第一、第二、第三傳感器13、14，29的視野中心在X方向呈蛇形錯(cuò)開(kāi)并列配置的結(jié)構(gòu)，能夠使檢查部7在X方向所占的空間小。因此，在使檢查部7小型化的同時(shí)，當(dāng)進(jìn)行用于頭部所設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b、26a、26b之保持姿勢(shì)檢查的攝像時(shí)，由于使在檢查部7的第一、第二、第三入射口17，18，28上必須移動(dòng)的距離變短，因此能夠謀求第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b、26a、26b之?dāng)z像所要的時(shí)間即保持姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短。
而且，盡管沒(méi)有圖示，但第一、第二、第三傳感器13、14，29不需要是相同的視野角和分辨率，能夠配置不同組合的傳感器。因此，作為頭部噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一部件11a、11b、第二部件12a、12b以及第三部件26a、26b，通過(guò)分別考慮第一、第二、第三傳感器13、14，29的各個(gè)視野角和各個(gè)分辨率來(lái)在姿勢(shì)檢查中由供給部2的供給體3吸著最合適形狀的部件，能夠謀求保持姿勢(shì)檢查對(duì)象的部件擴(kuò)大和姿勢(shì)檢查精度的提高。
(實(shí)施方式5)下面，使用圖16和圖17進(jìn)行本發(fā)明第五實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第五實(shí)施方式與所述實(shí)施方式4相比替換反射體19而將反射/透過(guò)體20配置在第一、第二、第三入射口17，18，28和第一、第二、第三傳感器13、14，29之間，由于僅僅將另外方式備用的傳感器配置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)這一點(diǎn)不同而在其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在圖16和圖17中，20是半反射鏡等反射/透過(guò)體，13是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、21是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)的第一傳感器和第一備用傳感器，其用于進(jìn)行頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b的攝像。同樣，14是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、22是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)的第二傳感器和第二備用傳感器，其用于進(jìn)行頭部6噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b的攝像。同樣，29是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、30是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)的第三傳感器和第三備用傳感器，其用于進(jìn)行頭部6噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著第三部件26a、26b的攝像。這里，第一傳感器13的視野中心和第一備用傳感器21的視野中心、第二傳感器14的視野中心和第二備用傳感器22的視野中心以及第三傳感器29的視野中心和第三備用傳感器30的視野中心被分別配置成為一致。第一傳感器13和第一備用傳感器21、第二傳感器14和第二備用傳感器22以及第三傳感器29和第三備用傳感器30，其可以是各自分辨率或者視野角不同的組合，或者是分辨率和視野角兩者都不同的組合。
這樣，為了頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b所分別吸著的第一部件11a、11b、第二部件12a、12b以及第三部件26a、26b之各個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查，作為存在其分辨率或者視野角的哪一個(gè)不同或者這兩者都不同的兩種傳感器的結(jié)構(gòu)，當(dāng)進(jìn)行攝像時(shí)，能夠通過(guò)根據(jù)攝像對(duì)象即部件來(lái)選擇地使用這兩種傳感器而謀求保持姿勢(shì)檢查精度的提高或者姿勢(shì)檢查對(duì)象部件的擴(kuò)大。
(實(shí)施方式6)下面，使用圖18到圖20進(jìn)行本發(fā)明第六實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第六實(shí)施方式與所述實(shí)施方式4相比將反射/透過(guò)體20配置在第一、第二、第三入射口17，18，28和第一、第二、第三傳感器13、14，28之間來(lái)替換反射體19，由于僅僅在為了進(jìn)行檢查部7側(cè)面所配置的噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第二部件12a、12b的保持姿勢(shì)檢查而使進(jìn)行攝像的第二傳感器14配置在反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)這一點(diǎn)以及限定將用于第一、第二、第三傳感器13、14，29的透鏡配置在反射/透過(guò)體20和第一、第二、第三傳感器13、14，29之間這一點(diǎn)上不同但其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在圖18到圖20中，20是在第一、第二、第三入射口17，18，28和第一、第二、第三傳感器13、14，29之間設(shè)置的半反射鏡等反射/透過(guò)體，23是用于頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b之保持姿勢(shì)檢查的第一傳感器13的第一透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第一傳感器13之間。24是用于噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b之保持姿勢(shì)檢查的第二傳感器14的第二透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第二傳感器14之間。31是用于噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著第三部件26a、26b之保持姿勢(shì)檢查的第三傳感器29的第三透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第三傳感器29之間。
通過(guò)這種構(gòu)成，在將第一、第二、第三傳感器13、14，29并列配置在檢查部7的下面或側(cè)面之同一面上時(shí)，即使在第一、第二、第三傳感器13、14，29的外形尺寸大而不得不使第一、第二、第三入射口17，18，28的間隔擴(kuò)大到需要之上的情況下，即在頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b的噴嘴列的間隔變?yōu)樾枰系那闆r下，通過(guò)將反射/透過(guò)體20設(shè)置在第一、第二、第三入射口17，18，28和第一、第二、第三傳感器13、14，29之間、將檢查部7的第一、第二、第三傳感器13、14，29交互配置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)即將第一、第三傳感器13，29配置在反射光側(cè)、將第二傳感器14配置在透過(guò)光側(cè)，能夠使頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b的各個(gè)噴嘴列的間隔變窄，從而使得頭部6形成為小型。由于能夠使檢查部7的第一、第二、第三入射口17，18，28的各個(gè)入射口的間隔變窄，因此能夠使檢查部7之Y方向的尺寸變小。
在頭部6設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b，噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b的各個(gè)噴嘴列的間隔窄并將第一、第二、第三傳感器13、14、29并列配置在檢查部7下面或側(cè)面之同一面上的狀態(tài)下，即使在因不能夠確保用于第一、第二、第三傳感器13、14、29之充分亮度的透鏡直徑而使輸入到第一、第二、第三傳感器13、14、29的光信息亮度不夠從而使得不能夠確保噴嘴列1噴嘴8a、8b，噴嘴列2噴嘴9a、9b和噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b和26a、26b的保持姿勢(shì)檢查精度的情況下，通過(guò)將第一、第二、第三透鏡23、24、31配置在反射/透過(guò)體20和第一、第二、第三傳感器13、14，29之間，也能夠使這些透鏡直徑做大。因此，能夠謀求頭部6上設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b、噴嘴列2噴嘴9a、9b以及噴嘴列3噴嘴25a、25b所吸著的第一、第二、第三部件11a、11b、12a、12b以及26a、26b之保持姿勢(shì)檢查精度的提高。
(實(shí)施方式7)下面，使用圖21到圖24進(jìn)行本發(fā)明第七實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第七實(shí)施方式與所述實(shí)施方式1相比，相對(duì)于檢查部7的第一、第二傳感器13、14，設(shè)置了共同的照明部和入射口，由于僅僅在使第一傳感器13的視野中心和第二傳感器14的視野中心在X方向錯(cuò)開(kāi)配置這一點(diǎn)不同而在其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
圖21中，32是在檢查部7的第一、第二傳感器13、14分別對(duì)頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著的第一部件11a、11b、噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第二部件12a、12b進(jìn)行攝像時(shí)對(duì)第一、第二部件11a、11b和12a、12b照射光線的共同的照明部。33是在第一、第二傳感器13、14分別對(duì)第一部件11a、11b、第二部件12a、12b進(jìn)行攝像時(shí)用于輸入光信息的共同入射口，所述照明部32沿著入射口33的外周部設(shè)置。34是表示第一傳感器13圖像輸入范圍的第一視野，35是表示第二傳感器14圖像輸入范圍的第二視野。第一視野34的中心和第二視野35的中心在X方向錯(cuò)開(kāi)配置，當(dāng)?shù)谝?、第二傳感?3、14是線傳感器時(shí)，為了使第一視野34的范圍在X方向從端到端的位置和第二視野35的范圍在X方向從端到端的位置不重疊，將第一視野34和第二視野35在X方向錯(cuò)開(kāi)配置。當(dāng)?shù)谝?、第二傳感?3、14是面?zhèn)鞲衅鲿r(shí)，當(dāng)?shù)谝?、第二傳感?3、14在攝像之際打開(kāi)快門期間即在第一、第二傳感器13、14曝光時(shí)間期間，通過(guò)留出頭部6在檢查部7上移動(dòng)之距離以上的間隔來(lái)在X方向錯(cuò)開(kāi)配置第一視野34和第二視野35。
下面，詳細(xì)說(shuō)明頭部配置的噴嘴所吸著部件在檢查部7中的保持姿勢(shì)檢查。
在進(jìn)行頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一部件11a、11b和第二部件12a、12b的保持姿勢(shì)檢查時(shí)，首先，在使頭部6在Y方向上移動(dòng)使得頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的各個(gè)噴嘴列與檢查部7的第一、第二視野34，35的各個(gè)視野中心的Y方向位置一致之后，如圖21的箭頭所示，通過(guò)使頭部6在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上通過(guò)，通過(guò)第一、第二傳感器13、14分別對(duì)每一個(gè)部件進(jìn)行第一、第二部件11a、11b和12a、12b的攝像。在第一、第二傳感器13、14為面?zhèn)鞲衅鲿r(shí)，該第一、第二部件11a、11b和12a、12b的攝像通過(guò)使用第一、第二傳感器13、14的快門功能來(lái)在頭部6通過(guò)檢查部7的上方時(shí)不使頭部在檢查部7的第一、第二視野34，35上停止來(lái)進(jìn)行。具體地，如圖22時(shí)序圖所示，通過(guò)使頭部6在檢查部7上X方向移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8a通過(guò)第一傳感器13的第一視野34的中心的瞬間，打開(kāi)第一傳感器13的快門來(lái)進(jìn)行曝光，并進(jìn)行通過(guò)第一傳感器13對(duì)噴嘴列1噴嘴8a所吸著第一部件11a的攝像。而且，繼續(xù)使頭部6在X方向繼續(xù)移動(dòng)，在噴嘴列2噴嘴9a通過(guò)第二傳感器14的第二視野35的中心的瞬間，打開(kāi)第二傳感器14的快門來(lái)進(jìn)行曝光，并進(jìn)行通過(guò)第二傳感器14對(duì)噴嘴列2噴嘴9a所吸著第二部件12a的攝像。繼續(xù)使頭部6在X方向移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8b通過(guò)第一視野34的視野中心的瞬間，打開(kāi)第一傳感器13的快門來(lái)進(jìn)行曝光，并進(jìn)行通過(guò)第一傳感器13對(duì)噴嘴列1噴嘴8b所吸著第一部件11b的攝像。繼續(xù)使頭部6在X方向移動(dòng)，在噴嘴列2噴嘴9b通過(guò)第二視野35的視野中心的瞬間，打開(kāi)第二傳感器14的快門來(lái)進(jìn)行曝光，并進(jìn)行通過(guò)第二傳感器14對(duì)噴嘴列2噴嘴9b所吸著第二部件12b的攝像。以下，盡管沒(méi)有圖示，同樣對(duì)頭部6配置的10根噴嘴所吸著的全部部件進(jìn)行攝像。而且，在通過(guò)該第一、第二傳感器13、14使用快門功能的攝像瞬間，對(duì)所攝像的部件，通過(guò)照明部32來(lái)對(duì)每一個(gè)部件進(jìn)行設(shè)定的光線照射。而且，在使用線傳感器作為第一、第二傳感器13、14的情況下，在使用所述面?zhèn)鞲衅髑闆r的說(shuō)明中，在不是使用傳感器快門功能的攝像對(duì)象部件分別通過(guò)第一、第二視野34，35的視野內(nèi)期間，通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入方面以及在攝像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二視野34，35的視野內(nèi)期間，即通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入期間，由照明部32進(jìn)行繼續(xù)光線照射方面不同，但攝像順序是相同的。
通過(guò)對(duì)這種第一、第二傳感器13、14設(shè)置共同的入射口33和沿著該入射口33的外周部設(shè)置的共同的照明部32，依靠對(duì)每一個(gè)第一、第二傳感器13、14設(shè)置照明部并且將第一、第二傳感器13、14的視野中心在X方向不錯(cuò)開(kāi)對(duì)齊并列配置的情況，能夠與頭部6設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的噴嘴列間隔無(wú)關(guān)來(lái)確保照明部32的設(shè)置空間。因此，為了獲得噴嘴所吸著部件的保持姿勢(shì)檢查的檢查精度，能夠容易地構(gòu)成用于獲得必要光線光量的照明部32，能夠容易地謀求噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b之保持姿勢(shì)檢查精度的提高。
通過(guò)將第一傳感器13的第一視野34和第二傳感器14的第二視野35在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置，對(duì)于第一、第二傳感器13、14的攝像即在檢查部7上Y方向并行通過(guò)的第一部件11a和第二部件12a以及第一部件11b和第二部件12b，能夠獨(dú)立進(jìn)行從照明部32照射的光線設(shè)定。因此，第一部件11a和第二部件12a以及第一部件11b和第二部件12b如果在相同光線設(shè)定下觀察方式不同，則即使在姿勢(shì)檢查精度不夠或者不能進(jìn)行自身姿勢(shì)檢查的部件存在組合的情況下，通過(guò)頭部6在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上僅僅通過(guò)一次，即通過(guò)一次掃描操作就能夠進(jìn)行所有部件的攝像和姿勢(shì)檢查，能夠謀求姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短。
(實(shí)施方式8)下面，使用圖25到圖27進(jìn)行本發(fā)明第八實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第八實(shí)施方式與所述實(shí)施方式七相比替換反射體19而將反射/透過(guò)體20配置在入射口33和第一、第二傳感器13、14之間，由于僅僅將另外方式備用的傳感器配置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)這一點(diǎn)不同而在其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在圖25到圖27中，20是在入射口33和第一、第二傳感器13、14之間設(shè)置的半反射鏡等反射/透過(guò)體，13是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、用于進(jìn)行頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b的攝像的第一傳感器，14是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)的、用于進(jìn)行頭部6噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b的攝像的第二傳感器，36是被設(shè)置在該反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)的第四備用傳感器。37是表示第四備用傳感器36之圖像輸入范圍的第四視野。該第四視野37的視野中心被配置為與入射口33的中心一致。假設(shè)該第四視野37比表示第一傳感器13之圖像輸入范圍的第一視野34和表示第二傳感器14之圖像輸入范圍的第二視野35更大，將第四傳感器36的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件的外形尺寸假設(shè)為比第一、第二傳感器13、14的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件的外形尺寸更大。作為具體例子，構(gòu)成為將第一視野34和第二視野35的視野角設(shè)定在8mm角程度，將從外形尺寸為橫向6mm縱向3mm的方形芯片部件到外形尺寸為6mm程度的小型異形部件的電子部件作為姿勢(shì)檢查對(duì)象，第四視野37的視野角設(shè)定在25mm角或者35mm角程度，將從外形尺寸為22mm角或者32mm角程度的中型到大型的異形部件作為姿勢(shì)檢查對(duì)象。
下面，說(shuō)明檢查部7中使用第四傳感器36的部件的保持姿勢(shì)檢查。在頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第一部件11a、11b和第二部件12a、12b當(dāng)中，當(dāng)具有構(gòu)成第四傳感器36之姿勢(shì)檢查對(duì)象的部件時(shí)，首先，使頭部6在Y方向上移動(dòng)，使得頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b或者噴嘴列2噴嘴9a、9b的任一個(gè)進(jìn)行姿勢(shì)檢查的噴嘴列與檢查部7的第四傳感器36視野中心的Y方向位置一致。之后，通過(guò)使頭部6在X方向移動(dòng)使得在檢查部7上通過(guò)，通過(guò)第四傳感器16，分別對(duì)每一個(gè)部件進(jìn)行攝像。當(dāng)該第四傳感器36為面?zhèn)鞲衅鲿r(shí)，由第四傳感器36進(jìn)行的攝像通過(guò)使用第四傳感器36的快門功能來(lái)在頭部6通過(guò)檢查部7的上方時(shí)不使頭部6在檢查部7的第四入射口37上停止來(lái)進(jìn)行。在通過(guò)該第四傳感器36進(jìn)行攝像時(shí)，通過(guò)所述控制部50的控制，對(duì)于所攝像的部件，進(jìn)行通過(guò)照明部32而對(duì)每個(gè)部件所設(shè)定光線的照射。
進(jìn)行該攝像中具體地動(dòng)作說(shuō)明(沒(méi)有圖示時(shí)序圖)，在噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件9a、9b是第四傳感器36的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件時(shí)，首先，將頭部6在Y方向移動(dòng)到噴嘴列1噴嘴8a、8b的噴嘴列和檢查部7第四傳感器36的圖像輸入范圍即第四視野37的中心之間的Y方向位置一致的位置上。接著，使頭部6向著檢查部7在X方向移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8a通過(guò)第四傳感器36的第四視野37的中心的瞬間，打開(kāi)第四傳感器36的快門來(lái)進(jìn)行曝光，進(jìn)行噴嘴列1噴嘴8a所吸著第一部件11a的攝像。而且，使頭部6在X方向繼續(xù)移動(dòng)，在噴嘴列1噴嘴8b通過(guò)第四傳感器36的第四視野37的中心的瞬間，打開(kāi)第四傳感器36的快門來(lái)進(jìn)行曝光，進(jìn)行噴嘴列1噴嘴8b所吸著第一部件11b的攝像。在噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b是第四傳感器36的檢查對(duì)象部件的情況下，也通過(guò)同樣的動(dòng)作進(jìn)行攝像(動(dòng)作說(shuō)明省略)。而且，在將線傳感器用作為第一、第二傳感器13、14時(shí)，在使用所述面?zhèn)鞲衅髑闆r的說(shuō)明中，不是使用傳感器的快門功能，在攝像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二傳感器13、14視野內(nèi)期間通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入方面以及在攝像對(duì)象部件通過(guò)第一、第二傳感器13、14視野內(nèi)期間即通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行繼續(xù)圖像信息的輸入期間由第一、第二照明部15，16進(jìn)行繼續(xù)光線照射方面僅僅不同，攝像順序是相同的。
而且，在構(gòu)成第四傳感器36檢查對(duì)象的部件存在于噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b之兩個(gè)噴嘴列的吸著部件上時(shí)，對(duì)于噴嘴列1和噴嘴列2的各個(gè)噴嘴列，通過(guò)第四傳感器36的掃描動(dòng)作變?yōu)楸匦?動(dòng)作說(shuō)明省略)。
當(dāng)?shù)谝弧⒌诙鞲衅?3、14的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件和第四傳感器36的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件混雜在頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b上時(shí)，為了進(jìn)行第一部件11a、11b、第二部件12a、12b的全部姿勢(shì)檢查，在噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b當(dāng)中，通過(guò)第一、第二傳感器13、14由用于姿勢(shì)檢查對(duì)象部件的頭部6在X方向移動(dòng)而通過(guò)檢查部7上的掃描動(dòng)作、以及在噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b當(dāng)中，對(duì)于第四傳感器36的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件通過(guò)第四傳感器36用于姿勢(shì)檢查的掃描動(dòng)作、以及在噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b當(dāng)中，對(duì)于第四傳感器36的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件通過(guò)第四傳感器36用于姿勢(shì)檢查的掃描動(dòng)作分別變?yōu)楸匾?動(dòng)作說(shuō)明省略)。
這樣，在反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)設(shè)置視野角與第一、第二傳感器13、14不同的第四傳感器36，根據(jù)頭部6設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b的部件外形尺寸，通過(guò)成為使用第一、第二傳感器13、14進(jìn)行掃描動(dòng)作或者使用第四傳感器36進(jìn)行掃描動(dòng)作的構(gòu)成，能夠謀求姿勢(shì)檢查對(duì)象之部件的擴(kuò)大。
這種構(gòu)成的情況即當(dāng)?shù)谝弧⒌诙鞲衅?3、14的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件和第四傳感器36的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件混雜在噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b中時(shí)，由于需要多次掃描動(dòng)作，因此浪費(fèi)了姿勢(shì)檢查所要的時(shí)間。但是，作為電子部件安裝機(jī)1，安裝方形芯片部件到小型異形部件占大部分，雖然頻度低但也需要安裝中型到大型異形部件的情況，即對(duì)于通過(guò)第一、第二傳感器13、14進(jìn)行的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件占大部分，但也有檢查頻度低的通過(guò)第四傳感器36進(jìn)行的姿勢(shì)檢查對(duì)象部件，對(duì)于這種情況，其成為有效的構(gòu)成。
盡管沒(méi)有記述第四傳感器36和第一、第二傳感器13、14之間分辨率的差別，但是，通過(guò)將比第一、第二傳感器13、14的圖像輸入范圍即第一、第二視野34，35更寬的第四視野37假設(shè)為圖像輸入范圍而使第四傳感器36的分辨率成為比第一、第二傳感器13、14的分辨率更高清晰度的分辨率，能夠構(gòu)成謀求第四傳感器36姿勢(shì)檢查對(duì)象部件之姿勢(shì)檢查精度的提高。
而且，在本實(shí)施方式中，盡管構(gòu)成為在反射/透過(guò)體的透過(guò)光側(cè)設(shè)置一個(gè)傳感器即第四傳感器36，但在反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)之能夠設(shè)置范圍內(nèi)的任意位置上也能夠設(shè)置視野角或者分辨率不同或者這兩者都不同的多個(gè)傳感器。具體地，如實(shí)施方式2，5所示，在反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)設(shè)置2個(gè)傳感器，使得第一傳感器13的圖像輸入范圍即第一視野34的視野中心和第二傳感器14的圖像輸入范圍即第二視野35的視野中心之各個(gè)視野中心一致，成為在攝像時(shí)選擇使用2臺(tái)傳感器的構(gòu)成，從而能夠構(gòu)成為謀求姿勢(shì)檢查對(duì)象部件的擴(kuò)大或者姿勢(shì)檢查精度的提高。
(實(shí)施方式9)下面，使用圖28到圖30進(jìn)行本發(fā)明第九實(shí)施方式的說(shuō)明。
本發(fā)明第九實(shí)施方式與所述實(shí)施方式7相比將反射/透過(guò)體20配置在入射口33和第一、第二傳感器13、14之間來(lái)替換反射體19，由于僅僅在為了進(jìn)行檢查部7側(cè)面所配置的噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第二部件12a、12b的保持姿勢(shì)檢查而進(jìn)行攝像的第二傳感器14配置在反射/透過(guò)體20的透過(guò)光側(cè)這一點(diǎn)以及限定將用于第一、第二傳感器13、14的透鏡配置在反射/透過(guò)體20和第一、第二傳感器13、14之間這一點(diǎn)上不同而對(duì)于其他點(diǎn)是相同的構(gòu)成，因此對(duì)于同樣構(gòu)成部分給出了相同的標(biāo)號(hào)，并省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在圖28到圖30中，20是在入射口33和第一、第二傳感器13、14之間設(shè)置的半反射鏡等反射/透過(guò)體，23是用于頭部6噴嘴列1噴嘴8a、8b所吸著第一部件11a、11b之保持姿勢(shì)檢查的第一傳感器13的第一透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第一傳感器13之間。24是用于噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著第二部件12a、12b之保持姿勢(shì)檢查的第二傳感器15的第二透鏡，其被設(shè)置在所述反射/透過(guò)體20和第二傳感器14之間。
通過(guò)這種構(gòu)成，在將第一、第二傳感器13、14并列配置在檢查部7的下面或側(cè)面之同一面上時(shí)，即使在第一、第二傳感器13、14的外形尺寸大而不得不使第一視野34和第二視野35的間隔擴(kuò)大到需要之上的情況下，即在頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的噴嘴列的間隔變?yōu)樾枰系那闆r下，通過(guò)將反射/透過(guò)體20設(shè)置在入射口33和第一、第二傳感器13、14之間、將檢查部7的傳感器交互配置在該反射/透過(guò)體20的反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)即通過(guò)將第一傳感器13配置在反射光側(cè)、將第二傳感器14配置在透過(guò)光側(cè)，能夠使頭部6配置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的噴嘴列的間隔變窄，從而使得頭部6形成為小型。由于能夠使檢查部7的第一視野34和第二視野35的間隔變窄，因此能夠使檢查部7之Y方向的尺寸變小。
在頭部6設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b的間隔窄并將第一、第二傳感器13、14并列配置在檢查部7下面或側(cè)面之同一面上的狀態(tài)下，即使在因不能夠確保用于第一、第二傳感器13、14之充分亮度的透鏡直徑而使輸入到第一、第二傳感器13、14的光信息亮度不夠從而使得不能夠確保噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一、第二部件11a、11b和12a、12b的保持姿勢(shì)檢查精度的情況下，通過(guò)將第一、第二透鏡23，24配置在反射/透過(guò)體20和第一、第二傳感器13、14之間，也能夠使該透鏡直徑做大。因此，能夠謀求頭部6上設(shè)置的噴嘴列1噴嘴8a、8b和噴嘴列2噴嘴9a、9b所吸著的第一、第二部件11a、11b和12a、12b之保持姿勢(shì)檢查精度的提高。
通過(guò)構(gòu)成為在檢查部上具有頭部配置的每個(gè)噴嘴列獨(dú)立的用于姿勢(shì)檢查的傳感器、在姿勢(shì)檢查時(shí)向著頭部照射光線的照明部以及光信息的入射口，能夠用一次掃描操作實(shí)現(xiàn)頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列所吸著的多個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查，謀求保持姿勢(shì)檢查所要時(shí)間的縮短，同時(shí)，能夠謀求噴嘴所保持部件的保持姿勢(shì)檢查精度的提高以及提高電子部件安裝機(jī)的生產(chǎn)率。
(實(shí)施方式10)下面，參考

本發(fā)明第10實(shí)施方式的部件安裝裝置以及在該部件安裝裝置中執(zhí)行的部件安裝方法。
圖31所示第10實(shí)施方式的部件安裝裝置1100作為基本構(gòu)成部分包括電子部件供給裝置1110；部件保持頭部1120；X、Y機(jī)器人1130；部件高度檢測(cè)裝置1140；控制裝置1150。本實(shí)施方式中還包括基板搬送裝置1160和部件識(shí)別裝置1170。
上述部件供給裝置1110是供給電子部件1111的裝置，在本實(shí)施方式中，設(shè)置了所謂盤(pán)繞帶供給體類型的部件供給裝置，其具有盤(pán)繞容納了電子部件1111之盤(pán)繞帶的卷軸，通過(guò)從該卷軸重復(fù)上述盤(pán)繞帶來(lái)進(jìn)行部件供給。而且，部件供給裝置不局限于該盤(pán)繞帶供給體類型，例如，也能夠設(shè)置所謂托盤(pán)(tray)供給體類型的部件供給裝置。
上述部件保持頭部1120具有用于保持電子部件1111的部件保持構(gòu)件1121，如圖32和圖33所示，將部件保持構(gòu)件1121沿著X、Y方向以網(wǎng)格狀多行多列排列，在本實(shí)施方式中，沿著X方向2行、沿著Y方向5列共計(jì)排列了10個(gè)部件保持構(gòu)件1121。在本實(shí)施方式中，沿著X方向，在移動(dòng)方向1124中的各個(gè)部件保持構(gòu)件1121的配置間隔P1作為一例是10.75mm，沿著Y方向，在與上述移動(dòng)方向1124正交的正交方向1125中的各個(gè)部件保持構(gòu)件1121的配置間隔P2作為一例是22mm。而且，在本實(shí)施方式中，各個(gè)部件保持構(gòu)件1121由通過(guò)吸著而保持部件1111的吸著噴嘴構(gòu)成，部件保持頭部1120具有用于上述吸著的吸引部1122，而且，還具有在部件保持和安裝時(shí)用于將部件保持構(gòu)件1121在其軸方向升降的升降部1123以及將部件保持構(gòu)件1121在其軸圓周方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部1126。
上述X，Y機(jī)器人1130是用于使部件保持頭部1120在X方向和Y方向移動(dòng)的機(jī)器人，具有一對(duì)Y機(jī)器人1131和X機(jī)器人1132，Y機(jī)器人1131在Y方向延伸并具有滾珠絲杠機(jī)構(gòu)，X機(jī)器人1132在X方向延伸并使兩端支持在各個(gè)Y機(jī)器人1131上而通過(guò)Y機(jī)器人1131能夠在Y方向移動(dòng)、并且安裝了部件保持頭部1120和使該部件保持頭部1120在X方向移動(dòng)、以及具有滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。通過(guò)該X，Y機(jī)器人1130，使部件保持頭部1120能夠在X方向和Y方向移動(dòng)。
上述部件高度檢測(cè)裝置1140是用于檢測(cè)部件保持構(gòu)件1121所保持的部件1111之高度的裝置，用來(lái)檢查多個(gè)部件保持構(gòu)件1121所保持的電子部件1111的保持姿勢(shì)是否良好，其具有用來(lái)發(fā)出成為平行光束的檢測(cè)用光1143的發(fā)光部1141和用來(lái)接收發(fā)光部1141發(fā)出的上述檢測(cè)用光1143并包含1維圖像傳感器的光接收部1142。如圖32和圖33所示，發(fā)光部1141和光接收部1142通過(guò)夾著由部件保持頭部1120移動(dòng)的部件保持構(gòu)件1121而被配置在部件保持構(gòu)件1121移動(dòng)方向1124的兩側(cè)，并且，從發(fā)光部1141發(fā)出的檢測(cè)用光1143相對(duì)于與移動(dòng)方向1124正交的正交方向1125，被配置使得交叉構(gòu)成能夠分別檢測(cè)各個(gè)部件保持構(gòu)件1121所保持部件1111的可檢測(cè)角度θ。在本實(shí)施方式中，上述移動(dòng)方向1124對(duì)應(yīng)于X方向，與移動(dòng)方向1124正交的正交方向1125對(duì)應(yīng)于Y方向。
上述可檢測(cè)角度θ如上述在將移動(dòng)方向1124中各個(gè)部件保持構(gòu)件1121的配置間隔設(shè)為P1以及將上述正交方向1125中部件保持構(gòu)件1121的配置間隔設(shè)為P2時(shí)，是通過(guò)tan-1((P1/2)/P2)求得的角度。
例如，如上述，當(dāng)各個(gè)部件保持構(gòu)件1121的配置間隔P1是10.75mm，配置間隔P2是22mm時(shí)，可檢測(cè)角度θ變?yōu)?4度。
上述控制裝置1150是進(jìn)行該部件安裝裝置1100之動(dòng)作控制的裝置，而且被連接到上述部件高度檢測(cè)裝置1140，并基于部件高度檢測(cè)裝置1140供給的部件高度信息來(lái)判斷部件1111保持姿勢(shì)是否良好。
圖34表示如上述從以可檢測(cè)角度θ配置的部件高度檢測(cè)裝置1140的發(fā)光部1141發(fā)出的檢測(cè)用光1143通過(guò)各個(gè)部件保持構(gòu)件1121所保持的部件1111之后由光接收部1142檢測(cè)的影像。如圖34所示，通過(guò)各個(gè)部件保持構(gòu)件1121所保持的部件1111的尺寸，產(chǎn)生了圖34之A部所示的在各個(gè)部件1111的影像中存在間隙的情況以及B部所示那樣部件1111的影像重疊而不存在間隙的情況。
因此，為了即使在部件1111的影像重疊時(shí)也能夠判斷各個(gè)部件1111的保持姿勢(shì)是否良好，在本實(shí)施方式的控制裝置1150中，如圖34所示，在上述部件高度檢測(cè)裝置1140送出的部件高度信息之內(nèi)，基于將各個(gè)部件保持構(gòu)件1121作為中心而在移動(dòng)方向1124的各個(gè)檢測(cè)區(qū)間1144中的上述部件高度信息，判斷上述各個(gè)電子部件1111的保持姿勢(shì)是否良好。從圖34的B部可知，上述檢測(cè)區(qū)間1144是在鄰接的電子部件1111的各個(gè)影像中在除去重復(fù)部分的非重復(fù)范圍1145內(nèi)能夠設(shè)定的區(qū)間。具體地，非重復(fù)范圍1145最大是與P2×sinθ相當(dāng)?shù)姆秶?。上述檢測(cè)區(qū)域1144在本實(shí)施方式中是3mm。這是因?yàn)?，?duì)于例如1608(1.6mm×0.8mm)那樣的微小芯片部件，僅僅在平面識(shí)別中不能夠進(jìn)行保持姿勢(shì)判斷。
在本實(shí)施方式中，盡管上述檢測(cè)區(qū)間1144對(duì)于全部的部件保持構(gòu)件1121使用相同的距離，但是，例如，也可以與部件保持構(gòu)件1121的大小等相對(duì)應(yīng)來(lái)對(duì)每一個(gè)部件保持構(gòu)件1121改變檢測(cè)區(qū)間1144。
上述基板搬送裝置1160是將電路基板1161搬入到該部件安裝裝置1100以及在部件1111安裝之后將電路基板1161從該部件安裝裝置1100搬出到下一工序中的裝置。
上述部件識(shí)別裝置1170是用于平面攝影部件保持頭部1120的部件保持構(gòu)件1121所保持電子部件1111之保持姿勢(shì)的裝置，被連接到控制裝置1150?？刂蒲b置1150基于從部件識(shí)別裝置1170中供給的各個(gè)部件1111的保持姿勢(shì)信息，在將部件1111安裝到電路基板1161上時(shí)，求得其位置補(bǔ)正量。
下面說(shuō)明如上述構(gòu)成的第10實(shí)施方式部件安裝裝置1100中的動(dòng)作即部件安裝方法。該部件安裝方法通過(guò)控制裝置1150的動(dòng)作控制執(zhí)行。
電路基板1161從該部件安裝裝置1100的上流側(cè)被搬入到該部件安裝裝置1100中，并通過(guò)基板搬送裝置1160搬送固定到該部件安裝裝置1100內(nèi)的部件安裝用基板保持位置。
接著，為了通過(guò)部件保持頭部1120的部件保持構(gòu)件1121取出由部件供給裝置1110被搬送到部件吸著裝置的電子部件1111，通過(guò)X、Y機(jī)器人1130，部件保持頭部1120被定位在上述部件吸著裝置上，電子部件1111通過(guò)部件保持構(gòu)件1121保持。部件保持頭部1120由于具有多個(gè)部件保持構(gòu)件1121，根據(jù)控制裝置1150所存儲(chǔ)的部件安裝程序，使部件1111保持在部件安裝必需的至少多個(gè)部件保持構(gòu)件1121上。
通過(guò)部件保持構(gòu)件1121保持電子部件1111之后，為了平面地確認(rèn)部件保持構(gòu)件1121中電子部件1111的保持狀態(tài)，部件保持頭部1120通過(guò)X、Y機(jī)器人1130被搬送和定位在部件識(shí)別裝置1170的識(shí)別位置。部件識(shí)別裝置1170攝像部件保持構(gòu)件1121所保持的各個(gè)電子部件1111的平面狀態(tài)，并將各個(gè)攝像信息送出到控制裝置1150?；谠摂z像信息，控制裝置1150對(duì)每一個(gè)電子部件1111，求得補(bǔ)正量使得與電路基板1161中的安裝位置吻合，根據(jù)該補(bǔ)正量，補(bǔ)正X、Y機(jī)器人1130和部件保持構(gòu)件1121的移動(dòng)量。
接著，為了進(jìn)行部件保持構(gòu)件1121所保持的各個(gè)電子部件1111的高度方向的檢測(cè)和判斷部件保持姿勢(shì)是否良好，部件保持頭部1120由X、Y機(jī)器人1130移動(dòng)控制，如圖32所示，使各個(gè)電子部件1111通過(guò)部件高度檢測(cè)裝置1140的發(fā)光部1141和光接收部1142之間。此時(shí)，部件保持頭部1120上具有的部件保持構(gòu)件1121在使所保持的電子部件1111被定位于Z方向中的一定高度的檢測(cè)高度位置的狀態(tài)下通過(guò)發(fā)光部1141和光接收部1142之間。
如上述，從發(fā)光部1141發(fā)出的檢測(cè)用光1143由于相對(duì)于上述正交方向1125被交叉構(gòu)成為可檢測(cè)角度θ，因此，如上述，即使電子部件1111在本實(shí)施方式中被排列為2行5列，通過(guò)部件保持頭部1120向移動(dòng)方向1124移動(dòng)，如圖33所示，例如，各個(gè)電子部件1111以部件1111-1、部件1111-2、部件1111-3、部件1111-4、部件1111-5、.....、部件1111-10的順序被順次進(jìn)行檢查。因此，如圖34所示，在光接收部1142順次檢測(cè)各個(gè)電子部件1111的影像，所檢測(cè)的這些影像信息被順次送出到控制裝置1150。
這樣，從發(fā)光部1141發(fā)出的檢測(cè)用光1143由于相對(duì)于上述正交方向1125被交叉構(gòu)成為可檢測(cè)角度θ，即使在以多行多列排列部件保持構(gòu)件1121的情況下，通過(guò)一次掃描，對(duì)于所有的部件1111，也能夠獲得影像信息。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的部件安裝裝置1100，與現(xiàn)有技術(shù)相比，其能夠謀求與部件安裝相關(guān)的循環(huán)周期的高速化。
在控制裝置1150中，具有根據(jù)在部件保持構(gòu)件1121的高度中也具有標(biāo)準(zhǔn)偏差而對(duì)每個(gè)部件保持構(gòu)件1121預(yù)先設(shè)定的部件保持構(gòu)件高度信息以及對(duì)每個(gè)部件預(yù)先設(shè)定的部件高度信息。因此，控制裝置1150基于被供給的電子部件1111的影像，如圖35所示，求得上述影像的高度，將通過(guò)上述部件保持構(gòu)件高度信息和上述部件高度信息而預(yù)先確定的規(guī)定高度信息與所求得的部件高度信息進(jìn)行比較，對(duì)于其誤差超過(guò)規(guī)定值的，部件保持姿勢(shì)判斷為不良。
如上述，由于具有各個(gè)部件之間產(chǎn)生影像重疊的情況，因此控制裝置1150在求得上述部件高度信息時(shí)，基于在各個(gè)部件1111影像之非重復(fù)范圍1145內(nèi)的檢測(cè)區(qū)間1144中的影像信息來(lái)求得上述部件高度信息。這樣，由于基于上述檢測(cè)區(qū)間1144中的影像信息來(lái)求得上述部件高度信息，在光接收部1142所接收的影像中，即使在相鄰部件1111之間影像重疊，也能夠判別求得了哪一個(gè)部件1111的部件高度信息。因此，結(jié)果，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠謀求與部件安裝相關(guān)的循環(huán)周期的高速化。
當(dāng)上述判斷的結(jié)果為電子部件1111是良品即部件保持姿勢(shì)被判斷為良好時(shí)，通過(guò)控制裝置1150的操作控制，部件保持頭部1120通過(guò)X、Y機(jī)器人1130被定位到電路基板1161的部件安裝位置，并將部件保持構(gòu)件1121所保持的電子部件1111安裝在電路基板1161上。
另一方面，當(dāng)判斷電子部件1111是不良品即部件保持姿勢(shì)為不良時(shí)，通過(guò)控制裝置1150的操作控制，部件保持頭部1120通過(guò)X、Y機(jī)器人1130被移動(dòng)到電子部件1111的廢棄場(chǎng)所(沒(méi)有圖示)，廢棄該不良電子部件1111。
再次重復(fù)從上述部件保持動(dòng)作到安裝動(dòng)作。
在上述第10實(shí)施方式中，盡管將移動(dòng)方向1124作為X方向，將正交方向1125作為Y方向，但不局限于此。即，例如，可以在部件高度檢測(cè)裝置1140中將檢測(cè)用光1143發(fā)光成為與Y方向平行。另一方面，也可以移動(dòng)部件保持頭部1120，使得構(gòu)成上述可檢測(cè)角度θ。
而且，通過(guò)將上述各個(gè)實(shí)施方式中的任意實(shí)施方式進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕M合也能夠獲得各自具有的效果。
本發(fā)明盡管參考附圖結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了充分記載，但本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠進(jìn)行各種變形和修改。顯然，這種變形和修改應(yīng)當(dāng)理解為在所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種部件安裝機(jī)，其包括供給部(2)，其用于供給部件；頭部(6)，其將噴嘴列在與X方向正交的Y方向上至少并列配置2列以上，該噴嘴列是將取出和搬送從所述供給部供給的部件的噴嘴在X方向至少并排配置1個(gè)以上；基板保持部(4)，其保持基板，該基板安裝由所述頭部所搬送的部件；檢查部(7)，其被配置在從所述頭部的所述供給部到所述基板保持部的移動(dòng)路徑上，檢查所述噴嘴所保持部件的保持姿勢(shì)，所述檢查部具有在配置于所述頭部的所述噴嘴的每個(gè)噴嘴列中獨(dú)立的姿勢(shì)檢查用的傳感器(13、14)；在姿勢(shì)檢查時(shí)向所述頭部照射光線的照明部(15，16)；用于所述噴嘴所保持部件的圖像輸入的光信息入射口(17，18)。
2.如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，對(duì)檢查部的各個(gè)傳感器，設(shè)置了獨(dú)立的入射口和照明部。
3.如權(quán)利要求2所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將檢查部各個(gè)傳感器的視野中心在X方向并齊并列配置。
4.如權(quán)利要求2所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將檢查部各個(gè)傳感器的視野中心在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置。
5.如權(quán)利要求4所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，設(shè)置在頭部中的噴嘴列在Y方向被并列3列以上時(shí)，將檢查部各個(gè)傳感器的視野中心在X方向以蛇形錯(cuò)開(kāi)并列配置。
6.如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，對(duì)于檢查部的全部傳感器，設(shè)置共同的入射口和照明部。
7.如權(quán)利要求6所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將各個(gè)傳感器的視野中心在X方向錯(cuò)開(kāi)并列配置。
8.如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將包含反射鏡的反射體設(shè)置在入射口和傳感器之間，將傳感器配置在檢查部的側(cè)面?zhèn)取?br> 9.如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將包含半反射鏡或者棱鏡的反射/透過(guò)體設(shè)置在入射口和傳感器之間，在從入射口入射的、由噴嘴所吸著部件的光信息的反射/透過(guò)體中的反射光側(cè)和透過(guò)光側(cè)，交互并列配置檢查部的傳感器。
10.如權(quán)利要求9所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將透鏡配置在反射/透過(guò)體和檢查部的傳感器之間。
11.如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，將以半反射鏡或者棱鏡為代表的反射/透過(guò)體設(shè)置在入射口和傳感器之間，在所述反射/透過(guò)體透過(guò)光側(cè)的能夠輸入圖像的任意位置追加配置傳感器。
12.如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，檢查部的傳感器包括視野角不同的傳感器。
13如權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，檢查部的傳感器包括分辨率不同的傳感器。
14.一種部件安裝裝置，在由電子部件供給裝置(110)保持電子部件(111)并將所保持的電子部件安裝到電路基板(161)的部件安裝裝置中，包括部件保持頭部(120)，其使保持所述電子部件的部件保持構(gòu)件(121)多行多列排列并在相互正交的X、Y方向上移動(dòng)；部件高度檢測(cè)裝置(140)，其是用于檢查多個(gè)所述部件保持構(gòu)件所保持的所述電子部件的保持姿勢(shì)是否良好而檢測(cè)所述部件保持構(gòu)件所保持的所述電子部件的高度的部件高度檢測(cè)裝置，其具有一對(duì)發(fā)光部(141)和光接收部(142)，該發(fā)光部和光接收部對(duì)于與所述部件保持頭部所移動(dòng)的所述部件保持構(gòu)件的移動(dòng)方向(124)正交的正交方向(125)，以可分別檢測(cè)各部件保持構(gòu)件所保持的所述電子部件的角度(θ)發(fā)出和接收檢測(cè)用光(143)。
15.如權(quán)利要求14所述的部件安裝裝置，其特征在于，在將所述移動(dòng)方向中各個(gè)部件保持構(gòu)件的配置間隔設(shè)為P1以及將所述正交方向中部件保持構(gòu)件的配置間隔設(shè)為P2時(shí)，所述可檢測(cè)角度是通過(guò)tan-1((P1/2)/P2)求得的角度。
16.如權(quán)利要求14所述的部件安裝裝置，其特征在于，還包括控制裝置(150)，其在所述部件高度檢測(cè)裝置送出的部件高度信息之內(nèi)，基于將所述部件保持構(gòu)件作為中心的在所述移動(dòng)方向的檢測(cè)區(qū)間(144)中的所述部件高度信息，判斷所述電子部件的是否良好。
17.一種部件安裝方法，是保持電子部件(111)并安裝到電路基板(161)中的部件安裝方法，其包括在通過(guò)以多行多列排列的部件保持構(gòu)件(121)保持所述電子部件之后，在安裝到所述電路基板之前，對(duì)于與所述部件保持構(gòu)件的移動(dòng)方向(124)正交的正交方向(125)，以分別可檢測(cè)各個(gè)部件保持構(gòu)件所保持的所述電子部件的可檢測(cè)角度(θ)發(fā)出檢測(cè)用光(143)并接收該檢測(cè)用光，檢查多個(gè)所述部件保持構(gòu)件所保持的所述電子部件的保持姿勢(shì)是否良好。
18.如權(quán)利要求16所述的部件安裝方法，其特征在于，在將所述移動(dòng)方向中的各個(gè)部件保持構(gòu)件的配置間隔設(shè)為P1以及將所述正交方向中的部件保持構(gòu)件的配置間隔設(shè)為P2時(shí)，所述可檢測(cè)角度是通過(guò)tan-1((P1/2)/P2)求得的角度。
19.如權(quán)利要求17所述的部件安裝方法，其特征在于，所述電子部件保持姿勢(shì)是否良好的判斷是基于將所述部件保持構(gòu)件作為中心的在所述移動(dòng)方向的檢測(cè)區(qū)間(144)中的部件高度信息來(lái)進(jìn)行判斷。
全文摘要
本發(fā)明目的是通過(guò)一次掃描操作實(shí)現(xiàn)頭部設(shè)置的多個(gè)噴嘴列所吸著多個(gè)部件的保持姿勢(shì)檢查以及獲得保持姿勢(shì)檢查時(shí)間的縮短和精度的提高。為實(shí)現(xiàn)該目的，本發(fā)明構(gòu)成為包括頭部(6)，其并列配置至少1個(gè)以上的噴嘴以及至少并列配置2列以上的噴嘴列；基板保持部(4)，其保持用于安裝通過(guò)該頭部(6)所搬送的部件的基板(5)；檢查部(7)，其被配置在從頭部(6)的供給部(2)到基板保持部(4)的移動(dòng)路徑上，其檢查頭部(6)噴嘴所保持部件的保持姿勢(shì)和具有每個(gè)噴嘴列獨(dú)立的用于姿勢(shì)檢查的傳感器(13、14)。
文檔編號(hào)H05K13/00GK1788533SQ200480013078
公開(kāi)日2006年6月14日 申請(qǐng)日期2004年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月13日
發(fā)明者大田博, 中井伸弘, 川隅顯介, 飯塚公雄, 上森大嗣, 持田芳典, 泉田圭三 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社