專利名稱:感光性樹脂組合物、感光性元件、保護層圖形的制造方法和印刷電路布線板的制造方法
技術領域:
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、感光性元件、保護層圖形的制造方法和印刷電路布線板的制造方法。
在這些方法中,使用感光性樹脂組合物和感光性元件作為保護層,特別是由運行成本和作業(yè)環(huán)境的觀點出發(fā),主要使用堿性顯像型保護層。而且在使該保護層硬化后,未硬化部份用顯像液除去,并用噴霧壓水洗。因而要求使用的感光性樹脂組合物具有不因顯像液或水洗噴霧壓破壞的凹進性,即凹坑可靠性。另外,特別是在鍍層法中,印刷電路布線板的細線部份中的電流密度比布線疏部份的電流密度高,因此細線部份的鍍層比保護層厚,容易產(chǎn)生剝離殘留(外伸剝離殘留)。因此要求即使鍍層外伸,保護層也不產(chǎn)生剝離殘留,即要求剝離性優(yōu)良。
對于這樣的要求,在特開平5-271129號公報中,披露了使用乙烯基尿烷化合物的凹坑可靠性良好的感光性樹脂組合物。但是這種感光性樹脂組合物隨著印刷電路布線板的布線高密度化、高精度化,具有難以與逐年要求嚴格的高分辨力化相對應的傾向。這被推測是起因于有尿烷鍵的異氰酸酯殘基部分顯像性不良。
另外,在特開平5232699號公報中,披露了聚乙二醇鏈為單獨的丙烯酸酯系化合物。然而由于聚乙二醇鏈為單獨時親水性過強,所以往往發(fā)生凹坑可靠性和剝離特性等惡化等不適宜的問題。另外,聚丙二醇鏈為單獨的丙烯酸酯化合物分辨力低。而且這樣的丙烯酸酯化合物易于由堿性顯像液分離。因此成為不溶于顯像液的物質(zhì)即殘渣的發(fā)生原因,當它們附著在基板上時,則成為短路、斷線的原因。
除了上述對凹坑可靠性和剝離性的要求之外,為了提高印刷電路布線板的生產(chǎn)率,還要求縮短制造時間。為了謀求制造工序的縮短,本發(fā)明人對縮短顯像時間進行了研究。在使厚度37~42μm左右的感光性樹脂組合物構成的層顯像時,過去的顯像時間必需25秒鐘以上。但是如果能將該顯像時間縮短到20秒以內(nèi),就能大幅度縮短顯像時間,進而縮短制造時間。為了縮短顯像時間,使感光性樹脂組合物的粘合劑聚合物的親水性提高是有效的。但是提高感光性樹脂組合物的親水性時會使耐顯像液性降低,因此存在凹坑的破裂增加、即凹坑可靠性降低的傾向。因此過去還沒有既縮短顯像時間,又充分滿足凹坑可靠性的感光性樹脂組合物。
本發(fā)明是滿足以下(1)和(2)的感光性樹脂組合物。(1)對具有37~42μm厚度的上述感光性樹脂組合物層,以下列條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液時,上述感光性樹脂組合物層能夠在20秒以內(nèi)被除去。其中,上述條件是上述噴霧噴嘴的內(nèi)徑為1.2mm,噴霧壓力為0.05MPa,上述噴霧噴嘴與上述感光性樹脂組合物層最近的點和上述感光性樹脂組合物層的距離為50mm。(2)在有直徑6mm的孔3個相連、且長度為16mm的三連孔18個的鍍銅層壓板上,層疊有上述厚度的感光性樹脂組合物層,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,對該硬化膜以上述條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液36秒鐘×3次時,孔破裂數(shù)在5個以下。
另外,本發(fā)明是以下這樣的感光性樹脂組合物,其特征在于,上述感光性樹脂組合物層優(yōu)選能夠在19秒,更優(yōu)選能夠在18秒以內(nèi)被除去。
另外,本發(fā)明是以下這樣的感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,(B)成含分子內(nèi)具有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯,(C)成分含有吖啶或在分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物。
另外,本發(fā)明是以下這樣的感光性樹脂組合物,其特征在于,(C)成分的分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物是以通式(II)表示的化合物 (式中,R3表示碳原子數(shù)6~12的亞烷基)。
另外,本發(fā)明是以下這樣的感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,(A)成分是重均分子量30000~70000的聚合物成分,(B)成分含有分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵、碳數(shù)2~6的亞烷基二醇的單元數(shù)為15以上的光聚合性化合物。
另外,本發(fā)明是以下這樣的感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,(A)成分是重均分子量30000~70000的聚合物成分,(B)成分含有分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵、分子量為900以上的光聚合性化合物。
另外,本發(fā)明是以下這樣的感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,相對于(A)成分和(B)成分的總量100重量份數(shù),(A)成分的配合量為40~80重量份數(shù),(B)成分的配合量為20~60重量份數(shù),以及(C)成分的配合量為0.01~3重量份數(shù)。
另外,本發(fā)明是一種感光性元件,其特征在于,將上述任一項的感光性樹脂組合物涂布在支持體上,再進行干燥而制成。
另外,本發(fā)明是一種保護層圖形的制造方法,其特征在于,將上述感光性元件層疊,使感光性樹脂組合物層密合在回路形成用基板上,按圖像狀照射活性光線,使曝光部份光硬化,經(jīng)顯像除去未曝光部份。
另外,本發(fā)明是一種印刷電路布線板的制造方法,其特征在于,對按照上述保護層圖形的制造方法制造了保護層圖形的回路形成用基板進行蝕刻或鍍層。
按照本發(fā)明,由于能夠高速顯像,所以凹坑可靠性優(yōu)良,并可以有效防止蝕刻液、鍍液等侵入通孔內(nèi)。藉此能夠防止印刷電路布線板的不良導通、不良短路等,因此可以高成品率地制造印刷電路布線板。從而大幅度提高印刷電路布線板的生產(chǎn)流程速度,由于縮減了制造時間,所以能夠提高操作性和生產(chǎn)率。
此外,按照本發(fā)明,能夠賦予感光性樹脂組合物優(yōu)良的凹坑可靠性、剝離特性(外伸剝離性)、感光度、分辨力、耐藥品性(耐鍍性)和柔軟性。因此本發(fā)明對印刷電路布線的高密度化和高分辨力化是有效的。
而且按照本發(fā)明,可以降低殘渣的發(fā)生性。
本申請說明書基于日本國申請?zhí)卦?000-157530和特愿2000-395193提出優(yōu)先權請求,將它們的說明書組合進本說明書內(nèi)作為參照。
本發(fā)明是滿足以下(1)和(2)的感光性樹脂組合物。(1)對具有37~42μm厚度的上述感光性樹脂組合物層,以下列條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液時,上述感光性樹脂組合物層能夠在20秒以內(nèi)被除去。其中,上述條件是上述噴霧噴嘴內(nèi)徑為1.2mm,噴霧壓力為0.05MPa,上述噴霧噴嘴與上述感光性樹脂組合物層最近的點和上述感光性樹脂組合物層的距離為50mm。(2)在有直徑6mm的孔3個相連、且長度為16mm的三連孔18個的鍍銅層壓板上,層疊有上述厚度的感光性樹脂組合物層,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,對該硬化膜以上述條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液36秒鐘×3次時,孔破裂數(shù)在5個以下。
另外,上述感光性樹脂組合物例如可以通過含有以下成分而得到(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物的分子內(nèi)有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯,和(C)吖啶或在分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物。
另外,上述感光性樹脂組合物例如可以通過含有以下成分而得到(A)重均分子量30000~70000的聚合物成分,(B)分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵、碳數(shù)2~6的亞烷基二醇的單元數(shù)為15以上的光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑。
另外,上述感光性樹脂組合物例如可以通過含有以下成分而得到(A)重均分子量30000~70000的聚合物成分,(B)分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵、分子量為900以上的光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑。
上述(A)粘合劑聚合物例如可舉出丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、酰胺系樹脂、酰胺環(huán)氧系樹脂、醇酸系樹脂、苯酚系樹脂等。由堿性顯像性的觀點出發(fā),優(yōu)選丙烯酸系樹脂。它們可以單獨或組合2種以上使用。
本發(fā)明所用的上述(A)粘合劑聚合物,例如可以使聚合性單體自由基聚合而制造。
上述聚合性單體例如可以舉出苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、對乙基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、對乙氧基苯乙烯、對氯苯乙烯、對溴苯乙烯等可聚合的苯乙烯衍生物、丙烯酰胺、丙烯腈、乙烯基-正丁醚等乙烯基醇的酯類、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、2,2,2-氟代乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟代丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、α-溴代(甲基)丙烯酸、α-氯代(甲基)丙烯酸、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸、馬來酸、馬來酸酐、馬來酸一甲酯、馬來酸一乙酯、馬來酸一異丙酯等馬來酸一酯、富馬酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙炔酸等。
上述(甲基)丙烯酸烷基酯例如可舉出由通式(I)表示的化合物 (式中,R1表示氫原子或甲基,R2表示碳數(shù)1~12的烷基),羥基、環(huán)氧基對這些化合物的烷基進行取代的化合物等。
由上述通式(I)中的R2表示的碳數(shù)1~12的烷基,例如可舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基和它們的結構異構體。
上述通式(I)表示的單體例如可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯等。它們可以單獨或組合2種以上使用。
上述(A)粘合劑聚合物,由堿性顯像性的觀點出發(fā)優(yōu)選含有羧基,例如可以使有羧基的聚合性單體和其它聚合性單體自由基聚合而制造。上述有羧基的聚合性單體優(yōu)選甲基丙烯酸。此外,上述(A)粘合劑聚合物,由撓性的觀點出發(fā)優(yōu)選含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作為聚合性單體。
為了使密合性及剝離特性同時良好,作為共聚成分,優(yōu)選含上述苯乙烯或苯乙烯衍生物2~30重量%,更加優(yōu)選含2~28重量%,特別優(yōu)選含2~27重量%。該含量在2重量%以下時,有密合性變差的傾向,超過30重量%時有剝離片變大、剝離時間變長的傾向。
這些粘合劑聚合物可以單獨或組合2種以上使用。組合2種以上使用時的粘合劑聚合物,例如可舉出不同共聚成分構成的2種以上粘合劑聚合物,不同重均分子量的2種以上粘合劑聚合物,不同分散度的2種以上粘合劑聚合物等。此外,也可使用特開平11-327137號公報記載的有多狀態(tài)分子量分布的聚合物。
粘合劑聚合物的重均分子量優(yōu)選30000~70000,更加優(yōu)選35000~65000,特別優(yōu)選40000~60000。其分子量低于30000時,薄膜涂膜性和凹進性有變差的傾向。此外,分子量超過70000時,有顯像時間變長的傾向。重均分子量用凝膠滲透色譜法(GPC)測定,通過使用標準聚苯乙烯的校正曲線換算得到。
此外,在使用2種成分以上粘合劑聚合物時,要測定混合后的聚合物成分的重均分子量。在后述的本申請的試驗例中使用的重均分子量,是將60000的粘合劑聚合物和30000的粘合劑聚合物混合后的聚合物成分的重均分子量,為55000。
關于粘合劑聚合物的分散度,將2種以上粘合劑聚合物混合使用時聚合物全體的分散度(重均分子量/數(shù)均分子量)、或者單獨使用粘合劑聚合物時該聚合物成分的分散度,優(yōu)選為1.5~5.0,更加優(yōu)選1.8~4.0,特別優(yōu)選2.0~3.5。另外,數(shù)均分子量與重均分子量同樣,用GPC測定并用標準聚苯乙烯換算。
本發(fā)明中所用的(B)光聚合性化合物優(yōu)選分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵,由凹進性、剝離特性的觀點出發(fā),更加優(yōu)選2以上,特別優(yōu)選2。
(B)成分可以用碳數(shù)2~6的亞烷基二醇的單元數(shù)為15以上的光聚合性化合物。
由凹進性的觀點出發(fā),優(yōu)選2~6,更加優(yōu)選2~5,特別優(yōu)選2或3。此外,上述單元數(shù),即重復單位總數(shù)優(yōu)選15~30,更加優(yōu)選15~25,特別優(yōu)選15~20。單元數(shù)在15以下時,凹進性和靈敏度差,剝離時間有變長的傾向。而單元數(shù)超過30時分辨力惡化,得到的保護層形狀有變脆的傾向。
(B)成分的分子量優(yōu)選900以上,更加優(yōu)選900~2500,特別優(yōu)選1000~1500。分子量在900以下時,凹進性和靈敏度差,剝離時間有變長的傾向。
在(B)成分中,優(yōu)選含分子內(nèi)有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯。該(甲基)丙烯酸酯只要有乙二醇鏈和丙二醇鏈(正丙二醇鏈或異丙二醇鏈)二者作為分子內(nèi)的亞烷基二醇鏈,就不作特別的限制。此外,該(甲基)丙烯酸酯也可以再有正丁二醇鏈、異丁二醇鏈、正戊二醇鏈、己二醇鏈、它們的結構異構體等碳數(shù)4~6左右的亞烷基二醇鏈。
上述乙二醇鏈和丙二醇鏈為多數(shù)個時,多數(shù)個乙二醇鏈和丙二醇鏈不必各自連續(xù)成塊存在,也可以隨機存在。此外,在上述異丙二醇鏈中,既可以丙烯基的2級碳與氧原子結合,也可以1級碳與氧原子結合。
在這些(B)成分中的有至少一個可聚合的乙烯不飽和鍵、并且分子內(nèi)有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯,其分子內(nèi)的亞烷基二醇鏈例如可舉出由通式(III)、(IV)和(V)表示的化合物等 (式中,兩個R分別獨立地表示氫原子或碳數(shù)1~3的烷基,EO表示乙二醇鏈,PO表示丙二醇鏈,m1、m2和n1分別獨立地為1~30的整數(shù)) (式中,兩個R分別獨立地表示氫原子或碳數(shù)1~3的烷基,EO表示乙二醇鏈,PO表示丙二醇鏈,m3、n2和n3分別獨立地為1~30的整數(shù)) (式中,兩個R分別獨立地表示氫原子或碳數(shù)1~3的烷基,EO表示乙二醇鏈,PO表示丙二醇鏈,m4和n4分別獨立地為1~30的整數(shù))它們可以單獨或組合2種以上使用。
上述通式(III)、通式(IV)和通式(V)中的碳數(shù)1~3的烷基例如可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基等。
上述通式(III)、通式(IV)和通式(V)中的乙二醇鏈的重復數(shù)的總數(shù)(m1+m2、m3和m4)分別獨立地為1~30的整數(shù),優(yōu)選1~10的整數(shù),更加優(yōu)選4~9的整數(shù),特別優(yōu)選5~8的整數(shù)。該重復數(shù)超過30時,凹坑可靠性和保護層形狀有惡化的傾向。
上述通式(III)、通式(IV)和通式(V)中的丙二醇鏈的重復數(shù)的總數(shù)(n1、n2+n3和n4)分別獨立地為1~30的整數(shù),優(yōu)選5~20的整數(shù),更加優(yōu)選8~16的整數(shù),特別優(yōu)選10~14的整數(shù)。該重復數(shù)超過30時,分辨力惡化,有產(chǎn)生殘渣的傾向。
上述通式(III)表示的化合物的具體例,例如可舉出R=甲基、m1+m2=4(平均值)、n1=12(平均值)的乙烯基化合物(日立化成工業(yè)(株)制,商品名FA-023M)等。上述通式(IV)表示的化合物的具體例,例如可舉出R=甲基、m3=6(平均值)、n2+n3=12(平均值)的乙烯基化合物(日立化成工業(yè)(株)制,商品名FA-024M)等。上述通式(V)表示的化合物的具體例,例如可舉出R=氫原子、m4=1(平均值)、n4=9(平均值)的乙烯基化合物(新中村化學工業(yè)(株)制,試劑名NK酯HEMA-9P)等。它們可以單獨或組合2種以上使用。
而且,作為(B)成分,可以含有分子內(nèi)有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯以外的光聚合性化合物。作為其例子可舉出使α,β-不飽和羧酸在多元醇中反應得到的化合物、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丁氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物、使α,β-不飽和羧酸在含環(huán)氧丙基的化合物中反應得到的化合物、分子內(nèi)有尿烷鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物等尿烷單體、壬基苯氧基聚乙烯氧基丙烯酸酯、γ-氯-β-羥基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基鄰苯二甲酸酯、β-羥基烷基-β’-(甲基)丙烯酰氧基烷基鄰苯二甲酸酯等鄰苯二甲酸系化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯等,但優(yōu)選以雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物或分子內(nèi)有尿烷鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物作為必要成分。它們可以單獨或組合2種以上使用。
本發(fā)明所用的(C)光聚合引發(fā)劑,優(yōu)選使用吖啶或在分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物。該吖啶系化合物例如可舉出上述通式(II)表示的化合物、9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡嗪基吖啶、1,2-雙(9-吖啶基)乙烷、1,3-雙(9-吖啶基)丙烷、1,4-雙(9-吖啶基)丁烷、1,5-雙(9-吖啶基)戊烷等雙(9-吖啶基)鏈烷等。它們可以單獨或組合2種以上使用。
上述通式(II)中的碳數(shù)6~12的亞烷基例如可舉出亞己基、亞庚基、亞辛基、亞壬基、亞癸基、亞十一烷基、亞十二烷基、它們的結構異構體等。
上述通式(II)表示的化合物的具體例可舉出1,6-雙(9-吖啶基)己烷、1,6-雙(9-吖啶基)己烷、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷、1,8-雙(9-吖啶基)辛烷、1,9-雙(9-吖啶基)壬烷、1,10-雙(9-吖啶基)癸烷、1,11-雙(9-吖啶基)十一烷、1,12-雙(9-吖啶基)十二烷等。上述1,7-雙(9-吖啶基)庚烷,可以作為旭電化工業(yè)(株)制商品名N-1717得到。它們可以單獨或組合2種以上使用。
此外,在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中,上述(C)可以含有除吖啶或在分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物以外的光聚合引發(fā)劑,其例子可舉出二苯甲酮、N,N’-四甲基-4,4’-二氨基二苯甲酮(米蚩酮)等N,N’-四烷基-4,4’-二氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1,2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮、烷基蒽醌等醌類、苯偶因烷基醚等苯偶因醚化合物、苯偶因、烷基苯偶因等苯偶因化合物、芐基二甲基縮酮等芐基衍生物、2-(鄰氯代苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯代苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟代苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(對甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等2,4,5-三芳基咪唑二聚物、N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物、鎓鹽等。它們可以單獨或組合2種以上使用。
上述(A)粘合劑聚合物的配合量,相對于(A)成分和(B)成分的總量100重量份數(shù),優(yōu)選為40~80重量份數(shù),更加優(yōu)選45~70重量份數(shù)。該配合量在40重量份數(shù)以下時,光硬化物易脆,作為感光性元件使用時有涂膜性變差的傾向,超過80重量份數(shù)時,有感光靈敏度不充分的傾向。
上述(B)光聚合性化合物的配合量,相對于(A)成分和(B)成分的總量100重量份數(shù),優(yōu)選為20~60重量份數(shù),更加優(yōu)選30~55重量份數(shù)。該配合量在20重量份數(shù)以下時,有感光靈敏度不充分的傾向,超過60重量份數(shù)時,有光硬化物變脆的傾向。
(B)成分中,分子內(nèi)含具有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯、碳數(shù)2~6的亞烷基二醇的單元數(shù)為15以上的化合物或分子量900以上的光聚合性化合物的比例,優(yōu)選為30重量%以上,更加優(yōu)選40重量%以上,特別優(yōu)選50重量%以上。該比例在30重量%以上時本發(fā)明的效果更佳,在50重量以上時特佳。該比例在30重量%以下時存在不能獲得本發(fā)明效果的傾向。
上述(C)光聚合引發(fā)劑的配合量,相對于(A)成分和(B)成分的總量100重量份數(shù),優(yōu)選為0.01~3重量份數(shù),更加優(yōu)選0.1~2重量份數(shù)。該配合量在0.01重量份數(shù)以下時,有感光靈敏度不充分的傾向,若超過3重量份數(shù),則在曝光時在組合物表面的吸收增大,有內(nèi)部光硬化不充分的傾向。
在上述感光性樹脂組合物中,可以按必要含有分子內(nèi)有至少一個可陽離子聚合的環(huán)狀醚基的光聚合性化合物、陽離子聚合引發(fā)劑、孔雀綠等染料、三溴代苯砜、淡結晶紫等光變色劑、防熱變色劑、對甲苯磺酰胺等增塑劑、顏料、充填劑、消泡劑、陽燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、調(diào)平劑、促剝離劑、防氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等,其含量相對于(A)成分和(B)成分的總量100重量份數(shù)分別為0.01~20重量份數(shù)左右。它們可以單獨或組合2種以上使用。
上述感光性樹脂組合物可按必要溶解在甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基溶纖素、乙基溶纖素、甲苯、N,N-二甲基甲酰胺、丙二醇一甲基醚等溶劑或它們的混合溶劑中,做成固態(tài)成分30~60重量%左右的溶液進行涂布。
上述感光性樹脂組合物,雖不作特別限制,但優(yōu)選在銅、銅系合金、鐵、鐵系合金等金屬面上,作為液狀保護層涂布干燥后,按必要被覆保護膜使用,或以感光性元件形態(tài)使用。此外,感光性樹脂組合物層的厚度因用途而異,但優(yōu)選干燥后的厚度為1~100μm左右。在液狀保護層上被覆保護膜使用時,保護膜可舉出聚乙烯、聚丙烯等聚合物薄膜等。
上述感光性元件,例如可在支持體聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚酯等聚合物薄膜上涂布感光性樹脂組合物,再經(jīng)干燥得到。上述涂布例如可采用輥涂、點涂、照相凹板涂、氣動刮涂、銜接涂、刮涂等公知的方法進行。此外,干燥可在70~150℃進行5~30分鐘。另外,由防止后步工序中的有機溶劑的擴散出發(fā),感光性樹脂組合物層中的殘存有機溶劑量優(yōu)選在2重量%以下。
這些聚合物薄膜的厚度優(yōu)選在1~100μm。也可以這些聚合物薄膜一個作為感光性樹脂組合物層的支持體,另一個作為感光性樹脂組合物的保護膜,在感光性樹脂組合物層的兩面層疊。作為保護膜,優(yōu)選感光性樹脂組合物層和保護膜的接合力比感光性樹脂組合物層和支持體的接合力小,另外,優(yōu)選低魚眼缺陷的薄膜。
此外,上述感光性元件在感光性樹脂組合物層、支持體和保護膜之外,還可以有緩沖層、接合層、吸光層、隔氣層等中間層或保護層。
上述感光性元件例如可以直接或者在感光性樹脂組合物層另一面上再層疊保護膜后卷成圓筒狀的卷芯貯存。再有,此時最好以支持體為最外側卷取。由保護端面的觀點出發(fā),在上述滾筒狀的感光性元件輥的端面設置端面隔離件為好,由防潮的觀點出發(fā),設置防濕端面隔離件為好。另外,捆包方法優(yōu)選包在透濕性小的黑紙上進行包裝。上述卷芯例如可舉出聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、ABS樹脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)等塑料等。
為了加快最短顯像時間,有提高感光層粘度(流動性)的方法,但流動性變高時有使保存穩(wěn)定性變差的傾向。另外,其流動性過低時,有對基板的追隨性變差的傾向。
該流動性優(yōu)選120~300μm,更加優(yōu)選120~260μm,特別優(yōu)選140~220μm。該流動性在120μm以下時有對基板的追隨性變差的傾向,超過300μm時有保存穩(wěn)定性變差的傾向。
其中,對流動性的評價方法敘述如下。首先將感光層由支持體薄膜剝離,貼合成2mm厚度,注意不要混入氣泡、折皺、異物等,然后用20mmΦ啞鈴形沖裁模具沖裁,制成試片。接著將試片放置在置于30℃恒溫室中的塑性計的試驗臺上10分鐘,然后在試片上加5kg的荷重,將經(jīng)過15分鐘后試片的厚度變化作為流動性。上述塑性計例如可舉出特開平2-54255號公報中所記載的裝置。
用上述感光性元件制造保護層圖形時,在存在上述保護膜的情況下,可舉出以下方法除去保護膜后,一邊將感光性樹脂組合物層加熱到70~130℃左右,一邊以0.1~1MPa左右(1~10kgf/cm2左右)的壓力將其壓接在回路形成用基板上進行層疊,也可以在減壓下層疊。層疊的表面是通常金屬面,不作特別限制。
這樣層疊完了的感光性樹脂組合物層,通過負片或正片掩膜圖形按圖像狀照射活性光線。上述活性光線的光源使用能有效發(fā)射紫外線、可見光的公知光源,例如碳極電弧燈、水銀蒸汽電弧燈、高壓水銀燈、氙燈等。
接著在曝光后,在感光性樹脂組合物層上存在支持體的場合,除去支持體,然后采用堿性水溶液、水系顯像液、有機溶劑等顯像液的濕式顯像,干式顯像等除去未曝光部進行顯像,可制造保護層圖形。
上述堿性水溶液例如可舉出0.1~5重量%碳酸鈉的稀溶液,0.1~5重量%碳酸鉀的稀溶液,0.1~5重量%氫氧化鈉的稀溶液等。上述堿性溶液的pH優(yōu)選取9~11的范圍,其溫度按感光性樹脂組合物層的顯像性進行調(diào)節(jié)。另外,也可以在堿性水溶液中混入表面活性劑、消泡劑、有機溶劑等。上述顯像方式例如可舉出浸泡方式、噴霧方式、沖洗方式、滑動方式等。
顯像后的處理,也可以按必要采用60~250℃左右的加熱或0.2~10J/cm2左右的曝光,使保護層圖形更加硬化。
在顯像后進行的金屬面的蝕刻中,例如可使用氯化銅、氯化鐵、堿性蝕刻溶液等。
使用本發(fā)明的感光性元件制造印刷電路布線板時,以顯像過的保護層圖形作為掩膜,用蝕刻、鍍層等公知方法對回路形成用基板的表面進行處理。
上述鍍層法例如有鍍銅、鍍軟釬料、鍍鎳、鍍金等。
接著可以用比顯像用的堿性水溶液更強堿性的水溶液剝離保護層圖形。
上述強堿性水溶液例如用1~10重量%氫氧化鈉水溶液、1~10重量%氫氧化鉀水溶液等。上述剝離方式例如可舉出浸漬方式、噴霧方式等。另外,形成保護層圖形的印刷電路布線板既可以是多層印刷電路布線板,也可以有小直徑通孔。
本發(fā)明的感光性樹脂組合物層除去時間的測定方法,例如可以用下述①~⑥的方法進行。
①在上述支持體上涂布感光性樹脂組合物,使感光性樹脂組合物層的厚度為37~42μm,進行干燥,再按必要層疊保護膜,得到感光性元件。上述支持體的表面優(yōu)選不因除去感光性樹脂組合物層有困難而需施加特別處理的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜。
②對①中得到的感光性元件切取30mm×30mm的四方形,作為除去時間測定用試料。
③使用兩面膠帶,將②得到的除去時間測定用試料支持體的與有感光性樹脂組合物層側相反側的面和玻璃基板貼附,將按必要存在的保護膜剝離,得到以玻璃基板/支持體/感光性樹脂組合物層的順序貼合的層疊體。
④設置內(nèi)徑1.2mm的噴霧噴嘴(スプレ-イングシステムジヤパン(株)制,角形全圓錐型噴霧噴嘴),使得上述噴霧噴嘴與感光性樹脂組合物層最近的點(噴霧噴嘴的前端)和感光性樹脂組合物層的距離為50mm。
⑤以0.05MPa噴霧噴射1.0重量%碳酸鈉水溶液,使得與30mm×30mm四方形的感光性樹脂組合物層全面充分接觸。再有,噴霧壓力可以容易地對供給噴霧噴嘴1.0重量%碳酸鈉水溶液的管道壓力進行測定。
⑥接著在水槽的水中輕輕清洗5秒鐘左右,觀察未除去的感光性樹脂組合物層。將能夠完全除去感光性樹脂組合物層的噴霧噴射時間作為除去時間。
本發(fā)明的硬化膜孔破裂數(shù)的測定方法,例如可以采用下述①~⑧的方法進行。
①在上述支持體上涂布感光性樹脂組合物,使感光性樹脂組合物層的厚度為37~42μm,進行干燥,再按必要層疊保護膜,得到感光性元件。上述支持體的表面優(yōu)選不因除去感光性樹脂組合物層有困難而需施加特別處理的聚對苯二甲酸乙二醇酯。
②在兩面貼有35μm厚銅箔的1.6mm厚的鍍銅層壓板((株)アイン制)上,用沖壓機做成18個3連孔,使其成為直徑6mm的孔3個相連、且長度為16mm的
圖1所示的3連孔。接著使用裝有相當#600的刷子的研磨機(三啟(株)制),除去做成鍍銅層壓板3連孔時生成的毛刺,將其作為孔破裂數(shù)測定基板。再有,優(yōu)選將3連孔和3連孔以6~18mm左右的距離等間隔并列做成。
③對①中得到的感光性元件,一邊剝離在②中得到的孔破裂數(shù)測定用基板單側面上按必要存在的保護膜,一邊將感光性樹脂組合物層用120℃的熱輥以0.4MPa的壓力、1.5m/分的速度進行層疊。
④在③中得到的孔破裂測定用基板上,對層疊的感光性樹脂組合物層用有高壓水銀燈的曝光機(オ-ク(株)制,商品名HMW-201B),以41段灰梯尺(富士寫真フイルム(株)制,商品名日立41段灰梯尺)的24段光硬化的曝光量使之光硬化,得到硬化膜,接著剝離支持體。
⑤設置內(nèi)徑1.2mm的噴霧噴嘴(スプレ-イングシステムジヤパン(株)制,角形全圓錐型噴霧噴嘴),使得上述噴霧噴嘴與感光性樹脂組合物層最近的點(噴霧噴嘴的前端)和硬化膜的距離為50mm。
⑥以噴霧壓力0.05MPa噴霧噴射1.0重量%碳酸鈉水溶液36秒鐘×3次,使得與硬化膜全面充分接觸。再有,噴霧壓力可以容易地對供給噴霧噴嘴1.0重量%碳酸鈉水溶液的管道壓力進行測定。另外,優(yōu)選使用多數(shù)個噴霧噴嘴或可自由變向噴嘴,使得1.0重量%碳酸鈉水溶液與18個三連孔充分接觸。
⑦接著觀察在幾個3連孔位置硬化膜破裂,測定破裂位置數(shù)。
⑧進行上述①~⑦的操作共3次,取其破裂位置數(shù)的平均值作為孔破裂數(shù)。
在對除去37~42μm厚以外的感光性元件的感光性樹脂組合物層的時間進行測定的場合,或者對硬化它們得到的硬化膜的孔破裂數(shù)進行測定的場合,例如可舉出將多數(shù)個感光性元件以感光性樹脂組合物層重合的方式貼合的方法,將感光性樹脂組合物溶解在丙酮、N,N-二甲基甲酰胺等溶劑中、按照上述流動性的范圍制作37~42μm厚的感光性元件的方法等,但優(yōu)選后一種方法。
試驗例以下通過試驗例說明本發(fā)明。
(例1~8)配合表1所示的材料得到溶液。接著在得到的溶液中溶解表2和表3所示的(B)成分,得到感光性樹脂組合物的溶液。
表1
表2
表3
另外,以下說明表2和表3中使用的材料。
FA024M上述通式(IV)中R=甲基、m3=n2=n3=6(平均值)的化合物(日立化成工業(yè)(株)制商品名),分子量1282,碳數(shù)2-6的亞烷基二醇的單元數(shù)18FA-023M上述通式(III)中R=甲基、m1=m2=2(平均值)、n1=12(平均值)的化合物(日立化成工業(yè)(株)制商品名),分子量1194,碳數(shù)2-6的亞烷基二醇的單元數(shù)16HEMA-9P上述通式(V)中R=氫原子、m4=1(平均值)、n4=9(平均值)的化合物(新中村化學工業(yè)(株)制試劑名),分子量676,碳數(shù)2-6的亞烷基二醇的單元數(shù)10UA-13聚(乙烯·丙二醇)改性尿烷二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(株)制商品名),分子量1056,碳數(shù)2-6的亞烷基二醇的單元數(shù)20APG-400七亞丙基二醇二丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(株)制商品名),分子量532,碳數(shù)2-6的亞烷基二醇的單元數(shù)74G四亞乙基二醇二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(株)制商品名),分子量330,碳數(shù)2-6的亞烷基二醇的單元數(shù)4接著將得到的感光性樹脂組合物的溶液均一涂布在16μm厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(帝人(株)制,商品名G2-16)上,用100℃的熱風對流式干燥機干燥10分鐘后,用聚乙烯制保護膜(タマポリ(株)制,商品名NF-13)保護,得到感光性元件。感光性樹脂組合物層干燥后的膜厚為40μm,流動性在140~220μm的范圍內(nèi)調(diào)整。
然后,用裝有相當#600的刷子的研磨機(三啟(株)制),對在兩面層疊銅箔(厚35μm)的玻璃環(huán)氧材的鍍銅層壓板(日立化成工業(yè)(株)制,商品名MCL-E-61)的銅表面進行研磨,水洗后用空氣流干燥,再將得到的鍍銅層壓板加溫到80℃,一邊剝離保護膜,一邊用120℃的熱輥以1.5m/分的速度在該銅表面上層疊上述感光性樹脂組合物層。
另外,分辨力是使有斯托瓦(スト-ファ-)21段灰梯尺的感光工具、和作為分辨力評價用負片的具有線寬/間隔寬30/30~200/200(單位μm)的布線圖形的感光工具密合,以斯托瓦的21段灰梯尺顯像后的殘存段數(shù)為8.0的能量進行曝光。其中曝光用裝有高壓水銀燈的曝光機(オ-ク(株)制,商品名HMW-201B)進行。分辨力由顯像處理能干凈除去的線寬之間的間隔寬的最小值進行評價。分辨力的評價數(shù)值越小越是良好值。
另外,外伸剝離性是如上述那樣進行層疊,按規(guī)定的曝光量進行曝光,接著用上述顯像液顯像后,在脫脂浴(PC-455(メルテツクス社制)20重量%)中浸漬2分鐘,進行水洗。然后在弱蝕刻浴(過硫酸銨150g/升)中浸漬60秒鐘,水洗。接著按照在10重量%硫酸浴中浸漬1分鐘依次進行前處理、投入硫酸銅鍍浴(硫酸銅75g/升,硫酸190g/升,氯離子50ppm,外層膠(カパ-グリ-ム)PCM(メルテツクス社制)5毫升/升)中,在室溫下以1.2A/dm2進行60分鐘硫酸銅鍍。
然后水洗,在10重量%氟硼酸中浸漬1分鐘,再投入鍍軟釬料浴(45重量%氟硼酸錫64毫升/升、45重量%氟硼酸鉛22毫升/升、42重量%氟硼酸200毫升/升、プルテインLA電導鹽(メルテツクス社制)20毫升/升、プルテインLA起動劑(メルテツクス社制)41毫升/升),在室溫下以2A/dm2進行15分鐘軟釬料鍍。水洗、干燥后剝離保護層,用光學顯微鏡、投影儀等由上方測定剝離保護層殘留的最小的鍍層線寬,用該值評價外伸剝離性。外伸剝離性數(shù)值越大,越是良好值。
另外,凹坑可靠性是在1.6mm厚的鍍銅層壓板上有直徑4mm、5mm和6mm的孔分別三連的異形孔的基材(參照圖1)上,將感光性樹脂組合物的層疊體兩面層疊,以預定的曝光量進行曝光,進行3次36秒鐘的顯像。顯像后測定圖1中異形孔合計216個中的破裂孔數(shù),取異形凹坑破裂率(下列式(1))進行評價,將其作為凹坑可靠性。
異形凹坑可靠性破裂率(%)=(孔破裂數(shù)(個)/216(個))×100...(1)此外,顯像殘渣的除去性是將得到的感光性元件的感光性樹脂組合物層取出0.4m2,加到1.0重量%碳酸鈉水溶液中,用攪拌機在30℃下攪拌90分鐘,放置一周。一周后將容器底部堆積、附著的殘渣再次攪拌除去,然后觀察底部殘存、附著的殘渣量。再以下式(2)評價殘渣除去量。
○殘渣除去量為81%以上除去△殘渣除去量為20~80%除去
×殘渣除去量為19%以下除去殘渣除去量={(殘渣殘存、附著部位的面積)/(底部面積)}×100將以上結果匯總示于表4和表5。
表4
表5
如表4和表5所表明的那樣,特別是例1、2和3外伸剝離性、異形凹坑破裂率優(yōu)良,而且分辨力和殘渣除去性也良好。(例9)配合甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯/苯乙烯共聚物(20/57/21/2(重量比)),重均分子量=60000、60重量%甲基溶纖素/甲苯=6/4(重量比)溶液105g(固態(tài)成分64g),F(xiàn)A-024M36g,1,7-雙(9-吖啶基庚烷)0.4g,N,N’-四乙基-4,4’-二氨基二苯甲酮0.04g,淡結晶紫0.9g,三溴代甲基苯砜1.3g,孔雀綠0.05g,丙酮12.0g,甲苯5.0g和甲醇3.0g,得到溶液。
接著將得到的感光性樹脂組合物的溶液均一涂布在16μm厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(商品名G2-16,帝人(株)制)上,用100℃的熱風對流式干燥機干燥10分鐘后,用聚乙烯制保護膜(商品名NF-13,タマポリ(株)制)保護,得到感光性樹脂組合物層疊體。感光性樹脂組合物層干燥后的膜厚為40μm。(例10)
配合甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯共聚物(17.5/52.5/30(重量比)),重均分子量=80000、60重量%甲基溶纖素/甲苯=6/4(重量比)溶液89g(固態(tài)成分53g),甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸丁酯/甲基丙烯酸烯丁酯共聚物(24/44/15/17),重均分子量=30000、60重量%甲基溶纖素/甲苯=6/4(重量比)溶液19g(固態(tài)成分11g),F(xiàn)A-024M36g,1,7-雙(9-吖啶基庚烷)0.4g,N,N’-四乙基-4,4’-二氨基二苯甲酮0.04g,淡結晶紫0.9g,三溴代甲基苯砜1.3g,孔雀綠0.05g,丙酮12.0g,甲苯5.0g和甲醇3.0g,得到溶液。
接著將得到的感光性樹脂組合物的溶液均一涂布在16μm厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(商品名G2-16,帝人(株)制)上,用100℃的熱風對流式干燥機干燥10分鐘后,用聚乙烯制保護膜(商品名NF-13,タマポリ(株)制)保護,得到感光性樹脂組合物層疊體。感光性樹脂組合物層干燥后的膜厚為40μm。
然后,對例1、例2、例6、例8、例9和例10中得到的感光性元件切取30mm×30mm的四方形,將感光性元件的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜面和玻璃基板貼附后,剝離聚乙烯制保護膜,得到以玻璃基板/聚對苯二甲酸乙二醇酯/感光性樹脂組合物的順序貼合的層疊體。
接著,設置內(nèi)徑1.2mm的噴霧噴嘴(スプレ-イングシステムジヤパン(株)制,角形全圓錐型噴霧噴嘴),使得上述噴霧噴嘴與感光性樹脂組合物層最近的點(噴霧噴嘴的前端)和感光性樹脂組合物層的距離為50mm。以0.05MPa噴霧噴射1.0重量%碳酸鈉水溶液,使得與30mm×30mm四方形的感光性樹脂組合物層全面充分接觸。將能夠完全除去感光性樹脂組合物的時間作為感光性樹脂組合物層的除去時間,將結果示于表6。
此外,在兩面貼有35μm厚銅箔的1.6mm厚的鍍銅層壓板((株)アイン制)上,用沖壓機做成18個3連孔,使其成為直徑6mm的孔3個相連、且長度為16mm的圖1所示的3連孔。使用裝有相當#600的刷子的研磨機(三啟(株)制),除去做成鍍銅層壓板3連孔時生成的毛刺,將其作為孔破裂數(shù)測定用基板。再有,將3連孔和3連孔以10mm的距離等間隔并列做成。
然后,對例1、例2、例6、例8、例9和例10中得到的感光性元件,一邊剝離聚乙烯制保護膜,一邊將感光性樹脂組合物層用120℃的熱輥以0.4MPa的壓力、1.5m/分的速度進行層疊。在孔破裂測定用基板上,對層疊的感光性樹脂組合物層用有高壓水銀燈的曝光機(オ-ク(株)制,商品名HMW-201B),以41段灰梯尺(富士寫真フイルム(株)制,商品名日立41段灰梯尺)的24段光硬化的曝光量使之光硬化,得到硬化膜,接著剝離支持體。
然后設置內(nèi)徑1.2mm的噴霧噴嘴(スプレ-イングシステムジヤパン(株)制,角形全圓錐型噴霧噴嘴),使得上述噴霧噴嘴與感光性樹脂組合物層最近的點(噴霧噴嘴的前端)和硬化膜的距離為50mm。以噴霧壓力0.05MPa噴霧噴射1.0重量%碳酸鈉水溶液36秒鐘×3次,使得與硬化膜全面充分接觸。接著觀察在幾個3連孔位置硬化膜破裂,將破裂位置數(shù)作為孔破裂數(shù),將結果示于表6。再有,噴霧噴嘴以30mm間隔并列設置6個,使1.0重量%碳酸鈉水溶液與18個3連孔充分接觸。
表6
如上所述,使用例1、例2、例6、例8、例9和例10中得到的感光性元件,能夠提高印刷電路布線板的生產(chǎn)流程速度。其中特別是例1和例2中得到的感光性元件能夠有效防止蝕刻液、鍍液等侵入到通孔內(nèi),從而能夠防止印刷電路布線板的不良導通、不良短路等,因此可以高成品率地制造印刷電路布線板。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性如上所述,本發(fā)明可以高成品率地制造印刷電路布線板。從而大幅度提高印刷電路布線板的生產(chǎn)流程速度,由于縮減了制造時間,所以能夠有效地提高操作性和生產(chǎn)率。
此外,本發(fā)明對于印刷電路布線的高密度化和高分辨力化是有效的。
權利要求
1.感光性樹脂組合物,其特征在于,是滿足以下(1)和(2)的感光性樹脂組合物,(1)對具有37~42μm厚度的上述感光性樹脂組合物層,以下列條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液時,上述感光性樹脂組合物層能夠在20秒以內(nèi)被除去。其中,上述條件是上述噴霧的噴嘴內(nèi)徑為1.2mm,噴霧壓力為0.05MPa,上述噴霧噴嘴與上述感光性樹脂組合物層最近的點和上述感光性樹脂組合物層的距離為50mm,而且(2)在有直徑6mm的孔3個相連、長度為16mm的三連孔18個的鍍銅層壓板上,層疊有上述厚度的感光性樹脂組合物層,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,對該硬化膜以上述條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液36秒鐘×3次時,孔破裂數(shù)在5個以下。
2.根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,上述感光性樹脂組合物層能夠在19秒以內(nèi)除去。
3.根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,上述感光性樹脂組合物層能夠在18秒以內(nèi)除去。
4.感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,上述(B)成分含分子內(nèi)具有乙二醇鏈和丙二醇鏈二者的聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯,上述(C)成分含有吖啶或在分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物。
5.根據(jù)權利要求4所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,上述(C)成分含分子內(nèi)有至少一個吖啶基的吖啶系化合物,是以通式(II)表示的化合物 (式中,R3表示碳原子數(shù)6~12的亞烷基)。
6.感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,上述(A)成分是重均分子量30000~70000的聚合物成分,上述(B)成分含有分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵、碳數(shù)2~6的亞烷基二醇單元數(shù)為15以上的光聚合性化合物。
7.感光性樹脂組合物,其特征在于,含有(A)粘合劑聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引發(fā)劑,上述(A)成分是重均分子量30000~70000的聚合物成分,上述(B)成分含有分子內(nèi)有至少一個乙烯不飽和鍵、分子量為900以上的光聚合性化合物。
8.根據(jù)權利要求4~7任一項所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,相對于(A)成分和(B)成分的總量100重量份數(shù),(A)成分的配合量為40~80重量份數(shù),(B)成分的配合量為20~60重量份數(shù),以及(C)成分的配合量為0.01~3重量份數(shù)。
9.感光性元件,其特征在于,將權利要求1~8所述的任一種感光性樹脂組合物涂布在支持體上,再進行干燥而制成。
10.保護層圖形的制造方法,其特征在于,將權利要求9所述的感光性元件層疊,使感光性樹脂組合物層密合在回路形成用基板上,按圖像狀照射活性光線,使曝光部份光硬化,經(jīng)顯像除去未曝光部份。
11.印刷電路布線板的制造方法,其特征在于,對按權利要求10所述的保護層圖形的制造方法制造了保護層圖形的回路形成用基板進行蝕刻或鍍層。
全文摘要
本發(fā)明是滿足以下(1)和(2)的感光性樹脂組合物(1)對具有37~42μm厚度的上述感光性樹脂組合物層,以下列條件噴射噴霧1.0重量%碳酸鈉水溶液時,上述感光性樹脂組合物層能夠在20秒以內(nèi)被除去。其中,上述條件是上述噴霧的噴嘴內(nèi)徑為1.2mm,噴霧壓力為0.05MPa,上述噴霧噴嘴與上述感光性樹脂組合物層最近的點和上述感光性樹脂組合物層的距離為50mm。(2)在有直徑6mm的孔3個相連、長度16mm的三連孔18個的鍍銅層壓板上,層疊有上述厚度的感光性樹脂組合物層,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,對該硬化膜以上述條件噴霧噴射1.0重量%碳酸鈉水溶液36秒鐘×3次時,孔破裂數(shù)在5個以下。
文檔編號H05K3/06GK1432141SQ01810239
公開日2003年7月23日 申請日期2001年5月29日 優(yōu)先權日2000年5月29日
發(fā)明者深谷雄大, 遠藤昌樹, 阿部卓治, 板垣勝俊 申請人:日立化成工業(yè)株式會社