專利名稱:多片基板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及在一塊基板中,含多片(multi-piece)部的多片基板。詳細(xì)地說,涉及一塊基板以僅含有合格品片部構(gòu)成的多片基板(所謂的線鋸基板(jigsaw board))及其制造方法。
背景技術(shù):
在配線基板中,有一塊基板中含多片部的多片基板。對于多片基板,后道工序有時(shí)要求所有片部都是合格品。但在現(xiàn)實(shí)的工藝上,難以完全排除多片基板上含不合格品的片部。但是,如果由于含有1個(gè)不合格品的片部、因而就把它從該基板中的其他的合格品的片部劃出去,那也是資源上的浪費(fèi)。
為此,在不合格品的片部和合格品的片部都含有的基板(以下,稱為“混載板”)的場合,可以把不合格品的片部取下,在它的空處裝上從其他混載板取下的合格品片部、做成所謂的線鋸基板。這樣,就能有效地利用資源、向后道工序提供所有片部都是合格品的多片基板。
但是,在以往的線鋸基板中,都是在最外層形成后,通過將聯(lián)系片部與機(jī)架部的橋形片切割和接合以后,再進(jìn)行片部的取下與安裝的。為此,存在下列問題。即,機(jī)架部及原來在機(jī)架部上面的片部,與后來貼換安裝的片部之間有時(shí)會產(chǎn)生段差。為此,在后道工序的例如印刷搭載電子元件用的焊膏的工藝中,由于基板表面的段差有時(shí)印刷不好。此時(shí),由于焊料不充分,導(dǎo)致焊接質(zhì)量下降。又,由于貼換使橋形片(接縫部分)的強(qiáng)度降低,有時(shí)會發(fā)生后道工序不希望的脫落現(xiàn)象。
又,以往的線鋸基板中,除了代替不合格品的片部安裝的片部以外,包括機(jī)架部在內(nèi)一起制造的基板基本上都用同樣的材料。為此,有下面一些問題。即,在處理多片基板的后道工序中,作業(yè)上,對機(jī)架部有一定程度的強(qiáng)度要求。這方面,近年來,從小型的要求出發(fā),最終形成制品的一部分的片部要求薄壁化。片部如果薄壁化,則機(jī)架部也薄了,所以,在以往的多片基板中,它和強(qiáng)度的要求是作折衷處理的。雖然可以把機(jī)架部做成寬幅,但片部也不能多裝。
又,在使用片部以后,機(jī)架部就不要了,但由于它與片部基本上是同樣的材料,所以廢棄及再生也不一定容易。
這里,本發(fā)明就是針對上述問題而提出的。即作為課題,不但要確保貼換時(shí)貼換的片部與其他部分間的平面性,而且能防止接縫部分的強(qiáng)度的降低,同時(shí),提供能使機(jī)架部的材料與片部無關(guān)的多片基板及其制造方法。
發(fā)明內(nèi)容
按照用來解決上述課題的本發(fā)明的多片基板,包括機(jī)架部,以及對著上述機(jī)架部連接的多片部,其中,對于至少1個(gè)片部,在與上述機(jī)架連接處的內(nèi)層有接縫,該接縫被上層覆蓋。又,在“上層”,含有疊層于比存在接縫的層更外側(cè)的層的一切。例如,如果有接合強(qiáng)度,可以有焊料保護(hù)層。
在這種多片基板中,貼換的片部與機(jī)架部間的接縫,存在于它的連接處的內(nèi)層。這里,接縫,可以存在于連接處自體(所謂橋形片),也可以存在于連接處附近的機(jī)架部或片部。但是,在片部側(cè)存在接縫時(shí),由于會傷及制品的片部,所以實(shí)際不這樣做。這樣,通過片部及機(jī)架部的連接處的切斷和接合,進(jìn)行片部的取下及安裝,所以,要考慮通過貼換形成的接縫部分的強(qiáng)度下降的問題??墒?,接縫存在于連接處的內(nèi)層,其接縫由上層全部覆蓋。即,以上層進(jìn)行接縫部分的強(qiáng)度的補(bǔ)強(qiáng)。這樣,可防止接縫部分的強(qiáng)度的降低。這樣,即使進(jìn)行片部的貼換,能夠?qū)⑴c原來基板具有的同樣的強(qiáng)度保持在接縫部分。這樣,就不會在后道工序出現(xiàn)脫落現(xiàn)象。
又,接縫被上層覆蓋。結(jié)果,將機(jī)架部與片部縫合后,上層又被疊層。且,在形成上層時(shí)由于要加壓,所以,能確保貼換的片部與其他部分間的平面性。又,由于接縫被上層覆蓋,從外部看不見接縫,所以外觀也好。
本發(fā)明相關(guān)的多片基板的制造方法,多片基板包括機(jī)架部、以及對著機(jī)架部連接的多片部,在尚未形成最外層圖形的狀態(tài),在具有多個(gè)含不合格品的片部和合格品片部的多片基板的場合,當(dāng)一塊多片基板的不合格品的片部的周圍出現(xiàn)縫隙,將該片部除去,從其他的多片基板同樣地對合格品的片部進(jìn)行切割,在除去不合格品的片部的空處,插入從其他多片基板切割下來的合格品的片部,在這種狀態(tài)下,疊層上層、將接縫覆蓋。
在這種制造方法中,從還未形成最外層圖形的混載板將不合格品的片部切去。此時(shí)的縫隙,可以出現(xiàn)在連接處或它的附近,更具體說,可出現(xiàn)于聯(lián)系片部與機(jī)架部的橋形片,或橋形片根部附近的機(jī)架部。同樣,可以從還未形成最外層圖形的混載板將合格品的片部切去。又,將它們的縫隙進(jìn)行縫合。這樣,形成接縫。在接縫被形成的狀態(tài),再疊層上層,覆蓋接縫。這樣,在連接處的內(nèi)層,可制造存在接縫的多片基板。
又,在與本發(fā)明相關(guān)的多片基板的制造方法中,最好用粘接劑接合縫隙處后,疊層上層。這樣,用粘接劑接合縫隙處的強(qiáng)度可確保。又,通過以上層完全覆蓋接縫,可補(bǔ)強(qiáng)接縫部分的強(qiáng)度。因此,能確實(shí)防止因貼換形成的接縫部分的強(qiáng)度的降低。
又,在本發(fā)明相關(guān)的多片基板的制造方法中,作為上層,最好采用含有粘接劑成分的上層。這樣,含于上層的粘接劑成分在疊層時(shí)可進(jìn)入接縫,可粘著縫隙。又,由于能以上層補(bǔ)強(qiáng)接縫部分的強(qiáng)度,能確實(shí)防止因貼換形成的接縫部分的強(qiáng)度的降低。
又,本發(fā)明的另外的多片基板,包括機(jī)架部,以及對著機(jī)架部通過橋形片連接的多片部,機(jī)架部,以流動(dòng)物成型得到。多片部,在機(jī)架部成型前制造。
又,本發(fā)明相關(guān)的多片基板的制造方法,在包括機(jī)架部、以及對著機(jī)架部通過橋形片連接的多片部的多片基板進(jìn)行制造時(shí),將預(yù)先制造的各片部配置于多片基板中應(yīng)放置片部的位置,圍著配置的個(gè)片部注入流動(dòng)物、成型,形成為機(jī)架部。進(jìn)而可制造上述的多片基板。
在這種多片基板中,以流動(dòng)物成型得到機(jī)架部。為此,可以與片部材料無關(guān)地選擇流動(dòng)物。因此,可選擇在后道工序片部被除去后廢棄及再生容易的材料品。
這種多片基板,最好在切入機(jī)架部的位置有突起部,突起部,在片部通過橋形片連接,與片部一起制造。這樣,可確保片部與機(jī)架部間的接合面積更大。這樣,可獲得片部與機(jī)架部間的更確實(shí)的接合強(qiáng)度。
為此,在這種制造方法中,作為配置的各片部,可以采用有通過橋形片連接的突起物的片部,通過流動(dòng)物的成型,突起物成為切入機(jī)架部的狀態(tài)。
又,在機(jī)架部成型時(shí),在多片基板中,從機(jī)架部的邊緣更外側(cè)的位置注入流動(dòng)物,成型后,可對注入位置的凸?fàn)畈窟M(jìn)行彎折。這樣,可確保機(jī)架部的平坦性更好。即,在注入口處會不可避免地出現(xiàn)凸?fàn)畹陌疾?。如果在這種部分進(jìn)行彎折,留下的機(jī)架部上就沒有凹部。
又,本發(fā)明的另一種多片基板,包括機(jī)架部,以及對著機(jī)架部通過橋形片連接的多片部,其中,多片部全部都與機(jī)架部分開制造,然后接合在機(jī)架部。又,在本發(fā)明的多片基板的制造方法中,準(zhǔn)備好具有多個(gè)用來配置片部的空處的機(jī)架部,以及與機(jī)架部分開制造的多片部,在機(jī)架部的各空處配置各片部。將各片部接合在上述機(jī)架部,形成多片基板。
在這種多片基板中,機(jī)架部是與片部分開制造的。換言之,這種多片基板,是片部與機(jī)架部分別制造、再在它的機(jī)架部上接合片部。因此,所有的片部都容易做成合格品,機(jī)架部及片部也可容易地各自決定材質(zhì)。因此,即使薄壁時(shí),也不把機(jī)架部做成寬幅,以確保強(qiáng)度。
本發(fā)明的多片基板,各片部與機(jī)架部之間的各接縫可圍著橋形片的根部被安裝于機(jī)架部。又,在本發(fā)明的多片基板的制造方法中,作為片部,可采用具有含配線圖形的功能部、及設(shè)置在功能部周圍的突起部的片部,作為機(jī)架部,可采用對應(yīng)于片部的突起部的凹部設(shè)置在各空處邊緣的機(jī)架部。通過接合,突起部被配合于凹部、可形成機(jī)架部的一部分。
這樣,各片部與機(jī)架部間的各接縫的面積,比橋形片上設(shè)置接縫時(shí)大,因此可使接合強(qiáng)度提高,在后道工序不會發(fā)生脫落現(xiàn)象。
又,本發(fā)明另一種多片基板,包括跨過機(jī)架部及片部覆蓋機(jī)架部與片部的接縫的粘著片。作為接縫,使片部有突起部的部分以及機(jī)架部上具有對應(yīng)于片部的突起部的凹部的部分接合。
這種多片基板,各片部與機(jī)架部間的接合強(qiáng)度高。又,在片部有突起部,適用于在機(jī)架部的凹部安裝,通過以粘著片覆蓋與該突起部對應(yīng)的凹部,片部的本體部分不粘著粘著片,可獲得更高的接合強(qiáng)度。
按照本發(fā)明相關(guān)的多片基板的制造方法,多片基板包括機(jī)架部、以及對著機(jī)架部連接的多片部,預(yù)先組裝上述機(jī)架部及上述片部,而后以粘著片覆蓋該接縫。以制造上述的多片基板。
又,在各片部與機(jī)架部間設(shè)置的粘著片上,蓋上金屬箔則更好。這樣,可以減輕多片基板的裂開。又,可以減輕樹脂的外溢。
又,作為片部,采用具有定位目標(biāo)圖形的片部時(shí),有時(shí)暗地里由粘著片將定位目標(biāo)圖形部分覆蓋。為此,最好預(yù)先將該部分的粘著片切去,不讓定位目標(biāo)圖形隱蔽。這樣就可以不用粘著片覆蓋,使用定位目標(biāo)圖形。
圖1表示第1實(shí)施形態(tài)的配線基板的剖視圖。
圖2表示多片基板中的橋形片的放大圖。
圖3表示從原有的多片基板除去不合格品片部狀態(tài)的平面圖。
圖4表示從別的多片基板取下的合格品片部的平面圖。
圖5表示在原有的多片基板除去不合格品片部的部分安裝合格品片部的狀態(tài)的平面圖。
圖6表示多片基板整體構(gòu)成的例的剖視圖。
圖7表示多片基板制造的1個(gè)過程(內(nèi)層圖形形成)的剖視圖。
圖8表示多片基板制造的1個(gè)過程(裝配加壓)的剖視圖。
圖9表示多片基板制造的1個(gè)過程(圖形光刻膠形成)的剖視圖。
圖10表示多片基板制造的1個(gè)過程(外層圖形形成)的剖視圖。
圖11表示制品中的多片基板的配置例的圖。
圖12表示第2實(shí)施形態(tài)的多片基板的平面圖。
圖13表示多片基板中的橋形片附近的放大圖。
圖14表示用于多片基板制造的片部的平面圖。
圖15表示用于多片基板制造的下模具的平面圖。
圖16表示用于多片基板制造的上模具的平面圖。
圖17表示突起部附近的片部與模具間的間隙狀況的部分平面圖。
圖18表示突起部的形狀的變形例的部分平面圖。
圖19表示第3實(shí)施形態(tài)的多片基板的平面圖。
圖20表示多片基板中的橋形片附近的放大圖。
圖21表示用于多片基板制造的片部的平面圖。
圖22表示用于多片基板制造的機(jī)架部的平面圖。
圖23表示接縫形狀的變形例(其1)的圖。
圖24表示接縫形狀的變形例(其2)的圖。
圖25表示制品中的多片基板的配置例的圖。
圖26表示多片基板中的橋形片附近的放大圖。
圖27表示采用粘著片的多片基板的剖視圖。
圖28表示采用粘著片及銅箔的多片基板的剖視圖。
圖29表示在多片基板的接合部有基準(zhǔn)標(biāo)記(fiducialpad)的橋形片附近的放大圖。
具體實(shí)施形態(tài)下面,對本發(fā)明的具體實(shí)施形態(tài)參照附圖作詳細(xì)說明。
本實(shí)施形態(tài)的多片基板101,如圖1所示,具有機(jī)架部102,及4個(gè)片部103~106。各片部103~106與機(jī)架部102間開槽107。且,將各片部103~106固定于機(jī)架部2的橋形片108可隨處設(shè)置。在圖1中,片部103與片部105,片部104與片部106,各自的圖形相同。片部103及片部105,與片部104及片部106的圖形不相同。但是它們相互都向內(nèi)配置,作為制品是相同的。圖1的多片基板1的尺寸約為14cm×24cm。
片部103~106之一的片部103中的橋形片108的概略構(gòu)成被展示于圖2。在圖2,在將機(jī)架部102與片部103連在一起的橋形片108的近中央處存在接縫109。這種接縫109,存在于橋形片108的內(nèi)層部,從外面看不到。且,接縫109中夾著粘接劑。最后,接縫109用粘接劑接合、再以上層完全覆蓋。又,在使用粘接劑時(shí),基板的里側(cè)可貼上耐熱帶(聚亞胺帶等)。用以防止粘接劑流出造成的污染。又,圖2所示那樣的接縫109存在于在片部103的周圍的所有橋形片108的內(nèi)層部。但是,由于上層的疊層,實(shí)際上,接縫通常并不留下。另一方面,在別的片部104~106的周圍的橋形片108的內(nèi)層部,圖2中那樣的接縫109是不存在的。
圖1的多片基板1,是在原先形成最外層圖形前的狀態(tài),片部104~106為合格品,是片部103中含不合格品片部的混載板基板。且,除去該不合格品的片部,將從別的混載板取下的合格品片部103代替它安裝到它的空處,成為所有片部都是合格品的基板,再疊層上層并形成最外層圖形的就是圖1的狀態(tài)。在這樣的多片基板101中,原先的部分(機(jī)架部102及片部104~106)與貼換部分(片部103)間的接縫109存在于片部103的周圍的橋形片108的內(nèi)層部。
為此,在多片基板101中,對于貼換安裝的片部103,應(yīng)考慮其周圍的各橋形片108的強(qiáng)度是否降低的問題。但是,片部103與底座102在橋形片108的縫隙處彼此用粘接劑接合,上層再疊層。即,接縫109被上層完全覆蓋。因此,貼換安裝的片部103的周圍的各橋形片108的強(qiáng)度補(bǔ)強(qiáng)可望實(shí)現(xiàn)。這樣,貼換安裝的片部103的周圍的各橋形片108可以確保具有與原先的片部104~106周圍的各橋形片108幾乎同樣的強(qiáng)度。又,由于接縫109形成后上層疊層,通過疊層時(shí)加壓使接縫109的兩側(cè)平坦。又,接縫109暗地被上層覆蓋,外觀也美。
多片基板101大體上經(jīng)下面的貼換過程制造。首先,對形成最外層圖形前的狀態(tài)的多片基板檢查片部好不好。如檢查發(fā)現(xiàn)混載板超過2件,對某混載板(合格品片部盡量多的),留下其合格品的片部,除去不合格品的片部,成為圖3的狀態(tài)。在除去混載板的不合格品的片部時(shí),在將要除去的片部的周圍的各橋形片的近中央處用鉆孔銑床打開口子,使得要除去的片部、及其周圍各橋形片108上一部分從混載板除去。
另一方面,從別的混載板取下合格品的片部103。此時(shí),同樣地在橋形片108的近中央位置開口子。在取下的片部103上,如圖4所示,帶著周圍的各橋形片108的一部分。又,兩者的縫隙的形狀,應(yīng)在安裝時(shí)相互趨近一致。且,在圖3中的空處111配置圖4的片部103,用粘接劑接合兩者的縫隙。依此得到圖5的狀態(tài)。如圖5所示,接縫109存在于橋形片108的近中央處。
又,接合縫隙時(shí)使用的粘接劑,可以用液體狀的,也可以用固體粒狀進(jìn)行加熱處理。但是,當(dāng)上層含粘接劑成分、從那里供給粘接劑成分時(shí),兩者的縫隙的彼此接合可不用粘接劑。又,在進(jìn)行片部103的配置時(shí),為了保證與機(jī)架部102或別的片部的相對位置的精度,可使用帶定位桿的量具,可在定位不變下使粘接劑硬化。
又,按圖5的狀態(tài)使上層疊層、進(jìn)行最外層圖形的形成,可得到圖1的狀態(tài)。在該狀態(tài)下,由于接縫109被上層暗覆蓋,接縫109從外部是看不到的。
下面,說明在多層配線板的具體制造過程中怎樣進(jìn)行上述片部的貼換。這里,作為例子,以制作圖6所示斷面構(gòu)造的6層貫通減法作為前提。首先,對用來達(dá)到圖6的斷面構(gòu)造的制造工藝進(jìn)行簡單說明。最初,作為底座基材,在兩張銅貼面板的各面進(jìn)行圖形加工。依此形成圖7那樣的內(nèi)層圖形114。內(nèi)層圖形114相當(dāng)于圖6中的Lay2~5。又,組合這些時(shí)如果加壓,就成為圖8的狀態(tài)。即,在兩基材115、115的上下經(jīng)半固化片116、116配置銅箔117、117。又,在兩基材115,115之間也夾入半固化片116,通過加壓成為一體化。
又,開貫通孔118,全面進(jìn)行化學(xué)鍍銅119,又在表里面形成圖形光刻膠層120,得到圖9的狀態(tài)。然后,在沒有圖形光刻膠層120的領(lǐng)域形成電氣鍍銅121,剝離圖形光刻膠層120,再通過快速腐蝕除去多余的銅,得到圖10的狀態(tài)。這樣,外層的Lay1,6被形成。又,如果形成焊料保護(hù)層122,則成為圖6的狀態(tài)。此后,進(jìn)行外形加工,通電檢查。
在上述的制造工藝中,能夠進(jìn)行上述的片部的貼換,在最外層圖形形成之前,應(yīng)檢驗(yàn)圖形形成的質(zhì)量如何。具體就是圖7的狀態(tài)。在該狀態(tài)下,通過貼換,在橋形片108存在的接縫109被上層(半固化片116,焊料保護(hù)層122)暗地覆蓋。為此,即使因?yàn)槠?03的貼換使橋形片108強(qiáng)度降低,通過上層仍可對橋形片108的強(qiáng)度進(jìn)行補(bǔ)強(qiáng)。結(jié)果,貼換導(dǎo)致的橋形片強(qiáng)度降低被得到抑制。又,由于疊層上層時(shí)的加壓,可確保平坦性。又,由于接縫109被上層覆蓋看不見,所以外觀也美。
又,為了在圖7的狀態(tài)下進(jìn)行貼換,留下Lay1,6的圖形形成工藝。為此,例如需要通往用于元件實(shí)裝后的功能檢查的底座的引線等、以及片部彼此間的連接線、或片部與機(jī)架部間的連接線時(shí),可利用Lay1,6把這些配線不間斷地拉回。又,通過進(jìn)行這樣的前階段的貼換,不用在不良的片部上去作無價(jià)值的疊層。又,此時(shí),2張底座基材分別存在,貼換可分別進(jìn)行。這樣,可除去不良的片部,可盡量地活用合格品的片部。
如以上詳細(xì)說明的那樣,在本形態(tài)中,在多片基板的制造中,在不形成Lay1,6的狀態(tài)下,當(dāng)含合格品的片部與不合格品的片部的混載板超過2張時(shí),在聯(lián)結(jié)機(jī)架部102與片部103的橋形片108上出現(xiàn)縫隙,使該縫隙彼此縫合,又,通過疊層上層,作成所謂的線鋸基板。這里,線鋸基板的接縫109,存在于橋形片108的內(nèi)層部,該接縫109被上層完全覆蓋。因此,貼換的橋形片108的強(qiáng)度的降低可得到抑制,可確保與橋形片108本來的強(qiáng)度幾乎相等。這樣,貼換的片部103不會在后道工序因?yàn)樘幚聿划?dāng)心而導(dǎo)致脫落。
又,本實(shí)施形態(tài)不限于例示,對本發(fā)明不作限定。因此,本發(fā)明只要不超出基本宗旨,可以進(jìn)行各種改良、變形。例如,在本實(shí)施形態(tài)中,橋形片108上雖存在接縫109,但接縫也可以不存在于橋形片108、而是存在于橋形片108附近的機(jī)架部2。即,片部的貼換可以不在橋形片進(jìn)行,在機(jī)架部進(jìn)行也行。又,作為對象的基板的層數(shù)、外形、各層的材質(zhì)等也可以與本實(shí)施形態(tài)的不同。又,對于基板,如圖11所示,在制品的整個(gè)范圍中,有多個(gè)機(jī)架部,又,在各機(jī)架部中,也有多片部。本發(fā)明可適用于這種場合。在這場合,片部可以貼換,機(jī)架部也可以貼換。
本實(shí)施形態(tài)的多片基板201,如圖12所示,具有機(jī)架部202,及4個(gè)片部203~206。各片部203~206與機(jī)架部202間開槽207。且,將各片部203~206固定于機(jī)架部202的橋形片208可隨處設(shè)置。在圖12中,片部203與片部205,片部204與片部206,各自具有相同圖形。片部203及片部205,與片部204及片部206的圖形不相同。但是它們相互都向內(nèi)配置,作為制品是相同的。圖12的多片基板201的尺寸約為14cm×24cm。
圖12的多片基板201中的機(jī)架部202,是與各片部203~206完全不同的單一性的部件。詳細(xì)在后面再說,機(jī)架部202是將單片狀的各片部203~206并列,再供入液狀樹脂、成型、固化形成的。又,在機(jī)架部202的四邊,形成在后道工序搬運(yùn)機(jī)架部時(shí)用來定位的孔210。
對于片部203~206之一的片部203,將其周圍的橋形片208的機(jī)架部202的根部附近展示于圖13。在圖13中,在機(jī)架部202的橋形片208的根部附近,存在接縫209。接縫209,圍著橋形片208的根部。被接縫209包圍的部分是突起部216。從多片基板201整體形狀看,突起部216象是機(jī)架部202的一部分,其實(shí)是片部203的一部分。即,在多片基板201中,片部203一部分的突起部216,成為切入機(jī)架部202的狀態(tài)。對于片部203周圍的所有的橋形片208,其機(jī)架部202的根部如圖13所示。同樣,對于別的片部204~206,它們周圍的橋形片208附近如圖13所示。
機(jī)架部202成型前的狀態(tài)的片部203~206的平面圖展示于圖14。各片部203~206,如圖14所示,在周圍有突起部216。各突起部216,經(jīng)橋形片208連接于主要部217(機(jī)架部202本來的功能部分)。各片部203~206當(dāng)然也具有交替疊層導(dǎo)體圖形層及層間絕緣層的周知的疊層構(gòu)造。又,在各片部203~206,具有定位孔219。定位孔219,在形成片部內(nèi)的圖形時(shí)與作為位置基準(zhǔn)的孔同時(shí)形成。
多片基板201,大體經(jīng)過以下工藝制造。即,預(yù)先,制造片部203~206。這可以用傳統(tǒng)方法進(jìn)行。又,片部203~206,以疊層配線板的一般的制造方法形成至最外層,作為與圖12同樣形狀的一般的多片基板,可以從中將片部用鉆孔銑床挖出制得。當(dāng)然,在這種階段要進(jìn)行檢查,只有合格品才使用。又,片部203~206,在這種階段是作為配線板完成的,如除去突起部216,可安裝到電子機(jī)器。
又,將各片部203~206配置到模具上,通過液狀樹脂的注射成型形成機(jī)架部202。這里,首先對下側(cè)的模具進(jìn)行說明。在圖15的平面圖展示的下模具220具有比圖12中的多片基板201更大的面內(nèi)尺寸。沿下模具220的外緣,設(shè)置外廓凸部221。外廓凸部221的內(nèi)緣,除后述的注入部231的場所,與機(jī)架部202的外邊對應(yīng)。外廓凸部的內(nèi)側(cè),比外廓凸部221低。這種高低差,與片部203~206的厚度相同。
在外廓凸部221的內(nèi)側(cè)的部分,設(shè)置4組類四角形狀的切堤227。切堤227的頂部的高度,與外廓凸部221的高度相同。即,與片部203~206的厚度相同。以切堤227隔開的內(nèi)部的類四角形狀的部分,就是用來配置各片部203~206的安置場所223~226。其外側(cè)部分,是對應(yīng)于機(jī)架部202的機(jī)架型部分222。即,切堤227對應(yīng)于多片基板201中的縫隙207。又,在切堤227,縫隙228設(shè)置在對應(yīng)于片部203~206的橋形片208的各位置。
在各安置場所223~226,形成放置桿的孔229。在配置各片部203~206時(shí),用來放置定位桿。又,在機(jī)架型部分222的四邊,形成用來形成機(jī)架部搬運(yùn)時(shí)給機(jī)架部202定位用的孔210的凸部230。凸部230的頂部的高度,與外廓凸部221的高度同樣。又,在機(jī)架型部分222的外邊的4處,設(shè)置注入部231。注入部231,呈類四角形的灣狀。
下面對上側(cè)的模具進(jìn)行說明。在圖16展示平面圖的上模具240,與圖15中的下模具220具有同樣的面內(nèi)尺寸。但是,與下模具220不同的是,除了4處的注入口241,它是平坦的。各注入口241(直徑1.0mm左右),在使上模具240重合于下模具220之上時(shí),設(shè)置在注入口部231上方的過來的位置上。
接著,我們對應(yīng)用上述面具220,240的多片基板201的制造程序進(jìn)行說明。除了上下模具220,240外,還應(yīng)準(zhǔn)備做片部203~206用的足夠的合格品的片部。另外,還應(yīng)準(zhǔn)備定位用的桿及成型用的適當(dāng)?shù)臉渲牧?。定位用的桿,其長度應(yīng)與達(dá)到片部203~206的厚度上的立桿孔229的深度的長度相同。
首先,將定位用的立桿放到下模具220的各立桿孔229,對下模具220暖機(jī)。又,片部203~206配置在下模具220的各安置場所223~226。此時(shí),放在各立桿孔229的桿可通過片部203~206的定位孔219。這樣,可進(jìn)行各片部203~206的定位。如上所述,定位孔219,在片部內(nèi)的圖形形成時(shí)與作為位置基準(zhǔn)用的孔同時(shí)形成,所以,相對基板整體的各片部203~206的位置,及各片部203~206彼此間的相對的位置,都具有相當(dāng)高的精度。在配置片部203~206的狀態(tài)下,各片部203~206的邊緣是與各切堤227的內(nèi)邊一致的(除橋形片208及縫隙228)。又,在切堤227的各縫隙228處,夾著各片部203~206的橋形片208。又,各片部203~206的突起部216,切入機(jī)架部型部分222。
如正確配置片部203~206,在下模具220及片部203~206上,設(shè)置上模具240。上模具240預(yù)先暖機(jī)。這樣,能使上模具240與下模具220的外邊相互一致。此時(shí),上模具240的面與下模具220的外廓凸部221、切堤227、及凸部230、還有各片部203~206接觸。又,上模具240的各注入口241,位于下模具220的各注入部231上。
又,對上下模具220,240相互加壓,將加熱呈融化狀態(tài)的樹脂從上模具240的注入口241注入。注入的樹脂材料進(jìn)入上模具240與下模具220間的間隙。且,融化狀態(tài)的樹脂從各注入部231流入機(jī)架部型部分222。這樣,液態(tài)的樹脂接觸到突起部216的斷面。又,融化狀態(tài)的樹脂不會從突起部216與切堤227間的間隙進(jìn)入片部203~206的本體的邊緣。理由后述。
流入足夠量的樹脂以充填各注入部231及機(jī)架部型部分222,停止注入后使之冷卻。溫度降到室溫后將上模具240除去。此時(shí),機(jī)架部型部分222及各注入部231以硬化樹脂充填。這種硬化樹脂就是機(jī)架部202。又,各突起部216的斷面與硬化樹脂呈粘著狀態(tài)。這樣,機(jī)架部202及各片部203~206可一體地從下模具220取出。取出的就是多片基板。
在這狀態(tài)的多片基板中,在各注入口241處,會出現(xiàn)直徑1.0mm,高度約0.5mm的凸?fàn)畹臉渲?。這里,可在各注入部231的場所去掉。這樣,完成圖12狀態(tài)的多片基板201。在該狀態(tài)的多片基板201上,沒有樹脂屎,平坦性良好。這樣做的理由是,如果圖12狀態(tài)的機(jī)架部202的一些地方有樹脂屎,將會給后道工序帶來麻煩。
這里,對樹脂注入時(shí)從突起部216及切堤227間不發(fā)生融化狀態(tài)的樹脂的泄漏的理由進(jìn)行說明。為了不發(fā)生融化狀態(tài)的樹脂的泄漏,片部203~206與切堤227間的間隙應(yīng)小于融化狀態(tài)的樹脂的流動(dòng)性臨界值(可進(jìn)入的臨界間隙)。為此,如果假設(shè)樹脂注入時(shí)的條件(溫度及壓力)下的流動(dòng)性臨界值為50μm,片部本體與突起部216間的間隙a(參照圖17),與切堤227的幅度b之差必須小于50μm。
另一方面,片部本體與突起部216間的間隙a,是從原來基板取下片部203~206時(shí)的外徑加工造成的間隙。這樣,使用與這種間隙幅度相等的直徑的鉆孔銑床刀具,可獲得±5μm左右的比較高的尺寸精度。因此,該間隙a大于幅度b,且使其差值不超過50μm是十分可能的。因此,樹脂注入時(shí),突起部216與切堤227間不會發(fā)生融化的樹脂的泄漏。又,鉆孔銑床加工的位置自身的精度具有相當(dāng)高的±20μm左右的誤差。但是,這樣的誤差在下模具220上配置片部203~206的階段通過補(bǔ)償是不成問題的。
按照以上詳細(xì)說明的本實(shí)施形態(tài),在制造多片基板201時(shí),將預(yù)先準(zhǔn)備的單件的合格品片部203~206配置到下模具220上,將融化的樹脂供給到片部間,通過成型,形成機(jī)架部202。這樣,就實(shí)現(xiàn)了具有與片部203~206的單一性無關(guān)的機(jī)架部202的多片基板201及其制造方法。為此,作為機(jī)架部202的原料的成型用樹脂,通過選擇易再利用的樹脂,可以將后道工序發(fā)生的空的機(jī)架部容易地變成新的多片基板的機(jī)架部實(shí)現(xiàn)再生。因此,使后道工序不發(fā)生無用的廢棄物,對于環(huán)保和有效利用資源都是大好事。
特別是,在預(yù)先準(zhǔn)備的單件的片部203~206含突起部216,在成型后,突起部216呈切入機(jī)架部202的狀態(tài)。為此,可擴(kuò)大片部203~206與機(jī)架部202間的接觸面積,實(shí)現(xiàn)可靠的接合。因此,在制造多片基板201后、供后道工序處理的期間,片部203~206不會從機(jī)架部202發(fā)生不希望出現(xiàn)的脫落。
又,在成型用的模具220,240中,在機(jī)架部202的外邊的外側(cè)位置設(shè)置注入部231及注入口241。為此,成型后,由于對注入部231的部分進(jìn)行彎折,在多片基板201不會殘余注入時(shí)出現(xiàn)的樹脂屎。因此,就能得到不會給后道工序造成麻煩的平坦的多片基板201。
又,本實(shí)施形態(tài)不限于示例,對本發(fā)明沒有限定。因此,本發(fā)明只要不超出基本宗旨,可以進(jìn)行各種改良、變形。例如,如圖18所示,可細(xì)加工突起部216的形狀,使之與片部本體分離以擴(kuò)大突起部216的幅度。這樣,融化的樹脂立刻進(jìn)入橋形片208,可獲得更可靠的接合。
本實(shí)施形態(tài)的多片基板301,如圖19所示,具有機(jī)架部302,及4個(gè)片部303~306。各片部303~306與機(jī)架部302間開槽307。且,將各片部303~306固定于機(jī)架部302的橋形片308可隨處設(shè)置。在圖19中,片部303與片部305,片部304與片部306,各自的圖形相同。片部303及片部305,與片部304及片部306的圖形不相同。但是它們相互都向內(nèi)配置,作為制品是相同的。圖19的多片基板301的尺寸約為14cm×24cm。
對于片部303~306之一的片部303,將其周圍的橋形片308的機(jī)架部302的根部附近展示于圖20。在圖20中,在機(jī)架部302的橋形片308的根部附近,存在接縫309。接縫309,圍著橋形片308的根部。又,小孔310,310設(shè)置在接縫309的2個(gè)場所。小孔310,310以粘接劑充填。作為粘接劑,可使用流動(dòng)性高的。因?yàn)檫@樣的粘接劑可通過毛細(xì)管現(xiàn)象進(jìn)入小孔310,310以外的部分的接縫309,夾著接縫309的兩側(cè)被完全粘著。對于片部303的周圍的所有的橋形片308,其機(jī)架部302的根部如圖20那樣。同樣,對于別的片部304~306,它們周圍的橋形片308也象圖20那樣。所以,在多片基板301中的接縫309,與橋形片308處接合形成接縫的場合比較,由于接合面積明顯擴(kuò)大,使接合強(qiáng)度增強(qiáng)。
又,在所以這樣的流動(dòng)性高的粘接劑的場合,在基板的里側(cè)可以貼上耐熱的耐熱帶(聚亞胺帶等)。用以防止粘接劑流出造成的污染。
圖19的多片基板301,將各片部303~306(參照圖21)安裝到圖22的機(jī)架部302。圖21所示的片部303~306,周圍有突起部316。各突起部316,經(jīng)橋形片308與主要部317(機(jī)架部302本來的功能部分)連接。片部303~306當(dāng)然也具有交替疊層導(dǎo)體圖形層及層間絕緣層的周知的疊層構(gòu)造。另一方面,在圖22中的機(jī)架部302,形成用來收納片部303~306的空處311。又,在各空處311的邊緣,在相當(dāng)于接縫309的各場所形成凹部315。凹部315與突起部316形成相互配合的形狀。但是,配合間會產(chǎn)生小孔310,310。
機(jī)架部302的材質(zhì),可以取與片部303~306同樣的導(dǎo)電層與絕緣層的疊層構(gòu)造,但沒有這樣的必要。金屬及樹脂,陶瓷等任何一種構(gòu)成的單層構(gòu)造都可以。又,與片部303~306比較,平均厚度的高強(qiáng)度材質(zhì)或構(gòu)造都好。所以可確保多片基板301整體的剛性。因此,例如,考慮耐熱性及耐腐蝕性,當(dāng)推薦陶瓷和不銹鋼。在樹脂系材料中,如果用玻璃環(huán)氧等可得到比片部303~306高的強(qiáng)度。又,機(jī)架部302的厚度,應(yīng)按照后道工序的要求、一般取與片部303~306同樣厚度。但是,如果后道工序允許,也可取比片部303~306更厚,以保證強(qiáng)度。
多片基板301,可大體按以下的過程制造。即,預(yù)先分別制造機(jī)架部302與片部303~306。它們的制造可采用傳統(tǒng)方法進(jìn)行。又,片部303~306,采用疊層配線板的一般制造方法形成至最外層,做成與圖17同樣形狀的一般的多片基板,從中借助鉆孔銑床等取下片部進(jìn)行制造。當(dāng)然,在這過程中要檢查質(zhì)量好不好,唯合格品可用。又,片部303~306,在該階段作為配線板完成,除去突起部316后可安裝到電子機(jī)器上。
又,在機(jī)架部302的各空處311,配置片部303~306,各凹部315與各突起部316配合。又,將粘接劑注入小孔310,310接合。這樣得到圖19的狀態(tài)。又,粘接劑,可以以液狀注入小孔310,310,也可將固體顆粒夾于小孔310,310后進(jìn)行加熱等處理進(jìn)行。又,在配置片部303時(shí),為了提高機(jī)架部302或者別的片部的相對位置精度,可使用帶定位桿的量具,保持不動(dòng)地使粘接劑硬化。
在圖20中的接縫309的具體形狀中,各種變形都可以。下面列舉變形例。圖23展示的是,突起部316的形狀呈現(xiàn)止通形狀。即,這種形狀的突起部316的幅度,只有深度上擴(kuò)展。因此,片部303即使被向圖23中的下面拉,也不會從機(jī)架部302的整體部分脫落。因此,從配置到粘著完了的期間在操作中不用擔(dān)心。
圖24展示的,是將片部303與機(jī)架部302的全體部分相互間用來定位的尖角312,312,313設(shè)置在突起部316。即,在這種形狀,尖角312,312擔(dān)當(dāng)圖24中橫方向的定位,尖角313擔(dān)當(dāng)圖24中縱方向的定位。這樣,在圖19的線鋸多片基板中,可將各片部303~306間的位置關(guān)系的精度保持在與通常的多片基板場合同等的程度。這種形狀下,在突起部316與機(jī)架部302的整體側(cè)間產(chǎn)生間隙314,即使不設(shè)置小孔310,310那樣的形狀也能確保注入粘接劑的空間。又,尖角312,312,313不設(shè)置在突起部316側(cè)、而設(shè)置在機(jī)架部302的整體側(cè)也行。又,也可以圖23那樣的止通形狀和圖24那樣的定位形狀兼而有之。
在上面詳細(xì)說明的本實(shí)施形態(tài)中,在多片基板301的制造中,預(yù)先分別制造機(jī)架部302,及片部303~306。又,從以一般的多片基板制造方法形成至最外層的多片基板中取下片部,只收集其中的合格品作為片部303~306。又,在機(jī)架部302的各空處311配置片部303~306,使之縫合,成為多片基板301。這樣,可得到只含合格品的片部的多片基板。而且,可以將機(jī)架部302的材質(zhì)(如后道工序允許,包括厚度)與片部303~306分開決定。為此,可提供即使片部303~306材料薄,不擴(kuò)展機(jī)架部302的幅度,也能確保多片基板301整體的強(qiáng)度的多片基板及其制造方法。
又,在機(jī)架部302的各空處311的邊緣設(shè)置凹部315,在各片部303~306經(jīng)橋形片308設(shè)置突起部316。這樣,在接合后的狀態(tài),接縫309可以不存在于橋形片308而存在于機(jī)架部302。這樣,可維持橋形片308的原有強(qiáng)度,且,接縫309也在寬接合面積上具有更充分的接合強(qiáng)度。這樣做,可提供貼換的片部303不會在后道工序的操作中脫落的多片基板及其制造方法。又,即使在后道工序的裝配線變更的場合,也能制作只有機(jī)架部302才能與之配合的新的基板。
又,本實(shí)施形態(tài)不單限于示例,對本發(fā)明不做限定。因此,本發(fā)明只要不超出基本宗旨,可以進(jìn)行各種改良、變形。例如,作為對象的基板的層數(shù)及尺寸,外形,各層的材質(zhì)等都行。又,例如圖23的止通形狀,不限于圖示的梯形,圓形等其他形狀也可以。又,在圖20,圖23中,通過將接縫309作成Z字形,可增大接合面積。又,在一塊多片基板中,可容易地混載參數(shù)不同的片部。且,對于基板,如圖25所示,制品的整體尺寸中有多個(gè)機(jī)架部,且各機(jī)架部中有時(shí)也有多片部。對于這種情況本發(fā)明也能適用。這場合,對片部可以貼換,對機(jī)架部也同樣可貼換。
本實(shí)施形態(tài)的多片基板401,如圖26所示,具有機(jī)架部402,及片部403。片部403與機(jī)架部402間開槽407。又,可設(shè)置將片部403固定于機(jī)架部402的橋形片408。片部403,是進(jìn)行圖形加工的疊層配線板。又,多片基板401,將粘著片404設(shè)置在該基板的表面。又,作為多片基板401的整體平面圖,與上述的第3實(shí)施形態(tài)(圖19)幾乎相同。
下面,作為圖27,展示貼換粘著片404的多片基板401的剖視圖。在圖27中,機(jī)架部402與片部403的一部分被粘著片404覆蓋。作為粘著片404,例如可以使用三井金屬社制的MR500。依此,將機(jī)架部402及片部403的接合部的兩面用粘著片404粘著,可靠地固定。
多片基板401的接合部,例如,如第3實(shí)施形態(tài)所示、在機(jī)架部402設(shè)置凹部,成為與片部403的突起部配合的構(gòu)造。在本實(shí)施形態(tài)中,貼換粘著片404,使該接合部及其接合場所附近被暗地里覆蓋。這樣,多片基板401中的接合部,比之使用粘接劑將機(jī)架部402的凹部與片部403的突起部間的接縫粘著的情況,接合強(qiáng)度更強(qiáng)。又,本實(shí)施形態(tài)中不用使用粘接劑。但是接合部也可以使用粘接劑。此時(shí),由于粘著片404的存在,可防止因來自接合部的粘接劑的泄露導(dǎo)致基板彼此粘著的現(xiàn)象。這是由于粘著片404將接合部覆蓋的緣故。
又,如圖28多片基板401的剖視圖中展示的那樣,也可以用銅箔405將粘著片404的表面覆蓋。這樣,可減輕多片基板401的裂開。又,可減輕樹脂外流。
又,如圖29多片基板401的接合部的放大圖中展示的那樣,片部403中,用來決定片部403對機(jī)架部402的位置、及實(shí)裝部件對片部403的位置的基準(zhǔn)標(biāo)記406有時(shí)可印刷。在使用這樣的片部403的場合,可使用不把基準(zhǔn)標(biāo)記覆蓋的形狀的粘著片404。如果粘著片404將接合場所全部覆蓋,基準(zhǔn)標(biāo)記被隱蔽,定位就有麻煩。
在上面詳細(xì)說明的本實(shí)施形態(tài)中,在多片基板401中,預(yù)先制造并組裝有突起部的片部403,以及具有與它的突起部對應(yīng)的凹部的機(jī)架部402。然后,用粘著片404覆蓋機(jī)架部402與片部403的接合部及該場所附近。這樣,可制得作為多片基板401整體的高強(qiáng)度的多片基板。
又,本實(shí)施形態(tài)不單限于示例,對本發(fā)明不做限定。因此,本發(fā)明只要不超出基本宗旨,可以進(jìn)行各種改良、變形。例如,圖26中展示的,粘著片404,將片部403、機(jī)架部402、橋形片408進(jìn)行覆蓋,但只覆蓋片部403的突起部及外側(cè)402也可以。這樣,片部403的本體部未被粘著片404覆蓋,可避免粘著片404在片部403留下之不備。
工業(yè)上的實(shí)用性按照上面已說明的本發(fā)明的技術(shù),即使進(jìn)行片部的貼換,仍可確保貼換的片部與其他部分間的平面性,可防止接縫部分的強(qiáng)度的降低,進(jìn)而提供能與片部無關(guān)地決定機(jī)架部的材質(zhì)的多片基板及其制造方法。
權(quán)利要求
1.一種多片基板,包括機(jī)架部,以及對著所述機(jī)架部連接的多片部,其特征在于,對于至少1個(gè)片部,在與所述機(jī)架連接處的內(nèi)層有接縫,該接縫被上層覆蓋。
2.一種多片基板的制造方法,多片基板包括機(jī)架部、以及對著所述機(jī)架部連接的多片部,其特征在于,在尚未形成最外層的狀態(tài)、具有多個(gè)含不合格品的片部和合格品片部的多片基板的場合,當(dāng)一塊多片基板的不合格品的片部的周圍出現(xiàn)縫隙,將該片部除去,從其他的多片基板同樣地對合格品的片部進(jìn)行切割,在除去不合格品的片部的空處,插入從其他多片基板切割下來的合格品的片部,在這種狀態(tài)下疊層上層并將接縫覆蓋。
3.如權(quán)利要求2所述的多片基板的制造方法,其特征在于,用粘接劑接合縫隙處后,疊層上層。
4.如權(quán)利要求2所述的多片基板的制造方法,其特征在于,作為所述上層,含有粘接劑成分。
5.一種多片基板,包括機(jī)架部,以及對著所述機(jī)架部作過橋連接的多片部,其特征在于,所述機(jī)架部,以流動(dòng)物成型得到,所述多片部,在所述機(jī)架部成型前制造。
6.如權(quán)利要求5所述的多片基板,其特征在于,在切入所述機(jī)架部的位置有突起部,所述突起部,在所述片部過橋連接,并與所述片部一起制造。
7.一種多片基板的制造方法,多片基板包括機(jī)架部、以及對著所述機(jī)架部過橋連接的多片部,其特征在于,將預(yù)先制造的各片部配置在應(yīng)該存在多片基板中的片部的位置,圍著配置的各片部注入流動(dòng)物、進(jìn)行成型,成為所述機(jī)架部。
8.如權(quán)利要求7所述的多片基板的制造方法,其特征在于,作為配置的各片部,采用有過橋連接的突起物的片部,通過流動(dòng)物的成型,所述突起物成為切入所述機(jī)架部的狀態(tài)。
9.如權(quán)利要求7或8所述的多片基板的制造方法,其特征在于,在所述機(jī)架部成型時(shí),在多片基板中從機(jī)架部的邊緣更外側(cè)的位置注入流動(dòng)物,成型后,對注入位置的凸?fàn)畈窟M(jìn)行彎折。
10.一種多片基板,包括機(jī)架部,以及對著所述機(jī)架部作過橋連接的多片部,其特征在于,所述多片部全部都與所述機(jī)架部分開制造,然后與所述機(jī)架部接合。
11.如權(quán)利要求10所述的多片基板,其特征在于,所述各片部與所述機(jī)架部之間的各接縫,圍著橋形片的根部安裝在所述機(jī)架部。
12.一種多片基板的制造方法,其特征在于,準(zhǔn)備具有多個(gè)用來配置片部的空處的機(jī)架部,以及與所述機(jī)架部分開制造的多片部,在所述機(jī)架部的各空處配置所述各片部,將所述各片部接合在所述機(jī)架部,形成多片基板。
13.如權(quán)利要求12所述的多片基板的制造方法,其特征在于,作為所述片部,采用具有含配線圖形的功能部、及設(shè)置在所述功能部周圍的突起部的片部,作為所述機(jī)架部,采用對應(yīng)于所述突起部的凹部設(shè)置在各空處邊緣的機(jī)架部,通過接合,所述突起部配合在所述凹部、形成機(jī)架部的一部分。
14.一種多片基板,包括機(jī)架部,以及對著所述機(jī)架部連接的多片部,其特征在于,具有跨過所述機(jī)架部及所述片部、覆蓋所述機(jī)架部與所述片部間的接縫的粘接片。
15.如權(quán)利要求14所述的多片基板,其特征在于,在所述粘接片的表面具有金屬箔。
16.如權(quán)利要求14所述的多片基板,其特征在于,所述片部具有突起部、及設(shè)置在其中的定位目標(biāo)圖形,所述機(jī)架部具有與所述突起部對應(yīng)的凹部,所述定位目標(biāo)圖形不被所述粘接片覆蓋而露出。
17.一種多片基板的制造方法,多片基板包括機(jī)架部、以及對著所述機(jī)架部連接的多片部,其特征在于,跨過所述機(jī)架部及所述片部、以粘接片覆蓋所述機(jī)架部與所述片部間的接縫。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種可防止貼換的片部與其他部分間的接縫部分的強(qiáng)度的降低,進(jìn)而能與片部無關(guān)地決定機(jī)架部的材質(zhì)的多片基板以及它們的制造方法。對于含有在不形成最外層圖形的狀態(tài)中的、合格品的片部與不合格品的片部的混載板,橋形片上出現(xiàn)縫隙,用粘接劑將該縫隙彼此接合,然后疊層上層,形成只集合合格品的片部的多片基板。又,可以將預(yù)先制造的片部配置在應(yīng)放置片部的位置,圍著被配置的各片部注入流動(dòng)物、成型、制成機(jī)架部。又,各片部與機(jī)架部間的各接縫如圍著橋形片的根部設(shè)置在機(jī)架部則更好。又,如果用粘著片覆蓋各接縫則更加好。
文檔編號H05K3/00GK1430866SQ01810128
公開日2003年7月16日 申請日期2001年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月26日
發(fā)明者柳瀨誠, 匂坂克己, 嵨田功, 奧西達(dá)也 申請人:Ibiden股份有限公司