電暈處理。作為這樣的電暈處理的條件,例如在將電極距離設為5mm時,優(yōu)選的是l~20kV的電壓,進一步優(yōu)選的是5~15kV的電壓,優(yōu)選的是進行1~60秒,進一步優(yōu)選的是進行5~30秒,特別優(yōu)選的是進行10~25秒即可。此外,這樣的處理能夠在大氣中進行。
[0104]導電層
關于本發(fā)明中的導電層,只要具有能夠在電壓施加時示出壓電特性的程度的導電性,則其種類不特別限定,但是,從能夠更優(yōu)選地示出壓電特性和共振特性這樣的觀點出發(fā),優(yōu)選的是由金屬或金屬氧化物構成的層和由導電性高分子構成的層。
[0105]作為這樣的金屬或金屬氧化物,不特別限定,但是,優(yōu)選使用從由銦、錫、鋅、鎵、銻、鈦、硅、鋯、鎂、鋁、金、銀、銅、鈀、鎢構成的組中選擇的至少I種金屬或者從上述組中選擇的至少I種金屬的氧化物。此外,在金屬氧化物中,根據(jù)需要,進而也可以包含上述組所示的金屬或者上述組所示的其他的金屬的氧化物。例如,優(yōu)選使用含有鋁、金、氧化錫的氧化銦、含有銻的氧化錫等。作為導電性高分子,可舉出聚噻吩類、聚苯胺類、聚吡咯類,只要根據(jù)需要進行考慮了導電性、透明性的選定即可。例如,在顯示面板等中使用時,優(yōu)選使用透明性優(yōu)越的聚噻吩類、聚苯胺類高分子。
[0106]導電層的各層的厚度不特別限制,但是,只要選擇其表面電阻值為IXlO4 Ω/ □以下、優(yōu)選為5X 13 Ω/□以下、進一步優(yōu)選為IXlO3 Ω/□以下那樣的厚度即可,例如采用厚度1nm以上是優(yōu)選的。進而,在由金屬或金屬氧化物構成的層的情況下,從導電性和層形成的容易度的觀點出發(fā),優(yōu)選的是15~35nm,更優(yōu)選的是20~30nm。當厚度過薄時,表面電阻值趨于變高,并且,難以成為連續(xù)被膜。另一方面,當過厚時,品質過剩,此外,難以進行層疊膜的形成,或層疊膜的層間的強度趨于變弱。此外,在使用導電性高分子的印刷等的情況下,優(yōu)選的是100~5000nm,更優(yōu)選的是200~4000nmo
[0107]可是,關于導電層,如圖1所示那樣,并不是在取向膜層的整個表面形成而設置有富余。關于該富余,從更高效地使振動板共振的觀點出發(fā),設置在靠近端面的部位是優(yōu)選的。優(yōu)選的是在具有富余的側電極和導電層不會短路而在不具有富余的側電極和導電層短路的結構。通過采用這樣的結構,從而能夠使夾持取向膜層的各導電層簡便地與電極短路為正負彼此不同。
[0108]壓電層疊體
即,在本發(fā)明中的壓電層疊體中,需要對被各導電層所夾持的取向膜層以在流動電流時伸縮方向為相同方向的方式進行層疊。這是因為,當在壓電層疊體的一部分存在伸縮方向不同的樹脂時,成為壓電特性抵消的狀況,而破壞使振動板共振的效果。關于像這樣使壓電層疊體中的取向膜層的伸縮方向一致的方法,雖然不特別限制,但是,關于是交替地層疊有由L-聚乳酸構成的取向膜層L和由D-聚乳酸構成的取向膜層D的結構,由于只要直接交替地層疊同樣地制膜延伸的即主取向軸相同的取向聚乳酸膜即可,所以是優(yōu)選的。這是因為,取向膜層L和取向膜層D在其厚度方向上施加相反的電荷時在相同方向上示出伸縮特性。
[0109]另一方面,在相鄰的取向膜層均為取向膜層L或取向膜層D的情況下,只要在固定一個膜層來重疊另一個膜層之前翻過來或者在膜的面方向上旋轉等而以在提供相反的電荷時伸縮方向一致的方式對準即可。再有,理解的是:當想要對聚乳酸進行制膜而通過生產(chǎn)性優(yōu)越的卷對卷來層疊時,前者的交替地層疊取向膜層L和取向膜層D的結構是優(yōu)選的。
[0110]而且,在使用上述的取向膜層L和取向膜層D的情況下,只要以使構成由圖1~3的附圖標記5所示的帶導電層膜層A的取向膜層為取向膜層L并且使構成由附圖標記6所示的帶導電層膜厚B的取向膜層為取向膜層D的方式進行層疊即可。
[0111]此外,取向膜層和導電層不經(jīng)由厚度超過100nm的粘接劑層而膠著,這由于容易顯現(xiàn)優(yōu)越的共振特性,所以是優(yōu)選的。從這樣的觀點出發(fā),在本發(fā)明中,關于取向膜層和導電層,優(yōu)選為不經(jīng)由厚度超過500nm的粘接劑層而膠著的方式,進一步優(yōu)選為不經(jīng)由厚度超過200nm的粘接劑層而膠著的方式。從共振特性的觀點出發(fā),最優(yōu)選的是取向膜層和導電層不經(jīng)由粘接劑層而膠著的方式。
[0112]在本發(fā)明中,只要具有上述那樣的層疊結構,則也可以在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內還具有其他的層。例如,能夠在壓電層疊體的表面具有用于提高層疊體的剛性的例如聚對苯二甲酸乙二酯、聚乙烯奈那樣的芳香族聚酯層。另一方面,從共振特性的觀點出發(fā),關于這樣的層,其厚度薄是優(yōu)選的,不具有是特別優(yōu)選的。
[0113]再有,關于本發(fā)明中的壓電層疊體的形狀,由于容易處理、容易設計為在目的的方向上賦予高的壓電特性,所以優(yōu)選的是帶狀。
[0114]層疊數(shù)量
關于本發(fā)明中的壓電層疊體,取向膜層的總計層數(shù)為3以上是優(yōu)選的。通過采用這樣的方式,從而得到優(yōu)越的共振特性。從共振特性的觀點出發(fā),總計層數(shù)越多越優(yōu)選,優(yōu)選的是5以上,進一步優(yōu)選的是6以上。
[0115]另一方面,上限并不特別限制。再有,對于采用數(shù)萬程度的總計層數(shù),只要例如如卷式電容器那樣進行制造即可。
[0116]此外,關于本發(fā)明中的壓電層疊體,在至少一個表面存在導電層,從本發(fā)明的效果的方面即使振動板更高效地共振的方面出發(fā),優(yōu)選的是,全部的取向膜層同樣地顯現(xiàn)壓電特性,如圖6所示那樣導電層被配置在壓電層疊體的兩個表面的情況能夠高效地向振動板傳播振動,因此,是優(yōu)選的。即,在將取向膜層的層數(shù)設為η時,優(yōu)選的是導電層的層數(shù)為n+lo
[0117]共振特性
本發(fā)明中的壓電層疊體具有壓電特性,通過施加某個頻率的電壓來振動,但是,尤其地,選擇與PVDF相比壓電特性一致為一個方向的取向聚乳酸膜,并且,對其進行層疊,由此,壓電特性極優(yōu)越,也能夠產(chǎn)生較大的運動量(力)。
[0118]主取向方向
在本發(fā)明中,關于壓電層疊體,優(yōu)選的是,施加各取向膜層的電荷時的伸縮最大的方向在從壓電層疊體的厚度方向觀察時在10度以下的范圍內一致。通過采用這樣的方式,從而能夠使共振特性的提高效果變高。從這樣的觀點出發(fā),關于上述形成的角,優(yōu)選的是5度以下,進一步優(yōu)選的是3度以下,特別優(yōu)選的是I度以下,理想地為O度。對于采用上述那樣的主取向方向的方式,只要在采樣時在相同方向上進行采樣或在層疊時以成為相同方向的方式進行層疊即可。
[0119]壓電層疊體的制造方法
本發(fā)明中的壓電層疊體能夠通過如下來得到:例如取向膜層在交替地層疊上述的取向膜層L和取向膜層D的情況下分別各自地形成,在所得到的各層的表面設置導電層,層L和層D交替地并且以成為在層L與層D之間以及所得到的壓電層疊體的至少一個表面優(yōu)選的是壓電層疊體的兩個表面具有導電層的結構的方式進行層疊并膠著。
[0120]此外,本發(fā)明中的壓電層疊體例如在僅為取向膜層L或取向膜層D的任一個的情況下能夠通過如下來得到:準備2個取向膜層L (D),在一個的表面?zhèn)仍O置導電層并在另一個的背面?zhèn)然蚋淖兎较虻卦O置導電層來分別各自地形成,在所得到的各層的表面設置導電層,層L和層D交替地并且以成為在層L與層D之間以及所得到的壓電層疊體的至少一個表面優(yōu)選的是壓電層疊體的兩個表面具有導電層的結構的方式進行層疊并膠著。
[0121]關于在通過上述得到的取向膜層L和取向膜層D的表面形成導電層的方法,只要是以往公知的導電層的形成方法,則不特別限定,但是,從能夠均勻地容易得到具有優(yōu)越的導電性的導電層這樣的觀點出發(fā),優(yōu)選的是采用蒸鍍法或濺射法。
[0122]此外,關于導電層,也可以形成在取向膜的兩面,但是,從密合性的觀點出發(fā),優(yōu)選的是,僅在單面形成導電層,并壓接它們。
[0123]熱層壓工序
以成為本發(fā)明規(guī)定的層疊結構的方式層疊通過上述得到的具有導電層的取向膜來制作層疊體,通過熱層壓來膠著。在此,關于熱層壓,優(yōu)選的是在不使用粘接劑層的情況下進行。此外,通過含有上述的耐沖擊性改良劑,從而能夠更加提高壓接性。
[0124]關于這樣的熱層壓中的溫度條件,優(yōu)選的是采用(Tg_5)~ (Tsm+20) °C。在此,Tg示出用于層疊體的形成的構成取向膜層L的樹脂L的玻璃轉變溫度和構成取向膜D的樹脂D的玻璃轉變溫度之中的最高的玻璃轉變溫度。此外,Tsm示出用于層疊體的形成的取向膜L的副峰值溫度和取向膜D的副峰值溫度之中的最低的副峰值溫度。再有,副峰值溫度是起因于膜制造工藝中的熱固定溫度的溫度。通過采用上述溫度條件,從而能夠得到起到優(yōu)越的共振特性的壓電層疊體。此外,同時,層疊體的各層的密合性優(yōu)越。當溫度過低時,趨于密合性差,另一方面,當過高時,趨于取向崩壞而共振特性差。根據(jù)這樣的觀點,進一步優(yōu)選的溫度條件是(Tg) ~ (Tsm+15) °C,特別優(yōu)選的是(Tg+10)~ (Tsm+10) °C。
[0125]此外,關于壓力條件,只要是能夠進行充分的壓接并且取向聚乳酸膜的取向不會崩壞的條件,則不特別限制,采用例如l~100MPa是優(yōu)選的。由此,能夠得到具有優(yōu)越的共振特性同時密合性優(yōu)越的層疊體。當壓力過低時,趨于密合性差,另一方面,當過高時,趨于共振特性差。根據(jù)這樣的觀點,進一步優(yōu)選的壓力條件為2~80MPa,特別優(yōu)選的是2~50MPa。
[0126]在以上那樣的溫度條件和壓力條件下,優(yōu)選的是進行10~600秒的熱層壓。由此,能夠得到具有優(yōu)越的共振特性同時密合性優(yōu)越的層疊體。當時間過短時,趨于密合性差,另一方面,當過長時,趨于共振特性差。根據(jù)這樣的觀點,進一步優(yōu)選的時間條件是30~300秒,特別優(yōu)選的是60~180秒。
[0127]可是,對于通過卷對卷高效地制造壓電層疊體,分別對取向膜層L和取向膜層D進行制膜并進行輥卷繞,在每一個取向膜層的寬度方向的一部分沿著制膜方向形成導電層。然后,沿著制膜方向切開(slit)并重合具有導電層的取向膜層L和具有導電層的取向膜層D來剪切為期望的尺寸是優(yōu)選的。
[0128]固定具或振動板
關于本發(fā)明中的固定具(12),只要能夠固定把持具的位置,則不特別限制。此外,也可以與把持具(13)為一體。再有,在將能夠傳播振動的振動板(12)用作固定具(12)的情況下,由于與壓電振動體相比稍硬的情況更容易使振動板共振,所以其楊氏模量優(yōu)選為3GPa以上。此外,在通過粘接劑等膠著把持具的情況下,粘接性好的粘接劑是優(yōu)選的。此外,通過具有透明性,從而能夠進行向觸摸面板或便攜式電話等顯示器上的配置,因此,總光線透射率優(yōu)選為85%以上。從以上的觀點出發(fā),作為振動板的材質,只要是具有上述特性的素材,則不特別限定,也可以是有機素材、無機素材的任一個或者組合。在其中,根據(jù)作為振動板的處理性的容易度,優(yōu)選的是有機高分子素材,優(yōu)選為PLA (聚乳酸)、PET (聚對苯二甲酸乙二酯)、PEN (聚乙烯奈)、PS (聚苯乙烯)、PC (聚碳酸酯)、COC (環(huán)烯烴共聚物)、PMMA (聚甲基丙烯酸),進一步優(yōu)選為PLA、PET、PENo
[0129]此外,關于振動板的形狀,只要根據(jù)想要共振的頻率來適當選擇即可。例如,如果想要共振的波長為一個,則可以是圓形,在想要以多個頻域共振的情況下,只要采用與其對應的多邊形即可。
[0130]此外,關于厚度,優(yōu)選為與壓電層疊體相同程度的厚度。雖然也根據(jù)所使用的材質,但是在聚醋等的塑料膜的情況下,優(yōu)選為3~1500 μπι的范圍,進一步優(yōu)選為2