技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微電容超聲傳感器，包括：襯底、設(shè)置于襯底上表面的下電極組件、上膜以及設(shè)置于上膜上表面的上電極組件，襯底上表面還設(shè)置有封閉環(huán)繞下電極組件的下密封線圈，上膜下表面凹設(shè)有用于收容下電極組件的收容腔以及封閉環(huán)繞收容腔的上密封線圈，上膜和襯底至少通過上密封線圈和下密封線圈對(duì)接密封收容腔。根據(jù)本發(fā)明的微電容超聲傳感器不僅提高了密封性，阻斷了其內(nèi)部的收容腔與外部環(huán)境的交換，簡(jiǎn)單且低成本地實(shí)現(xiàn)了自密封作用；而且還避免了寄生電容對(duì)能效的耗散，加強(qiáng)了轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)研發(fā)人員：苗靜;沈文江;熊繼軍;薛晨陽(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.25
技術(shù)公布日：2017.08.01