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抗低頻噪音的麥克風(fēng)單體的制作方法

文檔序號(hào):11845519閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種抗低頻噪音的麥克風(fēng)單體,其特征在于:包括MEMS換能器,所述MEMS換能器具有,

一聲學(xué)振膜,與所述振膜的中心設(shè)置一第一通孔,以及于所述聲學(xué)振膜遠(yuǎn)離所述第一通孔的位置設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)用以釋放應(yīng)力的第二通孔;

一與所述聲學(xué)振膜之間形成一固定間隙的背部電極;

其中,所述聲學(xué)振膜與所述背部電極形成一平板電容器,于所述聲學(xué)振膜振動(dòng)的狀態(tài)下,所述平板電容器根據(jù)所述聲學(xué)振膜的振膜幅度形成與所述振動(dòng)幅度相匹配的電容信號(hào)輸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪音的麥克風(fēng)單體,其特征在于:還包括,

一具有收音通孔的基板,所述收音通孔正對(duì)所述聲學(xué)振膜;所述聲學(xué)振膜與所述基板之間形成一聲學(xué)前腔,所述聲學(xué)前腔用以偵測(cè)高頻信號(hào);

一蓋板,固定連接所述基板并完全覆蓋所述MEMS換能器,所述蓋板與所述背部電極形成一聲學(xué)背腔,且所述聲學(xué)背腔的體積大于所述聲學(xué)腔體的體積,所述聲學(xué)背腔用以偵測(cè)低頻信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪音的麥克風(fēng)單體,其特征在于:所述第一通孔的體積不大于所述聲學(xué)振膜體積的10%。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪聲的麥克風(fēng)單體,其特征在于:復(fù)數(shù)個(gè)所述第二通孔均勻分布于所述聲學(xué)振膜上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪聲的麥克風(fēng)單體,其特征在于:還包括一ASIC芯片,連接所述MEMS換能器,用以接受所述MEMS換能器輸出的所述電容信號(hào),并對(duì)所述電容信號(hào)做分析處理,形成一處理信號(hào)輸出。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪聲的麥克風(fēng)單體,其特征在于:所述第二通孔的數(shù)量為八個(gè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪聲的麥克風(fēng)單體,其特征在于:所述第 二通孔的數(shù)量為六個(gè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪聲的麥克風(fēng)單體,其特征在于:所述聲學(xué)振膜為薄且有彈性的聲學(xué)膜片。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗低頻噪聲的麥克風(fēng)單體,其特征在于:所述聲學(xué)振膜的厚度為500nm。

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