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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號(hào):12143570閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件,在半導(dǎo)體襯底上多個(gè)像素區(qū)域呈矩陣狀排列,所述半導(dǎo)體器件的特征在于,

所述多個(gè)像素區(qū)域分別具有:

活性區(qū)域,其形成于所述半導(dǎo)體襯底;

兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件,其在所述活性區(qū)域內(nèi)彼此隔開間隔地配置;

兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域,其能夠與所述兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件分別構(gòu)成用于傳輸通過光電轉(zhuǎn)換所得到的電子的傳輸晶體管,將從所述光電轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號(hào)取出并進(jìn)行積累;以及

第一晶體管,其接收從所述傳輸晶體管輸出的電信號(hào),

所述多個(gè)像素區(qū)域中分別包括兩個(gè)所述傳輸晶體管,兩個(gè)所述傳輸晶體管分別具有所述兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件的每一個(gè)和所述兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域的每一個(gè),

所述第一晶體管在所述像素區(qū)域內(nèi),在兩個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域中的一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域與另一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域排列的方向上,配置在一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域與另一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域之間。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域的每一個(gè)和所述第一晶體管在俯視時(shí)排列在一條直線上。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管配置在第一像素區(qū)域的所述活性區(qū)域與第二像素區(qū)域的所述活性區(qū)域之間,所述第一像素區(qū)域?yàn)樗龆鄠€(gè)像素區(qū)域中配置有所述第一晶體管的像素區(qū)域,所述第二像素區(qū)域?yàn)閺乃龅谝幌袼貐^(qū)域的所述活性區(qū)域來看與所述第一像素區(qū)域的一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域及另一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域側(cè)相鄰的像素區(qū)域。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域及另一個(gè)所述浮動(dòng)電容區(qū)域被所述第一像素區(qū)域和所述第二像素區(qū)域共用。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管為將來自兩個(gè)所述傳輸晶體管的電信號(hào)放大的放大晶體管,

單個(gè)所述放大晶體管被兩個(gè)所述傳輸晶體管共用。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述多個(gè)像素區(qū)域還分別具有第二晶體管,該第二晶體管接收從所述第一晶體管輸出的電信號(hào),

所述兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域的每一個(gè)和所述第二晶體管在俯視時(shí)排列在一條直線上。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第二晶體管包括源極/漏極區(qū)域,

所述源極/漏極區(qū)域的某一個(gè)的至少一部分與所述兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域的某一個(gè)重疊。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管包括第一柵電極,

所述第二晶體管包括第二柵電極,

所述第一柵電極與所述第二柵電極在俯視時(shí)沿彼此交叉的方向延伸。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管為將所述傳輸晶體管所積累的電信號(hào)復(fù)位的復(fù)位晶體管,

兩個(gè)所述復(fù)位晶體管配置成與兩個(gè)所述傳輸晶體管分別連接。

10.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管包括將來自兩個(gè)所述傳輸晶體管的電信號(hào)放大的放大晶體管、和將所述傳輸晶體管所積累的電信號(hào)復(fù)位的復(fù)位晶體管雙方。

11.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

兩個(gè)所述傳輸晶體管分別具有傳輸柵電極,

所述第一晶體管在所述像素區(qū)域內(nèi),在兩個(gè)所述傳輸柵電極中的一個(gè)所述傳輸柵電極與另一個(gè)所述傳輸柵電極排列的方向上,配置在一個(gè)所述傳輸柵電極與另一個(gè)所述傳輸柵電極之間。

12.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管為將來自兩個(gè)所述傳輸晶體管的電信號(hào)放大的放大晶體管,

單個(gè)所述放大晶體管被兩個(gè)所述傳輸晶體管共用。

13.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述多個(gè)像素區(qū)域還分別具有第二晶體管,該第二晶體管接收從所述第一晶體管輸出的電信號(hào),

所述兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域的每一個(gè)和所述第二晶體管在俯視時(shí)排列在一條直線上。

14.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管為將所述傳輸晶體管所積累的電信號(hào)復(fù)位的復(fù)位晶體管,

兩個(gè)所述復(fù)位晶體管配置成與兩個(gè)所述傳輸晶體管分別連接。

15.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管包括將來自兩個(gè)所述傳輸晶體管的電信號(hào)放大的放大晶體管、和將所述傳輸晶體管所積累的電信號(hào)復(fù)位的復(fù)位晶體管雙方。

16.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管在所述像素區(qū)域內(nèi),在兩個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件中的一個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件與另一個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件排列的方向上,配置在一個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件與另一個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件之間。

17.如權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管為將來自兩個(gè)所述傳輸晶體管的電信號(hào)放大的放大晶體管,

單個(gè)所述放大晶體管被兩個(gè)所述傳輸晶體管共用。

18.如權(quán)利要求17所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述多個(gè)像素區(qū)域還分別具有第二晶體管,該第二晶體管接收從所述第一晶體管輸出的電信號(hào),

所述兩個(gè)浮動(dòng)電容區(qū)域的每一個(gè)和所述第二晶體管在俯視時(shí)排列在一條直線上。

19.如權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管為將所述傳輸晶體管所積累的電信號(hào)復(fù)位的復(fù)位晶體管,

兩個(gè)所述復(fù)位晶體管配置成與兩個(gè)所述傳輸晶體管分別連接。

20.如權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第一晶體管包括將來自兩個(gè)所述傳輸晶體管的電信號(hào)放大的放大晶體管、和將所述傳輸晶體管所積累的電信號(hào)復(fù)位的復(fù)位晶體管雙方。

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