專利名稱：無熱陣列波導光柵波分復用器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種光學器件，尤其涉及一種無熱陣列波導光柵波分復用器。
背景技術：
隨著網(wǎng)絡通訊的發(fā)展，光纖網(wǎng)絡的數(shù)據(jù)傳送速度越來越快，對光纖網(wǎng)絡的容量要求也越來越高?，F(xiàn)在的高速光纖網(wǎng)絡系統(tǒng)中，波分復用技術常用于提高光纖網(wǎng)絡的容量，該技術主要使用陣列波導光柵波分復用器實現(xiàn)?，F(xiàn)有一種陣列波導光柵波分復用器的結構如圖1所示，其具有硅材料制成的平面襯底10，襯底10的上表面沉積有波導層，波導層包括輸入光波導11、輸入平板波導12、陣列波導16、輸出平板波導14以及輸出光波導15。通常，波導層由硅石玻璃材料制成，陣列波導16由多根并列的條形波導13構成，且多根條形波導13彎曲并列設置，相鄰的兩根條形波導13之間存在長度差，且每一根條形波導13的長度均不相同。輸入光波導11的輸出端連接至輸入平板波導12，輸入平板波導12通過多根條形波導13連接至輸出平板的波導14，輸出平板波導14的輸出端連接至多根輸出光波導15。當輸入光波導11中傳輸?shù)膹陀霉庑盘栠M入輸入平板波導12時，該復用光信號在側向不再受約束，于是因衍射而展開。側向衍射展開的復用光信號耦合進入多根條形波導 13并在多根條形波導13中傳播。由于多根條形波導13相互之間存在長度差，在各根條形波導13中傳播的復用光信號在到達輸出平板波導14時，相互之間存在一定的相位差。這些相位差引起輸出平板波導14內的波前傾斜。由于相移大小與波長相關，各波長光信號的匯聚成像位置依賴于輸入光波長，在不同的成像位置處設置的輸出光波導15可將不同波長的光信號分解到相應的輸出光波導15中，完成解復用功能。反之，將圖1中的輸入光波導11改為輸出光波導，將圖1中的輸出光波導15改為輸入光波導，可將輸入波導中的具有不同波長的光信號匯聚到同一根輸出波導中，完成復用功能。因此，根據(jù)輸入光線方向的不同，現(xiàn)有的波分復用器可實現(xiàn)復用或解復用的功能。波分復用器的中心波長會受到溫度變化的影響，現(xiàn)有的波分復用器中心波長變化隨溫度的變化的典型值是0. 011nm/°C，隨著溫度變化越大，中心波長變化越大，這一現(xiàn)象稱為溫度漂移。由于溫度漂移對波分復用器的工作穩(wěn)定性有很大的影響，人們對波分復用器進行改進以減少溫度漂移。參見圖2，現(xiàn)有一種無熱陣列波導光柵波分復用器包括襯底20，襯底20上沉積有波導層，波導層包括輸入光波導23、輸入平板波導24、陣列波導25、輸出平板波導沈以及輸出光波導27，其中陣列波導25包括多根并列且彎曲設置的條形波導，相鄰的兩根條形波導之間存在長度差。陣列波導光柵波分復用器被一個分割面四分割成兩部分，分別是第一部分21與第二部分22，且分割面四橫向穿過輸入平板波導24。陣列波導光柵波分復用器的波導層上還設有滑動件觀，滑動件觀的兩端分別固定在第一部分21與第二部分22上，滑動件觀由線性熱膨脹系數(shù)大于襯底20的材料制成，如鋁質材，當溫度發(fā)生變化時，滑動件28會隨溫度變化而伸縮，第一部分21相對于第二部分22在襯底20平面內發(fā)生位移，此時輸入平板波導M被分割的兩個部分也會發(fā)生相對位移，從而對波分復用器的中心波長進行補償。無熱陣列波導光柵波分復用器的中心波長隨溫度變化曲線是開口朝上的拋物線形狀，如圖3的虛線a-b-c所示。這里，設置波分復用器的中心波長在20°C時溫度漂移為零，但溫度在_30°C到70°C變化時，中心波長的最大漂移達到0. 04納米，在溫度變化更大的環(huán)境下，或者在帶通更寬、頻率間隔小于100G赫茲的網(wǎng)絡系統(tǒng)中，該種溫度漂移特性的波分復用器的性能將會受到嚴重的影響。此外，陣列波導光柵波分復用器是在襯底20的基礎上，經過后續(xù)精密而昂貴的工藝操作，如火焰水解沉積、光刻、反應離子束刻蝕等制作出波導層才得到的，制作成本較高。 上述的波分復用器在波導層上直接設置滑動件觀，其占用波導層較大的面積，造成極大的浪費，也增加了波分復用器的生產成本。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的是提供一種生產成本較低的無熱陣列波導光柵波分復用器。本發(fā)明的另一目的是提供一種中心波長溫度漂移較小的無熱陣列波導光柵波分
見用器。為了實現(xiàn)上述的主要目的，本發(fā)明提供的無熱陣列波導光柵波分復用器包括陣列波導光柵芯片，具有平面襯底，襯底上襯底上設有輸入光波導、與輸入光波導連接的輸入平板波導、輸出光波導、與輸出光波導連接的輸出平板波導、連接在輸入平板波導與輸出平板波導之間的多根條形波導，其中，還包括基板以及滑動組件，陣列波導光柵芯片固定在基板的上表面，基板被至少一個分割面分割成第一部分及第二部分，分割面橫向穿過輸入平板波導與輸出平板波導中的至少一個，滑動組件的兩端分別固定在第一部分與第二部分上， 且滑動組件是具有隨溫度變化而長度改變的伸縮桿。由上述方案可見，滑動組件并不直接設置在陣列波導光柵芯片的波導層上，而是設置在基板上，制作成本較高的陣列波導光柵芯片固定在制作成本較低的基板上，這樣可大大減小所需陣列波導光柵芯片的面積，從而降低無熱陣列波導光柵波分復用器的生產成本。一個優(yōu)選的方案是，伸縮桿上開設有至少一個填充孔，填充孔內填充有填充物，填充物的線性熱膨脹系數(shù)小于伸縮桿的線性熱膨脹系數(shù)。由此可見，在溫度變化較大時，填充物的線性變化不明顯，填充物能抵接在填充孔的兩端壁上，避免伸縮桿收縮的長度過大，從而減少伸縮桿的長度變化，進而減少無熱陣列波導光柵波分復用器中心波長的溫度漂移。進一步的方案是，無熱陣列波導光柵波分復用器還包括偏移抑制組件，具有一個夾子以及第一壓板，第一壓板具有抵接部，抵接部抵接在第一部分的上表面及第二部分的上表面，夾子的第一抵接邊抵接在第一壓板背對抵接部的表面上?？梢姡褂脢A子直接或間接地在垂直于基板上表面的方向上夾持基板的上下表面，可避免第一部分在垂直方向上相對于第二部分發(fā)生偏移，從而確保無熱陣列波導光柵波分復用器工作的穩(wěn)定性。本發(fā)明的無熱陣列波導光柵波分復用器還可以是包括陣列波導光柵芯片，其具有平面襯底，襯底上設有輸入平板波導、輸出光波導、與輸出光波導連接的輸出平板波導、連接在輸入平板波導與輸出平板波導之間的多根條形波導，并包括基板，陣列波導光柵芯片固定在基板的上表面，基板被至少一個分割面分割成第一部分及第二部分，分割面橫向穿過所述輸入平板波導的端面，一輸入光纖固定在第一部分上，且輸入光纖的輸出端正對輸入平板波導，還具有滑動組件，滑動組件的兩端分別固定在第一部分與第二部分上，且滑動組件為具有隨溫度變化而長度改變的伸縮桿。 由上述方案可見，滑動組件并不直接設置在陣列波導光柵芯片的波導層上，而是設置在基板上，制作成本較高的陣列波導光柵芯片固定在制作成本較低的基板上，這樣可大大減小陣列波導光柵芯片的面積，降低了無熱陣列波導光柵波分復用器的生產成本。


圖1是現(xiàn)有一種陣列波導光柵波分復用器的結構圖。
圖2是現(xiàn)有一種無熱陣列波導光柵波分復用器的結構圖。
圖3是幾種陣列波導光柵波分復用器的中心波長與溫度關系的曲線圖。
圖4是本發(fā)明第一實施例的結構圖。
圖5是圖4中A-A向的剖面放大圖。
圖6是本發(fā)明第一實施例的第一變形例中滑動組件與基板的剖面圖。
圖7是本發(fā)明第一實施例的第二變形例中滑動組件與基板的剖面圖。
圖8是本發(fā)明第二實施例的結構圖。
圖9是本發(fā)明第四實施例的局部結構圖。
圖10是圖9中B-B向的剖面放大圖。
圖11是本發(fā)明第五實施例的結構圖。
圖12是圖11中C-C向的剖面放大圖。
圖13是本發(fā)明第六實施例中偏移抑制組件與基板、輸入平板波導的剖面圖。
圖14是本發(fā)明第三實施例的結構圖。
以下結合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步說明。
具體實施例方式第一實施例
參見圖4，本實施例具有一塊基板30，基板30的上表面設有陣列波導光柵芯片35，陣列波導光柵芯片35具有平面襯底36，襯底36由硅材料制成，襯底36上沉積有波導層，波導層具有輸入光波導37、輸入平板波導38、陣列波導39、輸出平板波導40以及輸出光波導 41，其中陣列波導39具有多根并列設置且彎曲的條形波導，相鄰的兩根條形波導之間存在
長度差。本實施例中，基板30由硅材料制成，即基板30與襯底36的材料相同。陣列波導光柵芯片35制作完畢后使用膠水粘接在一塊面積較大的基板30上。當然，實際應用時，基板30還可以使用耐熱玻璃(Pyrex)或因瓦(Invar)合金等材料制作?；?0被分割面33分割成兩部分，分別是面積較小的第一部分31與面積較大的第二部分32，分割面33包括兩個平面，其中一個平面橫向穿過輸入平板波導38，從而將輸入平板波導38分割成第一輸入平板波導42與第二輸入平板波導43。本發(fā)明所說的橫向穿過，是指分割面沿著基本垂直于輸入平板波導38軸線的方向延伸并穿過輸入平板波導38， 且分割面33分割輸入平板波導38。本實施例中，分割面33垂直于輸入平板波導38的上表面。當然，分割面33也可以與輸入平板波導38的上表面形成一個角度較小的夾角，如8°的夾角。由于基板30被分割成第一部分31與第二部分32，因此第一部分31可相對于第二部分32發(fā)生位移。同時，由于位于第一部分31上的陣列波導光柵芯片35的部分是粘接在第一部分31上，因此當?shù)谝徊糠?1相對于第二部分32發(fā)生位移時，第一輸入平板波導42 也會相對于第二輸入平板波導43發(fā)生位移。通過調節(jié)第一輸入平板波導42與第二輸入平板波導43的相對位置，能調節(jié)無熱陣列波導光柵波分復用器的中心波長。這樣，在不同溫度下，控制第一輸入平板波導42與第二輸入平板波導43的相對位置，能實現(xiàn)對中心波長的調節(jié)，從而實現(xiàn)對溫度漂移的補償，提高無熱陣列波導光柵波分復用器的工作穩(wěn)定性。為了實現(xiàn)對第一輸入平板波導42與第二輸入平板波導43的相對位置的調節(jié)，本實施例的基板30上設有滑動組件50。參見圖5，滑動組件50具有一根伸縮桿51，伸縮桿 51由線性熱膨脹系數(shù)大于硅材料的材料制成，如鋁質材料制成，伸縮桿51的兩端分別通過固定件52、53固定在第一部分31與第二部分32上。本實施例中，固定件52、53選用具有透UV光的材料制成。由于耐熱玻璃具有與硅材料相接近的線性熱膨脹系數(shù)，且能透UV光， 因此選用耐熱玻璃作為制作固定件52、53的材料。由于伸縮桿51的長度隨溫度變化而發(fā)生較大變化，因而能在不同溫度下調節(jié)第一部分31與第二部分32的相對位置，從而改變第一輸入平板波導42與第二輸入平板波導 43的相對位置，實現(xiàn)對中心波長的補償，減少溫度漂移對中心波長的影響。此外，由于滑動組件50固定在制作成本較低的基板30上表面，而不是設置在陣列波導光柵芯片的波導層上，因此陣列波導光柵芯片的面積能做得很小，避免因使用面積較大的陣列波導光柵芯片而造成浪費，從而降低無熱陣列波導光柵波分復用器的生產成本。當然，本實施例中，分割面33是橫向穿過輸入平板波導38，實際應用時，分割面33 也可以橫向穿過輸出平板波導40，或者橫向地穿過輸入平板波導38與輸出平板波導40。此外，本實施例中，滑動組件還可以設計成如圖6與圖7的形狀，圖6中，伸縮桿55 設計成橋形，固定件56、57分別位于伸縮桿55兩端靠近第一部分31與第二部分32上表面處。圖7中，伸縮桿58設計成橋形，且兩端直接固定在第一部分31及第二部分32上，而不設置固定件。第二實施例
參見圖8，本實施例具有基板60，基板60由硅材料制成。在基板60上表面固定有陣列波導光柵芯片65，陣列波導光柵芯片65包括平面襯底66，襯底66上設有輸入光波導67、與輸入光波導67輸出端連接輸入平板波導68、輸出光波導71、與輸出光波導71輸入端連接的輸出平板波導70，襯底66上還設有連接在輸入平板波導68與輸出平板波導70之間的陣列波導69，陣列波導69由多根并列且彎曲的條形波導構成?；?0被分割面63分割成第一部分61及第二部分62，第一部分61可相對于第二部分發(fā)生位移，且分割面63剛好橫向地穿過輸入平板波導68靠近輸入光波導67的端面。當?shù)谝徊糠?1與第二部分62發(fā)生相對位移時，輸入光波導67與輸入平板波導68將發(fā)生相對位移，同樣能實現(xiàn)對中心波長進行補償?shù)哪康??；?0上還設有滑動組件72，滑動組件72的兩端分別固定在第一部分61與第二部分62上，且滑動組件具有伸縮桿，伸縮桿由鋁質材料制成，其線性熱膨脹系數(shù)大于基板 60的線性熱膨脹系數(shù)，以便在溫度變化時調節(jié)第一部分61與第二部分62的相對位置?；瑒咏M件72的結構與第一實施例中滑動組件的結構相同，在此不再贅述。第三實施例
本實施例是在第二實施例的基礎上對組件有所改變而得到的。本實施例具有基板，且基板被分割面分割成相互分離的第一部分以及第二部分，且分割面剛好橫向地穿過輸入平板波導靠近輸入光纖的端面。陣列波導光柵芯片的輸入平板波導、陣列波導、輸出平板波導以及輸出光波導位于第二部分，而粘接在第一部分上的僅為一根輸入光纖。也就是說，把第二實施例中粘接在第一部分61上的僅包含輸入光波導67的陣列波導光柵芯片部分替換為一根輸入光纖來實現(xiàn)無熱陣列波導光柵復用器。如圖14所示，輸入光纖167不是制作在襯底上，而是直接粘接在基板上，且輸入光纖167的輸出端正對輸入平板波導168。此外，本實施例還設有滑動組件172，滑動組件172的兩端分別固定在第一部分與第二部分上，滑動組件172的結構與第二實施例中滑動組件的結構相同，不再贅述?；瑒咏M件172具有伸縮桿，伸縮桿的線性熱膨脹系數(shù)大于基板的線性熱膨脹系數(shù)，以便在溫度變化時調節(jié)第一部分與第二部分的相對位置，也就是調節(jié)輸入光纖167與輸入平板波導168之間的相對位置，從而實現(xiàn)對中心波長的溫度漂移的補償。此外，滑動組件172兩端固定在基板上，而不是固定在波導層上，這樣能減少波導層的面積，從而降低波分復用器的生產成本。第一實施例、第二實施例與第三實施例中，伸縮桿由鋁制成，其線性熱膨脹系數(shù)為 23. 6ppm/°C，而基板由硅材料制成，其線性熱膨脹系數(shù)為2. 5ppm/°C，因此，使用鋁質的伸縮桿用來補償無熱陣列波導光柵波分復用器的中心波長隨溫度漂移的長度值較大。補償后的無熱陣列波導光柵波分復用器，溫度在-30°C到70°C變化時，其中心波長的偏移量為0. 04 納米，中心波長隨溫度變化的曲線如圖3中的虛線a-b-c所示，其仍不能滿足帶通較寬的網(wǎng)絡系統(tǒng)的工作要求，本發(fā)明還對滑動組件改進以減少中心波長的溫度漂移。第四實施例
本實施例具有基板，基板上設有陣列波導光柵芯片，陣列波導光柵芯片具有襯底，襯底上設有輸入光波導、輸入平板波導、陣列波導、輸出平板波導以及輸出光波導，上述結構與第一實施例相同，不再贅述。參見圖9與圖10，基板被分割面83分割成第一部分81以及第二部分82，滑動組件84固定在基板上，且滑動組件84的兩端分別固定在第一部分81與第二部分82上?；瑒咏M件84包括一個伸縮桿85，伸縮桿85由鋁質材料制成，伸縮桿85的兩端通過固定件86、87分別固定在第一部分81與第二部分82上。伸縮桿85上開設有一個填充孔88，填充孔88為貫穿伸縮桿85上下表面的通孔，填充孔88內填充有填充物89。填充物 89由線性熱膨脹系數(shù)小于伸縮桿84線性熱膨脹系數(shù)的材料制成，本實施例中，填充物89為銅，其線性熱膨脹系數(shù)為16. 4ppm/°C。填充物89的一端固定在填充孔88的一個端壁上，另一端為自由端，即不與填充孔88的另一個端壁固定。
在溫度為20°C時，填充物89填充在填充孔88內，且填充物89與填充孔88兩端壁剛好相互接觸且不產生相互作用力。溫度低于20°C時，填充物89收縮距離較小，其兩端將抵接填充孔88的兩端壁，從而抑制伸縮桿85的收縮長度。在溫度高于20°C時，填充物89 的自由端與填充孔88的端壁不接觸，因此填充物89與填充孔88之間不產生相互作用力。通過填充物89對伸縮桿85收縮長度的補償后，在溫度變化從_30°C到70°C時，無熱陣列波導光柵波分復用器內的中心波長偏移量只有0.01納米，中心波長與溫度的關系曲線如圖3中的實線d-e-f-g-h所示。本實施例中，設置無熱陣列波導光柵波分復用器中心波長的偏移量在_5°C和45°C時為零?？梢姡鄬τ诘谝粚嵤├c第二實施例，本實施例具有更好的溫度穩(wěn)定性。實際應用時，伸縮桿85上可設置兩個或多個填充孔，每一填充孔填充有不同材質的填充物，如其中一個填充孔填充銅作為填充物，另一填充孔填充銀作為填充物等，且兩種填充物的線性熱膨脹系數(shù)不相同，這樣能更好地實現(xiàn)對中心波長的補償。此外，不同填充孔內填充的填充物也可以是相同的物質，即具有相同的線性熱膨脹系數(shù)，這并不影響本發(fā)明的實施?；宓牡谝徊糠?1與第二部分82通過滑動組件84連接在一起，并且在平行于基板上表面的方向上可以通過無源耦合技術實現(xiàn)精確的對準。然而，當無熱陣列波導光柵波分復用器受到震動時，在垂直于基板上表面的方向上，第一部分81與第二部分82之間很容易失準，即形成偏移。第五實施例
參見圖11，本實施例具有基板90，基板90上設有陣列波導光柵芯片95，陣列波導光柵芯片95包括平板襯底96，襯底96上設有波導層，波導層包括輸入光波導97、輸入平板波導 98、陣列波導99、輸出平板波導100以及輸出光波導101，其中陣列波導99由多根彎曲且并列設置的條形波導構成?；?0被分割面93分割成第一部分91以及第二部分92，且分割面93橫向穿過輸入平板波導98?；?0上還設有滑動組件102，滑動組件102的兩端分別固定在第一部分91以及第二部分92上，且滑動組件102還設有伸縮桿，伸縮桿由線性熱膨脹系數(shù)大于基板90的線性熱膨脹系數(shù)的材料制成。本實施例還設有偏移抑制組件110，用于抑制第一部分91的基板相對第二部分92 的基板產生在垂直于基板平面方向上的移動或轉動。參見圖12，偏移抑制組件110包括一個夾子111以及壓板115，壓板115具有兩個抵接腳116，兩個抵接腳116構成了本實施例的抵接部。兩個抵接腳116位于壓板115—對相對的側邊上，并且從壓板115的板體向基板上表面方向延伸，兩個抵接腳116抵接在基板的上表面上。兩個抵接腳116之間形成一定空間，輸入平板波導98位于兩個抵接腳116之間，且輸入平板波導98的上表面不與壓板 115接觸，這樣，壓板115不會擠壓輸入平板波導98，避免對輸入平板波導造成影響。夾子111具有上下兩條抵接邊112、113，其中抵接邊112抵接在壓板115背對基板的表面上，抵接邊113抵接在基板的下表面上。從圖11可見，偏移抑制組件110跨越第一部分91以及第二部分92，因此壓板115的兩個抵接腳116將抵接在第一部分91的上表面以及第二部分92的上表面，夾子111的抵接邊113將抵接在第一部分91以及第二部分92 的下表面上，從而在垂直于基板90上表面的方向上防止第一部分91與第二部分92發(fā)生偏移。第六實施例
本實施例具有基板，基板上設有陣列波導光柵芯片，陣列波導光柵芯片具有襯底，襯底上設有輸入光波導、輸入平板波導、陣列波導、輸出平板波導以及輸出光波導，且基板被分割面分割成第一部分以及第二部分，分割面橫向地穿過輸入平板波導。滑動組件設置在基板上，且滑動組件的兩端分別固定在第一部分及第二部分上，上述結構與第五實施例相同， 不再贅述。本實施例還設有偏移抑制組件，偏移抑制組件如圖13所示，包括夾子120以及壓板125、127，壓板125具有兩個抵接腳126，抵接腳1 抵接在基板130的上表面上，且輸入平板波導131位于兩個抵接腳1 之間，且輸入平板波導131不與壓板125接觸，以防止壓板125擠壓輸入平板波導131。夾子120的抵接邊121抵接在壓板125背對基板130的表面上。壓板127也設有兩個抵接腳128，兩個抵接腳128抵接在基板130的下表面上，夾子120的抵接邊122抵接在壓板127背對基板130的表面上。與第五實施例相同，本實施例的壓板125、127抵接在基板130的第一部分以及第二部分上，即偏移抑制組件120跨越第一部分以及第二部分，從而抑制第一部分相對于第二部分在垂直于基板上表面的方向上偏移。實際應用時，第五實施例與第六實施例中，位于基板上表面的壓板兩個抵接腳需要避讓陣列波導光柵芯片，即兩個抵接腳不能抵接在波導層上，以避免壓板對波導層的擠壓而對陣列波導光柵芯片的工作造成影響。當然，上述實施例僅是本發(fā)明較佳的實施方式，實際應用時，還可以有更多的改變，例如，使用線性熱膨脹系數(shù)較大的非金屬材料制作滑動組件的伸縮桿，如橡膠等，或者， 伸縮桿上設置的多個填充孔中，多種填充物中，一部分填充物的線性熱膨脹系數(shù)大于伸縮桿的線性熱膨脹系數(shù)，另一些填充物的線性熱膨脹系數(shù)小于伸縮桿的線性熱膨脹系數(shù)等， 這樣的改變也能實現(xiàn)本發(fā)明的目的。最后需要強調的是，本發(fā)明不限于上述實施方式，如基板材料的改變、夾子與壓板形狀的改變等變化也應該包括在本發(fā)明權利要求的保護范圍內。
權利要求
1.無熱陣列波導光柵波分復用器，包括陣列波導光柵芯片，具有平面襯底，所述襯底上設有輸入光波導、與所述輸入光波導連接的輸入平板波導、輸出光波導、與所述輸出光波導連接的輸出平板波導、連接在所述輸入平板波導與所述輸出平板波導之間的多根條形波導；其特征在于基板，所述陣列波導光柵芯片固定在所述基板的上表面，所述基板被至少一個分割面分割成第一部分及第二部分，所述分割面橫向穿過所述輸入平板波導與所述輸出平板波導中的至少一個；滑動組件，所述滑動組件的兩端分別固定在所述第一部分與所述第二部分上，且所述滑動組件為具有隨溫度變化而長度改變的伸縮桿。
2.根據(jù)權利要求1所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述分割面與被分割的所述輸入平板波導和/或所述輸出平板波導的上表面垂直。
3.根據(jù)權利要求1所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述分割面與被分割的所述輸入平板波導和/或所述輸出平板波導的上表面之間形成的夾角為銳角。
4.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述伸縮桿上開設有至少一個填充孔，所述填充孔內填充有填充物，所述填充物的線性熱膨脹系數(shù)小于所述伸縮桿的線性熱膨脹系數(shù)。
5.根據(jù)權利要求4所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述填充孔為貫穿所述伸縮桿上下表面的通孔。
6.根據(jù)權利要求4所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述填充孔的數(shù)量為二個或二個以上，每一所述填充孔內均填充有所述填充物。
7.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于還包括偏移抑制組件，具有一個夾子以及第一壓板，所述第一壓板具有抵接部，所述抵接部抵接在所述第一部分的上表面及所述第二部分的上表面，所述夾子的第一抵接邊抵接在所述第一壓板背對所述基板的表面上。
8.根據(jù)權利要求7所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述抵接部包括位于所述第一壓板一對相對側邊上的第一抵接腳與第二抵接腳，所述輸入平板波導或所述輸出平板波導位于所述第一抵接腳與所述第二抵接腳之間。
9.根據(jù)權利要求7所述的無熱陣列波導光柵波分復用器，其特征在于所述偏移抑制組件還包括第二壓板，所述第二壓板抵接在所述基板的下表面，所述夾子的第二抵接邊抵接在所述第二壓板背對所述基板的表面上。
10.無熱陣列波導光柵波分復用器，包括陣列波導光柵芯片，具有平面襯底，所述襯底上設有輸入平板波導、輸出光波導、與所述輸出光波導連接的輸出平板波導、連接在所述輸入平板波導與所述輸出平板波導之間的多根條形波導；其特征在于基板，所述陣列波導光柵芯片固定在所述基板的上表面，所述基板被至少一個分割面分割成第一部分及第二部分，所述分割面橫向穿過所述輸入平板波導的端面，一輸入光纖固定在所述第一部分上，且輸入光纖的輸出端正對所述輸入平板波導；滑動組件，所述滑動組件的兩端分別固定在所述第一部分與所述第二部分上，且所述滑動組件為具有隨溫度變化而長度改變的伸縮桿。
全文摘要
本發(fā)明提供一種無熱陣列波導光柵波分復用器，包括陣列波導光柵芯片，具有平面襯底，襯底上設有輸入光波導、與輸入光波導連接的輸入平板波導、輸出光波導、與輸出光波導連接的輸出平板波導、連接在輸入平板波導與輸出平板波導之間的多根條形波導，其中，還包括基板以及滑動組件，陣列波導光柵芯片固定在基板的上表面，基板被至少一個分割面分割成第一部分及第二部分，分割面橫向穿過輸入平板波導與輸出平板波導中的至少一個，滑動組件的兩端分別固定在第一部分與第二部分上，且滑動組件為具有隨溫度變化而長度改變的伸縮桿。本發(fā)明提供的無熱陣列波導光柵波分復用器生產成本較低，且中心波長的溫度漂移不明顯，工作穩(wěn)定性較高。
文檔編號H04J14/02GK102193149SQ201110148539
公開日2011年9月21日 申請日期2011年6月3日 優(yōu)先權日2011年6月3日
發(fā)明者劉曉遠, 吳浩然, 喻宏偉, 張院良, 李素霞, 龔森明 申請人:珠海保稅區(qū)光聯(lián)通訊技術有限公司