專利名稱：振膜及包括該振膜的電容麥克風(fēng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種振膜及包括該振膜的電容麥克風(fēng)。
背景技術(shù)：
隨著無線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來越多，用戶對(duì)移動(dòng)電話的要求已不 僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移 動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好 壞直接影響通話質(zhì)量。而目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)(Micro-Electro-Mech anical-System Microphone，簡稱MEMS)，相關(guān)技術(shù)中，MEMS麥克風(fēng)包括基底、背板和振膜。 振膜是MEMS麥克風(fēng)的重要部件，振膜一般采用均勻分布的固定梁來支撐。但這種振膜結(jié)構(gòu) 的薄膜應(yīng)力很難釋放，從而影響了麥克風(fēng)的靈敏度和一致性。所以有必要提供一種新型振 膜和包括該新型振膜的麥克風(fēng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明需解決的技術(shù)問題是提供一種能夠釋放薄膜在沉積過程中所形成的應(yīng)力 的振膜和一種能夠提高靈敏度和一致性的電容麥克風(fēng)。根據(jù)上述需解決的技術(shù)問題，設(shè)計(jì)了一種振膜，其包括振動(dòng)部和與振動(dòng)部相連的 支撐部，所述支撐部與振動(dòng)部通過凸出于振動(dòng)部外周的凸塊連接，且振動(dòng)部與支撐部之間 有第一縫隙，支撐部包括位于振動(dòng)部外周且與凸塊分離的支撐梁、與凸塊相連的扭轉(zhuǎn)梁和 與支撐梁相連的固定梁，固定梁與扭轉(zhuǎn)梁之間有第二縫隙。優(yōu)選的，所述扭轉(zhuǎn)梁與支撐梁連接。優(yōu)選的，所述振動(dòng)部、凸塊和扭轉(zhuǎn)梁共面。優(yōu)選的，振動(dòng)部與扭轉(zhuǎn)梁之間具有垂直落差。優(yōu)選的，凸塊與振動(dòng)部共面，凸塊與扭轉(zhuǎn)梁之間設(shè)有臺(tái)階。本發(fā)明還提供了 一種電容麥克風(fēng)，其包括如上所述的振膜。本發(fā)明的有益效果在于由于支撐部包括位于振動(dòng)部外周且與凸塊分離的支撐 梁、與凸塊相連的扭轉(zhuǎn)梁和與支撐梁相連的固定梁，固定梁與扭轉(zhuǎn)梁之間有第二縫隙，所以 通過扭轉(zhuǎn)梁可以釋放振膜在沉積過程中所產(chǎn)生的應(yīng)力。由于凸塊與振動(dòng)部共面，凸塊與扭轉(zhuǎn)梁之間設(shè)有臺(tái)階，所以可以進(jìn)一步釋放薄膜 的應(yīng)力。由于電容麥克風(fēng)采用了如上所述的振膜，所以提高了電容麥克風(fēng)的靈敏度和一致 性。


圖1是本發(fā)明提供的振膜一個(gè)實(shí)施例的立體圖2是本發(fā)明提供的振膜第二個(gè)實(shí)施例的立體圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。本發(fā)明提供的硅電容麥克風(fēng)主要用于手機(jī)等電子設(shè)備中，用于接收聲音。振膜用 于該硅電容麥克風(fēng)中。本發(fā)明提供的第一個(gè)實(shí)施例，參見圖1，本發(fā)明提供的振膜1，包括振動(dòng)部11和支 撐部12，振動(dòng)部11與支撐部12通過凸塊15相連，且振動(dòng)部11與支撐部12之間有第一縫 隙13。凸塊15突出于振動(dòng)部11的外周。支撐部12包括位于振動(dòng)部11外周且與凸塊15分離的支撐梁121、與凸塊15相連 的扭轉(zhuǎn)梁122和與支撐梁121相連的固定梁123。固定梁123與扭轉(zhuǎn)梁122之間有第二縫 隙14。扭轉(zhuǎn)梁122與支撐梁123可以連接。圖1中，振動(dòng)部11、凸塊15和扭轉(zhuǎn)梁122是共面的。通過扭轉(zhuǎn)梁122可以釋放振膜1在沉積過程中所產(chǎn)生的應(yīng)力。參見圖2，在本發(fā)明提供的另外一個(gè)實(shí)施例中，提供的振膜la，振動(dòng)部Ila與扭轉(zhuǎn) 梁122a不在一個(gè)平面上，即振動(dòng)部Ila與扭轉(zhuǎn)梁122a之間具有垂直落差。一種方式是凸塊15a與振動(dòng)部Ila共面，凸塊15a與扭轉(zhuǎn)梁122a之間設(shè)有臺(tái)階 16a0由于凸塊15a與振動(dòng)部Ila共面，凸塊15a與扭轉(zhuǎn)梁122a之間設(shè)有臺(tái)階16a，所以 可以進(jìn)一步釋放振膜Ia的應(yīng)力。本發(fā)明提供的電容麥克風(fēng)包括如上所述的振膜。以上所述的僅是本發(fā)明的若干實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本發(fā)明的保 護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種振膜，其包括振動(dòng)部和與振動(dòng)部相連的支撐部，所述支撐部與振動(dòng)部通過凸出于振動(dòng)部外周的凸塊連接，且振動(dòng)部與支撐部之間有第一縫隙，其特征在于支撐部包括位于振動(dòng)部外周且與凸塊分離的支撐梁、與凸塊相連的扭轉(zhuǎn)梁和與支撐梁相連的固定梁，固定梁與扭轉(zhuǎn)梁之間有第二縫隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于所述扭轉(zhuǎn)梁與支撐梁連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于所述振動(dòng)部、凸塊和扭轉(zhuǎn)梁共面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于振動(dòng)部與扭轉(zhuǎn)梁之間具有垂直落差。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振膜，其特征在于凸塊與振動(dòng)部共面，凸塊與扭轉(zhuǎn)梁之間設(shè) 有臺(tái)階。
6.一種電容麥克風(fēng)，其特征在于其包括權(quán)利要求1所述的振膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種振膜，其包括振動(dòng)部和與振動(dòng)部相連的支撐部，所述支撐部與振動(dòng)部通過凸出于振動(dòng)部外周的凸塊連接，且振動(dòng)部與支撐部之間有第一縫隙，支撐部包括位于振動(dòng)部外周且與凸塊分離的支撐梁、與凸塊相連的扭轉(zhuǎn)梁和與支撐梁相連的固定梁，固定梁與扭轉(zhuǎn)梁之間有第二縫隙。該種振膜可以釋放振膜在沉積過程中所形成的應(yīng)力。
文檔編號(hào)H04R19/04GK101883306SQ20101016372
公開日2010年11月10日 申請日期2010年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月27日
發(fā)明者張睿, 楊斌 申請人:瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲微電子科技(常州)有限公司