高屏蔽性聲表面波濾波器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及濾波器技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種高屏蔽性聲表面波濾波器。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，當(dāng)電壓加載在具有壓電特性的基片材料的電極上，會(huì)在壓電體材料的晶格中形成機(jī)械形變。當(dāng)加載在壓電晶體材料電極上的電壓為輸入的電信號(hào)，會(huì)在壓電晶體材料表面的晶格中形成聲表面波，該聲表面波是一種在壓電晶體材料表面?zhèn)鞑?，振幅隨深入基片材料深度的增加而迅速減少的彈性機(jī)械波。
[0003]聲表面波濾波器的基本結(jié)構(gòu)是在壓電特性的基片材料上通過(guò)半導(dǎo)體工藝形成交叉成對(duì)的梳狀金屬結(jié)構(gòu)(稱(chēng)之為叉指換能器)，在叉指換能器上施加電信號(hào)，壓電材料表面產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)同時(shí)產(chǎn)生聲表面波，這種聲表面波在壓電材料表面?zhèn)鞑ァ２嬷笓Q能器包括輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器。電信號(hào)通過(guò)輸入端叉指換能器轉(zhuǎn)換成聲表面波信號(hào)，沿晶體表面?zhèn)鞑ヒ欢ň嚯x后到達(dá)輸出端叉指換能器，輸出端叉指換能器將接收到的聲表面波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出。所述輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器根據(jù)不同的切指加權(quán)結(jié)構(gòu)，對(duì)聲表面波具有不同的傳輸特性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種高屏蔽性聲表面波濾波器，能夠?qū)崿F(xiàn)三個(gè)濾波器的功能，并提尚屏蔽能力。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種高屏蔽性聲表面波濾波器，所述高屏蔽性聲表面波濾波器包括第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，所述第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器集成于壓電晶體基片上；
[0006]所述第一聲表面波濾波器包括第一輸入端叉指換能器和第一輸出端叉指換能器，所述第一輸入端叉指換能器和第一輸出端叉指換能器之間設(shè)置有第一屏蔽條，所述第二聲表面波濾波器包括第二輸入端叉指換能器、第三輸入端叉指換能器和第二輸出端叉指換能器，所述第二輸入端叉指換能器和第三輸入端叉指換能器與第二輸出端叉指換能器之間設(shè)置有第二屏蔽條，所述第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器之間設(shè)置有第三屏蔽條，所述第一屏蔽條和第二屏蔽條與第三屏蔽條連接，所述第三屏蔽條表面設(shè)置有電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶；
[0007]所述第一輸入端叉指換能器的各叉指指條的梳柄部分通過(guò)第一匯流條以及第二匯流條相連接，所述第一屏蔽條的一端與第一輸入端叉指換能器的第一匯流條連接并接地，所述第一屏蔽條的另一端與第三屏蔽條成T形連接；所述第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端與第一輸入端叉指換能器的叉指指條連接。
[0008]優(yōu)選的，將第一輸入端叉指換能器的第二匯流條的叉指指條沿斜線切斷，并將切斷的叉指指條連接到延伸的第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端上，在第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端上形成一組三角形的叉指指條。
[0009]優(yōu)選的，所述電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶重疊設(shè)置，所述電學(xué)隔離帶設(shè)置在所述聲學(xué)隔離帶上方。
[0010]優(yōu)選的，所述電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶重疊設(shè)置，所述聲學(xué)隔離帶設(shè)置在所述電學(xué)隔離帶上方。
[0011]本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案的有益效果如下:
[0012]上述方案中，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，在同一芯片上實(shí)現(xiàn)了三個(gè)濾波器功能，通過(guò)設(shè)置對(duì)聲表面波濾波器的屏蔽條進(jìn)行了改進(jìn)，該結(jié)構(gòu)能夠大幅減小直通信號(hào)，進(jìn)而改善阻帶。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的高屏蔽性聲表面波濾波器結(jié)構(gòu)圖。
[0014][主要元件符號(hào)說(shuō)明]
[0015]1、第一聲表面波濾波器；
[0016]2、第二聲表面波濾波器；
[0017]3、第一輸入端叉指換能器；
[0018]4、第一輸出端叉指換能器；
[0019]5、第一屏蔽條；
[0020]6、第二輸入端叉指換能器；
[0021]7、第三輸入端叉指換能器；
[0022]8、第二輸出端叉指換能器；
[0023]9、第二屏蔽條；
[0024]10、第三屏蔽條；
[0025]11、電學(xué)隔離帶；
[0026]12、聲學(xué)隔離帶；
[0027]13、第一匯流條；
[0028]14、第二匯流條。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為使本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0030]如圖1所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的一種高屏蔽性聲表面波濾波器，所述高屏蔽性聲表面波濾波器包括第一聲表面波濾波器I和第二聲表面波濾波器2，所述第一聲表面波濾波器I和第二聲表面波濾波器2集成于壓電晶體基片上；
[0031]所述第一聲表面波濾波器I包括第一輸入端叉指換能器3和第一輸出端叉指換能器4，所述第一輸入端叉指換能器3和第一輸出端叉指換能器4之間設(shè)置有第一屏蔽條5，所述第二聲表面波濾波器2包括第二輸入端叉指換能器6、第三輸入端叉指換能器7和第二輸出端叉指換能器8，所述第二輸入端叉指換能器6和第三輸入端叉指換能器7與第二輸出端叉指換能器8之間設(shè)置有第二屏蔽條9，所述第一聲表面波濾波器I和第二聲表面波濾波器2之間設(shè)置有第三屏蔽條10，所述第一屏蔽條5和第二屏蔽條9與第三屏蔽條10連接，所述第三屏蔽條10表面設(shè)置有電學(xué)隔離帶11和聲學(xué)隔離帶12 ;
[0032]所述第一輸入端叉指換能器3的各叉指指條的梳柄部分通過(guò)第一匯流條13以及第二匯流條14相連接，所述第一屏蔽條5的一端與第一輸入端叉指換能器3的第一匯流條13連接并接地，所述第一屏蔽條5的另一端與第三屏蔽條10成T形連接；所述第三屏蔽條10靠近第一輸入端叉指換能器3的一端與第一輸入端叉指換能器3的叉指指條連接。
[0033]本實(shí)用新型實(shí)施例的高屏蔽性聲表面波濾波器，通過(guò)設(shè)置第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，在同一芯片上實(shí)現(xiàn)了三個(gè)濾波器功能，通過(guò)設(shè)置對(duì)聲表面波濾波器的屏蔽條進(jìn)行了改進(jìn)，該結(jié)構(gòu)能夠大幅減小直通信號(hào)，進(jìn)而改善阻帶。
[0034]優(yōu)選的，將第一輸入端叉指換能器的第二匯流條的叉指指條沿斜線切斷，并將切斷的叉指指條連接到延伸的第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端上，在第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端上形成一組三角形的叉指指條。
[0035]優(yōu)選的，所述電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶重疊設(shè)置，所述電學(xué)隔離帶設(shè)置在所述聲學(xué)隔離帶上方。
[0036]優(yōu)選的，所述電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶重疊設(shè)置，所述聲學(xué)隔離帶設(shè)置在所述電學(xué)隔離帶上方。
[0037]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，在同一芯片上實(shí)現(xiàn)了三個(gè)濾波器功能，通過(guò)設(shè)置對(duì)聲表面波濾波器的屏蔽條進(jìn)行了改進(jìn)，該結(jié)構(gòu)能夠大幅減小直通信號(hào)，進(jìn)而改善阻帶。
[0038]上述方案中，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，在同一芯片上實(shí)現(xiàn)了三個(gè)濾波器功能，通過(guò)設(shè)置對(duì)聲表面波濾波器的屏蔽條進(jìn)行了改進(jìn)，該結(jié)構(gòu)能夠大幅減小直通信號(hào)，進(jìn)而改善阻帶。
[0039]以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高屏蔽性聲表面波濾波器，其特征在于，所述高屏蔽性聲表面波濾波器包括第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，所述第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器集成于壓電晶體基片上； 所述第一聲表面波濾波器包括第一輸入端叉指換能器和第一輸出端叉指換能器，所述第一輸入端叉指換能器和第一輸出端叉指換能器之間設(shè)置有第一屏蔽條，所述第二聲表面波濾波器包括第二輸入端叉指換能器、第三輸入端叉指換能器和第二輸出端叉指換能器，所述第二輸入端叉指換能器和第三輸入端叉指換能器與第二輸出端叉指換能器之間設(shè)置有第二屏蔽條，所述第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器之間設(shè)置有第三屏蔽條，所述第一屏蔽條和第二屏蔽條與第三屏蔽條連接，所述第三屏蔽條表面設(shè)置有電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶； 所述第一輸入端叉指換能器的各叉指指條的梳柄部分通過(guò)第一匯流條以及第二匯流條相連接，所述第一屏蔽條的一端與第一輸入端叉指換能器的第一匯流條連接并接地，所述第一屏蔽條的另一端與第三屏蔽條成T形連接；所述第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端與第一輸入端叉指換能器的叉指指條連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述高屏蔽性聲表面波濾波器，其特征在于:將第一輸入端叉指換能器的第二匯流條的叉指指條沿斜線切斷，并將切斷的叉指指條連接到延伸的第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端上，在第三屏蔽條靠近第一輸入端叉指換能器的一端上形成一組三角形的叉指指條。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述高屏蔽性聲表面波濾波器，其特征在于:所述電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶重疊設(shè)置，所述電學(xué)隔離帶設(shè)置在所述聲學(xué)隔離帶上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述高屏蔽性聲表面波濾波器，其特征在于:所述電學(xué)隔離帶和聲學(xué)隔離帶重疊設(shè)置，所述聲學(xué)隔離帶設(shè)置在所述電學(xué)隔離帶上方。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種高屏蔽性聲表面波濾波器，所述高屏蔽性聲表面波濾波器包括第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，所述第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器集成于壓電晶體基片上；本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置第一聲表面波濾波器和第二聲表面波濾波器，在同一芯片上實(shí)現(xiàn)了三個(gè)濾波器功能，通過(guò)設(shè)置對(duì)聲表面波濾波器的屏蔽條進(jìn)行了改進(jìn)，該結(jié)構(gòu)能夠大幅減小直通信號(hào)，進(jìn)而改善阻帶。
【IPC分類(lèi)】H03H9-64
【公開(kāi)號(hào)】CN204498081
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520235244
【發(fā)明人】梁玉成, 馬春榮, 韓軍獻(xiàn), 賀春暉, 王偉澤, 侯月芹, 李輝, 易先堂, 楊小云, 張安康, 關(guān)永強(qiáng)
【申請(qǐng)人】梁玉成
【公開(kāi)日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2015年4月17日