離子發(fā)生裝置及具備其的除電裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及產(chǎn)生正離子和負離子的離子發(fā)生裝置以及將帶電的對象物的帶電利用正離子和負離子除去的除電裝置。
【背景技術】
[0002]使用離子發(fā)生裝置的對象技術領域及其應用領域(裝置)涉及多個方面。主要用于工業(yè)的可舉出電子照片帶電裝置、空氣消毒、殺菌或除臭裝置、電子集塵裝置、臭氧發(fā)生裝置、靜電噴涂裝置等，例如在液晶顯示裝置、半導體裝置的制造工序等中，為了防止超凈車間內的靜電障礙而作為除電裝置使用。
[0003]除電裝置通過對帶電的對象物照射利用電暈放電使周圍的空氣分子電離而生成的正負離子來進行除電。當正負離子的釋放量偏向任一方時，有時反而使對象物帶電，因此調節(jié)平衡，使得正負離子相等。
[0004]最近，隨著利用除電裝置的使用環(huán)境的省空間化，要求在使除電裝置接近對象物的狀態(tài)下也能使用除電裝置。但是，當使除電裝置接近對象物時，存在對象物由于產(chǎn)生于放電電極的電場而帶電的問題。
[0005]因此，如圖7所示，專利文獻I的除電裝置90具備:至少一個放電電極91，其用于產(chǎn)生離子；風扇92，其用于使離子飛出；箱體94，其設有向風扇部開口的箱體開口部93 ;以及遮擋部95，其網(wǎng)狀地設有遮擋箱體開口部93的遮擋條95a，由此將遮擋部95與各放電電極91重疊配置而形成電場阻斷部，防止由放電電極91的電場造成的對象物帶電。
[0006]另外，在專利文獻2中，在點狀地吹出離子的噴嘴開口設有金屬網(wǎng)格柵的電離器中，將格柵的網(wǎng)眼的空間率SR設定在35%以上且65%以下的范圍，由此除了保持離子平衡以外，還防止除電能力的降低。
_7] 現(xiàn)有技術文獻
[0008]專利f獻
[0009]專利文獻1:特許第4290437號公報
[0010]專利文獻2:特開2008 - 41345號公報

【發(fā)明內容】

[0011]發(fā)明要解決的問題
[0012]然而，專利文獻I的除電裝置90沒有公開將阻斷電場的遮擋部95的面積設為何種程度，當電場阻斷部過大時，存在除電時間變長而除電能力降低的問題。
[0013]另外，專利文獻2的電離器使點狀的噴嘴開口中的格柵的空間率SR實現(xiàn)最佳化，在對象物比較小的情況下，能改善離子平衡，但就從多個放電電極向較大的對象物釋放離子的除電裝置而言，專利文獻2的空間率SR未必一定是最佳的，存在除電能力降低而無法取得離子平衡的問題。
[0014]本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種離子發(fā)生裝置，具備多個放電電極，能確保接近使用時的除電速度和離子平衡，具備優(yōu)良的除電性能。
_5] 用于解決問題的方案
[0016]本發(fā)明的離子發(fā)生裝置具備:多個放電電極，其分別生成正或負的離子；風扇，其將由放電電極生成的離子向外部送風；以及金屬網(wǎng)，其配置在離子的送風口，上述離子發(fā)生裝置的特征在于，金屬網(wǎng)具有第I網(wǎng)眼部和與第I網(wǎng)眼部相比網(wǎng)眼更大的第2網(wǎng)眼部，放電電極在投影的狀態(tài)下位于第I網(wǎng)眼部。
[0017]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述構成的離子發(fā)生裝置中，放電電極在投影的狀態(tài)下位于與第I網(wǎng)眼部的線部重疊的位置。
[0018]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述構成的離子發(fā)生裝置中，放電電極是針狀電極。
[0019]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述構成的離子發(fā)生裝置中，針狀電極的頂端部在投影的狀態(tài)下位于與第I網(wǎng)眼部的線部重疊的位置。
[0020]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述構成的離子發(fā)生裝置中，針狀電極的頂端部在投影的狀態(tài)下位于與第I網(wǎng)眼部的交點重疊的位置。
[0021]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述構成的離子發(fā)生裝置中，放電電極配置成線狀，金屬網(wǎng)的第I網(wǎng)眼部和第2網(wǎng)眼部與放電電極的配置相應地交替配置。
[0022]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述構成的離子發(fā)生裝置中，風扇是橫流風扇。
[0023]另外，本發(fā)明的除電裝置的特征在于，具備上述任一個離子發(fā)生裝置。
[0024]發(fā)明效果
[0025]根據(jù)本發(fā)明，可提供一種離子發(fā)生裝置，具備多個放電電極，能確保接近使用時的除電速度和正負離子量的平衡，具備優(yōu)良的除電性能。
【附圖說明】
[0026]圖1是用于說明本發(fā)明實施方式的除電裝置的示意圖。
[0027]圖2是表示本發(fā)明實施方式的除電裝置的構成和除電性能的測定條件的俯視圖。
[0028]圖3(A)?(C)是表示設于本發(fā)明實施方式的除電裝置的金屬網(wǎng)的種類的示意圖。
[0029]圖4(A)是表示距離使用圖3所示的各種金屬網(wǎng)的除電裝置的距離與離子平衡的關系的圖，圖4 (B)是表示距離使用圖3所示的各種金屬網(wǎng)的除電裝置的距離與除電時間的關系的圖。
[0030]圖5(A)、(A2)、(D)、(D2)是表示本發(fā)明實施方式的除電裝置的金屬網(wǎng)的第I網(wǎng)眼部NI和第2網(wǎng)眼部N2的示意圖。
[0031]圖6(A)是表示距離使用圖5所示的各種金屬網(wǎng)的除電裝置的距離與離子平衡的關系的圖，圖6 (B)是表示距離使用圖5所示的各種金屬網(wǎng)的除電裝置的距離與除電時間的關系的圖。
[0032]圖7是表示專利文獻I的除電裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0033]以下用圖1至圖6詳細地說明本發(fā)明的實施方式。作為實施方式，示出將本發(fā)明的離子發(fā)生裝置具體化后的除電裝置。此外，實施方式終宄作為一個例子而示出，并不限定本發(fā)明的技術范圍。
[0034]圖1是用于說明本實施方式的除電裝置100的示意圖。如圖1所示，本實施方式的除電裝置100具備:放電單元11，其作為放電電極10具有生成正離子的針狀電極1a和生成負離子的針狀電極1b ;高壓電路12，其對放電單元11供給高電壓；以及控制電路13，其控制放電單元11和高壓電路12。
[0035]此外，具備:風扇14，其用于將由放電單元11生成的正負離子向被除電物送風；以及金屬網(wǎng)15，其設置在放電單元11的離子送風口(未圖示)。
[0036]在圖1中一并示出用于測定除電裝置100的除電性能的構成，配置有作為被除電物的充電板80和測定充電板80的電位的表面電位計81。充電板80是由TRECK公司生產(chǎn)的產(chǎn)品，重疊有150 X 150mm的矩形金屬板，具有20pF的靜電電容。
[0037]測定離子平衡和除電時間來評價除電裝置100的除電性能。在將充電板80暫時接地而將表面電位設為OV后，使除電裝置100的離子風碰到配置于規(guī)定位置的充電板80，用表面電位計81測定充電板80的帶電量(單位:V)而求出離子平衡。另外，除電時間(單位:秒)是測定對充電板80從IkV到100V進行除電的時間和從一 IkV到一 100V進行除電的時間，并將兩者的平均值作為除電時間來求出。
[0038]圖2是針對除電裝置100示出除電性能的測定方法的俯視圖。如圖2所示，在除電性能的測定中，在從除電裝置100離開50mm、100mm、300mm的距離處配置充電板80，使充電板80的中心向作為用X標記示出的送風口的寬度方向的9個點(0mm、±50mm、± 100mm、±150mm、±200mm)移動，包括面內不勻在內測定離子平衡和除電時間。
[0039]在圖2中，詳細地說明除電裝置100的結構，在放電單元11中，作為放電電極10成對地設置有生成正1?子的針狀電極1a和生成負尚子的針狀電極10b。在針狀電極10a、1b使用施加與生成的離子為相同極性的高壓脈沖的DC方式，但也可以使用通過按每一定時間切換極性來驅動而從I個針狀電極10交替地生成正負離子的AC方式。使用多個放電單元11，由此能增加離子整體的釋放量，增大除電面積，在這種情況下，在除電裝置100的送風口的寬度方向并排配置。
[0040]在放電單元11的后方，配置有用于將生成的正負離子向被除電物釋放的風扇14，在釋放離子的放電單元11的前方，從針狀電極10離開而配置有金屬網(wǎng)15。風扇14適用例如與并排配置的放電單元11相應地生成幅度寬的空氣流的橫流風扇。
[0041]金屬網(wǎng)15具有例如多個導線15a、15b (參照圖3A?C)相互交叉而形成的網(wǎng)眼部，針狀電極10a、10b的頂端和構成網(wǎng)眼部的導線15a、15b以投影于離子的釋放方向而重疊的方式配置。由此，產(chǎn)生于針狀電極10a、10b的電場被金屬網(wǎng)15的導線15a、15b遮蔽而不會向外部漏出，并且從針狀電極10a、10b釋放