專利名稱：能陷型壓電諧振器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能陷型壓電諧振器，用于例如振蕩器、鑒頻器、陷波濾波器等等。本發(fā)明尤其涉及一種能陷型壓電諧振器，它設(shè)置有密封空間，用于防止振動(dòng)部分振動(dòng)，并且適合于沿厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波振動(dòng)。
迄今為止，已經(jīng)將能陷型壓電諧振器用于振蕩器、鑒頻器、陷波電路等等。在第4-101507號(hào)日本經(jīng)審查的專利公告中揭示了這種能陷型壓電諧振器。
在圖8中，示出了一種現(xiàn)有技術(shù)的能陷型壓電諧振器。在壓電諧振器51中，用密封基片53和54層疊板狀的壓電諧振元件52的上下側(cè)。
壓電諧振元件52由壓電基片55和形成在壓電基片55的兩個(gè)主表面上的振動(dòng)電極56和57構(gòu)成。振動(dòng)電極56和57部分地形成在壓電基片55的主表面上，并使它們通過壓電基片55相對(duì)。
在壓電諧振器51中，上述振動(dòng)電極56和57相對(duì)的部分構(gòu)成了振動(dòng)部分。另外，形成密封空間58和59，以允許振動(dòng)部分振動(dòng)。在密封空間58和59周圍，用粘劑將壓電諧振元件52結(jié)合到密封基片53和54。
在壓電諧振器51中，當(dāng)用x表示上述振動(dòng)電極56和57的最大平面尺寸，用L表示密封空間的最大平面尺寸時(shí)，形成振動(dòng)電極56和57以及密封空間58和59，以滿足關(guān)系L＝(1.5到3.0)×X，據(jù)說諧振特性在這種條件下是穩(wěn)定的。
另外，在第7-70941號(hào)日本經(jīng)審查的專利公告中，揭示了一種這種類型的能陷型壓電諧振器，其中將壓電基片上和下的密封空間相互偏移。這里，通過調(diào)節(jié)上下密封空間之間的偏移，可以調(diào)節(jié)不想要的寄生信號(hào)的阻尼程度。
第4-101507號(hào)日本未審查的專利公告中揭示的壓電諧振器51的特征是諧振特性中減小的偏移。即，當(dāng)形成密封空間58和59以實(shí)現(xiàn)上述特定的尺寸比時(shí)，可以正確地形成密封空間58和59，在此一事實(shí)的基礎(chǔ)上，特性中的偏移減小了。相應(yīng)地，在第4-101507號(hào)日本未審查專利公告中，對(duì)使用的諧振特性，沒有提到有關(guān)引起寄生信號(hào)的其它振動(dòng)模式的影響。
另一方面，在第7-70941號(hào)日本經(jīng)審查專利公告中揭示的壓電諧振器中，上下密封空間的相對(duì)位置偏移，因此可以調(diào)節(jié)寄生信號(hào)的阻尼程度。但是，由于需要使上下密封空間的位置彼此相對(duì)移動(dòng)，故失去了對(duì)稱的部分。
另外，在第4-101507號(hào)日本未審查專利公告以及第7-70941號(hào)日本經(jīng)審查專利公告中，只示出了適合于以厚度方向的縱向振動(dòng)模式的基波振動(dòng)的壓電諧振器，而未提及利用厚度方向的縱向振動(dòng)的諧波的壓電諧振器。
為了克服上述問題，本發(fā)明的較佳實(shí)施例提供了一種能陷型壓電諧振器，即，適合于以厚度方向的縱向振動(dòng)模式的三次諧波振動(dòng)的壓電諧振器，它不失去壓電諧振器的對(duì)稱，其中基波能夠被有效地抑制，并且通過這種抑制可以在三次諧波基礎(chǔ)上給出良好的諧振特性。
本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例提供了一種能陷型壓電諧振器，它適合于以厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波振動(dòng)，包含能陷型壓電諧振器，它包含壓電基片、分別部分地設(shè)置的第一和第二振動(dòng)電極，以便在壓電基片的兩個(gè)主表面上彼此相對(duì)，以及其中有第一和第二振動(dòng)電極相對(duì)的振動(dòng)部分。第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件的兩個(gè)主表面上，以便將壓電諧振元件夾在中間。將密封空間設(shè)置在第一和第二振動(dòng)電極周圍，以不妨礙振動(dòng)部分振動(dòng)。另外，設(shè)置密封部分，其中將第一和第二基片結(jié)合并連接到密封空間周圍的壓電諧振元件。當(dāng)壓電基片的厚度由t表示，而從第一和第二振動(dòng)電極的外部邊緣到密封部分的最短距離由d表示時(shí)，密封空間構(gòu)成得滿足0＜d/t＜5。
較好地，用粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件。
較好地，在結(jié)合并連接到壓電諧振元件的第一和第二密封基片上形成凹形部分，并且凹形部分構(gòu)成密封空間。
較好地，將具有通孔以構(gòu)成密封空間的絕緣層設(shè)置在第一和第二密封基片之間，并且壓電諧振元件和絕緣層在通孔周圍的部分構(gòu)成密封部分。
較好地，在構(gòu)成密封空間的部分中，不通過粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件，在密封部分，通過粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件，從而密封空間形成在第一和第二振動(dòng)電極周圍。
從下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的描述，本發(fā)明的其它特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將是顯然的。


圖1A和1B分別是根據(jù)本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例的能陷型壓電諧振器的截側(cè)視面圖和沿圖1A的線A-A的截面頂視圖2是用于解釋振動(dòng)電極和密封部分之間的最短距離的示意圖；圖3A和3B示出實(shí)施例的壓電諧振器的阻抗對(duì)頻率特性，并且圖3A和3B中分別示出了對(duì)基波和三次諧波的響應(yīng)；圖4示出了當(dāng)d/t比值改變時(shí)，三次諧波和基波的相位值的變化；圖5A和5B是示出振動(dòng)電極和密封部分的平面形狀的修改的示意圖；圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的壓電諧振器的振動(dòng)電極和密封部分的平面形狀的另一種修改的示意圖；圖7是用于解釋用于根據(jù)本發(fā)明的修改的壓電諧振器中的密封基片和合成樹脂層的透視圖；和圖8是用于解釋傳統(tǒng)的能陷型壓電諧振器的截面?zhèn)纫晥D。
在適合以沿厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波振動(dòng)的壓電諧振元件中，理所當(dāng)然地，除三次諧波外，還產(chǎn)生基波和五次或更高次的奇次諧波。由此，當(dāng)例如使用壓電諧振元件構(gòu)成壓電振蕩器時(shí)，由于基波和五次諧波或更高的奇次諧波，有可能產(chǎn)生不想要的振蕩。
可以通過設(shè)計(jì)電路排布，將上述不想要的振蕩避免到某一個(gè)程度。但是，抑制由基波產(chǎn)生不適當(dāng)?shù)恼袷幍姆椒ê鸵种撇幌胍恼袷幍姆椒ㄏ嗷ゲ糠值貙?duì)立。另外，當(dāng)考慮到振蕩電路的增益頻率特性時(shí)，低頻基波可能滿足振蕩條件。因此，在利用三次諧波的壓電諧振元件中，強(qiáng)烈地需要對(duì)基波的抑制。
作為抑制基波以便不影響三次諧波的方法，可以考慮一種方法，它通過使用阻尼材料等，選擇性地阻尼基波的漏振蕩區(qū)域。但是，基波的漏振蕩區(qū)域依賴于振動(dòng)電極的大小。相應(yīng)地，需要高度精確地應(yīng)用阻尼材料，并且很難制造，并增加了加工次數(shù)。
在本發(fā)明中，不需要任何諸如阻尼材料等等專門的材料，以及附加所需的加工，提供了一種壓電諧振器，它使基波有效地被抑制，并且利用了沿厚度方向的三次諧波。
圖1A和1B分別是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的壓電諧振器的截面?zhèn)纫晥D和沿圖1A的線A-A的截面圖。
在本發(fā)明的能陷型壓電諧振器1中，使第一和第二密封基片3和4結(jié)合，并連接到板狀能陷型壓電諧振器元件2的兩個(gè)主表面，以便將壓電諧振器元件2夾在它們之間。
壓電諧振元件2由矩形壓電基片5構(gòu)成。壓電基片5可以由諸如鋯鈦酸鉛型陶瓷種類的壓電陶瓷，或諸如石英等壓電單晶制成。
在壓電基片5的上表面5a的中間，形成第一振動(dòng)電極6。在壓電基片的下表面5b的中間，形成第二振動(dòng)電極7。第一振動(dòng)電極6和第二振動(dòng)電極7通過壓電基片5彼此相對(duì)地形成。
另外，如從圖1B清楚地知道地，第一振動(dòng)電極具有圓形的形狀，并電氣連接到引出電極8。引出電極形成得延伸到一個(gè)邊緣5c，并在邊緣5c的附近沿邊緣5c前進(jìn)。
通過相同的方法，在壓電基片5的下表面5b上也形成圓形的振動(dòng)電極7，并且將振動(dòng)電極7電氣連接到引出電極9。如此形成引出電極9，以延伸到通過振動(dòng)部分與上述邊緣5c相對(duì)而置的一個(gè)邊緣。
通過諸如真空噴鍍、電鍍或噴濺等制造薄膜的方法，并采用導(dǎo)電膠，形成振動(dòng)電極6和7，以及引出電極8和9。
第一和第二密封基片3和4與壓電基片5同樣具有平板形，用諸如氧化鋁陶瓷或適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)陶瓷制成。但是，通過使用其它絕緣或介質(zhì)材料(諸如合成樹脂等)可以構(gòu)成密封基片3和4。
在本實(shí)施例中，在相互結(jié)合并連接到壓電基片5的密封基片3和4的側(cè)面上，形成矩形板狀的凹形部分。凹形部分3a和4a構(gòu)成密封空間10和11，以防止振動(dòng)部分振動(dòng)。
可以通過切割密封基片3和4形成凹形部分3a和4a。另外，可以通過各種模制方法形成其上將形成凹形部分3a和4a的密封基片3和4，以形成凹形部分3a和4a。
另外，關(guān)于密封基片3和4，具有凹形部分3a和4a的側(cè)面用粘合劑(未示出)結(jié)合到壓電諧振元件2。
即，在振動(dòng)空間10和11外面，壓電諧振元件2用粘劑結(jié)合并連接到密封基片3和4，通過這種方法，本發(fā)明中的密封部分在振動(dòng)空間10和11的外面。相應(yīng)地，密封部分的內(nèi)部邊緣與振動(dòng)空間10和11的外部邊緣相一致。
另外，在壓電諧振元件2和密封基片3和4構(gòu)成的層迭薄片的相對(duì)的端面上，形成外部電極12和13?？梢允褂弥T如導(dǎo)電膠的涂敷和烘焙、真空蒸鍍、噴濺等適當(dāng)?shù)姆椒?，采用適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電材料形成外部電極12和13。
將外部電極12電氣連接到引出電極8，并將外部電極13連接到引出電極9。
在壓電諧振器1中，通過在外部電極12和13之間交替地施加電壓，將沿厚度方向的縱向振動(dòng)模式的激勵(lì)施加給振動(dòng)部分，該振動(dòng)部分中振動(dòng)電極6和7相對(duì)。由于部分地形成振動(dòng)電極6和7，振動(dòng)能量基本上限制在振動(dòng)部分中。
在本實(shí)施例的壓電諧振器1中，從由振動(dòng)部分的激勵(lì)產(chǎn)生的厚度方向的縱向振動(dòng)模式中利用三次諧波。即，構(gòu)成壓電基片5的材料、壓電基片5的尺寸、振動(dòng)電極6和7的平坦的形狀和面積，等等被如此選擇，從而大大激勵(lì)了三次諧波。但是，當(dāng)將激勵(lì)施加給振動(dòng)部分時(shí)，不僅三次諧波，還有基波和五次諧波或更高的奇次諧波也受到激勵(lì)。
本發(fā)明的一個(gè)特征是沒有基波和五次諧波或更高奇次諧波，通過限制密封空間10和11的大小，有效地抑制基波。即，當(dāng)用t表示壓電基片5的厚度，用d表示從振動(dòng)電極6和7的外部邊緣到密封部分的最短距離時(shí)，使密封空間10和11滿足0＜d/t＜5，這抑制了基波。
這里，參照附圖2，更為詳細(xì)地解釋從振動(dòng)電極到密封部分的最短距離。
從振動(dòng)電極到密封部分的最短距離指從振動(dòng)電極的外部邊緣到周圍的密封部分之間的最短距離。例如，如圖2所示，當(dāng)振動(dòng)電極為圓形，并且密封部分的內(nèi)部邊緣是矩形(一點(diǎn)連線)時(shí)，假設(shè)振動(dòng)電極6的部分從密封空間10的中心移開。在這種情況下，如圖2中的距離d1到d4所示，其每一個(gè)密封部分側(cè)面和振動(dòng)電極之間的距離是不同的，但在距離d1到d4中，最短距離為從上述振動(dòng)電極的外部邊緣到密封部分的最短距離d。
根據(jù)具體的試驗(yàn)例子，解釋為，如上所述，當(dāng)從振動(dòng)電極的外部邊緣到密封部分的最短距離d滿足0＜d/t＜5時(shí)基波得以抑制。
在本實(shí)施例中，將由PbTiO3制成的3.7mm×3.1mm×126μm(厚度t＝126μm)的壓電基片5用作壓電諧振元件2，并在壓電基片5的上表面和下表面上形成振動(dòng)電極6和7，其直徑為0.4mm。另外，將由氧化鋁陶瓷制成，3.7mm×3.1mm×0.4mm(厚度)的絕緣基片用作密封基片3和4。凹形部分3a和4a的尺寸為1.8mm×1.2mm×0.2mm(深度)。使用環(huán)氧樹脂型粘劑結(jié)合并連接上述壓電諧振元件2和密封基片3和4，并形成外部電極12和13。由此，得到壓電諧振器1，它的諧振頻率為60MHz，利用沿厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波。在這個(gè)壓電諧振器中，d＝0.4mm，t＝126μm，并且d/t＝3.17。
上述實(shí)施例的壓電諧振器的阻抗對(duì)頻率特性示于圖3A和3B的實(shí)線中。
為了比較，以相同的方法構(gòu)成壓電諧振器，不同的是d/t為6.35。并且，為了比較，由圖3A和3B中的虛線C示出壓電諧振器的阻抗對(duì)頻率特性。
如圖3A和3B所示，在比較的例子的壓電諧振器中，由箭頭E和E′表示的基波的響應(yīng)比由箭頭D和D’表示的三次諧波的響應(yīng)更大。另一方面，在本實(shí)施例的壓電諧振器中，知道由箭頭F和F’表示的基波的響應(yīng)減小。
本發(fā)明的發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，如上所述，當(dāng)使密封空間10和11在特定的范圍內(nèi)滿足d/t的比值時(shí)，可以有效地抑制基波。然后，通過不同地變化上述d/t的比值，壓電諧振器由和上述實(shí)施例相同的方法構(gòu)成，并且測(cè)量它們的頻率特性。結(jié)果示于圖4中。
圖4示出了在利用上述實(shí)施例的厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波的壓電諧振器中d/t的比值變化時(shí)三次諧波和基波的相位值。實(shí)線G表示三次諧波的相位值，虛線H表示基波的相位值。
如從圖4清楚地看見地，當(dāng)d/t的比值小于5時(shí)，知道基波的響應(yīng)還要減小。由此，在利用沿厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波的能陷型壓電諧振器中，通過使d/t比值滿足0＜d/t＜5，知道可以有效地抑制基波，并有效地使用厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波。
與三次諧波相比，通過使d/t的比值小于5，而使基波被大大抑制的原因考慮如下。即，當(dāng)振動(dòng)電極是例如圓形時(shí)，三次諧波的振蕩區(qū)域以同心圓的形狀在振動(dòng)電極周圍擴(kuò)張?；ǖ穆┱袷巺^(qū)域也以相同的方法擴(kuò)張，但漏振蕩區(qū)域比三次諧波的振蕩區(qū)域擴(kuò)張更大。因此，當(dāng)d/t比值小于5時(shí)，三次諧波的漏振蕩區(qū)域并不太多地受到密封部分的阻尼，并且只有基波的漏振蕩區(qū)域受到阻尼，這就是被認(rèn)為引起基波振動(dòng)被有效抑制的原因。
另外，上述振動(dòng)電極6和7的最佳尺寸依賴于工作頻率。但是，實(shí)際上通常為每一個(gè)具有某范圍的頻帶帶寬形成相同大小的振動(dòng)電極，并且相應(yīng)地在這種類型的壓電諧振器中，通常使少數(shù)尺寸類型的振動(dòng)電極可加利用。由此，如上所述，考慮到具有凹形部分3a和4a的密封基片3和4，制備少數(shù)幾種密封基片就足夠了，并且不必制備各種密封基片。
在上述實(shí)施例中，將振動(dòng)電極6和7制成環(huán)狀，但如圖5A所示，振動(dòng)電極可以形成為矩形。圖5A中的一點(diǎn)連線示出密封部分的內(nèi)部邊緣。這里，密封部分的內(nèi)部邊緣是矩形的，相應(yīng)地，密封部分構(gòu)成為矩形扁平形狀。
另外，如圖5B所示，具有圓形的內(nèi)部邊緣的密封部分可以與圓形的振動(dòng)電極6構(gòu)成在一起。即，密封空間10可以以扁平圓的形狀與圓形振動(dòng)電極6構(gòu)成在一起。
另外，如圖6所示，可以構(gòu)成由一點(diǎn)連線I示出的圓形內(nèi)部密封部分。即，可以以扁平圓形狀與矩形振動(dòng)電極15形成密封空間10。
另外，在壓電諧振器1中，密封空間10和11由形成在密封基片3和4中的凹形部分3a和4a形成。但是，如圖7所示，在密封基片21的一個(gè)主表面上，可以形成絕緣層23，它具有通孔22，作為密封空間。絕緣層23可以由形成圖案的合成樹脂、玻璃等材料形成，或通過將一個(gè)具有通孔22的絕緣板結(jié)合到密封基片21上而形成。
另外，施加粘劑，使其具有與圖7所示的絕緣層23中相同的形狀，并由粘劑結(jié)合密封基片21和壓電諧振元件2。然后，可以通過使粘劑硬化而形成由通孔22始的密封空間。即，沒有使用施加到密封空間中的粘劑和使用施加到密封空間中的粘劑，可以構(gòu)成密封空間和密封部分。
在上文中，在根據(jù)本發(fā)明的第一方面的壓電諧振器中，當(dāng)用t表示壓電基片的厚度，用d表示從第一和第二振動(dòng)電極的外部邊緣到密封部分的最短距離，當(dāng)密封空間構(gòu)成得滿足0＜d/t＜5時(shí)，沿厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波的響應(yīng)大體上不受影響，作為寄生信號(hào)的基波能夠有效地受到抑制。
相應(yīng)地，提供了一種利用沿厚度方向縱向振動(dòng)的三次諧波，并具有良好的諧振特性的能陷型壓電諧振器。由此，當(dāng)將本發(fā)明的壓電諧振器用于壓電振蕩器等中時(shí)，可以有效地防止由基波引起的反常振蕩。
另外，在根據(jù)本發(fā)明的壓電諧振器中，不需要配置/形成阻尼材料，用于抑制基波及執(zhí)行其它復(fù)雜的加工。相應(yīng)地，不需要使制造加工復(fù)雜化，實(shí)際上就可以提供具有良好諧振特性的更為便宜的能陷型壓電諧振器。
根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例，當(dāng)用粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振器時(shí)，如果僅僅構(gòu)成上述密封空間，從而d/t比值處于上述特定范圍內(nèi)，僅僅通過將第一和第二密封基片結(jié)合到壓電諧振元件，將可以容易地得到根據(jù)本發(fā)明的能陷型壓電諧振器。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，在被結(jié)合并連接到壓電諧振元件的第一和第二密封基片的側(cè)面上形成凹形部分，并且凹形部分構(gòu)成密封空間。相應(yīng)地，僅僅通過根據(jù)要使用的壓電諧振元件的諧振頻率形成上述凹形部分，可以容易得提供利用三次諧波，并使基波確實(shí)地抑制的壓電諧振器。
按照相同的方法，在根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例中，將具有通孔以構(gòu)成密封空間的絕緣層設(shè)置在第一和第二密封基片和壓電諧振元件之間。相應(yīng)地，只有通過形成上述絕緣層的通孔的形狀和尺寸，從而使上述d/t比值處于特定的范圍內(nèi)，能夠確實(shí)地提供一種能陷型壓電諧振器。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面，在密封部分中，壓電諧振元件和第一和第二密封基片用粘劑結(jié)合，并且不結(jié)合到構(gòu)成密封空間的部分中。相應(yīng)地當(dāng)在未施加粘劑的部分構(gòu)成密封空間時(shí)，只有通過控制施加粘劑的區(qū)域，才可以容易地構(gòu)成根據(jù)本發(fā)明的壓電諧振元件。
雖然已經(jīng)參照較佳實(shí)施例，具體地示出和描述了本發(fā)明，熟悉本領(lǐng)域的人將知道在不背離本發(fā)明的主旨的條件下，可以有上述和其它形式或者細(xì)節(jié)上的變化。
權(quán)利要求
1.一種能陷型壓電諧振器，其特征在于包含能陷型壓電諧振元件，適合于以厚度方向的縱向振動(dòng)的三次諧波振動(dòng)，它包含壓電基片、分別部分設(shè)置在壓電基片兩個(gè)主表面上以便彼此相對(duì)的第一和第二振動(dòng)電極、第一和第二振動(dòng)電極彼此相對(duì)的部分作為振動(dòng)部分；第一和第二密封基片，它們結(jié)合并連接到壓電諧振元件的兩個(gè)主表面，以將壓電諧振元件夾在其中；密封空間，設(shè)置在第一和第二振動(dòng)電極周圍，以不妨礙振動(dòng)部分振動(dòng)；密封部分，其中第一和第二基片結(jié)合并連接到密封空間周圍的壓電諧振元件；及密封空間如此構(gòu)成，從而滿足0＜d/t＜5，其中用t表示壓電基片的厚度，用d表示從第一和第二振動(dòng)電極外緣到密封部分的最短距離。
2.如權(quán)利要求1所述的能陷型壓電諧振器，其特征在于用粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件。
3.如權(quán)利要求1或2所述的能陷型壓電諧振器，其特征在于將凹形部分設(shè)置在結(jié)合并連接到壓電諧振元件的第一和第二密封基片的側(cè)面上，其中凹形部分構(gòu)成密封空間。
4.如權(quán)利要求1或2所述的能陷型壓電諧振器，其特征在于在第一和第二密封基片和壓電諧振元件之間設(shè)置具有通孔構(gòu)成密封空間的絕緣層，并且通孔周圍的絕緣層部分構(gòu)成密封部分。
5.如權(quán)利要求2所述的能陷型壓電諧振器，其特征在于在構(gòu)成密封空間的部分內(nèi)，不通過粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件，在密封部分中，通過粘劑將第一和第二密封基片結(jié)合并連接到壓電諧振元件，從而在第一和第二振動(dòng)電極周圍設(shè)置密封空間。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種能陷型壓電諧振器,包含板狀壓電諧振元件,它利用厚度方向的縱向振動(dòng)模式的三次諧波,其兩個(gè)主表面都用密封基片層疊。形成密封空間以防止彼此相對(duì)的振動(dòng)電極的振動(dòng)部分振動(dòng)。有壓電諧振元件和密封基片結(jié)合并連接在密封空間周圍的密封部分如此構(gòu)成,從而當(dāng)用t表示壓電基片的厚度,用d表示從振動(dòng)電極到密封部分的最短距離時(shí),密封空間滿足0< d/t< 5。
文檔編號(hào)H03H9/02GK1253414SQ99123450
公開日2000年5月17日 申請(qǐng)日期1999年11月2日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月2日
發(fā)明者河原良一, 北嶋伸浩, 坂井健一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所