本申請(qǐng)涉及干燥，特別涉及一種基片的真空干燥裝置及加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、鈣鈦礦型太陽(yáng)能電池由于高轉(zhuǎn)換效率、低成本、環(huán)境友善等優(yōu)點(diǎn)正在受到越來越廣泛的關(guān)注。并且，鈣鈦礦太陽(yáng)能的光電轉(zhuǎn)換效率在短短幾年內(nèi)提升了數(shù)倍，表現(xiàn)出非常優(yōu)異的光電性能。

2、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池成型時(shí)，需要在基片上成型多個(gè)膜層，一般地，采用刮涂、噴涂等形式形成膜層。隨后需要將膜層進(jìn)行真空干燥，以去除溶劑。

3、相關(guān)技術(shù)中，設(shè)置真空箱，并將覆蓋有膜層的基片送至真空箱內(nèi)，并利用負(fù)壓裝置對(duì)真空箱進(jìn)行抽氣，以在真空箱內(nèi)完成對(duì)基片的干燥工藝。

4、一般地，真空箱具有一個(gè)上下料口，干燥時(shí)，需要將基片送至真空箱內(nèi)，并關(guān)閉真空箱的門體，隨后進(jìn)行干燥工藝，干燥完成后，再將基片取出，隨后再將下一基片上料至真空箱內(nèi)。

5、在基片上下料的過程中，不僅需要外部機(jī)械手將基片送至真空箱內(nèi)部，而且還需先將干燥后的基片取出后，再將需干燥的基片送至真空箱內(nèi)。因此基片上下料時(shí)，需要的額外輔助設(shè)備較多，并且基片的上下料的工作效率較慢，難以滿足大批量基片的加工需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種基片的真空干燥裝置及加工系統(tǒng)，以解決相關(guān)技術(shù)中基片上下料時(shí)，需要的額外輔助設(shè)備較多，且上下料效率慢，難以滿足大批量基片的加工需求的技術(shù)問題。

2、第一方面，提供了一種基片的真空干燥裝置，其包括：

3、支撐件；

4、輸送組件，所述輸送組件安裝于所述支撐件，且所述輸送組件用于支撐并輸送基片；

5、罩體，所述罩體位于所述支撐件上方，所述罩體下方開口設(shè)置；

6、升降驅(qū)動(dòng)組件，所述升降驅(qū)動(dòng)組件與所述支撐件，和/或，所述罩體驅(qū)動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述支撐件或所述罩體升降運(yùn)動(dòng)，以使所述罩體適于扣合于所述支撐件，所述罩體和所述支撐件適于形成密封腔，所述輸送組件位于所述密封腔內(nèi)；

7、負(fù)壓裝置，所述罩體，和/或，所述支撐件上開設(shè)有抽氣口，所述負(fù)壓裝置的抽氣端與所述抽氣口連通。

8、一些實(shí)施例中，所述輸送組件包括：

9、輸送架，所述輸送架安裝于所述支撐件；

10、輸送輪組，所述輸送輪組包括多個(gè)輸送桿和多個(gè)輸送輪，多個(gè)所述輸送桿均轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述輸送架，且多個(gè)所述輸送桿沿其徑向間隔排列，每個(gè)所述輸送桿上均同軸固定套設(shè)有多個(gè)所述輸送輪，多個(gè)所述輸送輪用于支撐所述基片；

11、輸送驅(qū)動(dòng)件，所述輸送驅(qū)動(dòng)件與多個(gè)所述輸送桿驅(qū)動(dòng)連接，以帶動(dòng)多個(gè)所述輸送桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

12、一些實(shí)施例中，所述輸送驅(qū)動(dòng)件包括：

13、多個(gè)第一磁力輪，多個(gè)所述第一磁力輪分別同軸固定于多個(gè)所述輸送桿；

14、傳動(dòng)桿，所述傳動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述輸送架；

15、多個(gè)第二磁力輪，多個(gè)所述第二磁力輪均同軸固定于所述傳動(dòng)桿，所述第二磁力輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與所述第一磁力輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線正交，且多個(gè)所述第二磁力輪分別與多個(gè)所述第一磁力輪傳動(dòng)配合；

16、第三磁力輪，所述第三磁力輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述輸送架，所述第三磁力輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與所述第二磁力輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線正交，且所述第三磁力輪與一個(gè)所述第二磁力輪傳動(dòng)配合；

17、輸送旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件，所述輸送旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件安裝于所述輸送架，且所述輸送旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件與所述第三磁力輪驅(qū)動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述第三磁力輪轉(zhuǎn)動(dòng)。

18、一些實(shí)施例中，該基片的真空干燥裝置還包括定位組件，所述定位組件包括兩組定位輪組，所述定位輪組安裝于所述支撐件，所述定位輪組包括多個(gè)沿所述輸送組件的輸送方向排列的定位輪；

19、兩組所述定位輪組在垂直于所述輸送方向上間隔設(shè)置，且兩組所述定位輪組分別用于接觸所述基片的相對(duì)兩側(cè)邊。

20、一些實(shí)施例中，所述升降驅(qū)動(dòng)組件包括：

21、升降架；

22、升降驅(qū)動(dòng)件，所述升降驅(qū)動(dòng)件安裝于所述升降架，所述升降驅(qū)動(dòng)件與所述罩體，和/或，所述支撐件驅(qū)動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述罩體或所述支撐件升降運(yùn)動(dòng)。

23、一些實(shí)施例中，所述負(fù)壓裝置包括負(fù)壓發(fā)生器、連通管和柔性管，所述連通管的兩端分別與所述負(fù)壓發(fā)生器的抽氣端和所述柔性管連通，所述柔性管背離所述連通管的一端與所述抽氣口連通。

24、一些實(shí)施例中，該基片的真空干燥裝置還包括導(dǎo)流組件，所述導(dǎo)流組件安裝于所述支撐件或所述罩體的內(nèi)側(cè)，且所述導(dǎo)流組件正對(duì)于所述抽氣口設(shè)置，所述導(dǎo)流組件包括：

25、多個(gè)導(dǎo)流板，所述導(dǎo)流板上均開設(shè)有多個(gè)導(dǎo)流孔，多個(gè)所述導(dǎo)流板間隔設(shè)置，且多個(gè)所述導(dǎo)流板上的多個(gè)所述導(dǎo)流孔錯(cuò)開設(shè)置。

26、一些實(shí)施例中，所述支撐件包括支撐箱，所述支撐箱頂部開口設(shè)置，且所述輸送組件的輸送端高于所述支撐箱的頂部。

27、一些實(shí)施例中，該基片的真空干燥裝置還包括防護(hù)罩，所述支撐件、所述罩體、所述升降驅(qū)動(dòng)組件均位于所述防護(hù)罩內(nèi)，且所述防護(hù)罩的相對(duì)兩側(cè)面均開設(shè)有料口，兩個(gè)所述料口的連線方向與所述輸送組件的輸送方向一致。

28、本申請(qǐng)?zhí)峁┑募夹g(shù)方案帶來的有益效果包括：

29、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種基片的真空干燥裝置，基片干燥處理時(shí)，罩體與支撐件分離，將基片送至輸送組件的起始端，由輸送組件將基片轉(zhuǎn)移至支撐件的正上方，再由升降驅(qū)動(dòng)組件使得罩體和支撐件扣合，以將基片置于密封腔內(nèi)，隨后負(fù)壓裝置對(duì)密封腔內(nèi)抽真空，以對(duì)基片進(jìn)行干燥處理?；稍锾幚斫Y(jié)束后，升降驅(qū)動(dòng)組件將支撐件和罩體分離，隨后輸送組件將干燥后基片輸送至末尾端以下料基片，同時(shí)輸送組件的起始段可同步將基片輸送至支撐件的正上方，以準(zhǔn)備對(duì)基片進(jìn)行干燥處理。因此，基片上下料時(shí)，無需額外的機(jī)械手將基片從支撐件上進(jìn)行取送，批量基片上下料銜接更合理，加工節(jié)拍更好，加工效率更高，適應(yīng)于大批量基片的干燥處理需求。

30、第二方面，提供了一種基片的加工系統(tǒng)，包括如上所述的基片的真空干燥裝置。

31、本申請(qǐng)另一實(shí)施例提供了一種基片的加工系統(tǒng)，由于該基片的加工系統(tǒng)包括上述基片的真空干燥裝置，因此該基片的加工系統(tǒng)的有益效果與上述基片的真空干燥裝置的有益效果一致，在此不再贅述。

技術(shù)特征：

1.一種基片的真空干燥裝置，其特征在于，其包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，所述輸送組件包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，所述輸送驅(qū)動(dòng)件包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，還包括定位組件，所述定位組件包括兩組定位輪組，所述定位輪組安裝于所述支撐件，所述定位輪組包括多個(gè)沿所述輸送組件的輸送方向排列的定位輪；

5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)組件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，所述負(fù)壓裝置包括負(fù)壓發(fā)生器、連通管和柔性管，所述連通管的兩端分別與所述負(fù)壓發(fā)生器的抽氣端和所述柔性管連通，所述柔性管背離所述連通管的一端與所述抽氣口連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，還包括導(dǎo)流組件，所述導(dǎo)流組件安裝于所述支撐件或所述罩體的內(nèi)側(cè)，且所述導(dǎo)流組件正對(duì)于所述抽氣口設(shè)置，所述導(dǎo)流組件包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，所述支撐件包括支撐箱，所述支撐箱頂部開口設(shè)置，且所述輸送組件的輸送端高于所述支撐箱的頂部。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片的真空干燥裝置，其特征在于，還包括防護(hù)罩，所述支撐件、所述罩體、所述升降驅(qū)動(dòng)組件均位于所述防護(hù)罩內(nèi)，且所述防護(hù)罩的相對(duì)兩側(cè)面均開設(shè)有料口，兩個(gè)所述料口的連線方向與所述輸送組件的輸送方向一致。

10.一種基片的加工系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的基片的真空干燥裝置。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及一種基片的真空干燥裝置及加工系統(tǒng)，該基片的真空干燥裝置包括：支撐件；輸送組件，輸送組件安裝于支撐件，且輸送組件用于支撐并輸送基片；罩體，罩體位于支撐件上方，罩體下方開口設(shè)置；升降驅(qū)動(dòng)組件，升降驅(qū)動(dòng)組件與支撐件，和/或，罩體驅(qū)動(dòng)連接，以帶動(dòng)支撐件或罩體升降運(yùn)動(dòng)，以使罩體適于扣合于支撐件，罩體和支撐件適于形成密封腔，輸送組件位于密封腔內(nèi)；負(fù)壓裝置，罩體，和/或，支撐件上開設(shè)有抽氣口，負(fù)壓裝置的抽氣端與抽氣口連通。本申請(qǐng)利用輸送組件對(duì)基片進(jìn)行上下料，且設(shè)置升降驅(qū)動(dòng)組件分離或扣合支撐件和罩體，優(yōu)化了基片的上下料流程，提高了干燥加工效率，適用于基片的大批量干燥處理。

技術(shù)研發(fā)人員：危銀長(zhǎng),付宇,張友志,唐偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢國(guó)創(chuàng)科光電裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240429
技術(shù)公布日：2024/12/12