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一種能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器的制作方法

文檔序號(hào):40380895發(fā)布日期:2024-12-20 12:03閱讀:4來源:國知局
一種能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器的制作方法

本申請涉及聲表面波濾波器,具體涉及一種能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器。


背景技術(shù):

1、聲表面波器件是利用聲表面波對電信號(hào)進(jìn)行模擬處理的器件。主要包括聲表面波諧振器和聲表面波濾波器等相關(guān)器件,其中,聲表面波濾波器的相對帶寬受襯底材料和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的限制,為了得到比較寬的帶寬,一般采用41°鈮酸鋰(ln41)作為襯底材料,以41°鈮酸鋰為襯底材料的叉指換能器除了能夠激勵(lì)起較強(qiáng)的漏波之外,還會(huì)激勵(lì)比較弱的瑞利波。當(dāng)聲表面波濾波器采用ln41設(shè)計(jì),并采用梯形阻抗元(ief)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)時(shí),由于瑞利波的原因,會(huì)導(dǎo)致在頻率響應(yīng)的低端產(chǎn)生一個(gè)雜散信號(hào)。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為此,本申請?zhí)峁┮环N能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的聲表面波濾波器在頻率響應(yīng)的低端存在雜散信號(hào)的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本申請?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案:

3、一種能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,所述聲表面波濾波器采用阻抗元結(jié)構(gòu),并且為單端輸入輸出結(jié)構(gòu);

4、所述聲表面波濾波器包括多個(gè)聲表面波諧振器,多個(gè)所述聲表面波諧振器通過串聯(lián)和并聯(lián)的方式同時(shí)連接在一起,在并聯(lián)的多個(gè)所述聲表面波諧振器中,位于對稱位置的兩個(gè)聲表面波諧振器中一個(gè)聲表面波諧振器的瑞利波諧振頻率等于另一個(gè)聲表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率;

5、所述聲表面波諧振器包括叉指換能器、第一反射柵和第二反射柵,所述叉指換能器、所述第一反射柵和所述第二反射柵均沉積在壓電基板表面,其中,所述第一反射柵位于所述叉指換能器的左側(cè),所述第二反射柵位于所述叉指換能器的右側(cè)。

6、作為優(yōu)選,所述叉指換能器包括第一金屬叉指條、第二金屬叉指條、第一匯流條和第二匯流條,所述第一匯流條和所述第二匯流條互相平行的沉積在所述壓電基板表面,所述第一金屬叉指條和所述第二金屬叉指條交叉沉積在所述壓電基板表面,且位于所述第一匯流條和所述第二匯流條之間。

7、作為優(yōu)選,所述聲表面波濾波器包括第一聲表面波諧振器、第二聲表面波諧振器、第三聲表面波諧振器、第四聲表面波諧振器、第五聲表面波諧振器和第六表面波諧振器,所述第一聲表面波諧振器、所述第二聲表面波諧振器、所述第三聲表面波諧振器和所述第四聲表面波諧振器依次串聯(lián)在輸入端和輸出端之間,所述第五聲表面波諧振器一端并聯(lián)在所述第一聲表面波諧振器和所述第二聲表面波諧振器之間,另一端接地,所述第六表面波諧振器一端并聯(lián)在所述第三聲表面波諧振器和所述第四聲表面波諧振器之間,另一端接地,其中,所述第一聲表面波諧振器和所述第四聲表面波諧振器結(jié)構(gòu)相同,所述第二聲表面波諧振器和所述第三聲表面波諧振器結(jié)構(gòu)相同,所述第五聲表面波諧振器和所述第六表面波諧振器結(jié)構(gòu)相同;

8、所述第五聲表面波諧振器的瑞利波諧振頻率為所述第六表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率或者所述第五聲表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率為所述第六表面波諧振器的瑞利波諧振頻率。

9、作為優(yōu)選,所述第五聲表面波諧振器的半波長和所述第六表面波諧振器的半波長偏差為0.13%,使得所述第五聲表面波諧振器的瑞利波諧振頻率為所述第六表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率。

10、作為優(yōu)選,所述叉指換能器由鋁、鋁銅合金、銅或金中的一種或多種制作而成。

11、作為優(yōu)選,所述叉指換能器通過鍍膜和光刻方法沉積在壓電基板表面。

12、作為優(yōu)選,所述叉指換能器為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。

13、作為優(yōu)選,所述壓電基板的材料為鈮酸鋰、鉭酸鋰、石英、去熱釋電鈮酸鋰、鉭酸鋰晶片或復(fù)合片。

14、相比現(xiàn)有技術(shù),本申請至少具有以下有益效果:

15、本申請?zhí)峁┝艘环N能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,該聲表面波濾波器采用阻抗元結(jié)構(gòu),并且為單端輸入輸出結(jié)構(gòu);該聲表面波濾波器包括多個(gè)聲表面波諧振器,多個(gè)聲表面波諧振器通過串聯(lián)和并聯(lián)的方式同時(shí)連接在一起,在并聯(lián)的多個(gè)聲表面波諧振器中,位于對稱位置的兩個(gè)聲表面波諧振器中一個(gè)聲表面波諧振器的瑞利波諧振頻率等于另一個(gè)聲表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率。本申請為了抑制并聯(lián)諧振器激勵(lì)的瑞利波引起的雜散信號(hào),通過微調(diào)對稱位置上的兩并聯(lián)諧振器的半波長進(jìn)而使兩者的頻率微調(diào)錯(cuò)開,使其中一個(gè)諧振器的頻率正好落在另一個(gè)諧振器的反諧振器頻率上,正負(fù)疊加來減小雜散信號(hào),有效抑制了雜散寄生信號(hào),從而提高了聲表面波濾波器的低端帶外抑制。



技術(shù)特征:

1.一種能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述聲表面波濾波器采用阻抗元結(jié)構(gòu),并且為單端輸入輸出結(jié)構(gòu);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述叉指換能器包括第一金屬叉指條、第二金屬叉指條、第一匯流條和第二匯流條,所述第一匯流條和所述第二匯流條互相平行的沉積在所述壓電基板表面,所述第一金屬叉指條和所述第二金屬叉指條交叉沉積在所述壓電基板表面,且位于所述第一匯流條和所述第二匯流條之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述聲表面波濾波器包括第一聲表面波諧振器、第二聲表面波諧振器、第三聲表面波諧振器、第四聲表面波諧振器、第五聲表面波諧振器和第六表面波諧振器,所述第一聲表面波諧振器、所述第二聲表面波諧振器、所述第三聲表面波諧振器和所述第四聲表面波諧振器依次串聯(lián)在輸入端和輸出端之間,所述第五聲表面波諧振器一端并聯(lián)在所述第一聲表面波諧振器和所述第二聲表面波諧振器之間,另一端接地,所述第六表面波諧振器一端并聯(lián)在所述第三聲表面波諧振器和所述第四聲表面波諧振器之間,另一端接地,其中,所述第一聲表面波諧振器和所述第四聲表面波諧振器結(jié)構(gòu)相同,所述第二聲表面波諧振器和所述第三聲表面波諧振器結(jié)構(gòu)相同,所述第五聲表面波諧振器和所述第六表面波諧振器結(jié)構(gòu)相同;

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述第五聲表面波諧振器的半波長和所述第六表面波諧振器的半波長偏差為0.13%,使得所述第五聲表面波諧振器的瑞利波諧振頻率為所述第六表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述叉指換能器由鋁、鋁銅合金、銅或金中的一種或多種制作而成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述叉指換能器通過鍍膜和光刻方法沉積在壓電基板表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述叉指換能器為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,其特征在于,所述壓電基板的材料為鈮酸鋰、鉭酸鋰、石英、去熱釋電鈮酸鋰、鉭酸鋰晶片或復(fù)合片。


技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種能夠減小雜散信號(hào)的聲表面波濾波器,該聲表面波濾波器采用阻抗元結(jié)構(gòu),并且為單端輸入輸出結(jié)構(gòu);該聲表面波濾波器包括多個(gè)聲表面波諧振器,多個(gè)聲表面波諧振器通過串聯(lián)和并聯(lián)的方式同時(shí)連接在一起,在并聯(lián)的多個(gè)聲表面波諧振器中,位于對稱位置的兩個(gè)聲表面波諧振器中一個(gè)聲表面波諧振器的瑞利波諧振頻率等于另一個(gè)聲表面波諧振器的瑞利波反諧振頻率。本申請通過微調(diào)對稱位置上的兩并聯(lián)諧振器的半波長進(jìn)而使兩者的頻率微調(diào)錯(cuò)開,使其中一個(gè)諧振器的頻率正好落在另一個(gè)諧振器的反諧振器頻率上,通過正負(fù)疊加有效的抑制了雜散寄生信號(hào),從而提高了聲表面波濾波器的低端帶外抑制。

技術(shù)研發(fā)人員:盧翠,陳小兵,蔣燕港
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京中訊四方科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
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