本實(shí)用新型涉及一種冷熱交換器，更具體的說，它涉及一種化學(xué)品溫度冷熱交換器。

背景技術(shù)：

在集成電路芯片制造過程中，對(duì)芯片所接觸化學(xué)品溫度控制是采用投入式加熱器；在工藝槽內(nèi)放置冷盤管，通過外界冷媒在冷盤管內(nèi)循環(huán)實(shí)現(xiàn)控制槽內(nèi)溫度，在工藝槽外放置冷卻槽，使冷卻槽和工藝槽之間循環(huán)達(dá)到控制溫度的目的，要控制的化學(xué)品的潔凈度沒法做到很好，溫度控制精度不高，易造成芯片生產(chǎn)工藝不完整，產(chǎn)品成品率底下，降低了生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠?qū)に嚥蹆?nèi)進(jìn)行溫度控制，避免了工藝槽內(nèi)出現(xiàn)顆粒沉積污染的情況的化學(xué)品溫度冷熱交換器。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種化學(xué)品溫度冷熱交換器，其包括工藝槽、溫控交換槽、循環(huán)泵、過濾器、循環(huán)管路和能量交換管路，所述工藝槽的出液口與循環(huán)泵的進(jìn)口連接，循環(huán)泵的出口連接能量交換管路的一端口，能量交換管路的另一端口連接過濾器的進(jìn)口端，過濾器的出口端連接工藝槽的進(jìn)液口，所述能量交換管路設(shè)置在溫控交換槽內(nèi)，所述工藝槽、循環(huán)泵、能量交換管路和過濾器之間依次均通過循環(huán)管路連接。

通過采用上述技術(shù)方案，用于芯片加工的化學(xué)品注入工藝槽內(nèi)，通過循環(huán)泵的動(dòng)力使得化學(xué)品在循環(huán)管路內(nèi)運(yùn)行流動(dòng)，并使得化學(xué)品依次在工藝槽、循環(huán)泵、能量交換管路、過濾器、工藝槽之間循環(huán)流動(dòng)，并通過溫控交換槽與能量交換管路之間的能量交換控制，使得能夠控制循環(huán)管路內(nèi)的化學(xué)品溫度穩(wěn)定。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述溫控交換槽包括恒溫機(jī)、能量交換器和控溫管路，恒溫機(jī)的控溫段連接控溫管路，控溫管路連接設(shè)置在能量交換器內(nèi)，恒溫機(jī)通過控溫管路控制能量交換器內(nèi)的溫度變化，所述能量交換管路設(shè)置在能量交換器內(nèi)。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述能量交換管路為波紋管。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述循環(huán)管路和能量交換管路均由全氟烷氧基樹脂制成。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述循環(huán)泵為氣動(dòng)隔膜泵。

本實(shí)用新型具有下述優(yōu)點(diǎn)：通過工藝槽與溫控裝置之間分離設(shè)置，避免了工藝槽內(nèi)化學(xué)品的污染，保障了化學(xué)品潔凈度，提高了化學(xué)品對(duì)芯片加工過程中的潔凈度，保障了芯片工藝安全，通過波紋管的設(shè)置，使得最大面積的冷熱交換，縮短了目標(biāo)溫度運(yùn)行時(shí)間，通過循環(huán)管路和能量交換管路均由全氟烷氧基樹脂制成，使得高純?nèi)檠趸鶚渲馁|(zhì)管路，可以保障潔凈度，通過恒溫機(jī)的設(shè)置，使得能夠?qū)囟冗M(jìn)行控制，且溫度的穩(wěn)定性越平穩(wěn)，越有利于芯片上的線路均勻性和良率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型化學(xué)品溫度冷熱交換器的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。

圖中：1、工藝槽；2、溫控交換槽；3、循環(huán)泵；4、過濾器；5、循環(huán)管路；6、能量交換管路；7、恒溫機(jī)；8、能量交換器；9、控溫管路。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1所示，本實(shí)施例的一種化學(xué)品溫度冷熱交換器，其包括工藝槽1、溫控交換槽2、循環(huán)泵3、過濾器4、循環(huán)管路5和能量交換管路6，所述工藝槽1的出液口與循環(huán)泵3的進(jìn)口連接，循環(huán)泵3的出口連接能量交換管路6的一端口，能量交換管路6的另一端口連接過濾器4的進(jìn)口端，過濾器4的出口端連接工藝槽1的進(jìn)液口，所述能量交換管路6設(shè)置在溫控交換槽2內(nèi)，所述工藝槽1、循環(huán)泵3、能量交換管路6和過濾器4之間依次均通過循環(huán)管路5連接。

所述溫控交換槽2包括恒溫機(jī)7、能量交換器8和控溫管路9，恒溫機(jī)7的控溫段連接控溫管路9，控溫管路9連接設(shè)置在能量交換器8內(nèi)，恒溫機(jī)7通過控溫管路9控制能量交換器8內(nèi)的溫度變化，所述能量交換管路6設(shè)置在能量交換器8內(nèi)。

所述能量交換管路6為波紋管。

所述循環(huán)管路5和能量交換管路6均由全氟烷氧基樹脂制成。

所述循環(huán)泵3為氣動(dòng)隔膜泵。

通過采用上述技術(shù)方案，用于芯片加工的化學(xué)品注入工藝槽1內(nèi)，通過循環(huán)泵3的動(dòng)力使得化學(xué)品在循環(huán)管路5內(nèi)運(yùn)行流動(dòng)，并使得化學(xué)品依次在工藝槽1、循環(huán)泵3、能量交換管路6、過濾器4、工藝槽1之間循環(huán)流動(dòng)，并通過溫控交換槽2與能量交換管路6之間的能量交換控制，使得能夠控制循環(huán)管路5內(nèi)的化學(xué)品溫度穩(wěn)定。

通過工藝槽1與溫控裝置之間分離設(shè)置，避免了工藝槽1內(nèi)化學(xué)品的污染，保障了化學(xué)品潔凈度，提高了化學(xué)品對(duì)芯片加工過程中的潔凈度，保障了芯片工藝安全，通過波紋管的設(shè)置，使得最大面積的冷熱交換，縮短了目標(biāo)溫度運(yùn)行時(shí)間，通過循環(huán)管路5和能量交換管路6均由全氟烷氧基樹脂制成，使得高純?nèi)檠趸鶚渲馁|(zhì)管路，可以保障潔凈度，通過恒溫機(jī)7的設(shè)置，使得能夠?qū)囟冗M(jìn)行控制，且溫度的穩(wěn)定性越平穩(wěn)，越有利于芯片上的線路均勻性和良率。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。