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化學(xué)品溫度冷熱交換器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11766037

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本實(shí)用新型涉及一種冷熱交換器,更具體的說(shuō),它涉及一種化學(xué)品溫度冷熱交換器。背景技術(shù)在集成電路芯片制造過(guò)程中,對(duì)芯片所接觸化學(xué)品溫度控制是采用投入式加熱器;在工藝槽內(nèi)放置冷盤(pán)管,通過(guò)外界冷媒在冷盤(pán)管內(nèi)循環(huán)實(shí)現(xiàn)控制槽內(nèi)溫度,在工藝槽外放置冷卻槽,使冷卻槽和工藝槽之間循環(huán)達(dá)到控制溫度的目的,要控制的化學(xué)品的潔凈度沒(méi)法做到很好,溫度控制精度不高,易造成芯片生產(chǎn)工藝不完整,產(chǎn)品成品率底下,降低了生產(chǎn)效率。實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠?qū)に嚥蹆?nèi)進(jìn)行溫度控制,避免了工藝...
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該類(lèi)技術(shù)注重原理思路,無(wú)完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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