技術(shù)編號(hào):11766037
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種冷熱交換器,更具體的說(shuō),它涉及一種化學(xué)品溫度冷熱交換器。背景技術(shù)在集成電路芯片制造過(guò)程中,對(duì)芯片所接觸化學(xué)品溫度控制是采用投入式加熱器;在工藝槽內(nèi)放置冷盤(pán)管,通過(guò)外界冷媒在冷盤(pán)管內(nèi)循環(huán)實(shí)現(xiàn)控制槽內(nèi)溫度,在工藝槽外放置冷卻槽,使冷卻槽和工藝槽之間循環(huán)達(dá)到控制溫度的目的,要控制的化學(xué)品的潔凈度沒(méi)法做到很好,溫度控制精度不高,易造成芯片生產(chǎn)工藝不完整,產(chǎn)品成品率底下,降低了生產(chǎn)效率。實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠?qū)に嚥蹆?nèi)進(jìn)行溫度控制,避免了工藝...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路,無(wú)完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。