本發(fā)明涉及電熱技術(shù)，尤其適用于微波器件在激光焊接之前的加熱除氣處理，特指一種電熱板及其制備方法以及含有電熱板的真空烘箱。

背景技術(shù)：

隨著各類(lèi)激光發(fā)生器向大功率、輕便化和經(jīng)濟(jì)化的發(fā)展，激光焊接由于能源高度集中和熱影響區(qū)小，符合優(yōu)質(zhì)、低耗、高效、清潔、熱影響區(qū)窄、接頭變形小、操作靈活等技術(shù)發(fā)展方向，并且激光束具有可以在大氣中焊接的優(yōu)點(diǎn)，既可以對(duì)大型構(gòu)件作深熔焊，又可以進(jìn)行微形件精密焊接，其應(yīng)用前景非常廣闊。特別是應(yīng)用于微組裝領(lǐng)域，在密閉的或具備保護(hù)氣氛的環(huán)境下，將厚膜或薄膜集成電路封裝到蓋板與殼體的密閉容器中，起到在惡劣環(huán)境中保護(hù)電路的作用，使電路具備抗輻射、耐高壓、穩(wěn)定性好等性能。由于激光焊接具備焊接性能好、穩(wěn)定、加工靈活等優(yōu)點(diǎn)，在微組裝的密封焊接方面有替代傳統(tǒng)的大電流接觸式的平行縫焊的趨勢(shì)。

廣泛應(yīng)用于雷達(dá)的微波器件的封裝通常采用激光焊接，在激光焊接之前需要將器件放在真空烘箱內(nèi)進(jìn)行加熱除氣處理，通過(guò)熱輻射將電熱板上的熱量傳遞到器件上，同時(shí)設(shè)置真空泵對(duì)真空烘箱抽真空，從而達(dá)到對(duì)器件加熱除氣的目的。因此，簡(jiǎn)單潔凈、加熱均勻性良好的電加熱板在真空烘箱中起關(guān)鍵作用。

目前，真空烘箱的加熱板通常采用專(zhuān)利文獻(xiàn)cn103954117a中公開(kāi)的結(jié)構(gòu)形式，能夠滿足一般情況下均勻性要求不高的場(chǎng)合，但是本申請(qǐng)的發(fā)明人通過(guò)大量的分析、試驗(yàn)和計(jì)算發(fā)現(xiàn)，其對(duì)于真空烘箱加熱均勻性要求較高的場(chǎng)合無(wú)法滿足，因?yàn)椋簩?dǎo)熱絕緣板受熱之后會(huì)發(fā)生翹曲，兩端的位置由于外殼彎折角度（圖示中為直角，實(shí)際加工時(shí)外殼彎折處會(huì)不可避免地形成圓角）的影響，導(dǎo)熱絕緣板無(wú)法與電阻絲緊密貼合，導(dǎo)致電熱板表面的溫度均勻性不高，且隨著使用時(shí)間的增加，這種現(xiàn)象越明顯。此外，該技術(shù)方案中，電阻絲采用螺旋結(jié)構(gòu)纏繞于繞絲板上，繞絲板兩端部電阻絲的有效長(zhǎng)度與中部存在細(xì)微差別，一定程度上會(huì)影響電熱板表面溫度均勻性；電阻絲產(chǎn)生的熱量最終需要經(jīng)過(guò)外殼和蓋板散發(fā)出去，但是蓋板與外殼重合的位置（圖中電熱板上側(cè)左右兩端）厚度較厚，一定程度上也會(huì)影響電熱板的溫度均勻性。隨著技術(shù)水平的不斷進(jìn)步，焊接工件越來(lái)越精密，目前真空烘箱的加熱方式已不能滿足要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，表面溫度均勻性好的電熱板。

進(jìn)一步地，本發(fā)明提供一種上述電熱板的制備方法。

進(jìn)一步地，本發(fā)明提供一種含有上述電熱板的真空烘箱。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種電熱板，包括電熱組件，所述電熱組件包括上絕緣壓板、下絕緣壓板及電阻絲，所述電阻絲夾設(shè)于所述上絕緣壓板和所述下絕緣壓板之間，電熱板還包括導(dǎo)熱板，所述導(dǎo)熱板內(nèi)設(shè)有空腔，所述電熱組件設(shè)于所述空腔內(nèi)且與空腔內(nèi)壁緊貼。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：

所述上絕緣壓板和所述下絕緣壓板之間設(shè)有均布槽，所述電阻絲設(shè)于所述均布槽內(nèi)。

所述電阻絲的橫截面為圓形，所述均布槽包括兩個(gè)半圓槽，兩個(gè)半圓槽分設(shè)于所述上絕緣壓板和所述下絕緣壓板上。

所述均布槽呈s形布置。

所述電阻絲在引線位置設(shè)有陶瓷電極。

所述空腔的腔壁各處等厚。

一種上述的均勻電熱板的制備方法，包括以下步驟：

步驟一：將電阻絲夾緊于上絕緣壓板和下絕緣壓板之間；

步驟二：將導(dǎo)熱材料均勻澆筑在上絕緣壓板和下絕緣壓板周邊形成所述導(dǎo)熱板。

一種真空烘箱，包括箱體，所述箱體上設(shè)有真空泵，所述箱體內(nèi)設(shè)有多層上述的均勻電熱板。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明公開(kāi)的電熱板，采用導(dǎo)熱板將電阻絲產(chǎn)生的熱量導(dǎo)出，由于導(dǎo)熱板內(nèi)設(shè)置有空腔，上絕緣壓板、下絕緣壓板與空腔內(nèi)壁緊密貼合，電阻絲設(shè)于上絕緣壓板、下絕緣壓板之間，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，使用過(guò)程中可使上絕緣壓板、下絕緣壓板整體與電阻絲始終保持緊密貼合，避免上絕緣壓板、下絕緣壓板受熱發(fā)生翹曲，保證電熱板表面溫度的均勻性。

本發(fā)明公開(kāi)的電熱板的制備方法，采用導(dǎo)熱材料均勻澆筑在上絕緣壓板、下絕緣壓板周邊形成導(dǎo)熱板的方式，操作方便，能夠保證導(dǎo)熱板內(nèi)部與上絕緣壓板、下絕緣壓板緊密貼合，進(jìn)而保證上絕緣壓板、下絕緣壓板與電阻絲緊密貼合，制備得到的電熱板表面溫度均勻性良好。

本發(fā)明公開(kāi)的真空烘箱，含有上述電熱板，因而同樣具備上述優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的電熱板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明的電熱板的局部放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明中的電阻絲的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本發(fā)明的真空烘箱的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中各標(biāo)號(hào)表示：1、導(dǎo)熱板；11、空腔；2、上絕緣壓板；3、下絕緣壓板；4、電阻絲；5、均布槽；51、半圓槽；6、箱體；7、真空泵。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

實(shí)施例一

如圖1、圖2和圖3所示，本實(shí)施例的電熱板，包括電熱組件，電熱組件包括上絕緣壓板2、下絕緣壓板3及電阻絲4，電阻絲4夾設(shè)于上絕緣壓板2和下絕緣壓板3之間，電熱板還包括導(dǎo)熱板1，導(dǎo)熱板1內(nèi)設(shè)有空腔11，電熱組件設(shè)于空腔11內(nèi)且與空腔11內(nèi)壁緊貼。其中，上絕緣壓板2、下絕緣壓板3可采用云母板，電阻絲4可采用鉻鎳合金，導(dǎo)熱板1的材質(zhì)優(yōu)選采用鋁，具有良好的導(dǎo)熱性能，且易于加工成可澆筑的液態(tài)。

本發(fā)明的電熱板，采用導(dǎo)熱板1將電阻絲4產(chǎn)生的熱量導(dǎo)出，由于導(dǎo)熱板1內(nèi)設(shè)置有空腔11，上絕緣壓板2、下絕緣壓板3與空腔11側(cè)壁緊密貼合，電阻絲4設(shè)于上絕緣壓板2、下絕緣壓板3之間，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，使用過(guò)程中可使上絕緣壓板2、下絕緣壓板3整體與電阻絲4始終保持緊密貼合，避免上絕緣壓板2、下絕緣壓板2受熱發(fā)生翹曲，保證電熱板表面溫度的均勻性。

實(shí)施例二

上述電熱板的制備方法，包括以下步驟：

步驟一：將電阻絲4夾緊于上絕緣壓板2和下絕緣壓板3之間；

步驟二：將導(dǎo)熱材料均勻澆筑在上絕緣壓板2和下絕緣壓板3周邊形成導(dǎo)熱板1。

作為進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案，上絕緣壓板2和下絕緣壓板3之間設(shè)有均布槽5，電阻絲4設(shè)于均布槽5內(nèi)。相比現(xiàn)有的采用電阻絲4纏繞于繞絲板上的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明無(wú)需設(shè)置繞絲板，且可保證上絕緣壓板2、下絕緣壓板3各處電阻絲4有效長(zhǎng)度一致，上絕緣壓板2、下絕緣壓板3除了均布槽5之外的各部分均緊密貼合，可避免兩者之間產(chǎn)生細(xì)微的溫差。

本實(shí)施例中，電阻絲4的橫截面為圓形，均布槽5包括兩個(gè)半圓槽51，兩個(gè)半圓槽51分設(shè)于上絕緣壓板2和下絕緣壓板3上。兩個(gè)半圓槽51分別在上絕緣壓板2和下絕緣壓板3上呈相同的s型布置。電阻絲4布置的越緊密，則電熱板表面溫度的均勻性越好。

在制備時(shí)，可先將電阻絲4布置在下絕緣壓板3上的半圓槽51內(nèi)，然后將上絕緣壓板2與下絕緣壓板3對(duì)位準(zhǔn)確之后壓下，最后再進(jìn)行澆筑。

本實(shí)施例中，電阻絲4在引線位置設(shè)有陶瓷電極（圖中未示出），便于澆筑時(shí)引出電阻絲4。

本實(shí)施例中，空腔11的腔壁各處等厚，有利于保證電熱板表面溫度的均勻性。

實(shí)施例三

如圖4所示，本實(shí)施例的真空烘箱，包括箱體6，箱體6上設(shè)有真空泵7，箱體6內(nèi)設(shè)有多層上述的電熱板。

使用時(shí)，將待烘烤工件放入箱體6內(nèi)，烘箱門(mén)關(guān)閉，真空泵7開(kāi)啟，開(kāi)始對(duì)烘箱抽真空操作，電熱板開(kāi)始通電加熱，當(dāng)烘箱內(nèi)到達(dá)設(shè)定溫度后，保持設(shè)定溫度至設(shè)定時(shí)間，烘烤結(jié)束，待烘箱內(nèi)溫度降至常溫，真空泵7停止工作，往箱體6內(nèi)充入惰性氣體，開(kāi)啟真空烘箱門(mén)，取出工件。

本發(fā)明公開(kāi)的真空烘箱，含有上述電熱板，因而同樣具備上述優(yōu)點(diǎn)，可在工件進(jìn)行激光焊接之前，進(jìn)行良好的加熱除氣處理，保證后續(xù)的焊接質(zhì)量。

雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍的情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均應(yīng)落在本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。