技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微秒脈沖等離子體射流一體機(jī)裝置，包括微秒脈沖激勵(lì)電源、等離子體射流裝置和反應(yīng)氣體裝置，微秒脈沖激勵(lì)電源通過連接線內(nèi)設(shè)置的高壓線與等離子體射流裝置的高壓端連接，反應(yīng)氣體裝置內(nèi)的反應(yīng)氣體通過進(jìn)氣管進(jìn)入微秒脈沖激勵(lì)電源的進(jìn)氣口，并通過連接線內(nèi)設(shè)置的出氣管進(jìn)入等離子體射流裝置中。本發(fā)明還提供了一種微秒脈沖等離子體射流一體機(jī)裝置的使用方法。本發(fā)明的有益效果為：一體化設(shè)計(jì)，具有放電效率高和裝置小型化的優(yōu)勢(shì)，方便攜帶與使用；可輸出電壓幅值0?20kV連續(xù)可調(diào)、頻率0?1.5kHz連續(xù)可調(diào)、上升沿0.5us、半高寬8us的高壓脈沖；在實(shí)際應(yīng)用中，可以應(yīng)用于表面處理、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用等領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：王瑞雪;邵濤;田思理;邱錦濤;方志;萬京林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院電工研究所;南京工業(yè)大學(xué);南京蘇曼等離子科技有限公司
文檔號(hào)碼：201710183836
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.24
技術(shù)公布日：2017.06.20