1.一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：包括陰極保護罩(11)、陰極連接柱(12)、陰極頭(13)和進氣環(huán)(14)，所述陰極保護罩(11)套在陰極連接柱(12)上，所述進氣環(huán)(14)設置在陰極連接柱(12)的一端，所述陰極頭(13)通過連接件固定在陰極連接柱(12)的一端，所述連接件上設置有陰極彈簧(15)，所述陰極彈簧(15)一端連接在陰極頭(13)底部，另一端連接在陰極連接柱(12)上。
2.如權利要求1所述的一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：所述陰極保護罩(11)與陰極連接柱(12)之間設置有氣流通道(16)，所述氣流通道(16)用于輸送工作氣體，所述進氣環(huán)(14)一端套在陰極連接柱(12)上，進氣環(huán)(14)一端設置有工作氣體進口(141)，所述氣流通道(16)與進氣環(huán)(14)的工作氣體進口(141)連通。
3.如權利要求2所述的一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：所述進氣環(huán)(14)的里另一端設置有工作氣體出口(142)，所述工作氣體出口(142)與電離腔(400)連通，工作氣體通過進氣環(huán)(14)進入電離腔(400)。
4.如權利要求1所述的一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：所述陰極保護罩(11)上設置有冷卻水通道，所述冷卻水通道包括進水通道(111)和出水通道(112)，所述進水通道(111)靠近陰極連接柱(12)設置，所述出水通道(112)遠離陰極連接柱(12)設置；所述進水通道(111)與出水通道(112)的端部相互連通，進水通道(111)連接有進水管(113)，出水通道(112)連接有出水管(114)，冷卻水從進水管(113)進入到進水通道(111)內，再經出水通道(112)和出水管(114)流出。
5.如權利要求2或3任意一項所述的一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：所述進氣環(huán)(14)包括進氣部(143)和出氣部(144)，所述進氣部(143)伸入陰極保護罩(11)內，并包裹在陰極連接柱(12)外側，所述工作氣體進口(141)設置在進氣部(143)上。
6.如權利要求3所述的一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：所述進氣環(huán)(14)內設置有螺旋式氣體通道(145)，所述氣體通道(145)沿進氣環(huán)(14)進氣部(143)的軸向螺旋分布，所述氣體通道(145)沿進氣環(huán)(14)的出氣部(144)的徑向螺旋分布。
7.如權利要求6所述的一種層流等離子發(fā)生器陰極結構，其特征在于：所述進氣環(huán)(14)出氣部(144)與電離腔接觸的表面上設置有一層絕緣層(146)。