振動(dòng)元件、振動(dòng)裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種振動(dòng)元件、振動(dòng)裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體，所述振動(dòng)元件能夠容易地形成進(jìn)行傾斜振動(dòng)的振動(dòng)臂。振動(dòng)元件(2)具備：基部(4)；驅(qū)動(dòng)臂(5、6)，其包括第一面(10)以及與第一面(10)處于表背關(guān)系的第二面(11)，并且在第一面(10)側(cè)設(shè)置有槽部(8a、8b)，驅(qū)動(dòng)臂(5、6)從基部(4)向延伸設(shè)置方向延伸設(shè)置；驅(qū)動(dòng)部，其包括壓電體層(13)并被設(shè)置于第二面(11)上，驅(qū)動(dòng)臂(5、6)的與延伸設(shè)置方向正交的截面形狀包含相對于穿過與延伸設(shè)置方向正交的方向上的寬度的中心的假想中心線(P1)而非對稱的截面形狀。
【專利說明】振動(dòng)元件、振動(dòng)裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種振動(dòng)元件以及使用了該振動(dòng)元件的振動(dòng)裝置、電子設(shè)備及移動(dòng)體。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，作為被用于電子設(shè)備或作為移動(dòng)體的汽車等中的水晶振蕩器，或者被用于角速度傳感器等的振動(dòng)裝置中的振動(dòng)元件，已知有如下的元件。
[0003]例如專利文獻(xiàn)I所公開的振動(dòng)元件為，具備多個(gè)振動(dòng)臂的音叉型的振動(dòng)元件，并且具有在Z軸方向上具有厚度的基部，和從基部向Y軸方向延伸并在X軸方向上并排設(shè)置的兩個(gè)振動(dòng)臂，所述振動(dòng)元件為了提高振動(dòng)效率而分別在表面以及背面上挖掘出槽部。而且，在各個(gè)振動(dòng)臂(驅(qū)動(dòng)臂)上形成有激勵(lì)用的電極。在這種振動(dòng)元件中，通過向被形成于振動(dòng)臂上的所述電極施加電壓，從而使兩個(gè)振動(dòng)臂在X軸方向上進(jìn)行面內(nèi)振動(dòng)。
[0004]此外，例如專利文獻(xiàn)2所公開的振動(dòng)元件為，對角速度進(jìn)行檢測的振動(dòng)元件，且為具備多個(gè)振動(dòng)臂(驅(qū)動(dòng)臂)的音叉型的振動(dòng)元件。該振動(dòng)元件具有基部和兩個(gè)振動(dòng)臂，所述兩個(gè)振動(dòng)臂從基部起以相互并排的方式向Y軸方向延伸，并在X軸方向上并排設(shè)置。各個(gè)振動(dòng)臂具有于在Z軸方向上相對置的表面以及背面上分別形成的槽，且各個(gè)振動(dòng)臂的橫截面形狀呈“S”字狀。通過將各個(gè)振動(dòng)臂設(shè)為這種形狀，從而能夠在維持機(jī)械性強(qiáng)度的同時(shí)抑制Q值的變動(dòng)。
[0005]如上所述的振動(dòng)元件能夠通過將由例如水晶或者硅等構(gòu)成的板狀的基板加工成所需的形狀而形成。具體而言，能夠通過在基板的兩個(gè)面上，形成與振動(dòng)元件的俯視觀察時(shí)的形狀相對應(yīng)的掩膜，并隔著這些掩膜而對基板進(jìn)行蝕刻，從而得到振動(dòng)元件。
[0006]然而，在上述的專利文獻(xiàn)I所記載的振動(dòng)元件中，需要分別從振動(dòng)臂(驅(qū)動(dòng)臂)的表面以及背面挖掘出槽。此外，在專利文獻(xiàn)2所記載的振動(dòng)元件中，為了將振動(dòng)臂(驅(qū)動(dòng)臂)的形狀設(shè)為“S”字狀的橫截面，需要在表面以及背面上形成槽。尤其是在如專利文獻(xiàn)2所公開的振動(dòng)元件這樣將振動(dòng)臂設(shè)為“S”字狀的橫截面時(shí)，必須較深地形成槽，并且為了振動(dòng)臂(振動(dòng)元件)的小型化，必須要抑制槽寬度。如此，在抑制槽的寬度的同時(shí)較深地形成槽的加工較為困難，例如會出現(xiàn)形成于表面的槽在背面貫穿，或在側(cè)面開放而使側(cè)面缺損的情況。此外，由于分別從表面以及背面挖掘槽，并且在表面以及背面上形成電極或壓電體，因此加工工序變復(fù)雜，而且也增加了加工的工時(shí)。如此，在現(xiàn)有的振動(dòng)元件中，具有如下課題，即，在形成具有從表面背面起的槽的振動(dòng)臂時(shí)將耗費(fèi)很多工時(shí)，并且加工較為困難。
[0007]在此，本申請發(fā)明人著眼于如下情況，S卩，通過將振動(dòng)臂的橫截面形狀設(shè)為左右非對稱(關(guān)于振動(dòng)臂的作為寬度方向的X軸方向上的中央線非對稱)，而使振動(dòng)臂在合成了 Z軸方向以及X軸方向上的雙方的振動(dòng)分量的方向上進(jìn)行傾斜振動(dòng)的情況，而提出使用了該傾斜振動(dòng)的振動(dòng)元件。即使在使用了這種傾斜振動(dòng)的振動(dòng)元件中，當(dāng)例如如專利文獻(xiàn)I或?qū)＠墨I(xiàn)2那樣從振動(dòng)臂的表面及背面形成槽時(shí)，也如上所述存在耗費(fèi)很多工時(shí)并且加工較為困難的課題。
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-216924號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:國際公開第2010/047115號小冊子


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的發(fā)明，并且能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。
[0011]應(yīng)用例I
[0012]本應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)元件的特征在于，具備:基部；驅(qū)動(dòng)臂，其包括第一面以及與所述第一面處于表背關(guān)系的第二面，并且在所述第一面?zhèn)仍O(shè)置有凹部，所述驅(qū)動(dòng)臂從所述基部向延伸設(shè)置方向延伸設(shè)置；驅(qū)動(dòng)部，其被設(shè)置在所述第二面上；所述驅(qū)動(dòng)臂的與所述延伸設(shè)置方向正交的截面形狀包含相對于穿過與所述延伸設(shè)置方向正交的方向上的寬度的中心的假想中心線而非對稱的截面形狀。
[0013]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠通過簡單的加工，而獲得具有可進(jìn)行傾斜振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)臂(振動(dòng)臂)的振動(dòng)元件。該傾斜振動(dòng)是指具有在包括驅(qū)動(dòng)臂的延伸設(shè)置方向在內(nèi)的平面上互相交叉的第一軸以及第二軸，和與這兩個(gè)軸交叉的第三軸中的至少兩個(gè)軸方向上的振動(dòng)分量的振動(dòng)。通過具有進(jìn)行傾斜振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)臂，從而能夠降低振動(dòng)泄漏，由此本應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)元件成為振動(dòng)特性優(yōu)良的元件。此外，由于加工簡單因此提高了成品率。此外,能夠使驅(qū)動(dòng)臂以低阻抗進(jìn)行傾斜振動(dòng)。進(jìn)行詳細(xì)敘述，構(gòu)成振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)臂的凹部被設(shè)置于第一面上。即，由于凹部通過從一個(gè)面挖掘而形成，因此能夠容易地形成包含相對于假想中心線而非對稱的截面形狀的凹部。此外，在第一面的背面即第二面上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)部。因此，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠容易地形成在一個(gè)面(第一面)上設(shè)置有凹部，且在背面(第二面)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)臂，從而能夠廉價(jià)地提供可持續(xù)地進(jìn)行穩(wěn)定的傾斜振動(dòng)的振動(dòng)元件。
[0014]應(yīng)用例2
[0015]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，所述驅(qū)動(dòng)部包括壓電體和在與所述延伸設(shè)置方向正交的寬度方向上并排設(shè)置的多個(gè)電極。
[0016]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠使驅(qū)動(dòng)臂在包括驅(qū)動(dòng)臂的延伸設(shè)置方向在內(nèi)的平面方向上進(jìn)行振動(dòng)的、所謂的面內(nèi)振動(dòng)的阻抗降低，從而能夠容易地獲得面內(nèi)振動(dòng)。
[0017]應(yīng)用例3
[0018]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，所述凹部沿著所述延伸設(shè)置方向而被設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)臂上，且未到達(dá)所述基部。
[0019]根據(jù)本應(yīng)用例，雖然在施加有來自外部的沖擊等的情況下，在驅(qū)動(dòng)臂與基部的連接部上將產(chǎn)生較大的應(yīng)力，但在本示例的結(jié)構(gòu)中，在與基部連接的連接部上不存在因設(shè)置有凹部而產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)臂的截面面積較小的部分。因此，能夠獲得提高了耐沖擊性的振動(dòng)元件。
[0020]應(yīng)用例4
[0021]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，所述凹部沿著所述延伸設(shè)置方向而被設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)臂上，且到達(dá)所述基部。
[0022]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠使驅(qū)動(dòng)臂以低阻抗進(jìn)行傾斜振動(dòng)。
[0023]應(yīng)用例5
[0024]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，所述凹部為槽部。
[0025]根據(jù)本應(yīng)用例，由于凹部為槽部，且在兩側(cè)存在壁部，因此驅(qū)動(dòng)臂的形狀較為穩(wěn)定并且提高了剛性，由此，能夠獲得驅(qū)動(dòng)臂的更為穩(wěn)定的振動(dòng)。
[0026]應(yīng)用例6
[0027]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，具備與所述基部連接的檢測臂。
[0028]根據(jù)本應(yīng)用例，通過利用檢測臂來對驅(qū)動(dòng)臂所具有的兩個(gè)軸向上的振動(dòng)分量的變化進(jìn)行檢測，從而能夠檢測出繞相互交叉的兩個(gè)軸中的各個(gè)軸的角速度。換言之，能夠通過一個(gè)振動(dòng)元件而檢測出繞相互交叉的多個(gè)軸中的各個(gè)軸的角速度。
[0029]應(yīng)用例7
[0030]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，所述驅(qū)動(dòng)臂包括并排設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)臂和第二驅(qū)動(dòng)臂，所述第一驅(qū)動(dòng)臂的所述凹部以相對于所述第一驅(qū)動(dòng)臂的所述假想中心線而偏向第一方向的方式被配置，所述第二驅(qū)動(dòng)臂的所述凹部以相對于所述第二驅(qū)動(dòng)臂的所述假想中心線而偏向與所述第一方向相反的方向的方式被配置。
[0031]根據(jù)本應(yīng)用例，第一驅(qū)動(dòng)臂以及第二驅(qū)動(dòng)臂各自的傾斜振動(dòng)中的寬度方向分量的振動(dòng)互相成為相反方向，換言之，互相成為反相，從而能夠降低振動(dòng)泄漏。由此，能夠獲得提高了振動(dòng)特性的振動(dòng)元件。
[0032]應(yīng)用例8
[0033]在上述應(yīng)用例所記載的振動(dòng)元件中，優(yōu)選為，所述驅(qū)動(dòng)臂包括并排設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)臂和第二驅(qū)動(dòng)臂，并且具備在所述第一驅(qū)動(dòng)臂與所述第二驅(qū)動(dòng)臂之間從所述基部延伸設(shè)置的調(diào)節(jié)臂。
[0034]根據(jù)本應(yīng)用例，由于第一以及第二驅(qū)動(dòng)臂與調(diào)節(jié)臂關(guān)于Z軸方向而相互向相反方向進(jìn)行彎曲振動(dòng)，換言之，由于相互以反相進(jìn)行彎曲振動(dòng)，因此第一以及第二驅(qū)動(dòng)臂的彎曲振動(dòng)中的Z軸方向分量的振動(dòng)的至少一部分與調(diào)節(jié)臂的Z軸方向上的振動(dòng)的至少一部分相互抵消(相消)。因此，能夠通過設(shè)置調(diào)節(jié)臂來降低振動(dòng)泄漏。
[0035]應(yīng)用例9
[0036]本應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)裝置的特征在于,包括上述應(yīng)用例中的任一應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件和收納有所述振動(dòng)元件的收納容器。
[0037]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠獲得可持續(xù)地進(jìn)行穩(wěn)定的傾斜振動(dòng)，且能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低的振動(dòng)裝置。
[0038]應(yīng)用例10
[0039]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任一應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件。
[0040]根據(jù)本應(yīng)用例，由于具備可持續(xù)地進(jìn)行穩(wěn)定的傾斜振動(dòng)，且能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低的振動(dòng)元件，因此能夠獲得實(shí)現(xiàn)了更穩(wěn)定的特性與低成本的電子設(shè)備。
[0041]應(yīng)用例11
[0042]本應(yīng)用例所涉及的移動(dòng)體的特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任一應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件。
[0043]根據(jù)本應(yīng)用例，由于具備了可持續(xù)地進(jìn)行穩(wěn)定的傾斜振動(dòng)，且能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低的振動(dòng)元件，因此能夠獲得實(shí)現(xiàn)了更穩(wěn)定的特性與低成本的移動(dòng)體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0044]圖1為本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置的剖視圖。
[0045]圖2為表示圖1所示的振動(dòng)裝置所具備的振動(dòng)元件的平面圖(俯視圖)。
[0046]圖3 (a)為圖2中的A-A線的剖視圖，圖3 (b)為表示驅(qū)動(dòng)部的改變例的相同的剖視圖。
[0047]圖4為用于對圖2所示的振動(dòng)元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的剖視圖，圖4(a)對應(yīng)于圖3(a)的驅(qū)動(dòng)部，圖4(b)對應(yīng)于圖3(b)的驅(qū)動(dòng)部。
[0048]圖5為表示圖2所示的振動(dòng)元件的改變例的剖視圖。
[0049]圖6為本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置的剖視圖。
[0050]圖7為表示圖6所示的振動(dòng)裝置所具備的作為振動(dòng)元件的陀螺元件的平面圖(俯視圖)。
[0051 ]圖8 (a)為圖7中的B-B線的剖視圖，圖8 (b)為表示驅(qū)動(dòng)部的改變例的相同的剖視圖。
[0052]圖9為表示圖7所示的陀螺元件的改變例的剖視圖。
[0053]圖10為用于對圖7所示的陀螺元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的剖視圖，圖10(a)對應(yīng)于圖8(a)的結(jié)構(gòu)，圖10(b)對應(yīng)于圖8(b)的結(jié)構(gòu)。
[0054]圖11為表示施加有繞Z軸的角速度時(shí)的陀螺元件的振動(dòng)的俯視圖。
[0055]圖12為表示施加有繞Y軸的角速度時(shí)的陀螺元件的振動(dòng)的俯視圖。
[0056]圖13為表示凹部的改變例的剖視圖。
[0057]圖14為表示作為電子設(shè)備的一個(gè)示例的便攜型的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0058]圖15為作為電子設(shè)備的一個(gè)示例的移動(dòng)電話機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0059]圖16為作為電子設(shè)備的一個(gè)示例的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0060]圖17為作為移動(dòng)體的一個(gè)示例的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。

【具體實(shí)施方式】
[0061]以下，根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式來對本發(fā)明的振動(dòng)元件、振動(dòng)裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0062]振動(dòng)裝置
[0063]第一實(shí)施方式
[0064]使用圖1至圖5對作為本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置的振子進(jìn)行說明。圖1為表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置的剖視圖，圖2為表示圖1所示的振動(dòng)裝置所具備的振動(dòng)元件的平面圖(俯視圖)，圖3(a)為表示驅(qū)動(dòng)部結(jié)構(gòu)的圖2中的A-A線剖視圖，圖3(b)為表示驅(qū)動(dòng)部的改變例的相同的剖視圖。此外，圖4為用于對圖2所示的振動(dòng)元件的振動(dòng)臂的動(dòng)作進(jìn)行說明的剖視圖，圖4(a)對應(yīng)于圖3(a)的驅(qū)動(dòng)部的圖，圖4(b)對應(yīng)于圖3(b)的驅(qū)動(dòng)部的圖。此外，圖5為表示圖2所示的振動(dòng)元件的改變例的剖視圖。另外，在各個(gè)圖中，為了便于說明，作為相互正交的三個(gè)軸，圖示了 X軸(第一方向)、Y軸(第二方向)以及Z軸(第三方向)。此外，在下文中，將與X軸平行的方向稱為“X軸方向(第一方向)”、與Y軸平行的方向稱為“Y軸方向(第二方向)”、與Z軸平行的方向稱為“Z軸方向(第三方向)”。此外，在下文中，還將由X軸與Y軸規(guī)定的平面稱為“XY”平面、由Y軸與Z軸規(guī)定的平面稱為“YZ平面”、由X軸與Z軸規(guī)定的平面稱為“XZ平面”。此外，在以下的說明中，為了便于說明，而將圖1中的上側(cè)稱為“上”、下側(cè)稱為“下”。
[0065]如圖1所示，作為振動(dòng)裝置的振子I具有振動(dòng)元件2和對該振動(dòng)元件2進(jìn)行收納的封裝件9。封裝件9具有由底基板91、框部件92以及蓋部件93構(gòu)成的內(nèi)部空間S，并且在該內(nèi)部空間S中收納有振動(dòng)元件2。振動(dòng)元件2通過固定材料96而被連接并固定于底基板91上。振子I具有產(chǎn)生以預(yù)定的頻率(共振頻率)進(jìn)行振動(dòng)的電信號的功能。以下，按順序?qū)?gòu)成振子I的各個(gè)部位進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0066]振動(dòng)元件
[0067]首先，按照圖2以及圖3(a)來對振動(dòng)元件2進(jìn)行說明。如圖2所示，振動(dòng)元件2為三腳音叉型的振動(dòng)元件。此外,本實(shí)施方式的振動(dòng)元件2能夠產(chǎn)生以預(yù)定的頻率(共振頻率)進(jìn)行振動(dòng)的電信號。振動(dòng)元件2具有:在元件基板3上所形成的基部4以及從基部4延伸設(shè)置的三個(gè)振動(dòng)臂(驅(qū)動(dòng)臂5、6以及調(diào)節(jié)臂7);和在該元件基板3上所形成的多個(gè)電極。
[0068]元件基板3例如將硅基板作為原材料而被形成。在元件基板3上，設(shè)置有包含作為壓電體的壓電體層13(參照圖3(a))的驅(qū)動(dòng)部，并且使用該驅(qū)動(dòng)部而使臂部(驅(qū)動(dòng)臂5、6)進(jìn)行振動(dòng)。如此，通過將硅基板等作為元件基板的原材料來使用，從而能夠利用蝕刻而以較高的尺寸精度形成元件基板3。另外，元件基板3例如也可以由水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰、硼酸鋰、鈦酸鋇等壓電體材料構(gòu)成。即使在該情況下，也能夠利用蝕刻而以較高的尺寸精度形成元件基板3。
[0069]基部
[0070]如圖2所示，基部4為，在XY平面上具有展寬且在Z軸方向上具有厚度的板狀。此夕卜，基部4以成為與振動(dòng)臂(驅(qū)動(dòng)臂5、6以及調(diào)節(jié)臂7)大致相等的厚度的方式而被形成。在這種基部4上，連接有三個(gè)振動(dòng)臂。在這些振動(dòng)臂中，驅(qū)動(dòng)臂5、6作為用于對振動(dòng)元件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)用臂而發(fā)揮作用，調(diào)節(jié)臂7作為用于抵消驅(qū)動(dòng)臂5、6的Z方向上的振動(dòng)的調(diào)節(jié)用臂而發(fā)揮作用。
[0071]調(diào)節(jié)臂7被配置于基部4的X軸方向上的中央部處，并從基部4的Y軸方向上的端部4a起向Y軸方向延伸。此外，驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6以調(diào)節(jié)臂7位于它們彼此之間的方式而被配置于基部4的X軸方向上的兩端側(cè)，并從基部4的Y軸方向上的端部4a起向Y軸方向延伸。驅(qū)動(dòng)臂5、6以及調(diào)節(jié)臂7以相互并行的方式分別從基部4向Y軸方向延伸設(shè)置。此外，驅(qū)動(dòng)臂5、6以及調(diào)節(jié)臂7以大致等間隔而以在X軸方向上并排的方式被分離配置。此外，驅(qū)動(dòng)臂5、6以及調(diào)節(jié)臂7分別呈長條形狀，且其端部成為固定端，頂端部成為自由端。
[0072]驅(qū)動(dòng)臂
[0073]如圖2以及圖3(a)所示，驅(qū)動(dòng)臂5成為具有第一面(上表面)10和第二面(下表面)11，且具有連接第一面10與第二面11的側(cè)面20、21的結(jié)構(gòu)，所述第一面10為由XY平面構(gòu)成的面，所述第二面11為由XY平面構(gòu)成并且與第一面成為表背關(guān)系的面。在驅(qū)動(dòng)臂5上，設(shè)置有從第一面10挖掘出的作為凹部的有底的槽部8a。作為槽部8a的基部4 一側(cè)的端部的一端16以未到達(dá)基部4的端部4a的方式而被配置。通過如此配置槽部8a的一端16，從而使由于設(shè)置槽部8a而產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)臂5的截面面積較小的部分不存在于驅(qū)動(dòng)臂5與基部的連接部分處，由此不會產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)臂5與基部4的連接部分處的驅(qū)動(dòng)臂5的強(qiáng)度降低。由此,能夠提高振動(dòng)元件2的耐沖擊性。此外，作為槽部8a的頂端部一側(cè)的端部的另一端18被配置于未到達(dá)驅(qū)動(dòng)臂5的頂端的位置處，換言之，被配置于與頂端部具有距離的位置處。
[0074]此外，作為本實(shí)施方式的另外的方式，也能夠?qū)⒆鳛椴鄄?a的基部4 一側(cè)的端部的一端16配置為，到達(dá)基部4的端部4a。此外，作為本實(shí)施方式的另一種方式，也能夠?qū)⒆鳛椴鄄?a的基部4 一側(cè)的端部的一端16配置于基部4上，并將槽部8a的另一端18配置于驅(qū)動(dòng)臂5上，從而以跨及驅(qū)動(dòng)臂5與基部4雙方的方式而形成槽部8a。通過如此形成槽部8a，從而使驅(qū)動(dòng)臂5的根側(cè)的變形或基部4的與驅(qū)動(dòng)臂5的連接部分的變形容易產(chǎn)生。其結(jié)果為，能夠減小驅(qū)動(dòng)臂5的阻抗。
[0075]此外，槽部8a以槽部8a的另一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面21之間的間隔大于槽部8a的一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面20之間的間隔的方式而被配置。即，槽部8a以相對于穿過中心Q的第一假想中心線Pl而偏向調(diào)節(jié)臂7側(cè)的方式被設(shè)置。而且，驅(qū)動(dòng)臂5以包括如下截面形狀的方式而被設(shè)置，即，相對于穿過驅(qū)動(dòng)臂5的與延伸設(shè)置方向(Y軸方向)正交的方向(X軸方向)上的寬度的中心Q的第一假想中心線Pl而非對稱的截面形狀。換言之，假想中心線Pl為，將驅(qū)動(dòng)臂5的最大寬度二等分的線。即，在驅(qū)動(dòng)臂5的側(cè)面20、21不是如圖3(a)所示的平面，而是在側(cè)面20、21上形成有由蝕刻產(chǎn)生的異型形狀的毛邊(未圖示)時(shí)，所述假想中心線Pl為將包含該異型形狀的驅(qū)動(dòng)臂5的最大寬度二等分的線。此外，驅(qū)動(dòng)臂5的Y軸方向上的截面形狀相對于穿過Z軸方向(厚度方向)上的厚度的中心Q的第二假想中心線P2而非對稱。換言之，假想中心線P2為，將驅(qū)動(dòng)臂5的最大厚度二等分的線。因此，如后文所述，當(dāng)使驅(qū)動(dòng)臂5在X軸方向(面內(nèi)方向)上振動(dòng)時(shí)，通過該振動(dòng)而新激勵(lì)出Z軸方向(面外方向)上的振動(dòng)，其結(jié)果為，能夠使驅(qū)動(dòng)臂5在如下方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)(以下，僅稱為“傾斜振動(dòng)”)，所述方向?yàn)?，具有X軸方向以及Z軸方向這兩個(gè)方向分量的方向，換言之,為相對于X軸以及Z軸這兩個(gè)軸發(fā)生了傾斜的方向。
[0076]同樣地，驅(qū)動(dòng)臂6成為具有第一面(上表面)10和第二面(下表面)11，且具有連接第一面10與第二面11的側(cè)面22、23的結(jié)構(gòu)，所述第一面10為由XY平面構(gòu)成的面，所述第二面11為由XY平面構(gòu)成并且與第一面成為表背關(guān)系的面。在驅(qū)動(dòng)臂6上，設(shè)置有從第一面10挖掘出的作為凹部的有底的槽部8b。作為槽部8b的基部4 一側(cè)的端部的一端17以未到達(dá)基部4的端部4a的方式而被配置。通過如此配置槽部Sb的一端17，從而使由于設(shè)置槽部8b而產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)臂6的截面面積較小的部分不存在于驅(qū)動(dòng)臂6與基部4的連接部分處，由此不會產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)臂6與基部4的連接部分處的強(qiáng)度降低。由此，能夠提高振動(dòng)元件2的耐沖擊性。此外，作為槽部Sb的頂端部一側(cè)的端部的另一端19被配置于未到達(dá)驅(qū)動(dòng)臂6的頂端的位置處，換言之，被配置于與頂端部具有距離的位置上。
[0077]此外，作為本實(shí)施方式的另外的方式，也能夠?qū)⒆鳛椴鄄?b的基部4 一側(cè)的端部的一端17配置為到達(dá)基部4的端部4a。此外，作為本實(shí)施方式的另一種的方式，也能夠?qū)⒆鳛椴鄄?b的基部4側(cè)的端部的一端17配置于基部4上，并將槽部Sb的另一端19配置于驅(qū)動(dòng)臂5上，從而以跨及驅(qū)動(dòng)臂6與基部4雙方的方式而形成槽部Sb。通過如此形成槽部8b，從而使驅(qū)動(dòng)臂6的根側(cè)的變形或基部4的與驅(qū)動(dòng)臂6的連接部分的變形容易產(chǎn)生。其結(jié)果為，能夠減小驅(qū)動(dòng)臂6的阻抗。
[0078]此外，雖然以槽部8a、8b的另一端18、19未到達(dá)驅(qū)動(dòng)臂5、6的頂端的位置示例進(jìn)行了說明，但并不限定于此，槽部8a、8b也可以為到達(dá)驅(qū)動(dòng)臂5、6的頂端，從而另一端成為開放端的結(jié)構(gòu)。
[0079]此外，槽部Sb以槽部Sb的另一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面23之間的間隔大于槽部Sb的一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面22之間的間隔的方式而被配置。S卩，槽部Sb以相對于穿過中心Q的第一假想中心線Pl而偏向調(diào)節(jié)臂7側(cè)的方式被配置。而且，驅(qū)動(dòng)臂6被設(shè)置為包括如下截面形狀，即，相對于穿過驅(qū)動(dòng)臂6的與延伸設(shè)置方向(Y軸方向)正交的方向(X軸方向)上的寬度的中心Q的第一假想中心線Pl而非對稱的截面形狀。換言之，假想中心線Pl為，將驅(qū)動(dòng)臂6的最大寬度二等分的線。即，在驅(qū)動(dòng)臂6的側(cè)面22、23不是如圖3(a)所示的平面，而是在側(cè)面22、23上形成有由蝕刻產(chǎn)生的異型形狀的毛邊(未圖示)時(shí)，所述假想中心線Pl為，將包含該異型形狀的驅(qū)動(dòng)臂6的最大寬度二等分的線。此外，驅(qū)動(dòng)臂6的Y軸方向上的截面形狀相對于穿過Z軸方向上的厚度的中心Q的第二假想中心線P2而非對稱。換言之，假想中心線P2為，將驅(qū)動(dòng)臂6的最大厚度二等分的線。因此，如后文所述，當(dāng)使驅(qū)動(dòng)臂6在X軸方向(面內(nèi)方向)上振動(dòng)時(shí)，通過該振動(dòng)而新激勵(lì)出Z軸方向(面外方向)上的振動(dòng)，其結(jié)果為，能夠使驅(qū)動(dòng)臂6在如下方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)(以下，僅稱為“傾斜振動(dòng)”)，所述方向?yàn)?，具有X軸方向以及Z軸方向這兩個(gè)方向分量的方向，換言之,為相對于X軸以及Z軸這兩個(gè)軸發(fā)生了傾斜的方向。
[0080]如上所述，槽部8a以相對于驅(qū)動(dòng)臂5的假想中心線Pl而偏向一 X軸方向的方式被配置，并且，槽部8b以相對于驅(qū)動(dòng)臂6的假想中心線Pl而偏向與一 X軸方向相反的+X軸方向的方式被配置。作為本實(shí)施方式的另外的方式，也可以采用如下方式，即，槽部8a以相對于驅(qū)動(dòng)臂5的假想中心線Pl而偏向+X軸方向的方式被配置，并且，槽部Sb以相對于驅(qū)動(dòng)臂6的假想中心線Pl而偏向與+X軸方向相反的一 X軸方向的方式被配置。另外，上文所述的槽部8a、8b也能夠與形成元件基板3同樣地，通過蝕刻等的簡便的方法且以較高的尺寸精度來形成。
[0081 ] 如圖3 (a)所示，在本實(shí)施方式的振動(dòng)元件2中，在與驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的第一面10成為表背關(guān)系的第二面11上，設(shè)置有包括作為壓電體的壓電體層13在內(nèi)的驅(qū)動(dòng)部。驅(qū)動(dòng)部以在驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的各個(gè)第二面11上依次層疊第一電極層12、作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)13、第二電極層14的方式而被構(gòu)成。包括壓電體層13的驅(qū)動(dòng)部具有通過被通電而伸縮從而使驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6進(jìn)行傾斜振動(dòng)的功能。更詳細(xì)而言，包括壓電體層13的驅(qū)動(dòng)部具有如下功能，即，通過在第一電極層12與第二電極層14之間施加交流電壓而施加電場，從而壓電體層13伸縮而使驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6進(jìn)行傾斜振動(dòng)。如此，在使用包括壓電體層13的驅(qū)動(dòng)部而使驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6進(jìn)行振動(dòng)的情況下，能夠通過例如硅基板來構(gòu)成元件基板3。
[0082]作為第一電極層12以及第二電極層14的構(gòu)成材料，例如，能夠使用金(Au)、金合金、鉬(Pt)、鋁(Al)、鋁合金、銀(Ag)、銀合金、鉻(Cr)、鉻合金、銅(Cu)、鑰(Mo)、鈮(Nb)、鎢(W)、鐵(Fe)、鈦(Ti)、鈷(Co)、鋅(Zn)、鋯(Zr)等金屬材料，氧化錫銦(ITO)等導(dǎo)電材料。
[0083]其中，作為第一電極層12以及第二電極層14的構(gòu)成材料，優(yōu)選使用以金為主要材料的金屬(金、金合金)、鉬，更優(yōu)選為使用以金為主要材料的金屬(特別是金)。由于Au導(dǎo)電性優(yōu)良(電阻較小)，且對于氧化的耐性優(yōu)良，因此作為電極材料較為合適。此外，Au與Pt相比能夠更容易通過蝕刻而進(jìn)行圖案形成。
[0084]另外，例如，在由金構(gòu)成第一電極層12以及第二電極層14，從而與元件基板3的緊貼性較低的情況下，優(yōu)選為，在第一電極層12以及第二電極層14與元件基板3之間，設(shè)置由T1、Cr等構(gòu)成的基底層。由此，能夠分別使基底層與驅(qū)動(dòng)臂5、6之間的緊貼性，以及基底層與第一電極層12之間的緊貼性優(yōu)良。其結(jié)果為，能夠減少第一電極層12從驅(qū)動(dòng)臂5、6上剝離的情況，從而能夠使振動(dòng)元件2的可靠性優(yōu)良。
[0085]雖然作為壓電體層13的構(gòu)成材料，能夠列舉出例如氧化鋅(ZnO)、氮化鋁(AlN)、鉭酸鋰(LiTaO3)、鈮酸鋰(LiNbO3)、鈮酸鉀(KNbO3)、四硼酸鋰(Li2B4O7)、鈦酸鋇(BaT13)、PZT (鋯鈦酸鉛)等，但優(yōu)選使用AIN、ZnO。
[0086]調(diào)節(jié)臂
[0087]調(diào)節(jié)臂7在其長邊方向(作為延伸設(shè)置方向的Y軸方向)的整個(gè)區(qū)域內(nèi)，厚度(Z軸方向上的長度)以及寬度(X軸方向上的長度)為固定。這種調(diào)節(jié)臂7以與驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的振動(dòng)相對應(yīng)的方式而振動(dòng)。
[0088]驅(qū)動(dòng)臂、調(diào)節(jié)臂的動(dòng)作
[0089]同時(shí)也參照圖4(a)來對驅(qū)動(dòng)臂5、6以及調(diào)節(jié)臂7的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0090]在上述的這種結(jié)構(gòu)中，當(dāng)通過電源而向第一電極層12與第二電極層14之間施加了交流電壓時(shí)，各個(gè)壓電體層13將在Y軸方向上伸長或收縮，從而驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6以某一固定的頻率(共振頻率)在Z軸方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。此時(shí)，在驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6上，由于Z軸方向上的振動(dòng)而激勵(lì)出因驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的形狀而產(chǎn)生的X軸方向上的新的彎曲振動(dòng)。雖然因該新的彎曲振動(dòng)，驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6通過合成向X軸方向上的彎曲振動(dòng)與向Z軸方向上的彎曲振動(dòng)而進(jìn)行傾斜振動(dòng)，但由于驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的截面形狀相對于XY平面以及YZ平面而非對稱，因此在圖4(a)中用箭頭標(biāo)記L1、L2所示的這種相對于Z軸以及X軸發(fā)生了傾斜的方向上進(jìn)行振動(dòng)(即進(jìn)行傾斜振動(dòng))。此外，驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6關(guān)于ZY平面而對稱地進(jìn)行彎曲振動(dòng)。
[0091]一個(gè)調(diào)節(jié)臂7在這種驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的彎曲振動(dòng)的同時(shí)，在圖4(a)所示的箭頭標(biāo)記L3的方向即Z軸方向上，且于與驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的Z軸方向上的振動(dòng)相反的方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。
[0092]在這種振動(dòng)中，由于驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6關(guān)于YZ平面而對稱地進(jìn)行振動(dòng)，因此驅(qū)動(dòng)臂5的彎曲振動(dòng)之中的X軸方向分量的振動(dòng)與驅(qū)動(dòng)臂6的彎曲振動(dòng)之中的X軸方向分量的振動(dòng)平衡從而被抵消(相消)。因此，在調(diào)節(jié)臂7上并未被傳遞X軸方向上的振動(dòng)，從而調(diào)節(jié)臂7在X軸方向上幾乎不振動(dòng)。此外，由于驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6與調(diào)節(jié)臂7向Z軸方向上的相反側(cè)上進(jìn)行彎曲振動(dòng)，因此驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的彎曲振動(dòng)之中的Z軸方向分量的振動(dòng)與調(diào)節(jié)臂7的Z軸方向分量的振動(dòng)平衡從而被抵消(相消)。因此，根據(jù)振動(dòng)元件2，能夠有效地降低振動(dòng)泄漏。
[0093]特別是，在本實(shí)施方式中，由于進(jìn)行傾斜振動(dòng)的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6位于基部4的兩端部(X軸方向上的兩端部附近)處，因此在面外方向(Z軸方向)以及面內(nèi)方向(X軸方向)上均取得平衡(能夠平衡較好地進(jìn)行驅(qū)動(dòng))，由此能夠更穩(wěn)定地使驅(qū)動(dòng)臂5、驅(qū)動(dòng)臂6以及調(diào)節(jié)臂7進(jìn)行振動(dòng)。因此，能夠更有效地降低振動(dòng)泄漏。此外，在振動(dòng)元件2中，由于具有調(diào)節(jié)臂7，因此能夠自動(dòng)地抵消驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的Z軸方向上的振動(dòng)(平移運(yùn)動(dòng))，由此轉(zhuǎn)矩也被抵消而變小。
[0094]驅(qū)動(dòng)部的改變例
[0095]另外，雖然在上述中，以圖3(a)所示這種在驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的各個(gè)第二面11上依次層疊有第一電極層12、作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)13、第二電極層14的驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但也可以為圖3(b)所示這種驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)。以下進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0096]如圖3 (b)所示的驅(qū)動(dòng)部在驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的各個(gè)第二面11上，依次層疊有被分割為兩個(gè)的作為第一電極層的第三電極12a以及第四電極12b、作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)13、被分割為兩個(gè)的作為第二電極層的第五電極14a以及第六電極14b。更詳細(xì)而言，作為第一電極層的第三電極12a以及第四電極12b在驅(qū)動(dòng)臂5的寬度方向(X軸方向)上并排設(shè)置，作為第二電極層的第五電極14a以及第六電極14b在驅(qū)動(dòng)臂5的寬度方向(X軸方向)上并排設(shè)置。在這種結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部中，當(dāng)通過電源而向包括第三電極12a、壓電體層13以及第五電極14a的驅(qū)動(dòng)部與包括第四電極12b、壓電體層13以及第六電極14b的驅(qū)動(dòng)部施加交流電壓時(shí)，與第三電極12a相對應(yīng)的壓電體層13以及與第四電極12b相對應(yīng)的壓電體層13將在Y軸方向上伸長或收縮，從而驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6以某一固定的頻率(共振頻率)在X軸方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。另外，由于驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的截面形狀與上述的實(shí)施方式相同均為關(guān)于XY平面以及YZ平面非對稱，因此在如圖4 (b)中用箭頭標(biāo)記L4、L5所示的這種相對于Z軸以及X軸而發(fā)生了傾斜的方向上進(jìn)行振動(dòng)(即進(jìn)行傾斜振動(dòng))。此外，驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6關(guān)于ZY平面而對稱地進(jìn)行彎曲振動(dòng)。
[0097]如圖4所示，上文所述的驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6在面內(nèi)方向上(X軸方向)以及面外方向(Z軸方向)上均能夠進(jìn)行振動(dòng)。此時(shí)，由于驅(qū)動(dòng)方向與振動(dòng)方向越近則越成為低阻抗，因此能夠選擇驅(qū)動(dòng)方向。即，在更靠近Z軸方向的方向上進(jìn)行振動(dòng)的情況下，圖4(a)的結(jié)構(gòu)成為低阻抗，而在更靠近X軸方向的方向上進(jìn)行振動(dòng)的情況下，圖4(b)的結(jié)構(gòu)成為低阻抗。
[0098]此外，雖然在上述的實(shí)施方式中，對在調(diào)節(jié)臂7上未設(shè)置壓電體元件(驅(qū)動(dòng)部)，調(diào)節(jié)臂7隨著驅(qū)動(dòng)臂5以及驅(qū)動(dòng)臂6的振動(dòng)而振動(dòng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但也可以在調(diào)節(jié)臂7上設(shè)置壓電體元件(驅(qū)動(dòng)部)，從而通過壓電體元件的伸縮而使調(diào)節(jié)臂7在Z軸方向上進(jìn)行振動(dòng)。
[0099]此外，雖然在上述的實(shí)施方式中，以在驅(qū)動(dòng)臂5、驅(qū)動(dòng)臂6以及調(diào)節(jié)臂的長邊方向上的整個(gè)區(qū)域內(nèi)，厚度(Z軸方向上的長度)以及寬度(X軸方向上的長度)為固定的示例進(jìn)行了說明，但如圖5所示，也可以分別在頂端部上設(shè)置與驅(qū)動(dòng)臂5相比寬度較寬的寬幅部(錘頭)55。另外，在圖5中，將驅(qū)動(dòng)臂5作為代表例而進(jìn)行了圖示，在其他的驅(qū)動(dòng)臂或調(diào)節(jié)臂上設(shè)置了寬幅部(錘頭)的結(jié)構(gòu)也是相同的。寬幅部55具有開放端55b與基部側(cè)的端部55a。槽部8a的另一端部50b既可以如圖5(a)所示那樣處于與寬幅部55的基部4(參照圖2) —側(cè)的端部55a相比靠開放端55b側(cè)的位置處，即進(jìn)入寬幅部55內(nèi)，也可以如圖5(b)所示那樣處于未到達(dá)基部4 一側(cè)的端部55a的位置，即處于驅(qū)動(dòng)臂5之內(nèi)。
[0100]封裝件
[0101]接下來，返回圖1，對收納并固定振動(dòng)元件2的作為收納容器的封裝件9進(jìn)行說明。如圖1所示，封裝件9具有板狀的底基板91、框狀的框部件92、板狀的蓋部件93。底基板91、框部件92以及蓋部件93依次從下側(cè)向上側(cè)(+Z方向)順序?qū)盈B。底基板91和框部件92由后文敘述的陶瓷材料等形成，并通過相互燒成為一體而被接合在一起。框部件92與蓋部件93通過粘合劑或焊接材料等而被接合在一起。而且，封裝件9在由底基板91、框部件92以及蓋部件93劃分形成的內(nèi)部空間S中，對振動(dòng)元件2進(jìn)行收納。另外，在封裝件9內(nèi)，除了振動(dòng)元件2之外，還能夠收納對振動(dòng)元件2進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電子部件(振蕩電路)等。
[0102]另外，作為底基板91的構(gòu)成材料，優(yōu)選具有絕緣性(非導(dǎo)電性)的材料，例如能夠使用各種玻璃、氧化物陶瓷、氮化物陶瓷、碳化物類陶瓷等各種陶瓷材料，聚酰亞胺等各種樹脂材料等。
[0103]此外，作為框部件92以及蓋部件93的構(gòu)成材料，例如能夠使用與底基板91相同的結(jié)構(gòu)材料，Al、Cu、鐵鎳鈷合金這樣的各種金屬材料，各種玻璃材料等。
[0104]在該底基板91的上表面上,通過固定材料96而固定有上文所述的振動(dòng)元件2。該固定材料96例如由環(huán)氧樹脂類、聚酰亞胺類、硅類等的粘合劑構(gòu)成。這種固定材料96是通過如下方式而被形成的，即，在底基板91上涂覆未硬化(未固化)的粘合劑，并且在該粘合劑上載置振動(dòng)元件2之后，使該粘合劑硬化或固化。由此，振動(dòng)元件2被可靠地固定于底基板91上。另外，該固定也可以使用含有導(dǎo)電性粒子的環(huán)氧樹脂類、聚酰亞胺類、硅類等的導(dǎo)電性粘合劑來實(shí)施。
[0105]以上，根據(jù)所說明的第一實(shí)施方式，通過蝕刻等的簡單的加工便能夠獲得具有能夠進(jìn)行傾斜振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)臂5、6的振動(dòng)元件2。如此,通過具有進(jìn)行傾斜振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)臂5、6，從而成為能夠抑制振動(dòng)泄漏且振動(dòng)特性優(yōu)良的振動(dòng)元件2。此外，由于加工簡單因此提高了成品率。此外，在驅(qū)動(dòng)臂5、6的第一面10上設(shè)置有作為凹部的槽部8a、8b。S卩，由于槽部8a、8b能夠通過從一個(gè)面(第一面10)起利用蝕刻等進(jìn)行挖掘而形成，因此能夠容易地形成包括相對于第一假想中心線Pl而非對稱的截面形狀在內(nèi)的槽部8a、8b。此外，在第一面10的背面即第二面11上，設(shè)置有包括壓電體層13的驅(qū)動(dòng)部。第二面11為未設(shè)置有槽部8a、8b的平面，從而能夠容易地形成驅(qū)動(dòng)部。因此，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠容易地形成在一個(gè)面(第一面10)上設(shè)置有槽部8a、8b，在背面(第二面11)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)臂5、6，從而能夠廉價(jià)地提供一種能夠持續(xù)地進(jìn)行穩(wěn)定的傾斜振動(dòng)的振動(dòng)元件2、即振子I。
[0106]第二實(shí)施方式
[0107]接下來，對作為本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置的陀螺傳感器進(jìn)行說明。圖6為表示作為本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置的陀螺傳感器的剖視圖，圖7為表示圖6所示的振動(dòng)裝置所具備的作為振動(dòng)元件的陀螺元件的平面圖(俯視圖)，圖8(a)為圖7中的B-B線剖視圖，圖8(b)為表示驅(qū)動(dòng)部的改變例的相同的剖視圖，圖9為表示圖7所示的陀螺元件的改變例的剖視圖。此外，圖10為用于對圖7所示的陀螺元件的振動(dòng)臂的動(dòng)作進(jìn)行說明的剖視圖，圖10(a)為對應(yīng)于圖8(a)的驅(qū)動(dòng)部的圖，圖10(b)為對應(yīng)于圖8(b)的驅(qū)動(dòng)部的圖。此外，圖11為表示施加了繞Z軸的角速度時(shí)的陀螺元件的振動(dòng)的俯視圖，圖12為施加了繞Y軸的角速度時(shí)的陀螺元件的振動(dòng)的俯視圖。
[0108]另外，以下，以與上文所述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心對第二實(shí)施方式進(jìn)行說明，并且對相同的事項(xiàng)省略其說明。此外，在下文中，如圖1所示那樣，將互相正交的三個(gè)軸設(shè)為X軸(第一軸)、Y軸(第二軸)以及Z軸(第三軸)。此外，將與X軸平行的方向稱為“X軸方向”、與Y軸平行的方向稱為“Y軸方向”、與Z軸平行的方向稱為“Z軸方向”。此外，將由X軸以及Y軸規(guī)定的平面稱為“XY平面”，由Y軸以及Z軸規(guī)定的平面稱為“YZ平面”，由Z軸以及X軸規(guī)定的平面稱為“XZ平面”。
[0109]圖6所示的陀螺傳感器Ia具有作為振動(dòng)元件的陀螺元件40和對該陀螺元件40進(jìn)行收納的封裝件9a。封裝件9a具有由底基板91a、框部件92a以及蓋部件93a構(gòu)成的內(nèi)部空間S，并且在該內(nèi)部空間中收納有陀螺元件40。陀螺元件40通過固定材料96a而被連接并固定在底基板91a上。陀螺傳感器Ia具有產(chǎn)生以預(yù)定的頻率(共振頻率)進(jìn)行振動(dòng)的電信號的功能。陀螺傳感器Ia為，能夠?qū)@Z軸的角速度ωζ和繞Y軸的角速度coy進(jìn)行檢測的陀螺傳感器。以下，按順序?qū)?gòu)成陀螺傳感器Ia的各個(gè)部位進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0110]陀螺元件
[0111]首先，按照圖7以及圖8 (a)來對陀螺元件40進(jìn)行說明。如圖7所示，陀螺元件40為所謂的雙T型的陀螺元件。陀螺元件40具有元件基板70和驅(qū)動(dòng)部，所述驅(qū)動(dòng)部包括被形成于兀件基板70上的多個(gè)作為壓電體的壓電體層63、66。
[0112]元件基板70將例如硅基板作為原材料而被形成。在元件基板70上設(shè)置有包括作為壓電體的壓電體層63、66(參照圖8(a))的驅(qū)動(dòng)部以及檢測部。而且，使用該驅(qū)動(dòng)部，對作為第一驅(qū)動(dòng)臂的第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第三驅(qū)動(dòng)臂48、和作為第二驅(qū)動(dòng)臂的第二驅(qū)動(dòng)臂47以及第四驅(qū)動(dòng)臂49進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使用檢測部，而從第一、第二檢測臂42、43取出信號(輸出信號)。
[0113]如此，通過將硅基板等作為元件基板70的原材料來使用，從而能夠利用蝕刻而以較高的精度形成元件基板70。另外，元件基板70也可以由壓電體材料構(gòu)成。作為壓電體材料，例如能夠列舉出水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰、硼酸鋰、鈦酸鋇等。特別是，作為構(gòu)成元件基板70的壓電體材料，優(yōu)選為水晶。當(dāng)由水晶構(gòu)成元件基板70時(shí)，能夠使元件基板70的振動(dòng)特性(特別是頻率溫度特性)優(yōu)良。此外，能夠通過蝕刻而以較高的精度形成元件基板70。
[0114]這種元件基板70在XY平面上具有展寬且在Z軸方向上具有厚度，并且具有中央基部41、第一檢測臂42、第二檢測臂43、第一連結(jié)臂44、第二連結(jié)臂45、第一驅(qū)動(dòng)臂46、第二驅(qū)動(dòng)臂47、第三驅(qū)動(dòng)臂48、第四驅(qū)動(dòng)臂49。另外，在以后的說明中，有時(shí)以將第一檢測臂42、第二檢測臂43概括為“第一、第二檢測臂42、43”，將第一連結(jié)臂44、第二連結(jié)臂45概括為“第一、第二連結(jié)臂44、45”，將第一驅(qū)動(dòng)臂46、第二驅(qū)動(dòng)臂47、第三驅(qū)動(dòng)臂48、第四驅(qū)動(dòng)臂49概括為“第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49”的方式進(jìn)行記載。
[0115]在元件基板70的中央部上配置有基部58，所述基部58包括中央基部41和從中央基部41起在X軸方向上相互向相反方向延伸設(shè)置的第一連結(jié)臂44以及第二連結(jié)臂45。此外，第一檢測臂42以及第二檢測臂43從中央基部41起在Y軸方向上相互向相反方向延伸設(shè)置。另外，第一檢測臂42以及第二檢測臂43可以不必從基部41直接延伸設(shè)置，只需與基部41 一體連接即可。此外，第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第三驅(qū)動(dòng)臂48從第一連結(jié)臂44的頂端部起在Y軸方向上相互向相反方向延伸設(shè)置。此外，第二、第四驅(qū)動(dòng)臂47、49從第二連結(jié)臂45的頂端部起在Y軸方向上相互向相反方向延伸設(shè)置。
[0116]另外，雖然在圖示的結(jié)構(gòu)中，第一連結(jié)臂44以及第二連結(jié)臂45的寬度與中央基部41的寬度相比而變窄，但也可以以與中央基部41相同的寬度而形成從而成為一體。此外，第一、第三驅(qū)動(dòng)臂46、48也可以從第一連結(jié)臂44的延伸設(shè)置方向的中途延伸出，同樣地，第二、第四驅(qū)動(dòng)臂47、49也可以從第二連結(jié)臂45的延伸設(shè)置方向的中途延伸出。
[0117]檢測臂
[0118]第一、第二檢測臂42、43以關(guān)于與重心(中心)G相交的XZ平面對稱的方式而被設(shè)置。此外，這些第一、第二檢測臂42、43如圖8(a)所示呈大致矩形的橫截面形狀。在第一檢測臂42的第二面(下表面)68上，在X軸方向上并排形成有兩個(gè)檢測部。兩個(gè)檢測部包括:第一檢測部75，其依次層疊有第一電極層65a、壓電體層66、第二電極層67a ;第二檢測部76,其依次層疊有第一電極層65b、壓電體層66、第二電極層67b。另外,雖然本不例的壓電體層66 —體地被形成，但也可以不一體地被形成，而采用分別獨(dú)立地形成的結(jié)構(gòu)。另夕卜，第二檢測部76具有相對于第一檢測部75而成為接地的電位。同樣地，雖然在第二檢測臂43的第二面(下表面)上，在X軸方向上也并排形成有兩個(gè)檢測部，但由于結(jié)構(gòu)相同，因此省略說明。
[0119]在這種結(jié)構(gòu)中，當(dāng)?shù)谝?、第二檢測臂42、43以通過被施加有角速度以及角速度ω z中的至少一方而被激勵(lì)的檢測模式進(jìn)行振動(dòng)時(shí)，第一檢測部75以及第二檢測部76將伸長或收縮。通過該伸長或收縮，從而能夠從第一電極層65a與第二電極層67a之間(第一檢測部75),以及第一電極層65b與第二電極層67b之間(第二檢測部76)將第一、第二檢測臂42、43的變形作為信號(輸出信號)而取出。
[0120]通過以后文所述的方式對以此方式而從兩個(gè)檢測部取出的信號進(jìn)行處理，從而能夠分別獨(dú)立地檢測出角速度oy以及角速度ωζ。
[0121]另外，通過使用兩個(gè)檢測部，從而能夠以簡單的結(jié)構(gòu)，更加可靠地將第一、第二檢測臂42、43的變形作為信號而取出。
[0122]另外，雖然在圖示的結(jié)構(gòu)中，第一檢測臂42以及第二檢測臂43的截面形狀為矩形，但也可以在第一、第二檢測臂42、43的上表面以及下表面中的至少一個(gè)面上設(shè)置槽。
[0123]驅(qū)動(dòng)臂
[0124]接下來對第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，第一、第二驅(qū)動(dòng)臂46、47與第三、第四驅(qū)動(dòng)臂48、49以關(guān)于與重心(中心)G相交的XZ平面對稱的方式被設(shè)置。因此，在本說明中，對第一、第二驅(qū)動(dòng)臂46、47進(jìn)行說明，而省略了第三、第四驅(qū)動(dòng)臂48、49的說明。
[0125]如圖7以及圖8(a)所不,第一驅(qū)動(dòng)臂46被構(gòu)成為，具有第一面(上表面)60和第二面(下表面)61，并具有連接第一面60與第二面61的側(cè)面71、72，所述第一面60由XY平面構(gòu)成，所述第二面61由XY平面構(gòu)成并且與第一面成為表背關(guān)系。在第一驅(qū)動(dòng)臂46上，設(shè)置有從第一面60挖掘出的作為凹部的有底的槽部50。作為槽部50的第一連結(jié)臂44 一側(cè)的端部的一端50a以未到達(dá)第一連結(jié)臂44的方式而被配置。通過如此配置槽部50的一端50a,從而由于設(shè)置槽部50而產(chǎn)生的第一驅(qū)動(dòng)臂46的截面面積較小的部分不存在于第一驅(qū)動(dòng)臂46與第一連結(jié)臂44的連接部分處，由此不會產(chǎn)生第一驅(qū)動(dòng)臂46的強(qiáng)度降低。由此，能夠提高陀螺元件40的耐沖擊性。此外，作為槽部50的頂端部一側(cè)的端部的另一端50b被配置于未到達(dá)第一驅(qū)動(dòng)臂46的頂端的位置處，換言之，被配置于與頂端部具有距離的位置處。
[0126]此外，槽部50以槽部50的另一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面72之間的間隔大于槽部50的一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面71之間的間隔的方式而被配置。S卩，槽部50以相對中心Q而偏向第一檢測臂42側(cè)的方式被設(shè)置。換言之，第一驅(qū)動(dòng)臂46被設(shè)置為包括如下截面形狀，即，相對于穿過第一驅(qū)動(dòng)臂46的與延伸設(shè)置方向正交的寬度方向上的中心Q的第一假想線Pl而非對稱的截面形狀。此外，第一驅(qū)動(dòng)臂46的Y軸方向上的截面形狀相對于穿過Z軸方向的中心Q的第二假想中心線P2而成為非對稱。因此，如后文所述，當(dāng)使第一驅(qū)動(dòng)臂46在X軸方向(面內(nèi)方向)上振動(dòng)時(shí)，通過該振動(dòng)而新激勵(lì)出Z軸方向(面外方向)上的振動(dòng)，其結(jié)果為，能夠使第一驅(qū)動(dòng)臂46在如下方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)(以下，僅稱為“傾斜振動(dòng)”)，所述方向?yàn)?，具有X軸方向以及Z軸方向這兩個(gè)方向分量的方向，換言之,為相對于X軸以及Z軸這兩個(gè)軸發(fā)生了傾斜的方向。
[0127]同樣地，第二驅(qū)動(dòng)臂47被構(gòu)成為具有第一面(上表面)60和第二面(下表面)61，并具有連接第一面60與第二面61的側(cè)面73、74，所述第一面60由XY平面構(gòu)成，所述第二面61由XY平面構(gòu)成并且與第一面成為表背關(guān)系。在第二驅(qū)動(dòng)臂47上，設(shè)置有從第一面60挖掘出的作為凹部的有底的槽部51。作為槽部51的第二連結(jié)臂45 —側(cè)的端部的一端51a以未到達(dá)第二連結(jié)臂45的方式而被配置。通過如此配置槽部51的一端51a，從而由于設(shè)置槽部51而產(chǎn)生的第二驅(qū)動(dòng)臂47的截面面積較小的部分不存在于第二驅(qū)動(dòng)臂47與第二連結(jié)臂45的連接部分處，由此不會產(chǎn)生第二驅(qū)動(dòng)臂47的強(qiáng)度降低。由此，能夠提高陀螺元件40的耐沖擊性。此外，作為槽部51的頂端部一側(cè)的端部的另一端51b被配置于未到達(dá)第二驅(qū)動(dòng)臂47的頂端的位置處，換言之，被配置于與頂端部具有距離的位置處。
[0128]另外，雖然以槽部50、51的另一端50b、51b未到達(dá)第一驅(qū)動(dòng)臂46、第二驅(qū)動(dòng)臂47的頂端的位置示例進(jìn)行了說明，但并不限定于此，槽部50、51也可以為到達(dá)第一驅(qū)動(dòng)臂46、第二驅(qū)動(dòng)臂47的頂端，從而另一端成為開放端的結(jié)構(gòu)。
[0129]此外，槽部51以槽部51的另一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面74之間的間隔大于槽部51的一側(cè)的側(cè)壁與側(cè)面73之間的間隔的方式而被配置。S卩，槽部51以相對于中心Q而偏向第一檢測臂42側(cè)的方式被設(shè)置。換言之，第二驅(qū)動(dòng)臂47被設(shè)置為包括如下截面形狀，即，相對于穿過第二驅(qū)動(dòng)臂47的與延伸設(shè)置方向正交的寬度方向上的中心Q的第一假想線而非對稱的截面形狀。此外，第二驅(qū)動(dòng)臂47的Y軸方向上的截面形狀相對于穿過Z軸方向的中心Q的第二假想中心線P2而成為非對稱。因此，如后文所述，當(dāng)使第二驅(qū)動(dòng)臂47在X軸方向(面內(nèi)方向)上振動(dòng)時(shí)，通過該振動(dòng)而新激勵(lì)出Z軸方向(面外方向)上的振動(dòng)，其結(jié)果為，能夠使第二驅(qū)動(dòng)臂47在如下方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)(以下，僅稱為“傾斜振動(dòng)”)，所述方向?yàn)?，具有X軸方向以及Z軸方向這兩個(gè)方向分量的方向，換言之,為相對于X軸以及Z軸這兩個(gè)軸發(fā)生了傾斜的方向。
[0130]如上所述，槽部50、51被配置為，朝向通過第一驅(qū)動(dòng)臂46和第二驅(qū)動(dòng)臂47的厚度方向(Z軸方向)的中心的假想中心線而彼此偏向同一方向。另外，槽部50、51與形成元件基板70相同，能夠通過蝕刻等的簡便方法且以較高的尺寸精度來形成。
[0131]如圖8(a)所示，在本實(shí)施方式的陀螺元件40中，在與第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47的第一面60成為表背關(guān)系的第二面61上，設(shè)置有驅(qū)動(dòng)部，所述驅(qū)動(dòng)部包括作為壓電體的壓電體層63。驅(qū)動(dòng)部以在第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47各自的第二面61上，依次層疊第一電極層62、作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)63、第二電極層64的方式而被構(gòu)成。包括壓電體層63的驅(qū)動(dòng)部，具有通過被通電而伸縮從而使第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47進(jìn)行傾斜振動(dòng)的功能。如此，在使用包括壓電體層63的驅(qū)動(dòng)部而使第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47振動(dòng)的情況下，能夠由例如硅基板來構(gòu)成元件基板70。
[0132]作為第一電極層62以及第二電極層64的構(gòu)成材料，例如，能夠使用金(Au)、金合金、鉬(Pt)、鋁(Al)、鋁合金、銀(Ag)、銀合金、鉻(Cr)、鉻合金、銅(Cu)、鑰(Mo)、鈮(Nb)、鎢(W)、鐵(Fe)、鈦(Ti)、鈷(Co)、鋅(Zn)、鋯(Zr)等金屬材料，氧化錫銦(ITO)等導(dǎo)電材料。
[0133]其中，作為第一電極層62以及第二電極層64的構(gòu)成材料，優(yōu)選使用以金為主要材料的金屬(金、金合金)、鉬，更優(yōu)選為使用以金為主材料的金屬(特別是金)。由于Au導(dǎo)電性優(yōu)良(電阻小)且對于氧化的耐性優(yōu)良，因此作為電極材料較為合適。此外，Au與Pt相比能夠更容易通過蝕刻而進(jìn)行圖案形成。
[0134]另外，例如，在由金構(gòu)成第一電極層62以及第二電極層64從而與元件基板70的緊貼性較低的情況下，優(yōu)選為，在第一電極層62以及第二電極層64與元件基板70之間，設(shè)置由T1、Cr等構(gòu)成的基底層。由此，能夠分別使基底層與第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47之間的緊貼性，以及基底層與第一電極層62之間的緊貼性優(yōu)良。其結(jié)果為，能夠減少第一電極層62從第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47上剝離的情況，從而能夠使陀螺元件40的可靠性優(yōu)良。
[0135]雖然作為壓電體層13的構(gòu)成材料，能夠列舉出例如氧化鋅(ZnO)、氮化鋁(AlN)、鉭酸鋰(LiTaO3)、鈮酸鋰(LiNbO3)、鈮酸鉀(KNbO3)、四硼酸鋰(Li2B4O7)、鈦酸鋇(BaT13)、PZT (鋯鈦酸鉛)等，但優(yōu)選使用AIN、ZnO。
[0136]驅(qū)動(dòng)部的改變例
[0137]如圖8(b)所示的驅(qū)動(dòng)部，在第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47的各個(gè)第二面61上，依次層疊有被分割為兩個(gè)的作為第一電極層的第三電極62a以及第四電極62b、作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)63、被分割為兩個(gè)的作為第二電極層的第五電極64a以及第六電極64b。在這種結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部中，當(dāng)通過電源而向包括第三電極62a、壓電體層63以及第五電極64a的驅(qū)動(dòng)部與包括第四電極62b、壓電體層63以及第六電極64b的驅(qū)動(dòng)部施加交流電壓時(shí)，與第三電極62a相對應(yīng)的壓電體層63以及與第四電極62b相對應(yīng)的壓電體層63將在Y軸方向上伸長或收縮，從而第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47以某一固定的頻率(共振頻率)在X軸方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。另外，由于第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47的截面形狀與上述的實(shí)施方式相同均為關(guān)于XY平面以及YZ平面非對稱，因此在如圖10(b)中用箭頭標(biāo)記L4、L5所示的這種相對于Z軸以及X軸發(fā)生了傾斜的方向上進(jìn)行振動(dòng)(即進(jìn)行傾斜振動(dòng))。此外，第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47關(guān)于ZY平面對稱地進(jìn)行彎曲振動(dòng)。
[0138]此外，雖然在上述的實(shí)施方式中，以在第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47的長邊方向(延伸設(shè)置方向即Y軸方向)的整個(gè)區(qū)域內(nèi)，厚度(Z軸方向上的長度)以及寬度(X軸方向上的長度)為固定的示例進(jìn)行了說明，但如圖9所示，也可以分別在頂端部上設(shè)置與第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47相比為寬度較寬的寬幅部(錘頭)55。另外，在圖9中，將第一驅(qū)動(dòng)臂46作為代表例而進(jìn)行了圖示。寬幅部55具有開放端55b和第一連結(jié)臂44 (參照圖7) —側(cè)的端部55a。槽部50的另一端部50b既可以如圖9 (a)所示那樣位于與寬幅部55的第一連結(jié)臂44 一側(cè)的端部55a相比靠開放端55b側(cè)的位置處，即進(jìn)入寬幅部55內(nèi)，也可以如圖9(b)所示那樣位于未到達(dá)基部側(cè)的端部55a的位置處，即位于第一驅(qū)動(dòng)臂46之內(nèi)。另外，也可以為如下結(jié)構(gòu)，即，在第一檢測臂42上，也設(shè)置相當(dāng)于上述的寬幅部55的寬幅部。
[0139]如圖10所示，上文所述的第一驅(qū)動(dòng)臂46以及第二驅(qū)動(dòng)臂47在面內(nèi)方向(X軸方向)以及面外方向(Z軸方向)上均能夠進(jìn)行振動(dòng)。此時(shí)，由于驅(qū)動(dòng)方向與振動(dòng)方向越近則越成為低阻抗，因此能夠選擇驅(qū)動(dòng)方向。即，在更靠近Z軸方向的方向上進(jìn)行振動(dòng)的情況下，圖10(a)的結(jié)構(gòu)成為低阻抗，而在更靠近X軸的方向上進(jìn)行振動(dòng)的情況下，圖10(b)的結(jié)構(gòu)成為低阻抗。
[0140]封裝件
[0141]接下來，返回圖6，對收納并固定陀螺元件40的作為收納容器的封裝件9a進(jìn)行說明。如圖6所示，封裝件9a具有板狀的底基板91a、框狀的框部件92a、板狀的蓋部件93a。底基板9la、框部件92a以及蓋部件93a依次從下側(cè)向上側(cè)(+Z方向)被層疊。底基板91a與框部件92a由后文所述的陶瓷材料等形成，并通過相互燒成為一體而被接合在一起?？虿考?2a與蓋部件93a通過粘合劑或焊接材料等而被接合在一起。而且,封裝件9a在由底基板91a、框部件92a以及蓋部件93a劃分形成的內(nèi)部空間S中，對陀螺元件40進(jìn)行收納。另外，在封裝件9a內(nèi)，除了驅(qū)動(dòng)陀螺元件40之外，還能夠收納對陀螺元件40進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電子部件(振蕩電路)等。
[0142]另外，作為底基板91a的構(gòu)成材料，優(yōu)選具有絕緣性(非導(dǎo)電性)的材料，例如能夠使用各種玻璃、氧化物陶瓷、氮化物陶瓷、碳化物類陶瓷等各種陶瓷材料，聚酰亞胺等各種樹脂材料等。
[0143]此外，作為框部件92a以及蓋部件93a的構(gòu)成材料，例如能夠使用與底基板91a相同的結(jié)構(gòu)材料，Al、Cu、鐵鎳鈷合金這樣的各種金屬材料，各種玻璃材料等。
[0144]在該底基板91a的上表面上，通過固定材料96a而固定有上文所述的陀螺元件40。該固定材料96a由例如環(huán)氧樹脂類、聚酰亞胺類、硅類等的粘合劑構(gòu)成。這種固定材料96a是通過如下方式而被形成的，即，在底基板91a上涂敷未硬化(未固化)的粘合劑，并且在該粘合劑上載置陀螺元件40之后，使該粘合劑硬化或固化。由此，陀螺元件40被可靠地固定于底基板91a上。另外，該固定也可以使用含有電性粒子的環(huán)氧樹脂類、聚酰亞胺類、硅類等的導(dǎo)電性粘合劑來實(shí)施。
[0145]陀螺傳感器的動(dòng)作
[0146]以上，對陀螺傳感器Ia的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。陀螺傳感器Ia以如下方式對繞Y軸的角速度以及繞Z軸的角速度ωζ進(jìn)行檢測。雖然在下文中使用圖10至圖12進(jìn)行說明，但為了便于說明，在圖11以及圖12中，省略了各電個(gè)極、槽部等的圖示。
[0147]當(dāng)在未施加有角速度的狀態(tài)下，向包括第三電極62a、第四電極62b以及作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)63在內(nèi)的驅(qū)動(dòng)部與包括第五電極64a、第六電極64b以及作為壓電體的壓電體層(壓電薄膜)63在內(nèi)的驅(qū)動(dòng)部之間施加交流電壓時(shí)，如圖10(a)、(b)所示，第一、第二驅(qū)動(dòng)臂46、47以及未圖示的第三、第四驅(qū)動(dòng)臂48、49分別由于具有非對稱部而進(jìn)行傾斜振動(dòng)。此外，該振動(dòng)成為，第一、第三驅(qū)動(dòng)臂46、48與第二、第四驅(qū)動(dòng)臂47、49(參照圖7)關(guān)于與重心G相交的YZ平面而面對稱的振動(dòng)。
[0148]此時(shí)，如上所述，由于第一、第三驅(qū)動(dòng)臂46、48與第二、第四驅(qū)動(dòng)臂47、49進(jìn)行關(guān)于穿過重心G的YZ平面而面對稱的振動(dòng)，因此第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49的X軸方向上的振動(dòng)被抵消。因此，第一、第二檢測臂42、43在X軸方向上幾乎不振動(dòng)。另一方面，第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49由于彼此朝向Z軸方向上的相同側(cè)而進(jìn)行振動(dòng)，因此第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49的Z軸方向上的振動(dòng)未被抵消。因此，如圖10所示，第一、第二檢測臂42、43在Z軸方向上且向與第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49相反的方向進(jìn)行彎曲振動(dòng)，以取得與第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49之間的平衡。另外，對于第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49的振動(dòng)方向而言，并不限定于圖10所記載的振動(dòng)方向，例如也可以與圖10所記載的振動(dòng)方向相反。能夠根據(jù)所需的頻率或驅(qū)動(dòng)單元來適當(dāng)選擇振動(dòng)方向。
[0149]當(dāng)在該狀態(tài)下，向陀螺傳感器Ia施加繞Z軸的角速度ωζ時(shí)，如圖11所示，科里奧利力A將起作用，以該科里奧利力A為驅(qū)動(dòng)力而激勵(lì)出箭頭標(biāo)記B所示的振動(dòng)(繞Z軸角速度檢測振動(dòng)模式)。此時(shí)，在第一、第二檢測臂42、43上產(chǎn)生的變形關(guān)于X軸為相反方向。此外，該檢測振動(dòng)模式優(yōu)選為驅(qū)動(dòng)頻率的±10%以內(nèi)的頻率。另外，關(guān)于該第一、第二檢測臂42、43的振動(dòng)方向，也可以說是第一、第二檢測臂42、43在繞Z軸的相同的旋轉(zhuǎn)方向上進(jìn)行振動(dòng)。這是因?yàn)?，第一、第二、第三、第四?qū)動(dòng)臂46、47、48、49通過科里奧利力A的作用而如圖11所示那樣進(jìn)行振動(dòng)，并且由于第一、第二檢測臂42、43夾著中央基部41而分別向上側(cè)與下側(cè)延伸，因此第一檢測臂42發(fā)生與第一、第二驅(qū)動(dòng)臂46、47相對應(yīng)的變形，第二檢測臂43發(fā)生與第三、第四驅(qū)動(dòng)臂48、49相對應(yīng)的變形。
[0150]另一方面，當(dāng)向陀螺傳感器Ia施加繞Y軸的角速度coy時(shí)，如圖12所示，科里奧利力A將起作用，以該科里奧利力A為驅(qū)動(dòng)力而激勵(lì)出箭頭標(biāo)記B所示的振動(dòng)(繞Y軸角速度檢測振動(dòng)模式)。此時(shí)，在第一、第二檢測臂42、43上產(chǎn)生的變形關(guān)于X軸為相同方向。此外，該檢測振動(dòng)模式優(yōu)選為驅(qū)動(dòng)頻率的±10%以內(nèi)的頻率。另外，關(guān)于該第一、第二檢測臂42、43的振動(dòng)方向，也可以說是第一、第二檢測臂42、43關(guān)于X軸而向相同方向進(jìn)行振動(dòng)。這是因?yàn)椋谝?、第二、第三、第四?qū)動(dòng)臂46、47、48、49通過科里奧利力A的作用而如圖12所示那樣進(jìn)行振動(dòng)，并且由于在第一、第二檢測臂42、43上作用有如下的科里奧利力，因此關(guān)于X軸方向而向相同方向進(jìn)行振動(dòng)，所述科里奧利力為，關(guān)于X軸為同向且與第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49為反向的科里奧利力。
[0151]在陀螺傳感器Ia中，能夠利用上述的施加有繞Z軸的角速度ω ζ時(shí)與施加有繞Y軸的角速度時(shí)的第一、第二檢測臂42、43的振動(dòng)方向的不同，而分別獨(dú)立地對角速度ωζ以及角速度coy進(jìn)行檢測。另外，被設(shè)置于第一檢測臂42上的檢測部為第一檢測部75與第二檢測部76 (參照圖8)，被設(shè)置于第二檢測臂43上的檢測部為第三檢測部(未圖示)與第四檢測部(未圖示)。
[0152]進(jìn)行具體說明，在施加有角速度ω ζ時(shí)，從第一檢測部75與第二檢測部76被取出的信號(電壓)Vl為，因角速度ωζ而產(chǎn)生的信號(電壓)+Vz，從第三檢測部與第四檢測部被取出的信號(電壓)V2為，因角速度ωζ而產(chǎn)生的信號(電壓)一 VZ。BP,Vl = +Vz、V2=—Vz0
[0153]另一方面，在施加有角速度07時(shí)，從第一檢測部75與第二檢測部76被取出的信號Vl為，因角速度ω y而產(chǎn)生的信號+Vy，從第三檢測部與第四檢測部被取出的信號V2為，因角速度《y而產(chǎn)生的信號+Vy。S卩，Vl =+Vy、V2 =+Vy。另外，信號V1、V2之間符號相同的原因在于，如上所述，變形檢測單元被構(gòu)成為，相對于繞Z軸的角速度而產(chǎn)生不同符號的信號。
[0154]因此，當(dāng)向陀螺傳感器Ia施加繞具有Y軸方向以及Z軸方向這兩個(gè)方向分量的軸(即，相對于Y軸以及Z軸這兩個(gè)軸發(fā)生了傾斜的軸)的角速度Coyz時(shí)，從第一檢測部75與第二檢測部76被取出的信號Vl為，(+Vy) +(+Vz)，從第三檢測部與第四檢測部被取出的信號 V2 為，(+Vy) + ( — Vz)。即，Vl = Vy+Vz、V2 = Vy- Vz0
[0155]通過對以此方式取得的信號V1、V2進(jìn)行相加或相減，從而能夠分離角速度Coyz中的繞Y軸的角速度和繞Z軸的角速度ωζ，由此能夠分別獨(dú)立地對角速度COy以及角速度ωζ進(jìn)行檢測。具體而言，成為V1+V2 = 2Vy,從而能夠排除因角速度ωζ而產(chǎn)生的信號Vz0由此，求出了繞Y軸的角速度ωγ。相反地，成為Vl — V2 = 2Vz，從而能夠排除因角速度產(chǎn)生的信號Vy。由此，求出了繞Z軸的角速度ωζ。根據(jù)陀螺傳感器la，能夠簡單地、分別獨(dú)立地對繞Y軸的角速度Oy以及繞Z軸的角速度ωζ進(jìn)行檢測。
[0156]這種計(jì)算能夠通過與陀螺傳感器Ia連接的未圖示的IC芯片等來進(jìn)行。另外，上文所述的信號“Vz”、“Vy”的符號根據(jù)配線的結(jié)構(gòu)而成為相反符號。即，上述“+Vz”變?yōu)椤耙籚z ”、“ 一 Vz ”變?yōu)椤?+Vz ”，并且也存在“ +Vy ”變?yōu)椤?一Vy ”、“ 一 Vy ”變?yōu)椤?+Vy ”的情況。
[0157]以上，根據(jù)所說明的第二實(shí)施方式，通過蝕刻等的簡單加工便能夠獲得具有可進(jìn)行傾斜振動(dòng)的第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49的陀螺元件40。如此，通過具有進(jìn)行傾斜振動(dòng)的第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49，從而能夠獲可簡單地、分別獨(dú)立地對繞Y軸的角速度ωγ以及繞Z軸的角速度ω ζ進(jìn)行檢測的陀螺元件40。此外，由于在第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49上所設(shè)置的槽部50、51、52、53能夠通過從一面(第一面10)起利用蝕刻等進(jìn)行挖掘而形成，因此能夠容易地形成包括相對于第一假想中心線Pl而非對稱的截面形狀的槽部50、51、52、53。如此，由于能夠容易地形成槽部50、51、52、53，因此提高了陀螺元件40的加工成品率。此外，在第一面60的背面即第二面61上，設(shè)置有包括壓電體層63的驅(qū)動(dòng)部。第二面61為未設(shè)置有槽部50、51、52、53的平面，從而能夠容易地形成驅(qū)動(dòng)部。因此，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠容易地形成在一面(第一面60)上設(shè)置有槽部50、51、52、53且在背面(第二面61)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)部的第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49，從而能夠廉價(jià)地提供可持續(xù)地進(jìn)行穩(wěn)定的傾斜振動(dòng)的陀螺元件40、即陀螺傳感器la。
[0158]參照圖13，對凹部的改變例進(jìn)行說明。雖然在上述的實(shí)施方式中，作為凹部，而以從一面(第一面10、60)挖掘，并在一面(第一面10、60)上開口的槽部8a、8b以及槽部50、51、52、53的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但作為產(chǎn)生傾斜振動(dòng)的凹部的結(jié)構(gòu)，也可以為如圖13所示的結(jié)構(gòu)。圖13為，表示凹部的改變例的剖視圖。作為改變例的凹部的階梯部8c為，在驅(qū)動(dòng)臂5的第一面10與調(diào)節(jié)臂7 —側(cè)的側(cè)面15a雙方上開口的有底的階梯部。階梯部8c以偏向調(diào)節(jié)臂7所存在的方向的方式被設(shè)置于驅(qū)動(dòng)臂5上。此外，階梯部8d為，在驅(qū)動(dòng)臂6的第一面10與調(diào)節(jié)臂7 —側(cè)的側(cè)面15b雙方上開口的有底的階梯部。階梯部8d以偏向調(diào)節(jié)臂7所存在的方向的方式被設(shè)置于驅(qū)動(dòng)臂6上。
[0159]通過設(shè)置這種階梯部，從而與上文所述的實(shí)施方式中的槽部相同，驅(qū)動(dòng)臂5、6的截面形狀相對于穿過X軸方向上的中心Q的第一假想中心線與穿過Z軸方向上的中心Q的第二假想中心線而非對稱。因此，如后文所述，當(dāng)使驅(qū)動(dòng)臂5、6在X軸方向(面內(nèi)方向)上振動(dòng)時(shí)，通過該振動(dòng)而新激勵(lì)出Z軸方向(面外方向)上的振動(dòng)，其結(jié)果為，能夠使驅(qū)動(dòng)臂5、6在如下方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)(以下簡稱傾斜振動(dòng))，所述方向?yàn)椋哂蠿軸方向以及Z軸方向這兩個(gè)方向分量的方向，換言之，為相對于X軸以及Z軸這兩個(gè)軸發(fā)生了傾斜的方向。另外，對于第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，也能夠應(yīng)用相同的改變例。
[0160]此外，雖然在第一實(shí)施方式中以設(shè)置有一個(gè)調(diào)節(jié)臂7為示例而進(jìn)行了說明，但也可以不計(jì)調(diào)節(jié)臂的數(shù)量而設(shè)置多個(gè)調(diào)節(jié)臂。此外，對于驅(qū)動(dòng)臂5、6而言，其數(shù)量也可以為任意數(shù)量。
[0161]此外，雖然在實(shí)施方式2中，以設(shè)置有第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)臂46、47、48、49和第一檢測臂42以及第二檢測臂43的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但也可以不計(jì)驅(qū)動(dòng)臂以及檢測臂的數(shù)量，而為任意數(shù)量。
[0162]電子設(shè)備
[0163]接下來，根據(jù)圖14至圖16，對作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置，而應(yīng)用了使用振動(dòng)元件2的振子I或使用陀螺元件40的陀螺傳感器Ia中的任意一個(gè)的電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在說明中，示出了應(yīng)用陀螺傳感器Ia的示例。
[0164]圖14為表示作為具備作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子裝置的陀螺傳感器Ia的電子設(shè)備的、便攜型(或筆記本型)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100通過具備鍵盤1102的主體部1104和具備顯示部1101的顯示單元1106而被構(gòu)成，并且顯示單元1106以能夠通過鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對于主體部1104進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承。在這種個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有陀螺傳感器la，所述陀螺傳感器Ia具有對角速度進(jìn)行檢測的功能。
[0165]圖15為表示作為具備作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子裝置的陀螺傳感器Ia的電子設(shè)備的、移動(dòng)電話機(jī)(也包括PHS:Personal Handy-phone System,個(gè)人移動(dòng)電話系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。在該圖中，移動(dòng)電話機(jī)1200具備多個(gè)的操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部100。在這種移動(dòng)電話機(jī)1200中內(nèi)置有陀螺傳感器la，所述陀螺傳感器Ia具有對角速度進(jìn)行檢測的功能。
[0166]圖16為表示作為具備作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子裝置的陀螺傳感器Ia的電子設(shè)備的、數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。另外，在該圖中，還簡單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。在此，現(xiàn)有的膠片相機(jī)通過被攝物體的光學(xué)圖像而使銀鹽感光膠片感光，與此相對，數(shù)碼照相機(jī)1300則通過CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合元件)等的攝像元件對被攝物體的光學(xué)圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0167]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部100，并且成為根據(jù)由CXD產(chǎn)生的攝像信號而進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部100作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮作用。此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?，設(shè)置有包括光學(xué)鏡片(攝像光學(xué)系統(tǒng))與C⑶等在內(nèi)的受光單元1304。
[0168]當(dāng)攝影者對被顯示在顯示部100上的被攝圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)間點(diǎn)的CCD的攝像信號將被傳送并存儲于存儲器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有影像信號輸出端子1312與數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，而在影像信號輸出端子1312上連接有影像監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。而且，成為如下結(jié)構(gòu)，S卩，通過預(yù)定的操作，從而使存儲于存儲器1308中的攝像信號向影像監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440輸出。在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有陀螺傳感器la，所述陀螺傳感器Ia具有對角速度進(jìn)行檢測的功能。
[0169]另外，作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子裝置的陀螺傳感器Ia除了能夠應(yīng)用于圖14的個(gè)人計(jì)算機(jī)(便攜型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖15的移動(dòng)電話機(jī)、圖16的數(shù)碼照相機(jī)中之外，還能夠應(yīng)用于如下的電子設(shè)備中，例如，噴墨式噴出裝置(例如噴墨打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包含附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子辭典、臺式電子計(jì)算機(jī)、電子游戲機(jī)、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)控器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS (Point of Sale:銷售點(diǎn))終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電圖計(jì)測裝置、超音波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如，車輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量儀器類)、飛行模擬器等電子設(shè)備。
[0170]移動(dòng)體
[0171]圖17為概要性地表示作為移動(dòng)體的一個(gè)示例的汽車的立體圖。在汽車506中搭載有作為本發(fā)明所涉及的電子裝置的陀螺傳感器la。例如，如該圖所示，在作為移動(dòng)體的汽車506中，內(nèi)置了陀螺傳感器Ia并且對輪胎509等進(jìn)行控制的電子控制元件508被搭載于車身507上。此外，陀螺傳感器Ia還能夠廣泛應(yīng)用于智能無鑰匙進(jìn)入系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)防盜鎖止系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、發(fā)動(dòng)機(jī)控制器、混合動(dòng)力汽車或電動(dòng)汽車的電池監(jiān)控器、車身姿態(tài)控制系統(tǒng)等的電子控制元件(EOT electronic control unit)中。
[0172]符號說明
[0173]L...作為振動(dòng)裝置的振子；la…作為振動(dòng)裝置的陀螺傳感器；2…振動(dòng)元件；3…元件基板；4…基部；5、6…驅(qū)動(dòng)臂(振動(dòng)臂)；7…調(diào)節(jié)臂(振動(dòng)臂)；8a、8b…作為凹部的槽部；8c、8d…作為凹部的階梯部；9、9a…封裝件;10…第一面;11…第二面;12…第一電極層；12a…第三電極；12b…第四電極；13…壓電體層；14…第二電極層；14a…第五電極；14b…第六電極；15a、15b…側(cè)面；16、17…槽部的一端；18、19…槽部的另一端;20、21、22、23…驅(qū)動(dòng)臂的側(cè)面；40…作為振動(dòng)元件的陀螺元件；41…中央基部；42…第一檢測臂；43...第二檢測臂；44…第一連結(jié)臂；45…第二連結(jié)臂；46…第一驅(qū)動(dòng)臂；47…第二驅(qū)動(dòng)臂；48...第三驅(qū)動(dòng)臂；49…第四驅(qū)動(dòng)臂；50、51、52、53…作為凹部的槽部；50a、51a、52a、53a…槽部的一端；50b、51b、52b、53b…槽部的另一端；55…寬幅部(錘頭);58…基部;60…第一面；61…第二面；62…第一電極層；62a…第三電極；62b…第四電極；63…壓電體層；64a…第五電極；64b…第六電極；64…第二電極層；65a、65b…第一電極層；66…壓電體層；67a、67b…第二電極層；68…第二面；70…兀件基板；71、72、73、74…驅(qū)動(dòng)臂的側(cè)面；75…第一檢測部；76…第二檢測部;91、91a…底基板;92、92a…框部件；93、93a…蓋部件;96、96a…固定材料；100…顯示部；506…作為移動(dòng)體的汽車；1100...作為電子設(shè)備的便攜型的個(gè)人計(jì)算機(jī)；1200…作為電子設(shè)備的移動(dòng)電話機(jī)；1300…作為電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)；PL...第一假想中心線；P2…第二假想中心線；S…內(nèi)部空間；G…重心……中心。
【權(quán)利要求】
1.一種振動(dòng)元件，其特征在于，具備: 基部; 驅(qū)動(dòng)臂，其包括第一面以及與所述第一面處于表背關(guān)系的第二面，并且在所述第一面?zhèn)仍O(shè)置有凹部，所述驅(qū)動(dòng)臂從所述基部向延伸設(shè)置方向延伸設(shè)置； 驅(qū)動(dòng)部，其被設(shè)置在所述第二面上； 所述驅(qū)動(dòng)臂的與所述延伸設(shè)置方向正交的截面形狀包含相對于穿過與所述延伸設(shè)置方向正交的方向上的寬度的中心的假想中心線而非對稱的截面形狀。
2.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)部包括壓電體和在與所述延伸設(shè)置方向正交的寬度方向上并排設(shè)置的多個(gè)電極。
3.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述凹部沿著所述延伸設(shè)置方向而被設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)臂上，且未到達(dá)所述基部。
4.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述凹部沿著所述延伸設(shè)置方向而被設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)臂上，且到達(dá)所述基部。
5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述凹部為槽部。
6.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 具備與所述基部連接的檢測臂。
7.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)臂包括并排設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)臂和第二驅(qū)動(dòng)臂， 所述第一驅(qū)動(dòng)臂的所述凹部以相對于所述第一驅(qū)動(dòng)臂的所述假想中心線而偏向第一方向的方式被配置， 所述第二驅(qū)動(dòng)臂的所述凹部以相對于所述第二驅(qū)動(dòng)臂的所述假想中心線而偏向與所述第一方向相反的方向的方式被配置。
8.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)臂包括并排設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)臂和第二驅(qū)動(dòng)臂， 并且具備在所述第一驅(qū)動(dòng)臂與所述第二驅(qū)動(dòng)臂之間從所述基部延伸設(shè)置的調(diào)節(jié)臂。
9.一種振動(dòng)裝置，其特征在于， 包括權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件和收納有所述振動(dòng)元件的收納容器。
10.一種電子設(shè)備，其特征在于， 具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件。
11.一種移動(dòng)體，其特征在于， 具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)元件。
【文檔編號】H03H9/19GK104348444SQ201410390120
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日
【發(fā)明者】石井昌宏 申請人:精工愛普生株式會社