專(zhuān)利名稱(chēng)：壓電振動(dòng)片以及壓電元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓電振動(dòng)片(piezoelectric vibrating pieces)以及壓電元件(piezoelectric device),所述壓電振動(dòng)片的朝向激振部的應(yīng)力的影響已受到抑制。
背景技術(shù)：
如下的壓電振動(dòng)片已為人所知，該壓電振動(dòng)片包括:激振部，以規(guī)定的頻率發(fā)生振動(dòng)；框部，將激振部的周?chē)枰园鼑?；以及連結(jié)部，將激振部及框部予以連結(jié)。在此種壓電振動(dòng)片中，將蓋板(lid plate)以及基底板(base plate)接合于框部的表面背面，從而形成壓電元件。該壓電元件是安裝于印刷(print)基板等而被使用。此種壓電元件有時(shí)會(huì)承受施加至印刷基板的應(yīng)力。施加至壓電元件的應(yīng)力會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)片產(chǎn)生影響，使激振部的振動(dòng)頻率的特性發(fā)生變化。對(duì)于如上所述的問(wèn)題，例如在日本專(zhuān)利特開(kāi)2007-214942號(hào)公報(bào)中表示了如下的內(nèi)容:在連結(jié)部形成鋸齒狀的缺口，借此，期待使從框部向激振部傳遞的應(yīng)力緩和。該揭露是以如下的方式進(jìn)行揭示，另外，表示了如下的內(nèi)容:當(dāng)缺口的深度為框部的一半以上時(shí)，框部與激振部不會(huì)呈直線(xiàn)地被連結(jié)。在此情況下，熱或應(yīng)力的實(shí)質(zhì)性的傳遞距離增加，從而會(huì)發(fā)揮大的緩和效果。然而，日本專(zhuān)利特開(kāi)2007-214942號(hào)公報(bào)所揭示的壓電振動(dòng)片是在連結(jié)部形成缺口。因此，認(rèn)為:所述壓電振動(dòng)片對(duì)于由落下引起的沖擊等的耐受性會(huì)減弱。特別是，最近的壓電振動(dòng)片已變薄以使壓電元件實(shí)現(xiàn)小型化。有可能因形成所述缺口而使耐沖擊性下降。另外，日本專(zhuān)利特開(kāi)2007-214942號(hào)公報(bào)揭示有兩端固定型壓電振動(dòng)片。該壓電振動(dòng)片在激振部的相向的邊上，分別形成連結(jié)部。相對(duì)于此，對(duì)于懸臂型壓電振動(dòng)片而言，將連結(jié)部?jī)H連接于激振部的一條邊上，由此，耐沖擊性進(jìn)一步減弱。因此，針對(duì)壓電振動(dòng)片，還希望對(duì)于激振部的應(yīng)力的影響受到抑制，并且具有充分的耐沖擊性。承上述，需要不會(huì)受到所述缺點(diǎn)的影響的壓電振動(dòng)片以及壓電元件。

發(fā)明內(nèi)容
壓電振動(dòng)片的一個(gè)側(cè)面包括:矩形形狀的激振部、將激振部予以包圍的框部、連結(jié)部、以及突起部。激振部包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、向第一方向延伸的第一邊、以及向第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長(zhǎng)。第二方向與第一方向正交。連結(jié)部將激振部的第一邊與框部予以連結(jié)。連結(jié)部的厚度比框部的厚度更薄。在連結(jié)部、與連結(jié)部與激振電極之間的區(qū)域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振電極配置在連結(jié)部的第二方向。突起部的第一方向的長(zhǎng)度是:與連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)檫B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。一種壓電振動(dòng)片，包括:矩形形狀的激振部，包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長(zhǎng)且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框體及在所述第二方向延伸的第二框體，來(lái)將所述激振部予以包圍，所述第一框體包含:第一厚度的第一區(qū)域、與比所述第一厚度更厚的第二區(qū)域；連結(jié)部，為所述第一厚度，且將所述激振部的所述第一邊與所述第一框體的第一區(qū)域予以連結(jié)；以及突起部，在所述連結(jié)部、和所述連結(jié)部與所述連結(jié)部的所述第二方向上所配置的所述激振電極之間的區(qū)域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度是:比所述第一區(qū)域的所述第二方向的長(zhǎng)度更長(zhǎng)，所述突起部的所述第一方向的長(zhǎng)度是:與所述連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)樗鲞B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。一種壓電振動(dòng)片，包括:矩形形狀的激振部，包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長(zhǎng)且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊；框部，將所述激振部予以包圍；連結(jié)部，將所述激振部的所述第一邊與所述框部予以連結(jié)，且所述連結(jié)部的厚度比所述框部的厚度更?。灰约巴黄鸩?，在所述連結(jié)部、和所述連結(jié)部與所述連結(jié)部的所述第二方向上所配置的所述激振電極之間的區(qū)域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述突起部的所述第一方向的長(zhǎng)度是:與所述連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)樗鲞B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。一種壓電元件，包括:所述的壓電振動(dòng)片；蓋板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的另一方的主面。一種壓電振動(dòng)片，包括:矩形形狀的激振部，包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長(zhǎng)且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框體及在所述第二方向延伸的第二框體，來(lái)將所述激振部予以包圍，所述第一框體包含:第一厚度的第一區(qū)域、與比所述第一厚度更厚的第二區(qū)域；以及連結(jié)部，為所述第一厚度，且將所述激振部的所述第一邊與所述第一框體的第一區(qū)域予以連結(jié)，所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度是:比所述第一區(qū)域的所述第二方向的長(zhǎng)度更長(zhǎng)。一種壓電元件，包括:所述的壓電振動(dòng)片；蓋板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的另一方的主面。


根據(jù)以下附圖的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的所述及其他特征、特性將變得更明確，其中:圖1是壓電元件100的分解立體圖。圖2是圖1的I1-1I剖面的剖面圖。圖3A是壓電振動(dòng)片130的平面圖。圖3B是圖3A的IIIB-1IIB剖面圖。圖4A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片130的平面圖。圖4B是圖4A的虛線(xiàn)161所包圍的區(qū)域的放大平面圖。圖4C是壓電振動(dòng)片130的短邊彎曲的模擬結(jié)果。
圖5A是表示激振部131的應(yīng)力分布的圖。圖5B是表示臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)139a及激振部131的-X軸側(cè)的端部的端點(diǎn)139b處的短邊彎曲的應(yīng)力的圖。圖6A是壓電振動(dòng)片230的剖面圖。圖6B是壓電振動(dòng)片330的剖面圖。圖7A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片430的平面圖。圖7B是壓電振動(dòng)片430的短邊彎曲的模擬結(jié)果。圖8A是表示激振部431的應(yīng)力分布的圖。圖8B是表示臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)439a及激振部431的-X軸側(cè)的端點(diǎn)439b處的短邊彎曲的應(yīng)力的圖。圖9A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片530的平面圖。圖9B是壓電振動(dòng)片530的短邊彎曲的模擬結(jié)果。圖1OA是未形成有電極的壓電振動(dòng)片630的平面圖。圖1OB是未形成有電極的壓電振動(dòng)片730的平面圖。圖11是壓電元件1100的分解立體圖。圖12是圖11的XI1-XII剖面的剖面圖。圖13A是壓電振動(dòng)片1130的平面圖。圖13B 是圖 13A 的 XIIIB-XIIIB 剖面圖。圖14A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1130的平面圖。圖14B是壓電振動(dòng)片1130的短邊彎曲的模擬結(jié)果。圖15A是表示激振部1131的應(yīng)力分布的圖。圖15B是表示臺(tái)面區(qū)域1131a的中心點(diǎn)1139a及激振部1131的-X軸側(cè)的端點(diǎn)1139b處的短邊彎曲的應(yīng)力的圖。圖16A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1230的平面圖。圖16B是圖16A的虛線(xiàn)1161所包圍的區(qū)域的放大平面圖。圖16C是壓電振動(dòng)片1230a的XVIC-XVIC剖面圖。圖17A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1330的平面圖。圖17B是圖17A的虛線(xiàn)1162所包圍的區(qū)域的放大平面圖。圖17C是以曲面進(jìn)行倒角的第一區(qū)域1337a的平面圖。圖18A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1430的平面圖。圖18B是圖18A的虛線(xiàn)1163所包圍的區(qū)域的放大平面圖。圖18C是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1530的平面圖。圖18D是圖8C的虛線(xiàn)1164所包圍的區(qū)域的放大平面圖。圖19A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1630的平面圖。圖19B是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1730的平面圖。附圖標(biāo)記:100:壓電元件110、1110:蓋板111、121、1111、1121:凹部
112、122、1112、1122 接合面
120,1120 基底板
123,1123 連接電極
124,1124 外部電極
125,1125 城堡形電極
126,1126 城堡形部分
130、230、330、430、530、630、730、1130、1230、1230a、1330、1430、1530、1630、1730 壓電振動(dòng)片
131、431、531、731、1131 激振部
131aU131a 臺(tái)面區(qū)域
131b、431b、531b、731b、1131b 周邊區(qū)域
132、1132、1232、1332、1432、1532、1632、1732 框部
133、233、333、433、633、733、1133、1633、1733 連結(jié)部
133aJ33a、333a、433a、533a、633a、733a 突起部
133bU133a 側(cè)面
134,1134 激振電極
135,1135 引出電極
136、636、1136、1636、1736 貫通孔
138aU138a 第ー邊
138bU138b 第ニ邊
139、439、1139 直線(xiàn)
139a、439a、1139a 中心點(diǎn)
139b、439b、1139b 端點(diǎn)
141,1141 密封材料
161,1161 1164 虛線(xiàn)
1132a、1232a、1332a、1432a、1532a、1632a、1732a 第--框體
1132b、1232b、1332b、1432b、1532b、1632b、1732b 第二ニ框體
1137a、1237a、1337a、1437a、1537a、1637a、1737a 第--區(qū)域
1137b、1237b、1337b、1437b、1537b、1637b、1737b 第二ニ區(qū)域
1238c、1438c、1538c 第三邊
1238dU538d 第四邊
1338e 平面
1338f曲面
11-11、IIIB-IIIB、XII-XII、XIIIB-XIIIB、XVIC-XVIC 剖面
LA、LB、LC、LM、LR、LRa、LS、LT、WA、ffB2, WB3、WM、ffR,WR2、WT、WT2 長(zhǎng)度
Tl 厚度/第一厚度
丁2:厚度/第二厚度
T3 厚度
X,Y'、Z'軸方向
具體實(shí)施例方式根據(jù)附圖來(lái)對(duì)此處所揭示的第一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。第一實(shí)施方式壓電元件100的構(gòu)成圖1是壓電元件100的分解立體圖。壓電元件100包含:蓋板110、基底板120、以及壓電振動(dòng)片130。壓電振動(dòng)片130中，例如使用AT切割的晶體振動(dòng)片。AT切割的晶體振動(dòng)片的主面(YZ面)相對(duì)于結(jié)晶軸(XYZ)的Y軸，以X軸為中心，從Z軸向Y軸方向傾斜35度15分。在以下的說(shuō)明中，以AT切割的晶體振動(dòng)片的軸方向?yàn)榛鶞?zhǔn)，使用傾斜的新的軸作為r軸以及Zi軸。即，壓電元件loo中，將壓電元件loo的長(zhǎng)邊方向作為X軸方向，將壓電元件100的高度方向作為Γ軸方向，將與X軸方向及V軸方向垂直的方向作為t軸方向來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。壓電振動(dòng)片130包含:激振部131，以規(guī)定的頻率發(fā)生振動(dòng)，且形成為四邊形狀；框部132，將激振部131予以包圍；以及一個(gè)連結(jié)部133，將激振部131與框部132予以連結(jié)。激振部131與框部132之間的連結(jié)部133以外的區(qū)域成為貫通孔136，該貫通孔136沿著V軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片130予以貫通。在激振部131的+Y'軸側(cè)的面及-Y'軸側(cè)的面，形成有激振電極134。另外，激振部131是由臺(tái)面(mesa)區(qū)域131a與周邊區(qū)域131b形成，所述臺(tái)面區(qū)域131a形成有激振電極134，所述周邊區(qū)域131b形成在臺(tái)面區(qū)域131a的周?chē)?，且V軸方向的厚度比臺(tái)面區(qū)域131a更薄。引出電極135分別從形成于+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)的面的激振電極134，通過(guò)連結(jié)部133而引出至框部132的-Y'軸側(cè)的面為止。而且，在連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)的面上形成有突起部133a(參照?qǐng)D2)，該突起部133a(參照?qǐng)D2)從連結(jié)部133向Y'軸方向突出。基底板120配置在壓電振動(dòng)片130的-Y'軸側(cè)?；装?20形成為矩形形狀，該矩形形狀在X軸方向上具有長(zhǎng)邊，在Zi軸方向上具有短邊。在基底板120的-Y'軸側(cè)的面上形成有一對(duì)外部電極124。該外部電極124經(jīng)由焊料(solder)而固定于印刷基板等，且與該印刷基板等形成電性連接。借此，壓電元件100安裝于印刷基板等。另外，在基底板120的四個(gè)角落的側(cè)面形成有城堡形部分(castellation) 126,在城堡形部分126中形成有城堡形電極125。在基底板120的+Y'軸側(cè)的面上形成有凹部121，在凹部121的周?chē)纬捎薪雍厦?22。另外，在接合面122的四個(gè)角落、即在城堡形部分126的周?chē)纬捎羞B接電極123。該連接電極123經(jīng)由形成于城堡形部分126的城堡形電極125而電性連接于外部電極124?；装?20是:在接合面122上，經(jīng)由密封材料141 (參照?qǐng)D2)而接合于壓電振動(dòng)片130的框部132的-Y'軸側(cè)的面。另外，連接電極123與“壓電振動(dòng)片130的引出電極135”形成電性連接。
蓋板110配置在壓電振動(dòng)片130的+Y'軸側(cè)。在蓋板110的-Y'軸側(cè)的面上形成有凹部111，在凹部111的周?chē)纬捎薪雍厦?12。蓋板110在接合面112上，經(jīng)由密封材料141 (參照?qǐng)D2)而接合于壓電振動(dòng)片130的框部132的+Y'軸側(cè)的面。圖2是圖1的I1-1I剖面的剖面圖。壓電元件100包括壓電振動(dòng)片130，該壓電振動(dòng)片130具有框部132。蓋板110的接合面112是經(jīng)由密封材料141而接合于壓電振動(dòng)片130的框部132的+Y'軸側(cè)的面?；装?20的接合面122是經(jīng)由密封材料141而接合于框部132的-Y'軸側(cè)的面。當(dāng)將壓電振動(dòng)片130與基底板120予以接合時(shí)，框部132的-V軸側(cè)的面上所形成的引出電極135、與基底板120的接合面122上所形成的連接電極123形成電性連接。借此，臺(tái)面區(qū)域131a的+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)所形成的各激振電極134是:經(jīng)由引出電極135、連接電極123、以及城堡形電極125而電性連接于外部電極124。圖3A是壓電振動(dòng)片130的平面圖。壓電振動(dòng)片130包含:激振部131，形成為矩形形狀；框部132，將激振部131予以包圍；以及一個(gè)連結(jié)部133，將激振部131與框部132予以連結(jié)。激振部131包括:第一邊138a與第二邊138b，所述第一邊138a是激振部131的-X軸側(cè)的邊，所述第二邊138b是激振部131的W軸側(cè)及-V軸側(cè)的邊。連結(jié)部133是:連結(jié)于激振部131的第一邊138a的中央，從該中央起向-X軸方向延伸，并連結(jié)于框部132。另夕卜，激振部131與框部132之間的連結(jié)部133以外的區(qū)域成為貫通孔136，該貫通孔136沿著V軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片130予以貫通。形成于激振部131的周邊區(qū)域131b是以將臺(tái)面區(qū)域131a予以包圍的方式而形成。引出電極135是從臺(tái)面區(qū)域131a的+Y'軸側(cè)的面上所形成的激振電極134開(kāi)始，經(jīng)由周邊區(qū)域131b、連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)的面、連結(jié)部133的—V軸側(cè)的側(cè)面133b、以及連結(jié)部133的-Y'軸側(cè)的面，而引出至框部132的-Y'軸側(cè)的面的-X軸側(cè)的+Z^軸側(cè)的角部為止。另外，引出電極135是從臺(tái)面區(qū)域131a的-Y'軸側(cè)的面上所形成的激振電極134 (參照?qǐng)D3B)開(kāi)始，經(jīng)由周邊區(qū)域131b及連結(jié)部133的-Y'軸側(cè)的面而引出至框部132。引出電極135進(jìn)而在框部132的-Y'軸側(cè)的面上，沿著-Z'軸方向及+X軸方向延伸。引出電極135引出至框部132的-Y'軸側(cè)的面的+X軸側(cè)的-Zi軸側(cè)的角部為止。圖3B是圖3A的IIIB-1IIB剖面圖。連結(jié)部133包括突起部133a。在連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)的面及-Y'軸側(cè)的面上，各形成有兩個(gè)突起部133a。+Y'軸側(cè)所形成的突起部與-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部是以彼此在Y,軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。對(duì)于壓電振動(dòng)片130而言，框部132在Y'軸方向上的厚度形成為厚度Tl，形成有突起部133a的區(qū)域的連結(jié)部133及臺(tái)面區(qū)域131a的Y'軸方向的厚度形成為厚度T2，未形成有突起部133a的區(qū)域的連結(jié)部133及周邊區(qū)域1 31b的Y'軸方向的厚度形成為厚度T3。在壓電振動(dòng)片130中，厚度Tl形成得比厚度T2及厚度T3更厚，厚度T2形成得比厚度T3更厚。對(duì)于壓電振動(dòng)片130而言，在頻率例如為40MHz的情況下，厚度T2形成為41.75 μ m。壓電振動(dòng)片130的模擬(simulation)結(jié)果在將壓電元件安裝于印刷基板的狀態(tài)下，進(jìn)行用以求出如下的應(yīng)力的模擬，該應(yīng)力是在使印刷基板彎曲的情況下施加至壓電振動(dòng)片的應(yīng)力。設(shè)想如下的兩種情況來(lái)進(jìn)行模擬，所述兩種情況是指:在壓電元件100的長(zhǎng)邊方向(X軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(長(zhǎng)邊彎曲)、及在短邊方向(Z'軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(短邊彎曲)。以下，對(duì)壓電振動(dòng)片的模擬結(jié)果進(jìn)行說(shuō)明。圖4A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片130的平面圖。將壓電振動(dòng)片130的框部132的Z'軸方向的整體長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度WA，將框部132的X軸方向的整體長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LA，將激振部131的第一邊138a的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度WS，將第二邊138b的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LS，將臺(tái)面區(qū)域131a的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)M，將臺(tái)面區(qū)域131a的V軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度麗，將連結(jié)部133的Z'軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度WR，以及將連結(jié)部133的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LR。將長(zhǎng)度LA設(shè)為2.0mm,將長(zhǎng)度WA設(shè)為1.6mm,將長(zhǎng)度LS設(shè)為1.3mm,將長(zhǎng)度WS設(shè)為0.95mm,將長(zhǎng)度LM設(shè)為0.78mm,將長(zhǎng)度WM設(shè)為0.66mm,將長(zhǎng)度LR設(shè)為0.2mm,將長(zhǎng)度WR設(shè)為0.32mm來(lái)進(jìn)行模擬。圖4B是圖4A的虛線(xiàn)161所包圍的區(qū)域的放大平面圖。若將突起部133a的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LT，將未形成有突起部133a的區(qū)域的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LRa，則在壓電振動(dòng)片130中，長(zhǎng)度LT及長(zhǎng)度LRa均設(shè)為0.05mm。突起部133a的Z'軸方向的長(zhǎng)度是:與連結(jié)部133的V軸方向的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度WR。圖4C是壓電振動(dòng)片130的短邊彎曲的模擬結(jié)果。在圖4C中，僅表示了壓電振動(dòng)片130的激振部131及連結(jié)部133的平面圖。在圖4C中，臺(tái)面區(qū)域131a的顏色(白色)是幾乎未施加應(yīng)力的狀態(tài)的顏色。比該顏色更濃的部位表示施加有應(yīng)力。另外，接近于黑色的部位表示施加了最強(qiáng)的應(yīng)力。在圖4C中，在連結(jié)部133中表示了顏色濃的部分。設(shè)想強(qiáng)應(yīng)力施加至連結(jié)部133。另外，已知:顏色淡的區(qū)域(灰色的區(qū)域)從連結(jié)部133向周邊區(qū)域131b延伸，施加了應(yīng)力的區(qū)域從連結(jié)部133延伸至周邊區(qū)域131b。另外，將臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)設(shè)為中心點(diǎn)139a，將通過(guò)中心點(diǎn)139a且與X軸呈平行的直線(xiàn)設(shè)為直線(xiàn)139，將直線(xiàn)139上的點(diǎn)即激振部131的-X軸側(cè)的端部設(shè)為端點(diǎn)139b。圖5A是表示激振部131的應(yīng)力分布的圖(graph)。圖5A表示圖4C的直線(xiàn)139上的應(yīng)力分布。橫軸表不X軸方向位置(mm)?？v軸表不應(yīng)力(MPa)。關(guān)于X軸方向位置,將臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)即中心點(diǎn)139a (參照?qǐng)D4C)設(shè)為0.0mm，從中心點(diǎn)139a算起的朝向+X軸方向的距離表示為正值，從中心點(diǎn)139a算起的朝向-X軸方向的距離表示為負(fù)值。另夕卜，當(dāng)縱軸所示的應(yīng)力為正值時(shí)，表示施加拉伸應(yīng)力的情況；當(dāng)縱軸所示的應(yīng)力為負(fù)值時(shí)，表示施加壓縮應(yīng)力的情況。在圖5A中，表示了在壓電振動(dòng)片上形成有突起部133a的情況、與在壓電振動(dòng)片上未形成有突起部133a的情況的結(jié)果，另外，各個(gè)結(jié)果表示了長(zhǎng)邊彎曲與短邊彎曲的結(jié)果。在圖5A中，涂黑的菱形表示:無(wú)突起部133a的長(zhǎng)邊彎曲的結(jié)果，留白的菱形表示:無(wú)突起部133a的短邊彎曲的結(jié)果，留白的圓表示:有突起部133a的長(zhǎng)邊彎曲的結(jié)果，涂黑的圓表不:有關(guān)起部133a的短邊彎曲的結(jié)果。在圖5A中，無(wú)突起部的長(zhǎng)邊彎曲(涂黑菱形)與有突起部的長(zhǎng)邊彎曲(留白圓)的值是:取得大致相同的值。即，在長(zhǎng)邊彎曲的情況下，因突起部的有無(wú)而引起的應(yīng)力值未出現(xiàn)差異。另一方面，在無(wú)突起部的短邊彎曲(留白菱形)與有突起部的短邊彎曲(涂黑圓)中，在X軸方向位置約為-0.5_至-0.2mm的范圍內(nèi)，有突起部的短邊彎曲的應(yīng)力的大小是:比無(wú)突起部的短邊彎曲的應(yīng)力的大小更小。圖5B是表示臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)139a及激振部131的-X軸側(cè)的端部的端點(diǎn)139b處的短邊彎曲的應(yīng)力的圖。橫軸表示中心點(diǎn)139a及端點(diǎn)139b,縱軸表示應(yīng)力。另外，在圖5B中表示了各點(diǎn)的有突起部時(shí)與無(wú)突起部時(shí)的應(yīng)力。在臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)139a處，無(wú)突起部時(shí)的應(yīng)力為-0.097MPa，有突起部時(shí)的應(yīng)力為-0.090MPa。另外，在激振部131的端點(diǎn)139b處，無(wú)突起部時(shí)的應(yīng)力值為-0.800MPa，有突起部時(shí)的應(yīng)力值為-0.655MPa。在臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)139a及激振部131的端點(diǎn)139b處，有突起部時(shí)的應(yīng)力小于無(wú)突起部時(shí)的應(yīng)力。已知:在激振部131的端點(diǎn)139b處，與無(wú)突起部的情況相比較，應(yīng)力的強(qiáng)度減少了約18%。借由模擬已確認(rèn):在壓電振動(dòng)片130中，在連結(jié)部133處形成突起部133a，借此，施加至激振部131的應(yīng)力減少。另外，連結(jié)部133的強(qiáng)度并不因形成突起部而減弱。因此，認(rèn)為:壓電振動(dòng)片130的耐沖擊性不會(huì)因形成突起部而減弱。因此，在壓電振動(dòng)片130中，在連結(jié)部133處形成突起部133a，借此，可不損害耐沖擊性而使施加至激振部131的應(yīng)力減少。借此，可防止壓電振動(dòng)片的振動(dòng)頻率等特性發(fā)生變化。特別是，一般在壓電振動(dòng)片中，連結(jié)部的耐沖擊性最弱，因此，會(huì)產(chǎn)生顯著的效果。壓電振動(dòng)片130的變形例形成于連結(jié)部的突起部是:也可與形成于壓電振動(dòng)片130的突起部133a不同。以下，對(duì)壓電振動(dòng)片230及壓電振動(dòng)片330進(jìn)行說(shuō)明，所述壓電振動(dòng)片230及壓電振動(dòng)片330形成有:與壓電振動(dòng)片130不同的突起部。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與壓電振動(dòng)片130相同的部分附上與壓電振動(dòng)片130相同的記號(hào)，并將該部分的說(shuō)明予以省略。壓電振動(dòng)片230的構(gòu)成圖6A是壓電振動(dòng)片230的剖面圖。壓電振動(dòng)片230是由激振部131、將激振部131予以包圍的框部132、以及連結(jié)部233而形成，該連結(jié)部233將激振部131與框部132予以連結(jié)。與壓電振動(dòng)片130的連結(jié)部133同樣地，連結(jié)部233連結(jié)于激振部131的-X軸側(cè)的邊即第一邊138a的中央。X軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度LR，Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR。另外，在連結(jié)部233的+Y'軸側(cè)的面上形成有突起部233a。突起部233a形成為:與連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部133a為相同的形狀。X軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度LT，Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR。在壓電振動(dòng)片230中，僅在連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)形成有突起部，在-Y'軸側(cè)的面上未形成有突起部。壓電振動(dòng)片330的構(gòu)成圖6B是壓電振動(dòng)片330的剖面圖。壓電振動(dòng)片330是由激振部131、將激振部131予以包圍的框部132、以及連結(jié)部333而形成，該連結(jié)部333將激振部131與框部132予以連結(jié)。與壓電振動(dòng)片130的連結(jié)部133同樣地，連結(jié)部333連結(jié)于激振部131的-X軸側(cè)的邊即第一邊138a的中央。X軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度LR，Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR。另外，在連結(jié)部333的+Y'軸側(cè)的面及-Y'軸側(cè)的面上形成有突起部333a。形成于+Y'軸側(cè)的面的突起部333a形成為:與突起部133a相同的形狀，且形成于與突起部133a相同的位置，所述突起部133a形成于連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)的面。X軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度LT，Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR。另外，-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部333a形成為:與+Y^軸側(cè)的面上所形成的突起部333a相同的形狀，但形成位置形成于比+Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部333a更偏向-X軸側(cè)的位置。S卩，在壓電振動(dòng)片330中，+Y'軸側(cè)所形成的突起部與-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部，并非以彼此在V軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。形成于壓電振動(dòng)片的連結(jié)部的突起部是:如壓電振動(dòng)片230所示，也可僅形成于連結(jié)部的一個(gè)面。另外，如壓電振動(dòng)片330所示，連結(jié)部的+Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部與-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部，也可并非以彼此在V軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。而且，雖已表示了如下的情況，即，在壓電振動(dòng)片130中，兩個(gè)突起部133a形成于連結(jié)部133的+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)的各個(gè)面，但可形成一個(gè)突起部、或也可形成多個(gè)突起部。另夕卜，在壓電振動(dòng)片130中，如圖 3B所示，臺(tái)面區(qū)域131a與形成有突起部133a的連結(jié)部133形成為相同的厚度，但也可不形成為相同的厚度。另一方面，當(dāng)臺(tái)面區(qū)域131a及周邊區(qū)域131b的階差的高度、與形成有突起部的連結(jié)部及未形成有突起部的連結(jié)部的階差的高度相同，且周邊區(qū)域131b與未形成有突起部的連結(jié)部的厚度相同時(shí)，可在形成臺(tái)面區(qū)域131a的同時(shí)形成突起部。因此，可利用與未形成突起部的情況相同的步驟來(lái)形成壓電振動(dòng)片130，無(wú)需設(shè)置僅用以形成突起部的步驟，由此為較佳。第二實(shí)施方式形成于壓電振動(dòng)片的突起部也可形成在連結(jié)部與激振電極之間的區(qū)域中。以下，對(duì)如下的壓電振動(dòng)片進(jìn)行說(shuō)明，該壓電振動(dòng)片的突起部形成在連結(jié)部與激振電極之間的區(qū)域中。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與第一實(shí)施方式相同的部分附上與該部分相同的記號(hào)，并將該部分的說(shuō)明予以省略。壓電振動(dòng)片430的構(gòu)成圖7A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片430的平面圖。壓電振動(dòng)片430包含:激振部431 ;框部132，將激振部431予以包圍；以及連結(jié)部433，將激振部431與框部132予以連結(jié)。連結(jié)部433連結(jié)于激振部431的-X軸側(cè)的邊即第一邊138a的中央。另外，在圖7A中未表示電極，但與壓電振動(dòng)片130相同的激振電極134及引出電極135形成于壓電振動(dòng)片430 (參照?qǐng)D3A)。激振部431、框部132、以及連結(jié)部433的尺寸是:與圖4A中所說(shuō)明的壓電振動(dòng)片130的尺寸相同。另外，激振部431包括:臺(tái)面區(qū)域131a，形成有激振電極134 ;以及周邊區(qū)域431b，形成在臺(tái)面區(qū)域131a的周?chē)Ｔ谥苓厖^(qū)域431b的臺(tái)面區(qū)域131a與連結(jié)部433之間的區(qū)域中，形成有突起部433a。周邊區(qū)域431b的+Y'軸側(cè)的面上所形成的兩個(gè)突起部433a是在X軸方向上并排地形成。+X軸側(cè)的突起部433a的-V軸側(cè)的端部與連結(jié)部433的-U軸側(cè)的邊是在X軸方向上對(duì)齊地形成。-X軸側(cè)的突起部433a的—V軸側(cè)的端部與連結(jié)部433的+Z'軸側(cè)的邊是在X軸方向上對(duì)齊地形成。另外，形成于周邊區(qū)域431b的突起部433a分別形成于周邊區(qū)域431b的+Y'軸側(cè)的面及-Y'軸側(cè)的面。+Y'軸側(cè)所形成的突起部與-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部是:以彼此在Γ軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。而且，突起部433a的X軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度LT，Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WT。長(zhǎng)度WT比連結(jié) 部433的Z'軸方向的長(zhǎng)度WR更長(zhǎng)，該長(zhǎng)度WT的長(zhǎng)度形成為
0.465mm。圖7B是壓電振動(dòng)片430的短邊彎曲的模擬結(jié)果。圖7B中表示了壓電振動(dòng)片430的激振部431及連結(jié)部433的平面圖。在圖7B中，在連結(jié)部433中表示了顏色濃的部分。設(shè)想強(qiáng)應(yīng)力施加至連結(jié)部433。另外，已知:顏色淡的區(qū)域(灰色的區(qū)域)從連結(jié)部433向周邊區(qū)域431b延伸，施加了應(yīng)力的區(qū)域從連結(jié)部433延伸至周邊區(qū)域431b。所述施加了應(yīng)力的區(qū)域強(qiáng)烈地出現(xiàn)于-X軸側(cè)的突起部433a,但在+X軸側(cè)的突起部433a中未出現(xiàn)所述區(qū)域。因此，已知:與施加至連結(jié)部433的應(yīng)力相比較，施加至+X軸側(cè)的突起部433a的應(yīng)力頗小。另外，將臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)設(shè)為中心點(diǎn)439a，將通過(guò)中心點(diǎn)439a且與X軸呈平行的直線(xiàn)設(shè)為直線(xiàn)439，將直線(xiàn)439上的點(diǎn)即激振部431的-X軸側(cè)的端部設(shè)為端點(diǎn)439b。圖8A是表示激振部431的應(yīng)力分布的圖。圖8A表示圖7B的直線(xiàn)439上的應(yīng)力分布。橫軸表示X軸方向位置(_)?？v軸表示應(yīng)力(MPa)。關(guān)于X軸方向位置，將臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)即中心點(diǎn)439a(參照?qǐng)D7B)設(shè)為0.0mm0將從中心點(diǎn)439a算起的朝向+X軸方向的距離表示為正值。從中心點(diǎn)439a算起的朝向-X軸方向的距離表示為負(fù)值。另外，當(dāng)縱軸所示的應(yīng)力為正值時(shí)，表示施加拉伸應(yīng)力的情況；當(dāng)縱軸所示的應(yīng)力為負(fù)值時(shí)，表示施加壓縮應(yīng)力的情況。在圖8A中，表示了形成有突起部433a的情況與未形成有突起部433a的情況的結(jié)果。另外，各個(gè)結(jié)果表示了長(zhǎng)邊彎曲與短邊彎曲的結(jié)果。在圖8A中，涂黑的菱形表示:無(wú)突起部433a的長(zhǎng)邊彎曲的結(jié)果，留白的菱形表示:無(wú)突起部433a的短邊彎曲的結(jié)果，留白的圓表不:有突起部433a的長(zhǎng)邊彎曲的結(jié)果，涂黑的圓表不:有突起部433a的短邊彎曲的結(jié)果。在圖8A中，無(wú)突起部433a的長(zhǎng)邊彎曲(涂黑菱形)與有突起部433a的長(zhǎng)邊彎曲(留白圓)的值大致相同。所述圖8A表示:因X軸方向的位置而引起的應(yīng)力的變化的傾向也大致相同。另一方面，在無(wú)突起部433a的短邊彎曲(留白菱形)與有突起部433a的短邊彎曲(涂黑圓)中，在X軸方向位置大致為-0.4mm至-0.1mm的范圍內(nèi)，有突起部433a的短邊彎曲的應(yīng)力的絕對(duì)值稍小于無(wú)突起部433a的短邊彎曲的應(yīng)力的絕對(duì)值。圖8B是表示臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)439a及激振部431的-X軸側(cè)的端點(diǎn)439b處的短邊彎曲的應(yīng)力的圖。橫軸表示中心點(diǎn)439a及端點(diǎn)439b,縱軸表示應(yīng)力。另外,在圖8B中表示了各點(diǎn)的有突起部433a時(shí)與無(wú)突起部433a時(shí)的應(yīng)力。在臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)439a處，無(wú)突起部433a時(shí)的應(yīng)力為-0.097MPa，有突起部433a時(shí)的應(yīng)力為-0.093MPa。另外，在激振部431的端點(diǎn)439b處，無(wú)突起部433a時(shí)的應(yīng)力為-0.800MPa，有突起部433a時(shí)的應(yīng)力為-0.758MPa。在臺(tái)面區(qū)域131a的中心點(diǎn)439a及激振部431的端點(diǎn)439b處，有突起部433a時(shí)的應(yīng)力小于無(wú)突起部433a時(shí)的應(yīng)力。已知:在激振部431的端點(diǎn)439b處，應(yīng)力的強(qiáng)度減少了約5%。借由模擬已確認(rèn):在壓電振動(dòng)片430中，施加至激振部431的應(yīng)力也因形成突起部433a而減少。因此，在壓電振動(dòng)片430中，借由形成突起部433a,可不損吾耐沖擊性而使施加至激振部431的應(yīng)力減少。借此，可防止壓電振動(dòng)片430的振動(dòng)頻率等特性發(fā)生變化。另夕卜，認(rèn)為:即使形成于壓電振動(dòng)片430的突起部433a在Z'軸方向上的長(zhǎng)度小于連結(jié)部433的長(zhǎng)度WR，也可使從連結(jié)部433傳遞至臺(tái)面區(qū)域131a的應(yīng)力減少。然而，如圖7B所示，會(huì)在整個(gè)連結(jié)部433中產(chǎn)生應(yīng)力。為了防止整個(gè)連結(jié)部433的應(yīng)力傳遞至臺(tái)面區(qū)域131a，突起部433a的Z'軸方向的長(zhǎng)度優(yōu)選為:與連結(jié)部433的Z'軸方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)檫B結(jié)部433的Z'軸方向的長(zhǎng)度以上。 壓電振動(dòng)片430的變形例形成于周邊區(qū)域的突起部也可與形成于壓電振動(dòng)片430的突起部433a不同。以下，對(duì)壓電振動(dòng)片530進(jìn)行說(shuō)明，該壓電振動(dòng)片530形成有與壓電振動(dòng)片430不同的突起部。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與壓電振動(dòng)片130或壓電振動(dòng)片430相同的部分附上與壓電振動(dòng)片130相同的記號(hào)，并將該部分的說(shuō)明予以省略。壓電振動(dòng)片530的構(gòu)成圖9A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片530的平面圖。壓電振動(dòng)片530是由激振部531、連結(jié)部433、以及框部132而形成。激振部531包括:臺(tái)面區(qū)域131a，形成有激振電極134 ;以及周邊區(qū)域531b，形成在臺(tái)面區(qū)域131a的周?chē)Ｔ谂_(tái)面區(qū)域131a與連結(jié)部433之間的周邊區(qū)域531b的+Y'軸側(cè)的面及-Y'軸側(cè)的面上，形成有突起部533a。在周邊區(qū)域531b的+Y'軸側(cè)的面及-Y'軸側(cè)的面上，各形成有一個(gè)突起部533a。+Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部533a與-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部533a是:以彼此在Y'軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。突起部533a的X軸方向的長(zhǎng)度為長(zhǎng)度LT，Z'軸方向的長(zhǎng)度為長(zhǎng)度WT2。在壓電振動(dòng)片530中，長(zhǎng)度WT2形成為0.65mm。另外，連結(jié)部433的中心與突起部533a的中心處于沿著X軸方向延伸的直線(xiàn)上。圖9B是壓電振動(dòng)片530的短邊彎曲的模擬結(jié)果。圖9B中表示了壓電振動(dòng)片530的激振部531及連結(jié)部433的平面圖。已知:在圖9B中，與圖7B同樣地，施加了應(yīng)力的區(qū)域從連結(jié)部433延伸至周邊區(qū)域531b。在比突起部533a更靠+X軸側(cè)的區(qū)域中，未出現(xiàn)所述施加了應(yīng)力的區(qū)域。已知:與施加至連結(jié)部433的應(yīng)力相比較,施加至突起部533a的+X軸側(cè)的應(yīng)力頗小。根據(jù)圖9B，已知:即使突起部?jī)H為一個(gè)，也可使來(lái)自連結(jié)部的應(yīng)力減弱。第三實(shí)施方式形成于壓電振動(dòng)片的連結(jié)部有時(shí)連結(jié)于激振部的各種部位。以下，對(duì)如下的壓電振動(dòng)片的例子進(jìn)行說(shuō)明，該壓電振動(dòng)片的連結(jié)部連結(jié)于激振部的第一邊的兩端。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與第一實(shí)施方式相同的部分附上與第一實(shí)施方式相同的記號(hào)，并將該部分的說(shuō)明予以省略。壓電振動(dòng)片630的構(gòu)成圖1OA是未形成有電極的壓電振動(dòng)片630的平面圖。壓電振動(dòng)片630是由激振部131、框部132、以及連結(jié)部633而形成。連結(jié)部633分別連結(jié)于激振部131的-X軸側(cè)的邊即第一邊138a的兩端。另外，在激振部131與框部132之間的連結(jié)部633以外的區(qū)域中形成有貫通孔636，該貫通孔636沿著Y'軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片630予以貫通。在壓電振動(dòng)片630的各連結(jié)部633的+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)的面上，分別形成有一個(gè)突起部633a。+Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部633a與-Y'軸側(cè)`的面上所形成的突起部633a是:以彼此在Y'軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。各突起部633a的V軸方向的長(zhǎng)度是:與各連結(jié)部633的V軸方向的長(zhǎng)度相等。壓電振動(dòng)片730的構(gòu)成圖1OB是未形成有電極的壓電振動(dòng)片730的平面圖。壓電振動(dòng)片730是由激振部731、框部132、以及連結(jié)部733而形成。激振部731包含:臺(tái)面區(qū)域131a，形成有激振電極134;以及周邊區(qū)域731b，形成在臺(tái)面區(qū)域131a的周?chē)Ａ硗?，連結(jié)部733分別連結(jié)于激振部731的-X軸側(cè)的邊即第一邊138a的兩端。在臺(tái)面區(qū)域131a與連結(jié)部733之間的周邊區(qū)域731b的+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)的面上，分別形成有突起部733a。各突起部733a比各連結(jié)部733的Z'軸方向的長(zhǎng)度更長(zhǎng)。+Y^軸側(cè)的面上所形成的突起部733a與-Y'軸側(cè)的面上所形成的突起部733a是:以彼此在Y'軸方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。突起部也可形成于如壓電振動(dòng)片630及壓電振動(dòng)片730所示的壓電振動(dòng)片，該壓電振動(dòng)片的兩個(gè)連結(jié)部連結(jié)于激振部。另外，突起部也可形成于連結(jié)部?jī)H連結(jié)于第一邊138a的一方的端部的壓電振動(dòng)片、及連結(jié)部分別連結(jié)于激振部的+X軸側(cè)及-X軸側(cè)的兩端固定型壓電振動(dòng)片等。第四實(shí)施方式壓電元件1100的構(gòu)成圖11是壓電元件1100的分解立體圖。壓電元件1100包含:蓋板1110、基底板1120、以及壓電振動(dòng)片1130。壓電振動(dòng)片1130中，例如使用AT切割的晶體振動(dòng)片。AT切割的晶體振動(dòng)片的主面(YZ面)相對(duì)于結(jié)晶軸(XYZ)的Y軸，以X軸為中心，從Z軸向Y軸方向傾斜35度15分。在以下的說(shuō)明中，以AT切割的晶體振動(dòng)片的軸方向?yàn)榛鶞?zhǔn)，使用傾斜的新的軸作為V軸以及t軸。S卩，壓電元件1100中，將壓電元件1100的長(zhǎng)邊方向作為X軸方向，將壓電元件1100的高度方向作為Y'軸方向，將與X軸方向及Γ軸方向垂直的方向作為t軸方向來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。壓電振動(dòng)片1130包含:激振部1131，以規(guī)定的頻率發(fā)生振動(dòng)，且形成為四邊形狀；框部1132，將激振部1131予以包圍；以及一個(gè)連結(jié)部1133，將激振部1131與框部1132予以連結(jié)。激振部1131與框部1132之間的連結(jié)部1133以外的區(qū)域成為貫通孔1136，該貫通孔1136沿著Y'軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片1130予以貫通。在激振部1131的+Y'軸側(cè)的面及-V軸側(cè)的面上形成有激振電極1134。另外，激振部1131是由臺(tái)面區(qū)域1131a與周邊區(qū)域1131b而形成，所述臺(tái)面區(qū)域1131a形成有激振電極1134，所述周邊區(qū)域1131b形成在臺(tái)面區(qū)域1131a的周?chē)襓'軸方向的厚度比臺(tái)面區(qū)域1131a更薄。引出電極1135分別從形成于+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)的面的激振電極1134開(kāi)始，通過(guò)連結(jié)部1133而引出至框部1132的-Y'軸側(cè)的面為止。而且，框部1132包括:第一區(qū)域1137a與第二區(qū)域1137b。第一區(qū)域1137a的Y'軸方向的厚度與連結(jié)部1133相同。第二區(qū)域1137b的Y'軸方向的厚度比第一區(qū)域1137a更厚。連結(jié)部1133連結(jié)于包含框部1132的第一區(qū)域1137a的區(qū)域?；装?120配置在壓電振動(dòng)片1130的-Y'軸側(cè)?；装?120形成為矩形形狀，該矩形形狀在X軸方向上具有長(zhǎng)邊，在Zi軸方向上具有短邊。在基底板1120的-Y'軸側(cè)的面上形成有一對(duì)外部電極1124。該外部電極1124經(jīng)由焊料而固定于印刷基板等，且與該印刷基板等形成電性連接。借此，壓電元件1100安裝于印刷基板等。另外，在基底板1120的四個(gè)角落的側(cè)面形成有城堡形部分1126，在城堡形部分1126中形成有城堡形電極1125。在基底板1120的+Y'軸側(cè)的面上形成有凹部1121，在凹部1121的周?chē)纬捎薪雍厦?122。另外，在接合面1122的四個(gè)角落、即在城堡形部分1126的周?chē)纬捎羞B接電極1123。該連接電極1123經(jīng)由形成于城堡形部分1126的城堡形電極1125而電性連接于外部電極1124。基底板1120在接合面1122上，經(jīng)由密封材料1141 (參照?qǐng)D12)而接合于壓電振動(dòng)片1130的框部1132的-Y'軸側(cè)的面。另外，連接電極1123與壓電振動(dòng)片1130的引出電極1135形成電性連接。 蓋板1110配置在壓電 振動(dòng)片1130的+Y'軸側(cè)。在蓋板1110的-Y'軸側(cè)的面上形成有凹部1111，在凹部1111的周?chē)纬捎薪雍厦?112。蓋板1110在接合面1112上，經(jīng)由密封材料1141 (參照?qǐng)D12)而接合于壓電振動(dòng)片1130的框部1132的+Yi軸側(cè)的面。圖12是圖11的XI1-XII剖面的剖面圖。壓電元件1100包括壓電振動(dòng)片1130，該壓電振動(dòng)片1130具有框部1132。蓋板1110的接合面1112經(jīng)由密封材料1141而接合于框部1132的+Yi軸側(cè)的面?；装?120的接合面1122經(jīng)由密封材料1141而接合于框部1132的-V軸側(cè)的面。借此，對(duì)壓電元件1100的內(nèi)部進(jìn)行密封。當(dāng)將壓電振動(dòng)片1130與基底板1120予以接合時(shí)，框部1132的-Y'軸側(cè)的面上所形成的引出電極1135、與基底板1120的接合面1122上所形成的連接電極1123形成電性連接。借此，臺(tái)面區(qū)域1131a的+Y'軸側(cè)及-Y'軸側(cè)所形成的各激振電極1134是:經(jīng)由引出電極1135、連接電極1123、以及城堡形電極1125，而電性連接于外部電極1124。圖13A是壓電振動(dòng)片1130的平面圖。壓電振動(dòng)片1130包含:激振部1131，形成為矩形形狀；框部1132，將激振部1131予以包圍；以及一個(gè)連結(jié)部1133，將激振部1131與框部1132予以連結(jié)。激振部1131包括第一邊1138a與第二邊1138b，所述第一邊1138a是激振部1131的-X軸側(cè)的邊，所述第二邊1138b是激振部1131的—V軸側(cè)及-V軸側(cè)的邊。另外，框部1132是由:在t軸方向延伸的第一框體1132a、與在X軸方向延伸的第二框體1132b形成，且框部1132將激振部1131予以包圍。在激振部1131的-X軸側(cè)所形成的第一框體1132a中，包括第一區(qū)域1137a及第二區(qū)域1137b。第一區(qū)域1137a的Y'軸方向的厚度與連結(jié)部1133相同。第二區(qū)域1137b的Y'軸方向的厚度比第一區(qū)域1137a更厚。連結(jié)部1133連結(jié)于包含框部1132的第一區(qū)域1137a的區(qū)域。另外，連結(jié)部1133連結(jié)于激振部1131的第一邊1138a的中央。激振部1131與框部1132之間的連結(jié)部1133以外的區(qū)域成為貫通孔1136，該貫通孔1136沿著Y'軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片1130予以貫通。形成于激振部1131的周邊區(qū)域1131b是:以將臺(tái)面區(qū)域1131a予以包圍的方式而形成。引出電極1135從臺(tái)面區(qū)域1131a的+Y'軸側(cè)的面上所形成的激振電極1134開(kāi)始，經(jīng)由周邊區(qū)域1131b、連結(jié)部1133的+Y'軸側(cè)的面、連結(jié)部1133的—V軸側(cè)的側(cè)面1133a、及連結(jié)部1133的-Y'軸側(cè)的面，而引出至框部1132的-Y'軸側(cè)的面的-X軸側(cè)的+Z^軸側(cè)的角部為止。另外，引出電極1135從臺(tái)面區(qū)域1131a的-Y'軸側(cè)的面上所形成的激振電極1134(參照?qǐng)D13B)開(kāi)始，經(jīng)由周邊區(qū)域1131b以及連結(jié)部1133的-Y'軸側(cè)的面，而引出至框部1132。引出電極1135進(jìn)而在框部1132的-Y'軸側(cè)的面上沿著-Zi軸方向及+X軸方向延伸。引出電極1135引出至框部1132的-Y'軸側(cè)的面的+X軸側(cè)的-V軸側(cè)的角部為止。圖13B是圖13A的XIIIB-XIIIB剖面圖。在壓電振動(dòng)片1130中，第一區(qū)域1137a以外的框部1132的Y'軸方向的厚度形成為第三厚度T3，臺(tái)面區(qū)域1131a的Y'軸方向的厚度形成為第二厚度T2，周邊區(qū)域1131b、連結(jié)部1133、以及框部1132的第一區(qū)域1137a的V軸方向的厚度形成為第一厚度Tl。在壓電振動(dòng)片1130中，第三厚度T3形成得比第二厚度T2及第一厚度Tl更厚，第二厚度T2形成得比第一厚度Tl更厚。對(duì)于壓電振動(dòng)片1130而言，在頻率例如為40MHz的情況下，第二厚度T2形成為41.75 μ m。壓電振動(dòng)片1130的模擬結(jié)果在將壓電元件1100安裝于印刷基`板的狀態(tài)下，進(jìn)行用以求出如下的應(yīng)力的模擬，該應(yīng)力是在使印刷基板彎曲的情況下施加至壓電振動(dòng)片1130的應(yīng)力。設(shè)想如下的兩種情況來(lái)進(jìn)行模擬，所述兩種情況是指:在壓電元件1100的長(zhǎng)邊方向(X軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(長(zhǎng)邊彎曲)、及在短邊方向(Z'軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(短邊彎曲)。以下，對(duì)壓電振動(dòng)片1130的模擬結(jié)果進(jìn)行說(shuō)明。圖14A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1130的平面圖。將壓電振動(dòng)片1130的框部1132的Z'軸方向的整體長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度WA，將框部1132的X軸方向的整體長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LA，將第一框體1132a的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LC，將激振部1131的第一邊1138a的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度WS，將第二邊1138b的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LS，將臺(tái)面區(qū)域1131a的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)MJfZ'軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度麗，將連結(jié)部1133的Z'軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度WR,以及將連結(jié)部1133的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LR，將框部1132的第一區(qū)域1137a的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)為長(zhǎng)度LB。將長(zhǎng)度LA設(shè)為2.0mm，將長(zhǎng)度WA設(shè)為1.6mm，將長(zhǎng)度LC設(shè)為
0.2mm,將長(zhǎng)度LS設(shè)為1.3mm,將長(zhǎng)度WS設(shè)為0.95mm,將長(zhǎng)度LM設(shè)為0.78mm,將長(zhǎng)度WM設(shè)為0.66mm,將長(zhǎng)度LR設(shè)為0.1mm,將長(zhǎng)度WR設(shè)為0.32mm,將長(zhǎng)度LB設(shè)為0.1mm來(lái)進(jìn)行模擬。圖14B是壓電振動(dòng)片1130的短邊彎曲的模擬結(jié)果。在圖14B中，僅表示了壓電振動(dòng)片1130的激振部1131及連結(jié)部1133的平面圖。在圖14B中，臺(tái)面區(qū)域1131a的顏色(白色)是幾乎未施加應(yīng)力的狀態(tài)的顏色。比該顏色更濃的部位表示施加有應(yīng)力。另外，接近于黑色的部位施加了最強(qiáng)的應(yīng)力。在圖14B中，在連結(jié)部1133及該連結(jié)部1133的周邊表示了顏色濃的部分。已知:在連結(jié)部1133及該連結(jié)部1133的周邊產(chǎn)生了應(yīng)力。另外，將臺(tái)面區(qū)域1131a的中心點(diǎn)設(shè)為中心點(diǎn)1139a，將通過(guò)中心點(diǎn)1139a且與X軸呈平行的直線(xiàn)設(shè)為直線(xiàn)1139，將直線(xiàn)1139上的點(diǎn)即激振部1131的-X軸側(cè)的端部設(shè)為端點(diǎn)1139b。圖15A是表示激振部1131的應(yīng)力分布的圖。圖15A表示圖14B的直線(xiàn)1139上的應(yīng)力分布。橫軸表不X軸方向位置(mm)?？v軸表不應(yīng)力(MPa)。關(guān)于X軸方向位置,將臺(tái)面區(qū)域1131a的中心點(diǎn)即中心點(diǎn)1139a(參照?qǐng)D14B)設(shè)為0.0_。從中心點(diǎn)1139a算起的朝向+X軸方向的距離表示為正值。從中心點(diǎn)1139a算起的朝向-X軸方向的距離表示為負(fù)值。另外，當(dāng)縱軸所示的應(yīng)力為正值時(shí)，表示施加拉伸應(yīng)力的情況；當(dāng)縱軸所示的應(yīng)力為負(fù)值時(shí)，表示施加壓縮應(yīng)力的情況。另外，在圖15A中，表示了在壓電振動(dòng)片1130中形成有第一區(qū)域1137a的情況、與在壓電振動(dòng)片1130中未形成有第一區(qū)域1137a的情況的結(jié)果。各個(gè)結(jié)果表示了長(zhǎng)邊彎曲及短邊彎曲的結(jié)果。在圖15A中，涂黑的菱形表示:無(wú)第一區(qū)域1137a的長(zhǎng)邊彎曲的結(jié)果，留白的菱形表示:無(wú)第一區(qū)域1137a的短邊彎曲的結(jié)果，留白的圓表示:有第一區(qū)域1137a的長(zhǎng)邊彎曲的結(jié)果，涂黑的圓表示:有第一區(qū)域1137a的短邊彎曲的結(jié)果。在圖15A中，表示了無(wú)第一區(qū)域的長(zhǎng)邊彎曲(涂黑菱形)與有第一區(qū)域的長(zhǎng)邊彎曲(留白圓)。有第一區(qū)域的長(zhǎng)邊彎曲時(shí)的應(yīng)力的絕對(duì)值小于無(wú)第一區(qū)域的長(zhǎng)邊彎曲時(shí)的應(yīng)力的絕對(duì)值。另一方面，圖15A是以如下的方式來(lái)表示:無(wú)第一區(qū)域的短邊彎曲(留白菱形)與有第一區(qū)域的短邊彎曲(涂黑圓)。有第一區(qū)域的短邊彎曲時(shí)的應(yīng)力的絕對(duì)值小于無(wú)第一區(qū)域的短邊彎曲時(shí)的應(yīng)力的絕對(duì)值。圖15B是表示臺(tái)面區(qū)域1131a的中心點(diǎn)1139a及激振部1131的-X軸側(cè)的端點(diǎn)1139b處的短邊彎曲的應(yīng)力的圖。橫軸表示中心點(diǎn)1139a及端點(diǎn)1139b，縱軸表示應(yīng)力。另夕卜，在圖15B中，表示了各點(diǎn)的有第一區(qū)域時(shí)與無(wú)第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力。在臺(tái)面區(qū)域1131a的中心點(diǎn)1139a處，無(wú)第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力為-0.501MPa，有第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力為-0.390MPa。另夕卜，在激振部1131的端點(diǎn)1139b處，無(wú)第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力為-1.354MPa，有第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力為-1.049MPa。在臺(tái)面區(qū)域1131a的中心點(diǎn)1139a及激振部1131的端點(diǎn)1139b處，有第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力小于無(wú)第一區(qū)域時(shí)的應(yīng)力。已知:在激振部1131的端點(diǎn)1139b處，應(yīng)力的強(qiáng)度減少了約22%。圖15A及圖15B的結(jié)果如下所述。在壓電振動(dòng)片1130的框部1132中形成有第一區(qū)域1137a。已知:借此，施加至激振部1131的應(yīng)力減少。另外，形成有第一區(qū)域1137a的壓電振動(dòng)片1130與“未形成有第一區(qū)域1137a的壓電振動(dòng)片1130”相比較，“與連結(jié)部1133相鄰接的激振部1131的端點(diǎn)1139b”的應(yīng)力更小。因此，認(rèn)為:施加至連結(jié)部1133的應(yīng)力減少。因此，認(rèn)為:壓電振動(dòng)片的耐沖擊性不會(huì)因形成第一區(qū)域而減弱。因此，在壓電振動(dòng)片1130中，在框部1132處形成第一區(qū)域1137a，借此，可不損害耐沖擊性而使施加至激振部1131的應(yīng)力減少。借此，可防止壓電振動(dòng)片的振動(dòng)頻率等特性發(fā)生變化。另外，在“形成有激振部、框部、以及連結(jié)部的壓電振動(dòng)片”中，“連結(jié)部的X軸方向的長(zhǎng)度”越長(zhǎng)，則“框部的應(yīng)力”越不易傳遞至激振部，使激振部的應(yīng)力減小。已知:借由在框部形成第一區(qū)域，可與使“連結(jié)部的X軸方向的長(zhǎng)度”變長(zhǎng)同樣地，而抑制“施加至激振部的應(yīng)力”。即，即使將連結(jié)部的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)計(jì)成短的長(zhǎng)度，也可借由在框部形成第一區(qū)域來(lái)抑制施加至激振部的應(yīng)力。對(duì)于壓電振動(dòng)片而言，只要可將連結(jié)部的X軸方向的長(zhǎng)度設(shè)計(jì)成短的長(zhǎng)度，則可相應(yīng)地使激振部的設(shè)計(jì)允許范圍擴(kuò)大，由此為較佳。在壓電振動(dòng)片1130中，框部1132的第二區(qū)域1137b接合于蓋板1110及基底板1120,從而對(duì)壓電兀件1100的內(nèi)部進(jìn)行密封。因此，長(zhǎng)度LC比長(zhǎng)度LB更長(zhǎng)。另外，為了確保充分的接合區(qū)域，較為理想的是，長(zhǎng)度LB為長(zhǎng)度LC的一半或一半以下，所述充分的接合區(qū)域用以使壓電元件1100的內(nèi)部的密封不會(huì)解除。第五實(shí)施方式形成于框部且連結(jié)于連結(jié)部的第一區(qū)域也可形成為如下的各種形狀，所述各種形狀與形成于壓電振動(dòng)片1130的第一區(qū)域不同。另外，根據(jù)形成于壓電振動(dòng)片的連結(jié)部的位置來(lái)形成所述第一區(qū)域。以下，對(duì)形成有與壓電振動(dòng)片1130不同的第一區(qū)域的壓電振動(dòng)片進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與壓電振動(dòng)片1130相同的部分及已說(shuō)明過(guò)一次的部分附上與該部分相同的記號(hào)，并將該部分的說(shuō)明予以省略。壓電振動(dòng)片1230的構(gòu)成圖16A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1230的平面圖。壓電振動(dòng)片1230是由:包括臺(tái)面區(qū)域1131a及周邊區(qū)域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1232、以及將激振部1131與框部1232予以連結(jié)的連結(jié)部1133而形成?？虿?232是由:在V軸方向延伸的第一框體1232a及在X軸方向延伸的第二框體1232b而形成。在框部1232的-X軸側(cè)的第一框體1232a中，形成有第一區(qū)域1237a與第二區(qū)域1237b。第一區(qū)域1237a形成為與連結(jié)部1133相同的厚度，且連結(jié)于連結(jié)部1133。第二區(qū)域1237b的厚度比第一區(qū)域1237a的厚度更厚。壓電振動(dòng)片1230包括:第二框體1232b與第一框體1232a，該第一框體1232a具有第二區(qū)域1237b。蓋板1110接合于第二框體1232b及第二區(qū)域1237b的+Y1軸側(cè)，基底板1120接合于第二框體1232b及第一框體1232a的-Y'軸側(cè)的面。借此，形成壓電元件。圖16B是圖16A的虛線(xiàn)1161所包圍的區(qū)域的放大圖。將第一區(qū)域1237a的+X軸側(cè)的邊設(shè)為第三邊1238c，將第一區(qū)域1237a的-X軸側(cè)的邊設(shè)為第四邊1238d。第三邊1238c的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR，該長(zhǎng)度WR與連結(jié)部1133的Z'軸方向的長(zhǎng)度相同。第四邊1238d的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WB2。長(zhǎng)度WB2小于長(zhǎng)度WR。第三邊1238c及第四邊1238d的兩端彼此由直線(xiàn)連結(jié)。即，第一區(qū)域1237a的平面形狀形成為梯形。對(duì)于壓電振動(dòng)片1230而言，可借由形成第一區(qū)域1237a來(lái)抑制施加至激振部1131的應(yīng)力，并且由于長(zhǎng)度WB2形成得小于長(zhǎng)度WR，因此，第二區(qū)域1237b的面積擴(kuò)大。因此，可更強(qiáng)力地將框部1232與蓋板1110及基底板1120予以粘接，從而可更強(qiáng)力地對(duì)壓電元件的內(nèi)部進(jìn)行密封。圖16C是壓電振動(dòng)片1230a的剖面圖。壓電振動(dòng)片1230a是壓電振動(dòng)片1230的變形例。圖16C中表示了與圖16A的XVIC-XVIC剖面相當(dāng)?shù)钠拭鎴D。對(duì)于壓電振動(dòng)片1230a而言，連結(jié)部1133及第一區(qū)域1237a的Y'軸方向的厚度形成為第二厚度T2，其他構(gòu)成與壓電振動(dòng)片1230相同。連結(jié)部1133及第一區(qū)域1237a形成得厚，因此，可使壓電振動(dòng)片1230a的耐沖擊性提高。此種連結(jié)部及第一區(qū)域的厚度形成得厚的構(gòu)成，也可使用于第四實(shí)施方式中所說(shuō)明的壓電振動(dòng)片1130及第五實(shí)施方式中所說(shuō)明的其他壓電振動(dòng)片。另外，當(dāng)“連結(jié)部1133及第一區(qū)域1237a”與周邊區(qū)域1131b的階差形成得:和臺(tái)面區(qū)域1131a與周邊區(qū)域1131b的階差相等時(shí)，可同時(shí)形成連結(jié)部1133、第一區(qū)域1237a、以及臺(tái)面區(qū)域1131a。借此，可使制造步驟簡(jiǎn)化，由此為較佳。壓電振動(dòng)片1330的構(gòu)成圖17A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1330的平面圖。壓電振動(dòng)片1330是由:包括臺(tái)面區(qū)域1131a及周邊區(qū)域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1332、以及將激振部1131與框部1332予以連結(jié)的連結(jié)部1133而形成?？虿?332是由:在t軸方向延伸的第一框體1332a及在X軸方向延伸的第二框體1332b而形成。在框部1332的-X軸側(cè)的第一框體1332a中，形成有第一區(qū)域1337a、及第二區(qū)域1337b。第一區(qū)域1337a形成為與連結(jié)部1133相同的厚度，且連結(jié)于連結(jié)部1133。第二區(qū)域1337b的厚度比第一區(qū)域1337a的厚度更厚。壓電振動(dòng)片1330包括:第二框體1332b與第一框體1332a，該第一框體1332a具有第二區(qū)域1337b。蓋板1110接合于第二框體1332b與第二區(qū)域1337b的+Y^軸側(cè)的面，基底板1120接合于第二框體1332b與第一框體1332a的-Y'軸側(cè)的面。借此，形成壓電元件。圖17B是圖17A的虛線(xiàn)1162所包圍的區(qū)域的放大圖。第一區(qū)域1337a的+X軸側(cè)的邊為第三邊1238c，第一區(qū)域1337a的-X軸側(cè)的邊為第四邊1238d。第一區(qū)域1337a相當(dāng)于如下的形狀，該形狀是以平面1338e來(lái)對(duì)壓電振動(dòng)片1130的第一區(qū)域1137a(參照?qǐng)D14A)的-X軸側(cè)的角部進(jìn)行倒角所得的形狀。來(lái)自印刷基板等的應(yīng)力施加至框部。特別是，應(yīng)力容易集中于第一區(qū)域的角部等前端變尖的部位。認(rèn)為:由于以所述角部為起點(diǎn)而產(chǎn)生裂紋等，因此，壓電振動(dòng)片會(huì)破損。在對(duì)第一區(qū)域的角部進(jìn)行了倒角的情況下，可防止應(yīng)力集中于第一區(qū)域的角部，壓電振動(dòng)片1330不易破損，耐沖擊性提高。圖17C是以曲面進(jìn)行倒角的第一區(qū)域1337a的平面圖。圖17C是以如下的方式來(lái)表不第一區(qū)域1337a。壓電振動(dòng)片1330包括第一區(qū)域1337a,該第一區(qū)域1337a具有第四邊1238d。以如下的狀態(tài)來(lái)表示第四邊1238d，該狀態(tài)是指:借由曲面1338f來(lái)對(duì)該第四邊1238d的兩端的角部進(jìn)行了倒角的狀態(tài)。如圖17C所示，借由曲面1338f來(lái)對(duì)第一區(qū)域1337a進(jìn)行倒角。借此，與圖17B所示的第一區(qū)域1337a同樣地，不會(huì)使施加至第一區(qū)域的角部的應(yīng)力集中，可使壓電振動(dòng)片的耐沖擊性提高。壓電振動(dòng)片1430的構(gòu)成圖18A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1430的平面圖。壓電振動(dòng)片1430是由:包括臺(tái)面區(qū)域1131a及周邊區(qū)域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1432、以及將激振部1131與框部1432予以連結(jié)的連結(jié)部1133而形成。框部1432是由:在V軸方向延伸的第一框體1432a及在X軸方向延伸的第二框體1432b而形成。在框部1432的-X軸側(cè)的第一框體1432a中，形成有第一區(qū)域1437a與第二區(qū)域1437b。第一區(qū)域1437a形成為與連結(jié)部1133相同的厚度，且連結(jié)于連結(jié)部1133。第二區(qū)域1437b的厚度比第一區(qū)域1437a的厚度更厚。壓電振動(dòng)片1430包括:第二框體1432b與第一框體1432a，該第一框體1432a具有第二區(qū)域1437b。蓋板1110接合于第二框體1432b與第二區(qū)域1437b的+Yi軸側(cè)的面，基底板1120接合于第二框體1432b與第一框體1432a的-Y'軸側(cè)的面。借此,形成壓電元件。

圖18B是圖18A的虛線(xiàn)1163所包圍的區(qū)域的放大圖。第一區(qū)域1437a的+X軸側(cè)的邊為第三邊1438c，第一區(qū)域1437a的-X軸側(cè)的邊為第四邊1238d。第三邊1438c及第四邊1238d的長(zhǎng)度均為長(zhǎng)度WB2，第一區(qū)域1437a形成為矩形形狀。對(duì)于壓電振動(dòng)片1430而言，可借由形成第一區(qū)域1437a來(lái)抑制施加至激振部1131的應(yīng)力，并且長(zhǎng)度WB2形成得小于長(zhǎng)度WR，借此，與壓電振動(dòng)片1130相比較，第二區(qū)域的面積擴(kuò)大。因此，可更強(qiáng)力地將框部1432與蓋板1110及基底板1120予以粘接，從而可更強(qiáng)力地對(duì)壓電元件的內(nèi)部進(jìn)行密封。壓電振動(dòng)片1530的構(gòu)成圖18C是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1530的平面圖。壓電振動(dòng)片1530是由:包括臺(tái)面區(qū)域1131a及周邊區(qū)域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1532、以及將激振部1131與框部1532予以連結(jié)的連結(jié)部1133而形成?？虿?532是由:在V軸方向延伸的第一框體1532a及在X軸方向延伸的第二框體1532b而形成。在框部1532的-X軸側(cè)的第一框體1532a中，形成有第一區(qū)域1537a與第二區(qū)域1537b。第一區(qū)域1537a形成為與連結(jié)部1133相同的厚度，且連結(jié)于連結(jié)部1133。第二區(qū)域1537b的厚度比第一區(qū)域1537a的厚度更厚。壓電振動(dòng)片1530的蓋板1110接合于第二區(qū)域1537b的+Y'軸側(cè)的面，基底板1120接合于第一框體1532a的-Y'軸側(cè)的面。借此，形成壓電元件。圖18D是圖18C的虛線(xiàn)1164所包圍的區(qū)域的放大圖。第一區(qū)域1537a的+X軸側(cè)的邊為第三邊1538c，第一區(qū)域1537a的-X軸側(cè)的邊為第四邊1538d。第三邊1538c及第四邊1538d的長(zhǎng)度均為長(zhǎng)度WB3，第一區(qū)域1537a形成為矩形形狀。另外，長(zhǎng)度WB3形成得比長(zhǎng)度WR更長(zhǎng)。壓電振動(dòng)片1530的第一區(qū)域1537a的長(zhǎng)度WB3形成得大于連結(jié)部1133的長(zhǎng)度WR，第一區(qū)域的面積擴(kuò)大。借此，認(rèn)為與壓電振動(dòng)片1130相比較，可抑制施加至激振部1131的應(yīng)力。壓電振動(dòng)片1630的構(gòu)成圖19A是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1630的平面圖。壓電振動(dòng)片1630是由:包括臺(tái)面區(qū)域1131a及周邊區(qū)域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1632、以及將激振部1131與框部1632予以連結(jié)的連結(jié)部1633而形成。激振部1131與框部1632之間的連結(jié)部1633以外的區(qū)域成為貫通孔1636，該貫通孔1636沿著Y'軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片1630予以貫通。連結(jié)部1633連結(jié)于激振部1131的-X軸側(cè)的邊的-V軸側(cè)的端部，該連結(jié)部1633的Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR?？虿?632是由:在Z'軸方向延伸的第一框體1632a及在X軸方向延伸的第二框體1632b而形成。在框部1632的-X軸側(cè)的第一框體1632a中，形成有第一區(qū)域1637a與第二區(qū)域1637b。第一區(qū)域1637a形成為與連結(jié)部1633相同的厚度，且連結(jié)于連結(jié)部1633。第二區(qū)域1637b的厚度比第一區(qū)域1637a的厚度更厚。在壓電振動(dòng)片1630中，第一區(qū)域1637a的Z'軸方向的長(zhǎng)度形成為長(zhǎng)度WR，該長(zhǎng)度WR與連結(jié)部1633的Z'軸方向的長(zhǎng)度相同。壓電振動(dòng)片1730的構(gòu)成圖19B是未形成有電極的壓電振動(dòng)片1730的平面圖。壓電振動(dòng)片1730是由:包括臺(tái)面區(qū)域1131a及周邊區(qū)域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1732、以及將激振部1131與框部1732予以連結(jié)的連結(jié)部1733而形成。激振部1131與框部1732之間的連結(jié)部1733以外的區(qū)域成為貫通孔1736，該貫通孔1736沿著Y'軸方向?qū)弘娬駝?dòng)片1730予以貫通。連結(jié)部1733連結(jié)于激振部1131的-X軸側(cè)的邊即第一邊1138a的-Z'軸側(cè)及+Z^軸側(cè)的端部?？虿?732是由:在Z'軸方向延伸的第一框體1732a及在X軸方向延伸的第二框體1732b而形成。在框部1732的-X軸側(cè)的第一框體1732a中，形成有第一區(qū)域1737a與第二區(qū)域1737b。第一區(qū)域1737a形成為與連結(jié)部1733相同的厚度，且分別連結(jié)于各連結(jié)部1733。第二區(qū)域1737b的厚度比第一區(qū)域1737a的厚度更厚。各連結(jié)部1733與各第一區(qū)域1737a的V軸方向的長(zhǎng)度分別形成為長(zhǎng)度WR2。壓電振動(dòng)片1630及壓電振動(dòng)片1730的連結(jié)部的形成位置與壓電振動(dòng)片1130不同。如壓電振動(dòng)片1630及壓電振動(dòng)片1730所示，壓電振動(dòng)片的框部包括第一區(qū)域，該第一區(qū)域連結(jié)于連結(jié)部。可根據(jù)連結(jié)部的形成位置而形成第一區(qū)域。以上，已詳細(xì)地對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然可在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)，對(duì)實(shí)施方式添加各種變更、變形來(lái)實(shí)施本發(fā)明。具體而言，可將第一實(shí)施方式 第三實(shí)施方式與第四實(shí)施方式、第五實(shí)施方式加以組合。例如在所述實(shí)施方式中，表示了壓電振動(dòng)片為AT切割的晶體振動(dòng)片的情況，但同樣地，即使所述壓電振動(dòng)片為以厚度剪力模式(thickness shear mode)而發(fā)生振動(dòng)的BT切割的晶體振動(dòng)片等，也可同樣適用。而且，壓電振動(dòng)片基本上不僅可應(yīng)用晶體材料，而且可應(yīng)用包含鉭酸鋰或鈮酸鋰或者壓電陶瓷的壓電材料。第一觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片包括:矩形形狀的激振部、將激振部予以包圍的框部、連結(jié)部、以及突起部。激振部包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、以及在第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長(zhǎng)。第二方向與第一方向正交。連結(jié)部將激振部的第一邊與框部予以連結(jié)。連結(jié)部的厚度比框部的厚度更薄。在連結(jié)部、和連結(jié)部與激振電極之間的區(qū)域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振電極形成于連結(jié)部的第二方向。突起部的第一方向的長(zhǎng)度是:與連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)檫B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。根據(jù)第一觀點(diǎn)，對(duì)于第二觀點(diǎn)的壓電振`動(dòng)片而言，連結(jié)部連結(jié)于激振部的第一邊的中央。根據(jù)第一觀點(diǎn)及第二觀點(diǎn)，對(duì)于第三觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，突起部形成在兩個(gè)主面上。一方的主面上所形成的突起部、與另一方的主面上所形成的突起部是以在厚度方向上呈對(duì)稱(chēng)的方式而形成。根據(jù)第一觀點(diǎn)至第三觀點(diǎn)，對(duì)于第四觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，激振部包括:臺(tái)面區(qū)域與周邊區(qū)域。臺(tái)面區(qū)域形成有激振電極。周邊區(qū)域形成在臺(tái)面區(qū)域的周?chē)?，且周邊區(qū)域的厚度比臺(tái)面區(qū)域的厚度更薄。周邊區(qū)域的厚度與連結(jié)部的厚度相等。根據(jù)第四觀點(diǎn)，第五觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片在突起部的厚度方向上具有高度。該高度是:與臺(tái)面區(qū)域的從周邊區(qū)域算起的朝向厚度方向的高度相等。第六觀點(diǎn)的壓電元件包含:第一觀點(diǎn)至第五觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片；蓋板，接合于壓電振動(dòng)片的框部的一方的主面；以及基底板，接合于壓電振動(dòng)片的框部的另一方的主面。第七觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片包括:激振部、框部、以及連結(jié)部。激振部在兩個(gè)主面上形成有一對(duì)激振電極，且具有矩形形狀，該矩形形狀包含:在第一方向延伸的第一邊及在第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長(zhǎng)。第二方向與第一方向正交?？虿堪?在第一方向延伸的第一框體、與在第二方向延伸的第二框體。第一框體及第二框體將激振部予以包圍。第一框體包含:第一厚度的第一區(qū)域、與比第一厚度更厚的第二區(qū)域。連結(jié)部為第一厚度。連結(jié)部將激振部的第一邊與第一框體的第一區(qū)域予以連結(jié)。第一框體的第二方向的長(zhǎng)度比第一區(qū)域的第二方向的長(zhǎng)度更長(zhǎng)。根據(jù)第七觀點(diǎn)，對(duì)于第八觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，連結(jié)部為一個(gè)。該連結(jié)部連結(jié)于激振部的第一邊的中央。根據(jù)第七觀點(diǎn)，對(duì)于第九觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，連結(jié)部連結(jié)于激振部的第一邊的至少一方的端部。根據(jù)第七觀點(diǎn)至第九觀點(diǎn)，第十觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片包含:第三邊與第四邊。在第三邊上，第一區(qū)域與連結(jié)部發(fā)生接觸，該第三邊在第一方向延伸。第四邊處于第一區(qū)域的連結(jié)部的相反側(cè)。第三邊的長(zhǎng)度是:與第四邊的長(zhǎng)度相同、或?yàn)榈谒倪叺拈L(zhǎng)度以上。根據(jù)第十觀點(diǎn)，第十一觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片包括:與第一區(qū)域的第四邊的兩端發(fā)生接觸的角部。借由曲面或平面來(lái)對(duì)角部進(jìn)行倒角。根據(jù)第十觀點(diǎn)或第十一觀點(diǎn)，對(duì)于第十二觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，第三邊的長(zhǎng)度是:與連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)檫B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以下。根據(jù)第七觀點(diǎn)至第十二觀點(diǎn)，對(duì)于第十三觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，第一區(qū)域的第二方向的長(zhǎng)度為:第一框體的第二方向的長(zhǎng)度的一半、或所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度的一半以下。根據(jù)第七觀點(diǎn)至第十三觀點(diǎn)，對(duì)于第十四觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片而言，激振部包括:臺(tái)面區(qū)域與周邊區(qū)域。在臺(tái)面區(qū)域中形成有激振電極。周邊區(qū)域是:形成在臺(tái)面區(qū)域的周?chē)液穸缺扰_(tái)面區(qū)域的厚度更薄的區(qū)域。周邊區(qū)域的厚度為第一厚度。第十五觀點(diǎn)的壓電元件包含:第七觀點(diǎn)至第十四觀點(diǎn)的壓電振動(dòng)片；蓋板，接合于壓電振動(dòng)片的框部的一方的主面；以及基底板，接合于壓電振動(dòng)片的框部的另一方的主面。根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片及壓電元件，可抑制對(duì)于激振部的應(yīng)力的影響。在所述說(shuō)明書(shū)中，已對(duì)本發(fā)明的原理、優(yōu)選實(shí)施方式、及處理模式進(jìn)行了說(shuō)明。然而，需被保護(hù)的發(fā)明并不特別限定于所述實(shí)施方式。而且，此處所述的實(shí)施方式是例示，并不對(duì)本發(fā)明進(jìn)行限定。在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可進(jìn)行變更及改良，并可使用對(duì)等物。因此，顯然權(quán)利要求書(shū)所定義的本發(fā)明的宗旨及范疇內(nèi)的全部的變更、改良及對(duì)等物包含于本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.種壓電振動(dòng)片，其特征在于包括: 矩形形狀的激振部，包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長(zhǎng)且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊； 框部，利用在所述第一方向延伸的第一框體及在所述第二方向延伸的第二框體，來(lái)將所述激振部予以包圍，所述第一框體包含:第一厚度的第一區(qū)域、與比所述第一厚度更厚的第二區(qū)域； 連結(jié)部，為所述第一厚度，且將所述激振部的所述第一邊與所述第一框體的第一區(qū)域予以連結(jié)；以及 突起部，在所述連結(jié)部、和所述連結(jié)部與所述連結(jié)部的所述第二方向上所配置的所述激振電極之間的區(qū)域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出， 所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度是:比所述第一區(qū)域的所述第二方向的長(zhǎng)度更長(zhǎng)， 所述突起部的所述第一方向的長(zhǎng)度是:與所述連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)樗鲞B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。
2.種壓電振動(dòng)片，其特征在于包括: 矩形形狀的激振部，包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長(zhǎng)且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊； 框部，將所述激振部予以包圍； 連結(jié)部，將所述激振部的所述第一邊與所述框部予以連結(jié)，且所述連結(jié)部的厚度比所述框部的厚度更薄；以及 突起部，在所述連結(jié)部、和所述連結(jié)部與所述連結(jié)部的所述第二方向上所配置的所述激振電極之間的區(qū)域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出， 所述突起部的所述第一方向的長(zhǎng)度是:與所述連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)樗鲞B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。
3.據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于: 所述連結(jié)部連結(jié)于所述激振部的所述第一邊的中央。
4.據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于: 所述激振部包括:臺(tái)面區(qū)域與周邊區(qū)域， 所述臺(tái)面區(qū)域形成有所述激振電極， 所述周邊區(qū)域形成在所述臺(tái)面區(qū)域的周?chē)?，且所述周邊區(qū)域的厚度比所述臺(tái)面區(qū)域的厚度更薄， 所述周邊區(qū)域的厚度與所述連結(jié)部的厚度相等。
5.種壓電兀件,其特征在于包括: 根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電振動(dòng)片； 蓋板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的一方的主面；以及 基底板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的另一方的主面。
6.種壓電振動(dòng)片,其特征在于包括: 矩形形狀的激振部，包含:兩個(gè)主面、所述兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長(zhǎng)且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框體及在所述第二方向延伸的第二框體，來(lái)將所述激振部予以包圍，所述第一框體包含:第一厚度的第一區(qū)域、與比所述第一厚度更厚的第二區(qū)域；以及 連結(jié)部，為所述第一厚度，且將所述激振部的所述第一邊與所述第一框體的第一區(qū)域予以連結(jié)， 所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度是:比所述第一區(qū)域的所述第二方向的長(zhǎng)度更長(zhǎng)。
7.據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于: 所述連結(jié)部為一個(gè)，且所述連結(jié)部連結(jié)于所述激振部的所述第一邊的中央。
8.據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于: 所述第一區(qū)域包含: 于所述連結(jié)部側(cè)在所述第一方向延伸的第三邊、與所述第一區(qū)域的所述連結(jié)部的相反側(cè)的第四邊， 所述第三邊的長(zhǎng)度是:與所述第四邊的長(zhǎng)度相同、或?yàn)樗龅谒倪叺拈L(zhǎng)度以上。
9.據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于: 所述第一區(qū)域的所述第二方向的長(zhǎng)度為:所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度的一半、或所述第一框體的所述第二方向的長(zhǎng)度的一半以下。
10.種壓電元件，其特 征在于包括: 根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)片； 蓋板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的一方的主面；以及 基底板，接合于所述壓電振動(dòng)片的所述框部的另一方的主面。
全文摘要
一種壓電振動(dòng)片以及壓電元件，所述壓電振動(dòng)片包括矩形形狀的激振部、框部、連結(jié)部、以及突起部。激振部包含兩個(gè)主面上的一對(duì)激振電極、在第一方向延伸的第一邊、以及在第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長(zhǎng)。第二方向與第一方向正交。連結(jié)部將激振部的第一邊與框部予以連結(jié)，且連結(jié)部的厚度比框部的厚度更薄。在連結(jié)部、與連結(jié)部與激振電極之間的區(qū)域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。突起部的第一方向的長(zhǎng)度與連結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度相同、或?yàn)檫B結(jié)部的第一方向的長(zhǎng)度以上。
文檔編號(hào)H03H9/02GK103095243SQ20121043121
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者有路巧, 高橋岳寬 申請(qǐng)人:日本電波工業(yè)株式會(huì)社