專利名稱：振動器件及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有彎曲振動的振動片的振動器件、以及具有該振動器件的電子設(shè)備寸。
背景技術(shù)：
在專利文獻1中公開了一種振動片，該振動片具有基部、和從基部突出形成的振 動臂部(以下稱作振動臂)，在振動臂上形成有槽部，在基部中形成有切入部。此外，在專利文獻2中公開了一種音叉型振子(以下稱作振動片)，該音叉型振子 在設(shè)為U字狀等的音叉前端具有附加值量部分(以下稱作施重部)，并具有向音叉基部的兩 外側(cè)橫向或橫向上方突出的支撐部。專利文獻1日本特開2002-280870號公報專利文獻2日本實公昭51-10755號公報專利文獻1的振動片通過在基部中形成有切入部，能夠緩和從振動臂向基部的漏 振，從而能夠?qū)崿F(xiàn)CI值⑴值)的波動抑制。但是，專利文獻1的振動片不能通過其結(jié)構(gòu)實現(xiàn)Q值自身的提高。專利文獻2的振動片在音叉(以下稱作振動臂)的前端具有施重部，因此能夠?qū)?現(xiàn)Q值的提高而不增長振動臂。但是，專利文獻2的振動片為使支撐部向基部的兩外側(cè)橫向或橫向上方突出的結(jié) 構(gòu)，因此難以不使包含支撐部的基部大型化地實現(xiàn)Q值的提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而提出的，能夠作為如下的形式或者 適用例來實現(xiàn)。[適用例1]本適用例的振動器件的特征在于，所述振動器件具有振動片，所述振 動片具有基部，其在一端與另一端之間具有切入部；從所述基部的所述一端延伸的多個 振動臂，所述多個振動臂具有臂部、位于所述臂部的所述基部側(cè)的相反側(cè)并且寬度比所述 臂部寬的施重部、和沿所述臂部的長度方向設(shè)于所述臂部的兩個主面中的至少一個主面上 的槽部；以及支撐部，其與所述基部的所述另一端連接，所述振動片的機械諧振頻率f比所 述振動片的熱緩和頻率fo大，在將所述切入部的外緣與形成在所述振動臂之間的分叉部 的外緣之間的最接近距離設(shè)為基部彎曲寬度ffb，將與所述振動臂的所述長度方向正交的面 上的所述振動臂的截面形狀置換為下述矩形形狀時的所述振動臂的臂寬設(shè)為有效臂寬We 時，滿足Wb > We的關(guān)系，其中，所述矩形形狀的熱彈性損失與所述截面形狀等價并且厚度 與所述截面形狀相同。由此，在振動器件中，在振動片的基部的截面上產(chǎn)生的熱彈性損失比在振動臂的 截面上產(chǎn)生的熱彈性損失小，因此能夠抑制起因于基部的熱彈性損失的振動片的Q值劣 化，從而能夠?qū)崿F(xiàn)Q值的提高。
此外，振動器件與后述的適用例2的振動器件相比，反饋的參數(shù)比較少，因此能夠 實現(xiàn)振動片的設(shè)計時間縮短。[適用例2]本適用例的振動器件的特征在于，所述振動器件具有振動片，所述振 動片具有基部，其在一端與另一端之間具有切入部；從所述基部的所述一端延伸的多個 振動臂，所述多個振動臂具有臂部、位于所述臂部的所述基部側(cè)的相反側(cè)并且寬度比所述 臂部寬的施重部、和沿所述臂部的長度方向設(shè)于所述臂部的兩個主面中的至少一個主面上 的槽部；以及支撐部，其與所述基部的所述另一端連接，所述振動片的機械諧振頻率f比所 述振動片的熱緩和頻率fo大，在將所述切入部的外緣與形成在所述振動臂之間的分叉部的 外緣之間的最接近距離設(shè)為基部彎曲寬度ffb，將與所述振動臂的所述長度方向正交的面上 的所述振動臂的截面形狀置換為下述矩形形狀時的所述振動臂的臂寬設(shè)為有效臂寬We，將 伴隨所述切入部的所述外緣與所述分叉部的所述外緣之間的彎曲振動而產(chǎn)生的溫度差設(shè) 為d b，將伴隨所述振動臂的根部中的臂寬方向的兩端之間的彎曲振動而產(chǎn)生的溫度差設(shè) 為d 時，滿足ffb >ffeXd b/d 的關(guān)系，其中，d b < d ，所述矩形形狀的熱彈性損失 與所述截面形狀等價并且厚度與所述截面形狀相同。由此，振動器件在振動片的基部的截面上產(chǎn)生的熱彈性損失比在振動臂的截面上 產(chǎn)生的熱彈性損失小，因此能夠抑制起因于基部的熱彈性損失的振動片的Q值劣化，從而 能夠?qū)崿F(xiàn)Q值的提高。此外，振動器件將在基部上產(chǎn)生的溫度差d b和在振動臂上產(chǎn)生的溫度差d 的 比反映為基部彎曲寬度Wb和有效臂寬We的關(guān)系，因此能夠在比適用例1更寬的范圍中設(shè) 定基部彎曲寬度恥和有效臂寬We。[適用例3]在上述適用例的振動器件中，優(yōu)選所述支撐部具有從所述基部的所述 另一端側(cè)沿與所述振動臂的所述長度方向大致正交的方向延伸的第1突出部、和從該第1 突出部向所述振動臂的延伸方向突出的第2突出部。由此，振動器件能夠抑制相對于振動臂的起因于支撐部的振動阻礙。[適用例4]上述適用例的振動器件優(yōu)選是具有驅(qū)動所述振動片的IC芯片的振蕩
ο由此，對于振動器件，能夠提供起到上述適用例1 3中的任意一項所述效果的諧 振器。[適用例5]本適用例的電子設(shè)備的特征在于，所述電子設(shè)備具有適用例1 4中 的任意一項所述的振動器件。由此，對于電子設(shè)備，能夠提供起到適用例1 4中的任意一項所述效果的電子設(shè)備。


圖1是示出石英振子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，(a)是俯視圖，(b)是截面圖。圖2是針對絕熱區(qū)域進行說明的示意圖。圖3是針對振動臂的有效臂寬進行說明的示意圖。圖4是示出了計算振動臂的有效臂寬的步驟的流程圖。圖5(a) (d)是示出各個變形例的石英振子中的石英振動片的變化的示意圖。
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圖6是示出變形例的石英振子中的石英振動片的變化的示意圖。標(biāo)號說明1 作為振動器件的石英振子；10 作為振動片的石英振動片；11 基部；12、12' 振動臂；1 分叉部；12b 分叉部的外緣；12c —端；12d 另一端；13 支撐部；13a 第1 突出部；1 第2突出部；13'延長支撐部；14 切入部；1 切入部的外緣；15 臂部； 15a、15a'端面；16 施重部；17,18 主面；19 槽部；20 封裝體；21 內(nèi)底面；22 封裝體 基座；23 蓋；24 內(nèi)部電極；25 外底面；26 外部端子；30 導(dǎo)電性粘接劑；110、210、310、 410,510 石英振動片；B 振動方向；C 曲線；Le 振動臂的長度；S10、S20、S30、S40、S50、 S60、S70、S80、S90、S100、S110、S120 步驟；t 振動臂的厚度；W 振動臂的臂寬；Wb 基部彎 曲寬度；We 振動臂的有效臂寬。
具體實施例方式發(fā)明者們鑒于前述課題，為了實現(xiàn)Q值的提高而不增大基部的尺寸(不增大振動 片的整體尺寸)，組合專利文獻1的振動片和專利文獻2的振動片，研究了具有振動臂和基 部的改良振動片，振動臂在前端具有施重部，基部具有切入部。該改良振動片能夠得到某種程度的Q值提高，但是通過發(fā)明者們的分析可知，由 于以下的阻礙因素產(chǎn)生熱彈性損失，從而阻礙了 Q值的進一步提高。(1)在彎曲振動中，通過在振動臂的前端具有施重部，在振動臂之間形成的分叉部 和基部的切入部上產(chǎn)生的變形相對于在振動臂上產(chǎn)生的變形的比率增大。(2)由于在分叉部和切入部上產(chǎn)生的變形，感應(yīng)出相對于基準(zhǔn)溫度的溫度變化。此 時，在分叉部和切入部上產(chǎn)生的變形為正負相反的關(guān)系(在分叉部和切入部的一方上產(chǎn)生 了拉伸應(yīng)力的情況下，在另一方上產(chǎn)生壓縮應(yīng)力的關(guān)系)，因此溫度變化在分叉部和切入部 中也為正負相反的關(guān)系。(3)由于感應(yīng)出的分叉部和切入部的彼此正負相反的溫度變化，產(chǎn)生熱流。(4)由于產(chǎn)生熱流，即從基準(zhǔn)溫度起的溫度變化量隨時間減少或者增大，因此在力 學(xué)上不能取出能夠重新轉(zhuǎn)換為變形的能量。S卩，上述改良振動片在彎曲振動中，由于在振動臂之間形成的分叉部和基部的切 入部上產(chǎn)生的變形而產(chǎn)生熱彈性損失，由此阻礙了 Q值的進一步提高。因此，發(fā)明者們?yōu)榱艘种茻釓椥該p失、實現(xiàn)Q值的進一步提高，創(chuàng)造了本發(fā)明。以下，參照

具體實現(xiàn)本發(fā)明的實施方式。(實施方式)圖1是示出作為振動器件的石英振子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖1(a)是從蓋(蓋 體)側(cè)俯視的俯視圖，圖1(b)是沿圖1(a)中的A-A線的剖視圖。此外，在俯視圖中，為了 方便省略了蓋。如圖1所示，石英振子1具有作為在箭頭B方向上進行彎曲振動的振動片的音叉 型的石英振動片10、和在內(nèi)部收納石英振動片10來進行固定的封裝體20。石英振動片10具有基部11 ；一對振動臂12，它們與基部11 一體形成，并從基部 11的一端側(cè)彼此大致并行地延伸；以及支撐部13，其與基部11 一體形成，并與基部11的另 一端側(cè)連接。
石英振動片10的基部11在一端側(cè)(振動臂12側(cè))和另一端側(cè)(設(shè)置有振動臂 12側(cè)的相反側(cè))之間具有形成比一端側(cè)的寬度(與振動臂12的長度方向正交方向的尺寸) 窄的寬度的一對切入部14。石英振動片10的振動臂12具有臂部15，其位于基部11側(cè)；施重部16，其位于臂 部15的基部11側(cè)的相反側(cè)，寬度比臂部15寬；以及槽部19，其沿著臂部15的長度方向形 成在臂部15的兩個主面17、18上，與振動臂12的長度方向正交的面上的振動臂12的截面 形狀成為大致H字狀。石英振動片10的支撐部13在俯視圖上，以從基部11的另一端側(cè)繞入一對振動臂 12的兩側(cè)的方式，沿振動臂12呈大致U字狀地延伸，在封裝體20的內(nèi)底面21上固定有其 前端附近部分。更具體而言，支撐部13具有從基部11的另一端側(cè)沿與振動臂12的長度方向大致 正交的方向延伸的第1突出部13a、和從第1突出部13a向振動臂12的延伸方向突出的第 2突出部13b。封裝體20由具有凹部的封裝體基座22、和覆蓋封裝體基座22的凹部的蓋23等構(gòu) 成。封裝體基座22使用對陶瓷生片進行成形燒結(jié)而成的氧化鋁質(zhì)燒結(jié)體等。此外，蓋 23使用科瓦鐵鎳鈷合金等金屬、玻璃等。在封裝體基座22的內(nèi)底面21上形成有一對內(nèi)部電極M，在封裝體基座22的外底 面25上形成有一對外部端子26。一對外部端子沈經(jīng)由未圖示的內(nèi)部配線與一對內(nèi)部電極 24連接。此外，內(nèi)部電極M、外部端子沈由金屬覆膜構(gòu)成，金屬覆膜是通過電鍍等在鎢等 的金屬化層上層疊鎳、金等各覆膜而成的。此外，封裝體也可以由平板狀的封裝體基座和具有凹部的蓋等構(gòu)成。此外，封裝體 也可以是封裝體基座和蓋都具有凹部。在石英振動片10中，經(jīng)由混合有金屬填充物等的導(dǎo)電性物質(zhì)的環(huán)氧系、硅系、聚 酰亞胺系等的導(dǎo)電性粘接劑30，將支撐部13接合到封裝體基座22的內(nèi)部電極M上。由此，在石英振動片10中，經(jīng)由內(nèi)部電極M使未圖示的激勵電極與外部端子沈 電連接。此外，作為石英振動片10和內(nèi)部電極M的接合部件，除了導(dǎo)電性粘接劑以外，還 能夠使用金凸塊或軟釬料凸塊等導(dǎo)體凸塊。石英振子1在封裝體基座22的內(nèi)部電極M上接合了石英振動片10后，將蓋23 接合到封裝體基座22上，由此封裝體20的內(nèi)部被氣密密封。此外，蓋23和封裝體基座22的接合通過使用了低熔點玻璃、接合的縫焊等進行。石英振子1從外部經(jīng)由外部端子沈、內(nèi)部電極M、導(dǎo)電性粘接劑30、激勵電極施加 驅(qū)動信號，由此石英振動片10以預(yù)定的頻率(例如32kHz)進行振蕩(諧振)。石英振動片10被設(shè)定為機械諧振頻率f比熱緩和頻率&大(f > f0)。由此，石 英振動片10在絕熱區(qū)域上進行彎曲振動。此處，針對絕熱區(qū)域說明概要。圖2是針對絕熱區(qū)域進行說明的示意圖。根據(jù)一般在由于溫度差而產(chǎn)生的固體的內(nèi)部摩擦的情況下眾所周知的變形與應(yīng)力的關(guān)系式，認(rèn)為熱彈性損失(由于在彎曲振動的振動片的壓縮部和拉伸部之間產(chǎn)生的熱 傳導(dǎo)而產(chǎn)生的振動能的損失)在彎曲振動模式的振動片中，在振動數(shù)(頻率)變化時，Q值 根據(jù)緩和振動數(shù)4= 1/2 π τ (此處，τ是緩和時間，是到基本不產(chǎn)生熱流為止的時間，即 到熱變?yōu)槠胶鉅顟B(tài)為止的時間)而達到極小。一般，已知緩和振動數(shù)fm利用下式求出。fm = Ji k/ (2 P Cpa2)其中，π表示圓周率，k表示振動臂的振動方向(彎曲振動方向)的熱傳遞率，P 表示振動臂的質(zhì)量密度，Cp表示振動臂的熱容量，a表示振動臂的振動方向(彎曲振動方 向)的寬度。一般性表示該Q值與頻率的關(guān)系時，變成圖2所示的曲線C。在圖2中，Q值達到 極小的頻率是熱緩和頻率fo。此外，以f/% = 1為界，諧振頻率f比熱緩和頻率&大的、頻率高的區(qū)域(1 < f/ f0)是絕熱區(qū)域，頻率低的區(qū)域(1 > f/f0)是等溫區(qū)域。此外，石英振動片10優(yōu)選滿足下式的關(guān)系。此處，&表示振動臂12以平板結(jié)構(gòu)為基準(zhǔn)時的熱緩和頻率，f\表示以在振動臂12 中形成有槽部19的結(jié)構(gòu)為基準(zhǔn)時的熱緩和頻率。通過滿足該關(guān)系，石英振動片10的振動臂12等的形狀設(shè)定范圍比f > f0的關(guān)系
覓ο在石英振動片10中，在將切入部14的外緣1 與形成在一對振動臂12之間的分 叉部1 的外緣12b之間的最接近距離設(shè)為基部彎曲寬度ffb，將與振動臂12的長度方向正 交的面上的振動臂12的截面形狀置換為熱彈性損失等價的相同厚度的矩形形狀時的振動 臂12'的臂寬設(shè)為有效臂寬We，將伴隨切入部14的外緣1 與分叉部12a的外緣12b之 間的彎曲振動產(chǎn)生的溫度差設(shè)為d Θ b，將伴隨振動臂12的根部中的臂寬W方向的兩端(一 端12c、另一端12d)之間的彎曲振動產(chǎn)生的溫度差設(shè)為dθ時，滿足ffb >ffeXd b/d 的 關(guān)系，其中，d b< d 。此處，針對石英振動片10的振動臂12的有效臂寬We進行說明。圖3是針對振動臂的有效臂寬進行說明的示意圖，圖4是示出了計算振動臂的有 效臂寬的步驟的流程圖。如圖3所示，振動臂12的有效臂寬We是指，將與振動臂12的長度方向正交的面 上的振動臂12的實際截面形狀(此時為大致H字狀的截面形狀)置換為產(chǎn)生與在該截面 形狀上產(chǎn)生的熱彈性損失相等的熱彈性損失，厚度t相同的矩形形狀，并且將振動臂12整 體置換為棱柱狀的振動臂12'時的振動臂12'的臂寬We。此外，在置換時將振動臂12'的長度Le調(diào)整為振動臂12的諧振頻率f與振動臂 12'的諧振頻率fe相等。此處，參照圖3、圖4針對計算振動臂12的有效臂寬We的步驟進行說明。步驟SlO 首先，根據(jù)實際的振動臂12的形狀，將基部11側(cè)的端面15a設(shè)為固定 條件，計算僅考慮了熱彈性損失的Q值％和諧振頻率f。此外，使用有限要素法計算Q值。步驟S20 接著，將截面形狀設(shè)為矩形的矩形截面形狀的振動臂12'的基部11側(cè)的端面15a'設(shè)為固定條件，設(shè)定臨時的長度Le，計算諧振頻率fe。步驟S30 接著，確認(rèn)矩形截面形狀的振動臂12'的諧振頻率fe是否與在步驟 SlO中計算出的實際的振動臂12的諧振頻率f相同。在相同的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S40，在不同的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S70。步驟S40:接著，將矩形截面形狀的振動臂12'的基部11側(cè)的端面15a'設(shè)為固 定條件，計算僅考慮了熱彈性損失的Q值Qe。步驟S50 接著，確認(rèn)矩形截面形狀的振動臂12 ‘的Q值Qe是否與在步驟SlO中 計算出的實際的振動臂12的Q值( 相同。在相同的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S60，在不同的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S100。步驟S60 矩形截面形狀的振動臂12 ‘的Q值Qe與實際的振動臂12的Q值％相 同，因此用當(dāng)前的值確定有效臂寬We。步驟S70 接著，確認(rèn)矩形截面形狀的振動臂12'的諧振頻率fe是否大于(高于) 實際的振動臂12的諧振頻率f。在大于的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S80，在小于等于(低于)的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟 S90。步驟S80 將矩形截面形狀的振動臂12'的長度Le設(shè)定得比當(dāng)前的值長，并轉(zhuǎn)移 到步驟S20。步驟S90 將矩形截面形狀的振動臂12'的長度Le設(shè)定得比當(dāng)前的值短，并轉(zhuǎn)移 到步驟S20。步驟SlOO 確認(rèn)矩形截面形狀的振動臂12'的Q值Qe是否大于實際的振動臂12 的0值％。在大于的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S110，在小于等于的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S120。步驟SllO 將矩形截面形狀的振動臂12'的臂寬(有效臂寬)We設(shè)定得比當(dāng)前的 值窄，并轉(zhuǎn)移到步驟S20。步驟S120 將矩形截面形狀的振動臂12'的臂寬(有效臂寬)We設(shè)定得比當(dāng)前的 值寬，并轉(zhuǎn)移到步驟S20。如上所述，在到達步驟S60以前，通過執(zhí)行各步驟來計算石英振動片10的振動臂 12的有效臂寬We。此處，針對溫度比(d θ b/d θ )進行說明。通過測定伴隨石英振動片10的彎曲振動的變形，并求出產(chǎn)生了變形的部分的絕 對溫度和基準(zhǔn)絕對溫度的差來計算溫度差d b、d 。用日本特開平10-1855 號公報公開的測定方法、或通過激光多普勒裝置等測定 石英振動片10的位移的空間分布的方法來測定石英振動片10的變形。變形、是位移的空間微分，因此用下述式子表示。
1 (5u,、Skl =--L + ~L
2VdxI d^kJ此處，將k、1設(shè)為與空間坐標(biāo)X、y以及Z對應(yīng)的1 3的整數(shù)(下式的下標(biāo)也同 樣如此)。在用熵不增大的條件進行近似的情況下，如果產(chǎn)生變形、的部分的絕對溫度
8Θ ‘和基準(zhǔn)絕對溫度θ的差θ = θ ‘ -θ，則通過下述式(1)計算θ。其中，在式(1) 中，針對各下標(biāo)應(yīng)用加法規(guī)則。 Θ
權(quán)利要求
1.一種振動器件，其特征在于，所述振動器件具有振動片，所述振動片具有 基部，其在一端與另一端之間具有切入部；從所述基部的所述一端延伸的多個振動臂，所述多個振動臂具有臂部、位于所述臂部 的所述基部側(cè)的相反側(cè)并且寬度比所述臂部寬的施重部、和沿所述臂部的長度方向設(shè)于所 述臂部的兩個主面中的至少一個主面上的槽部；以及 支撐部，其與所述基部的所述另一端連接， 所述振動片的機械諧振頻率f比所述振動片的熱緩和頻率fo大， 在將所述切入部的外緣與形成在所述振動臂之間的分叉部的外緣之間的最接近距離 設(shè)為基部彎曲寬度ffb，將與所述振動臂的所述長度方向正交的面上的所述振動臂的截面形 狀置換為下述矩形形狀時的所述振動臂的臂寬設(shè)為有效臂寬We時，滿足Wb > We的關(guān)系， 其中，所述矩形形狀的熱彈性損失與所述截面形狀等價并且厚度與所述截面形狀相同。
2.一種振動器件，其特征在于，所述振動器件具有振動片，所述振動片具有 基部，其在一端與另一端之間具有切入部；從所述基部的所述一端延伸的多個振動臂，所述多個振動臂具有臂部、位于所述臂部 的所述基部側(cè)的相反側(cè)并且寬度比所述臂部寬的施重部、和沿所述臂部的長度方向設(shè)于所 述臂部的兩個主面中的至少一個主面上的槽部；以及 支撐部，其與所述基部的所述另一端連接， 所述振動片的機械諧振頻率f比所述振動片的熱緩和頻率&大， 在將所述切入部的外緣與形成在所述振動臂之間的分叉部的外緣之間的最接近距離 設(shè)為基部彎曲寬度Wb，將與所述振動臂的所述長度方向正交的面上的所述振動臂的截面 形狀置換為下述矩形形狀時的所述振動臂的臂寬設(shè)為有效臂寬We，將伴隨所述切入部的所 述外緣與所述分叉部的所述外緣之間的彎曲振動而產(chǎn)生的溫度差設(shè)為d Θ b，將伴隨所述振 動臂的根部中的臂寬方向的兩端之間的彎曲振動而產(chǎn)生的溫度差設(shè)為d 時，滿足Wb > WeXd@b/d 的關(guān)系，其中，d b<d ，所述矩形形狀的熱彈性損失與所述截面形狀等價 并且厚度與所述截面形狀相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動器件，其特征在于，所述支撐部具有從所述基部的所述另一端側(cè)沿與所述振動臂的所述長度方向大致正 交的方向延伸的第1突出部、和從該第1突出部向所述振動臂的延伸方向突出的第2突出 部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中的任意一項所述的振動器件，其特征在于，所述振動器件是具 有驅(qū)動所述振動片的IC芯片的振蕩器。
5.一種電子設(shè)備，其特征在于，所述電子設(shè)備具有權(quán)利要求1 4中的任意一項所述的 振動器件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠提高Q值的振動器件及電子設(shè)備。石英振動片具有基部和振動臂，基部具有切入部，振動臂具有臂部、施重部和槽部，石英振動片的諧振頻率f比熱緩和頻率f0大，在將切入部的外緣與形成在一對振動臂之間的分叉部的外緣之間的最接近距離設(shè)為基部彎曲寬度Wb，將與振動臂的長度方向正交的面上的振動臂的截面形狀置換為熱彈性損失等價的相同厚度的矩形形狀時的振動臂的臂寬設(shè)為有效臂寬We，將切入部的外緣與形成在一對振動臂之間的分叉部的外緣之間的溫度差設(shè)為dΘb，將振動臂的根部中的臂寬W方向的兩端(一端12c、另一端12d)之間的溫度差設(shè)為dΘ時，Wb＞W(wǎng)e×dΘb/dΘ，其中，dΘb＜dΘ。
文檔編號H03H9/21GK102064793SQ20101054241
公開日2011年5月18日 申請日期2010年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月11日
發(fā)明者山田明法 申請人:精工愛普生株式會社