專(zhuān)利名稱(chēng)：壓電振動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造壓電振動(dòng)裝置的技術(shù)，該壓電振動(dòng)裝置采用由水晶構(gòu)成的 壓電基板且具有支撐臺(tái)。
背景技術(shù)：
以往，在表或家電產(chǎn)品、各種信息通信機(jī)器或O A機(jī)器等的民生、產(chǎn)業(yè)用電子 機(jī)器中，作為其電子電路的時(shí)鐘源，廣泛使用將壓電振子、壓電振動(dòng)片和I C芯片 一同封裝在同一包裝件內(nèi)的振蕩器或?qū)崟r(shí)時(shí)鐘模塊等的壓電裝置。最近，隨著搭載 了這些壓電裝置的電子機(jī)器的小型化、薄型化，這些壓電裝置要求進(jìn)一步小型化、 薄型化。另外，還要求能夠確保低C I (晶體阻抗)值、高品質(zhì)且安全性?xún)?yōu)良的壓 電裝置。壓電振動(dòng)裝置在底板上固定壓電振動(dòng)片之際，通過(guò)導(dǎo)電性粘合劑粘接于底 板。若將該壓電振動(dòng)片固定于底板，在壓電振動(dòng)片上產(chǎn)生應(yīng)力等，則有可能使溫度 特性以及C I值上升、或使C I值的偏差以及D L D (Drive level d印endency、激 勵(lì)電平依賴(lài)性)特性變大。
在專(zhuān)利文獻(xiàn)l (日本特開(kāi)2007-195138)中公開(kāi)的壓電振動(dòng)片通過(guò)支撐臺(tái)保持在 包裝件的底板上。即，專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)了一種通過(guò)具有支撐臺(tái)，抑制了壓電振動(dòng)片 固定于底板時(shí)的應(yīng)力、或者封裝時(shí)的應(yīng)力施加于壓電振動(dòng)片的情況的技術(shù)。
但是，相應(yīng)于進(jìn)一步小型化的需求，有必要設(shè)定最合適的導(dǎo)電性粘合劑的涂布 區(qū)域以及涂布量。若僅具有支撐臺(tái)，則有時(shí)因?qū)щ娦哉澈蟿┑臄U(kuò)散，具有DLD無(wú) 法充分變小的情況，或者具有C I值上升或產(chǎn)生C I值的偏差的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于解決上述課題，提供一種溫度特性、CI值以及頻率穩(wěn)定的壓 電振動(dòng)裝置。
第一觀點(diǎn)所述壓電裝置具有底板、固定于底板上的支撐部件、以及具有激發(fā)電 極的壓電振動(dòng)片；其中，所述底板具有導(dǎo)通于外部電極的第一連接電極；所述支撐
3部件具有形成在其第一面且與第一連接電極連接的第二連接電極、以及形成在其第 一面的反對(duì)面上且與第二連接電極導(dǎo)通的第三連接電極；所述壓電振動(dòng)片通過(guò)涂布 在第三連接電極上的粘合劑固定于支撐部件上。而且，壓電裝置在第三連接電極的 所定方向上形成有凹部，以便使粘合劑不會(huì)向壓電振動(dòng)片的所定區(qū)域擴(kuò)散。
通過(guò)這樣的構(gòu)成，在大量涂布粘合劑的情況，粘合劑會(huì)流入凹部。因此，粘合 劑不會(huì)向壓電振動(dòng)片的激發(fā)電極側(cè)擴(kuò)散。
第二觀點(diǎn)所述壓電裝置中，支撐部件為矩形形狀，第三連接電極設(shè)置在矩形形 狀的四個(gè)角。
根據(jù)第二觀點(diǎn)的壓電裝置，能夠無(wú)需考慮地配置支撐部件的左右。 第三觀點(diǎn)所述壓電裝置中，支撐部件為矩形形狀，第三連接電極設(shè)置在矩形形 狀的至少一個(gè)邊。
根據(jù)第三觀點(diǎn)的壓電裝置無(wú)需設(shè)置多余的連接電極，因此能夠降低制造成本。 第四觀點(diǎn)所述壓電裝置中，粘合劑為導(dǎo)電性粘合劑，第三連接電極和激發(fā)電極
通過(guò)導(dǎo)電性粘合劑進(jìn)行導(dǎo)通。
第五觀點(diǎn)所述壓電裝置中，第三連接電極和激發(fā)電極通過(guò)引線接合進(jìn)行導(dǎo)通。 第六觀點(diǎn)所述壓電裝置中，在支撐部件的矩形形狀的長(zhǎng)度方向上，第一連接電
極和第三連接電極相隔該壓電裝置長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度的10%以上。
通過(guò)第一連接電極的接合位置和第三連接電極的接合位置相間隔，能夠減少因
固化引起的變形應(yīng)力的影響。由此，在接合之際，其頻率變動(dòng)變小，能夠制造頻率
穩(wěn)定的壓電裝置。 發(fā)明效果
即使小型化本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置，也能夠降低CI值的惡化。另外，該壓電 裝置能夠響應(yīng)小型化的要求。


圖1 a是實(shí)施例1所述第一壓電振動(dòng)裝置5 0 。
圖lb是圖la所示第一壓電振動(dòng)裝置5 0的B — B剖面圖。
圖2 a是實(shí)施例2所述第二壓電振動(dòng)裝置5 5 。
圖2b是圖2a所示第二壓電振動(dòng)裝置5 5的A — A剖面圖。
圖3是表示因距離J L的距離不同而引起的回流前后的頻率的變化量的圖。
4圖4是表示形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a和不具有凸部的支撐臺(tái)1 0 6的圖。
圖5是表示用C I值比較了分別使用了形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a和不具有 凸部的支撐臺(tái)l 0 6的AT切割水晶振動(dòng)片4 0的溫度特性的表。
圖6是比較了使用了形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a和不具有凸部的支撐臺(tái)1 0 6的第一壓電振動(dòng)裝置5 0的D L D特性的表。
圖7a是變形例l的支撐臺(tái)6 b的主視圖以及側(cè)視圖。
圖7b是變形例2的支撐臺(tái)6 c的主視圖以及側(cè)視圖。
圖8是變形例3的支撐臺(tái)6 d的主視圖以及側(cè)視圖。
圖9a是變形例4的支撐臺(tái)6 e的主視圖以及側(cè)視圖。
圖9b是變形例5的支撐臺(tái)6 f的主視圖以及側(cè)視圖。
圖10a是變形例6的支撐臺(tái)6 g的主視圖以及側(cè)視圖。
圖10b是變形例7的支撐臺(tái)6 h的主視圖以及側(cè)視圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
3…底板
6a， 6b， 6c， 6d， 6e， 6f， 6g， 6h， …支撐臺(tái)
2 0…音叉型水晶振動(dòng)片
21…振動(dòng)臂
2 3 a…第一基部電極
2 3 d…第一激發(fā)電極
2 5 a…第二基部電極
2 5 d…第二激發(fā)電極
2 7…密封材料
2 8…蓋
2 9…基部
3 0…錘部
3 1…外部電極
3 5…第一連接電極
3 6 第二連接電極
3 7…第三連接電極
4 0… AT切割水晶振動(dòng)片41 …第一激發(fā)電極
4 3 …第二激發(fā)電極
4 5 …引出電極
5 0 …第一壓電振動(dòng)裝置
5 5 …第二壓電振動(dòng)裝置
6 1,62…導(dǎo)電性粘合劑 6 3 …底板用粘合劑
6 5 …凸部
6 6 …切入部
6 7 …槽部
6 8 …狹縫
2 11 …槽部
j L …第一連接電極和第三連接電極之間接合的距離
具體實(shí)施方式
<實(shí)施例1>
圖la表示實(shí)施例l所述第一壓電振動(dòng)裝置5 0 。圖lb是圖la的B — B剖面圖。 如圖la以及圖lb所示，第一壓電振動(dòng)裝置5 0由AT切割水晶振動(dòng)片4 0 、保持 A T切割水晶振動(dòng)片4 0的底板3 、用于密封封裝的蓋2 8 、以及支撐臺(tái)6 a構(gòu)成。 第一壓電振動(dòng)裝置5 0在由底板3和蓋2 8形成的空間中安裝有AT切割水晶振動(dòng) 片4 0 。
AT切割是相對(duì)于結(jié)晶軸(XYZ)的Y軸，主面(YZ面)以X軸為中心， 從Z軸向Y軸方向傾斜了3 5度1 5分的切割角度。以下，在表示AT切割水晶振 動(dòng)片的軸方向之際，通常將傾斜的新的軸分別表示為Y'軸以及Z'軸。如圖la以及 圖lb所示，AT切割水晶振動(dòng)片4 0的X方向兩端部實(shí)施了倒角、凸面等的端面處 理，在第一主面上形成有第一激發(fā)電極4 1 ，以及在第二主面上形成有第二激發(fā)電 極4 3。第一激發(fā)電極4 l與引出電極4 5相連接，第二激發(fā)電極4 3與形成在第 二主面?zhèn)鹊囊鲭姌O4 5相連接。若向其中施加電壓，則AT切割水晶振動(dòng)片4 0 以所定的頻率震動(dòng)。
如圖la以及圖lb所示的AT切割水晶振動(dòng)片4 0是實(shí)施了端面加工的低頻振 動(dòng)片，但也可以通過(guò)導(dǎo)電性粘合劑61將沒(méi)有實(shí)施端面處理的高頻A T切割水晶振動(dòng)
6片固定于支撐臺(tái)6 a上。此外，倒臺(tái)形的A T切割水晶振動(dòng)片也同樣可以固定于支 撐臺(tái)6 a上。
底板3例如由陶瓷形成，層疊多張?zhí)沾善?，在成為箱體的狀態(tài)下燒結(jié)而成。在 底板3的內(nèi)面底部形成有第一連接電極3 5，在底板3的外側(cè)底部形成有外部電極 3 1 。第一連接電極3 5與外部電極3 1導(dǎo)通。通過(guò)使用這樣的底板3 ，第一壓電 振動(dòng)裝置5 0能夠進(jìn)行表面安裝(SMD: Surface Mount Device)。關(guān)于底板3 的大小，X方向的長(zhǎng)度為5. Omm左右，Z'方向的長(zhǎng)度為3. Omm左右。
支撐臺(tái)6 a由矩形形狀的水晶構(gòu)成，如圖lb所示，在四個(gè)角上形成有凸部6 5 。 關(guān)于支撐臺(tái)6 a的大小，X方向的長(zhǎng)度為3 . 4 mm左右，Z '方向的長(zhǎng)度為1 . 8 mm左右。支撐臺(tái)6 a的厚度(Y'方向)約為0 . 1 6 mm,凸部的高度為0 . 0 6 mm左右。支撐臺(tái)6 a在一對(duì)凸部6 5的上面具有第三連接電極3 7 ，在支撐臺(tái) 6 a的底面具有第二連接電極3 6 。這些第二連接電極3 6以及第三連接電極3 7 由在鉻層上重疊了金層的金屬層構(gòu)成，其分別導(dǎo)通。
如圖lb所示，通過(guò)涂布于底板3的第一連接電極3 5上的兩處導(dǎo)電性粘合劑6 2和在支撐臺(tái)6 a的中央涂布于底板3上的一處底板用粘合劑6 3固定支撐臺(tái)6 a。另外，AT切割水晶振動(dòng)片4 0和支撐臺(tái)6 a使用導(dǎo)電性粘合劑61而被固定。
在固定之際，例如在將支撐臺(tái)6 a搭載在涂布于底板3上的兩處導(dǎo)電性粘合劑 6 2和一處底板用粘合劑6 3上的狀態(tài)下，使導(dǎo)電性粘合劑62和底板用粘合劑6 3固化。底板3和AT切割水晶振動(dòng)片4 0和支撐臺(tái)6 a使用導(dǎo)電性粘合劑6 l以 及導(dǎo)電性粘合劑6 2進(jìn)行電接合及機(jī)械接合，由底板用粘合劑6 3進(jìn)行接合。
由此，通過(guò)支撐臺(tái)6a，從第三連接電極3 7接合至外部電極3 1 ， AT切割 水晶振動(dòng)片4 0的引出電極4 5電連接于底板3的外部電極3 1。除了圖1 a及圖 lb所說(shuō)明的方法之外，也可以構(gòu)成為在導(dǎo)電性粘合劑6 1中使用非非導(dǎo)電性粘合劑， 通過(guò)引線接合連接第三連接電極3 7和A T切割水晶振動(dòng)片4 Q的引出電極4 5 ， AT切割水晶振動(dòng)片4 0與底板3的外部電極3 l導(dǎo)通。
另外，如圖lb所示，第一連接電極3 5的導(dǎo)電性粘合劑6 l和第三連接電極3 7的導(dǎo)電性粘合劑6 2的接合位置在X方向上僅相隔距離J L 。距離J L優(yōu)選為 0. 5mm以上，優(yōu)選以底板3的長(zhǎng)度為基準(zhǔn)，相對(duì)于長(zhǎng)度接合位置相隔l 0%以上。
<實(shí)施例2 〉
圖2a在本實(shí)施例的第二壓電振動(dòng)裝置5 5中拆卸了蓋2 8的圖。圖2b是圖2a
7的B — B剖面圖。在圖2中，與圖1相同符號(hào)的部件是具有同樣功能及構(gòu)成的部件。 如圖2a以及圖2b所示，第二壓電振動(dòng)裝置5 5由音叉型水晶振動(dòng)片2 0 、保 持音叉型水晶振動(dòng)片2 0的底板3 、用于密封封裝的蓋2 8 、以及支撐臺(tái)6 a構(gòu)成。 第二壓電振動(dòng)裝置5 5在由底板3和蓋2 8形成的空間上安裝有音叉型水晶振動(dòng)片 2 0 。音叉型水晶振動(dòng)片2 0是如在3 2. 7 6 8 k H z上產(chǎn)生信號(hào)的振動(dòng)片，例 如Y方向的長(zhǎng)度為l. 4 5mm左右，X方向的長(zhǎng)度為O. 5mm左右，Z方向的 厚度為0 . lmm左右。
圖2a所示，音叉型水晶振動(dòng)片2 Q具有從基部2 9大致水平地延伸的一對(duì)振動(dòng) 臂2 1 。在振動(dòng)臂2 1的表里兩面形成有槽部2 1 1 。槽部2 1 1的深度相對(duì)于厚 度為3 0 %到4 5%左右。槽部2 1 1的剖面大致形成為H型，槽部2 1 l具有降 低音叉型水晶振動(dòng)片2 O的C I值的效果。另外，在本實(shí)施例中，在一根振動(dòng)臂的 兩處形成有槽部2 1 1 ，但也可以在一處或者多處形成有槽部2 1 1 ，同樣也具有 降低CI值的效果。
音叉型水晶振動(dòng)片2 0的基部2 9整體形成為板狀。基部2 9寬度向兩個(gè)階段 擴(kuò)張。在振動(dòng)臂2 l振動(dòng)之際，即使產(chǎn)生具有垂直方向成分的振動(dòng)，通過(guò)其形狀， 可以緩和振動(dòng)臂2 1的振動(dòng)從基部2 9向支撐臺(tái)6 a的流入的振動(dòng)。
音叉型水晶振動(dòng)片2 Q在第一主面以及第二主面上形成有第一激發(fā)電極2 3 d 以及第二激發(fā)電極2 5 d。第一激發(fā)電極2 3 d與形成在基部2 9的第一引出電極 2 3 a連接，第二激發(fā)電極2 5 d與形成在基部2 9的第二引出電極2 5 a連接。 若向第一引出電極2 3 a以及第二引出電極2 5 a施加電壓，則音叉型水晶振動(dòng)片 2 0以所定的頻率振動(dòng)。另外，在音叉型水晶振動(dòng)片2 0的振 動(dòng)臂2 1的前端形成 有錘部3 0 。音叉型水晶振動(dòng)片2 0的錘部3 0是用于使振動(dòng)臂2 1的振動(dòng)變得容 易的錘，且為了調(diào)整頻率而設(shè)置。
音叉型水晶振動(dòng)片2 0的第一引出電極2 3 a以及第二引出電極2 5 a 、第一 激發(fā)電極2 3 d以及第二激發(fā)電極2 5 d 、以及錘部3 0是在1 5 0埃 7 0 0埃 的鉻(C r )層上形成了 4 0 Q埃 2 Q 0 0埃的金(A u )層的構(gòu)成。
底板3例如由陶瓷構(gòu)成，關(guān)于底板3的大小，Y方向的長(zhǎng)度為5. Omm左右、 X方向的長(zhǎng)度為3. 2mm左右。另外，支撐臺(tái)6 a由矩形形狀的水晶構(gòu)成，圖2b 所示在四個(gè)角上形成有凸部65。關(guān)于支撐臺(tái)6a的大小，Y方向的長(zhǎng)度為3. 4 mm左右、X方向的長(zhǎng)度為1 . 8 mm左右。圖2所示支撐臺(tái)6 a在兩對(duì)凸部6 5的上面具有第三連接電極3 7。由此，形成于支撐臺(tái)6 a底面的第二連接電極3 6 向兩側(cè)延伸。
第一引出電極2 3 a以及第二引出電極2 5 a與底板3的外部電極3 1電連 接。除了圖2所說(shuō)明的方法之外，也可以在導(dǎo)電性粘合劑6 l中使用非導(dǎo)電性粘合 劑，通過(guò)引線接合連接第三連接電極3 7和音叉型水晶振動(dòng)片2 0 ，由此音叉型水 晶振動(dòng)片2 0與底板3的外部電極3 1導(dǎo)通。
與實(shí)施例l相同，第一連接電極3 5的導(dǎo)電性粘合劑6 l和第三連接電極3 7 的導(dǎo)電性粘合劑6 2之間的距離J L，以底板3的長(zhǎng)度為基準(zhǔn)，優(yōu)選相隔1 0%以上。
<由粘合劑固化引起的頻率的變化量>
圖3是表示圖1所示第一壓電振動(dòng)裝置5 Q在回流爐中固化粘合劑前后的頻率 的變化量的圖。圖3的縱軸的頻率變化量d f / f ( P p m)表示用頻率的變化量 (H z )除以水晶振子的頻率(H z )的百分比。
在圖3中，比較了第一連接電極3 5和第三連接電極3 7之間的接合位置的距 離JL為O. Omm的情況、0. 5mm的情況、0. 8mm的情況。將各自的試 料在2 6 0 ° C進(jìn)行兩次l O秒的回流，比較了回流前后的頻率的變化量。當(dāng)距離 JL為O. Omm的情況，約為一 1. 7 p p m，當(dāng)距離J L為0 . 5mm的情況， 約為一 0 . 3 p p m，當(dāng)距離J L為0 . 8 mm的情況，為+ 0 . 4 p p m。這樣 根據(jù)距離JL的不同，頻率的變化量也不同。
若第一連接電極3 5和第三連接電極3 7之間的距離J L過(guò)近，則音叉型水晶 振動(dòng)片2 0容易受將音叉型水晶振動(dòng)片2 0安裝于底板3時(shí)的導(dǎo)電性粘合劑6 1 、 導(dǎo)電性粘合劑6 2以及底板用粘合劑6 3固化之際產(chǎn)生的變形應(yīng)力。通過(guò)使第一連 接電極3 5和第三連接電極3 7之間的距離J L充分，能夠緩和變形應(yīng)力。距離J L優(yōu)選為O. 5mm以上。若距離J L為0 . 5mm以上，則雖然頻率的變化量不 同但沒(méi)有大的變化。
<支撐臺(tái)6 a >
圖4a以及4b是表示形成了凸部6 5的支撐臺(tái)6 a和不具有凸部的支撐臺(tái)1 0 6的主視圖以及側(cè)視圖。
在實(shí)施例1以及實(shí)施例2中，使用了在四個(gè)角上形成了凸部6 5的支撐臺(tái)6 a 。 如圖4a所示，該支撐臺(tái)6 a的凸部6 5切片加工或切削加工矩形形狀的水晶而成。 支撐臺(tái)6 a在凸部6 5的上面具有第三連接電極3 7 ，第三連接電極3 7與支撐臺(tái)6 a底面的第二連接電極3 6導(dǎo)通。
音叉型水晶振動(dòng)片2 0或AT切割水晶振動(dòng)片4 O僅具有一對(duì)激發(fā)電極，所以 可以?xún)H準(zhǔn)備一對(duì)第三連接電極3 7。但是通過(guò)在四個(gè)角上形成凸部6 5，左右對(duì)稱(chēng) 地形成支撐臺(tái)6 a，能夠使支撐臺(tái)6 a載置于底板3的制造工序中的排列作業(yè)變得 容易。
通過(guò)未圖示的涂布器將導(dǎo)電性粘合劑6 l涂布于一對(duì)第三連接電極3 7上。雖 然導(dǎo)電性粘合劑6 l的涂布量受限，但是涂布于第三連接電極3 7的涂布量有所變 動(dòng)。圖4a以及圖4b表示大量涂布了導(dǎo)電性粘合劑6 1的狀態(tài)。
如圖4 b所示，若在大量涂布有導(dǎo)電性粘合劑6 l的狀態(tài)的、不具有凸部的支 撐臺(tái)1 0 6上載置AT切割水晶振動(dòng)片4 0 (圖1 a)或者音叉型水晶振動(dòng)片2 0 (圖 2a)，則導(dǎo)電性粘合劑6 1向著AT切割水晶振動(dòng)片4 G或者音叉型水晶振動(dòng)片2
0的激發(fā)電極側(cè)擴(kuò)散。
一方面，如圖4a所示的支撐臺(tái)6 a的第三連接電極3 7設(shè)置有凸部6 5 。因此， 即使導(dǎo)電性粘合劑6 l的涂布量多，多余的導(dǎo)電性粘合劑6 l通過(guò)凸部6 5而向下 流入，所以不會(huì)向AT切割水晶振動(dòng)片4 0或者音叉型水晶振動(dòng)片2 O的激發(fā)電極 側(cè)擴(kuò)散。因此若使用形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a，則能夠得到溫度特性、C I值 以及頻率穩(wěn)定的第一壓電振動(dòng)裝置5 0以及第二壓電振動(dòng)裝置5 5。
圖5是用C I值比較了采用形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a和不具有凸部的支撐 臺(tái)1 0 6的A T切割水晶振動(dòng)片4 0的溫度特性的表。該表的縱軸表示C I值(Q )， 橫軸表示溫度(° C)。使用了形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a時(shí)的溫度特性由實(shí)線 A表示，使用了不具有凸部的支撐臺(tái)1 Q 6時(shí)的溫度特性由虛線B表示。
使用了不具有凸部的支撐臺(tái)1 Q 6的A T切割水晶振動(dòng)片4 Q的原始C I值 大，因溫度変化引起的C I值的偏差也大。這是因?yàn)樵诓痪哂型共康闹闻_(tái)1 0 6 的第三連接電極3 7上大量涂布導(dǎo)電性粘合劑6 1，在粘合AT切割水晶振動(dòng)片4 O之際，無(wú)法控制導(dǎo)電性粘合劑6 l的擴(kuò)散。 一方面，使用了形成有凸部6 5的支 撐臺(tái)6 a的AT切割水晶振動(dòng)片4 O的C I值小，因溫度変化引起的偏差也小。這 是因?yàn)榧词箤?dǎo)電性粘合劑6 l擴(kuò)散，多余的導(dǎo)電性粘合劑6 l通過(guò)凸部6 5向下流 入，所以不會(huì)對(duì)AT切割水晶振動(dòng)片4 Q造成影響。
圖6是比較了使用形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a和不具有凸部的支撐臺(tái)1 0 6 的第一壓電振動(dòng)裝置5 Q的D L D (Drive level d印endency、激勵(lì)電平依賴(lài)性)特性的圖。橫軸表示AC I值，該AC I值表示向第一壓電振動(dòng)裝置5 0施加5 0 U A的電流，將電流最大加大至5 m A后，重新返回到5 0uA時(shí)，最初50iiA時(shí) 的C I值和返回到5 0 ii A時(shí)的C I值之間的差?？v軸表示發(fā)生個(gè)數(shù)。另外，在制 造第一壓電振動(dòng)裝置5 Q之際，無(wú)需特意控制從涂布器涂布大量的導(dǎo)電性粘合劑6 1，只要涂布適量的導(dǎo)電性粘合劑61即可。
對(duì)1 2 0個(gè)第一壓電振動(dòng)裝置5 0 ，分別施加從5 0 y A到5 0 mA的電流， 再返回到5 0 y A。變動(dòng)的AC I值為0 . 2 Q ,但多達(dá)7 1個(gè)，大部分第一壓電 振動(dòng)裝置5 0的AC I值均在0 . 4Q以下。
一方面，同樣對(duì)使用了沒(méi)有凸部加工的支撐臺(tái)1 Q 6的1 2 Q個(gè)壓電振動(dòng)裝置 施加了電流。使用了沒(méi)有凸部加工的支撐臺(tái)1 Q 6的1 2 Q個(gè)壓電振動(dòng)裝置在從 0. 2Q到0. 9Q的范圍內(nèi)具有偏差，整體的平均差，偏差也大。
從圖5以及圖6的結(jié)果可知，使用了形成有凸部6 5的支撐臺(tái)6 a的第一壓電 振動(dòng)裝置5 O相比于不具有凸部的壓電裝置，溫度特性、CI值穩(wěn)定。
<支撐臺(tái)的變形例>
圖7至圖1 0為圖4所示支撐臺(tái)6 a的變形例。在任意變形例中，均為導(dǎo)電性 粘合劑6 l不會(huì)向音叉型水晶振動(dòng)片2 0或者AT切割水晶振動(dòng)片4 O的激發(fā)電極 側(cè)擴(kuò)散的支撐臺(tái)6。對(duì)于與圖4相同的部件，采用相同的符號(hào)。
圖7 a是變形例l所述支撐臺(tái)6 b的主視圖以及側(cè)面圖。在支撐臺(tái)6 b—邊的 兩個(gè)角形成一對(duì)凸部6 5 。支撐臺(tái)6 b在凸部6 5的上面具有第三連接電極3 7 ， 在支撐臺(tái)6 b的底面具有第二連接電極3 6。音叉型水晶振動(dòng)片2 O或AT切割水 晶振動(dòng)片4 Q僅具有一對(duì)激發(fā)電極，所以在一邊的角部形成一對(duì)凸部6 5。沒(méi)有形 成不使用的第三連接電極3 7，變形例1所述支撐臺(tái)6 b能夠降低成本。
圖7 b是變形例2所述支撐臺(tái)6 c的主視圖以及側(cè)視圖。在支撐臺(tái)6 c的一邊 上，形成有一個(gè)支撐臺(tái)6 c的寬度的凸部6 5。支撐臺(tái)6 c在凸部6 5的兩端具有 一對(duì)第三連接電極3 7 ，在支撐臺(tái)6 c的底面具有第二連接電極3 6 。支撐臺(tái)6 c 可以?xún)H在一邊形成有一個(gè)凸部6 5，所以切片加工或者切削加工變得容易。
圖8是變形例3所述支撐臺(tái)6 d的主視圖以及側(cè)視圖。在變形例2所述支撐臺(tái) 6 c中，根據(jù)導(dǎo)電性粘合劑6 1的涂布量，在一對(duì)第三連接電極3 7之間有時(shí)會(huì)產(chǎn) 生短路。為了避免這樣的短路，在圖8所述支撐臺(tái)6 c的凸部6 5上設(shè)置有多個(gè)狹 縫6 8 。在變形例3中，狹縫6 8沒(méi)有貫通到支撐臺(tái)6 d的里面，但也可以貫通到
11里面。通過(guò)設(shè)置狹縫6 8，即使大量涂布有導(dǎo)電性粘合劑6 1，也不會(huì)在一對(duì)第三 連接電極3 7之間擴(kuò)散。
圖9 a是變形例4所述支撐臺(tái)6 e的主視圖以及側(cè)視圖。在支撐臺(tái)6 e的四個(gè) 角設(shè)置有四個(gè)第三連接電極3 7，在其長(zhǎng)度方向的中央側(cè)設(shè)置有四處切入部6 6。 即使在一對(duì)第三連接電極3 7上大量涂布有導(dǎo)電性粘合劑6 1，導(dǎo)電性粘合劑6 1 流入切入部6 6中，不會(huì)擴(kuò)散至AT切割水晶振動(dòng)片4 Q或音叉型水晶振動(dòng)片2 0 的激發(fā)電極。在試圖減少第一壓電振動(dòng)裝置5 Q或第二壓電振動(dòng)裝置5 5的厚度(圖 1以及圖2的Z方向)之際有效。另外，通過(guò)左右對(duì)稱(chēng)地形成支撐臺(tái)6 e,能夠使 配置作業(yè)變得容易。另外，第二連接電極3 6避開(kāi)切入部6 6而設(shè)置。
圖9 b是變形例5所述支撐臺(tái)6 f的主視圖以及側(cè)視圖。在支撐臺(tái)6 f的兩個(gè) 角上設(shè)置有兩個(gè)第三連接電極3 7，在其長(zhǎng)度方向中央側(cè)設(shè)置有兩處切入部6 6。即 使在一對(duì)第三連接電極3 7上涂布有大量的導(dǎo)電性粘合劑6 1，導(dǎo)電性粘合劑6 1 流入切入部6 6中，導(dǎo)電性粘合劑6 1不會(huì)擴(kuò)散至AT切割水晶振動(dòng)片4 0或音音 叉型水晶振動(dòng)片2 Q的激發(fā)電極。變形例5所述支撐臺(tái)6 f相比于變形例4所述支 撐臺(tái)6 e，切入部6 6少，第三連接電極3 7的個(gè)數(shù)也少，所以能夠降低制造成本。
圖l 0 a是變形例6所述支撐臺(tái)6 g的主視圖以及側(cè)視圖。在支撐臺(tái)6 g的四 個(gè)角形成有四個(gè)第三連接電極3 7，在其長(zhǎng)度方向中央側(cè)設(shè)置有四處槽部6 7。即 使在一對(duì)第三連接電極3 7上涂布有大量的導(dǎo)電性粘合劑6 1，導(dǎo)電性粘合劑6 1 流入槽部6 7中，不會(huì)擴(kuò)散至AT切割水晶振動(dòng)片4 0或者音叉型水晶振動(dòng)片2 0 的激發(fā)電極。即使支撐臺(tái)6 g薄，相比于切入部6 6，能夠提高鋼性強(qiáng)度。
圖l 0 b是變形例7所述支撐臺(tái)6 h的主視圖以及側(cè)視圖。在支撐臺(tái)6 h的兩 角設(shè)置有兩個(gè)第三連接電極3 7，其長(zhǎng)度方向中央側(cè)設(shè)置有兩處切入部6 6。為了 避免在第三連接電極3 7之間的短路，在支撐臺(tái)6 h上設(shè)置有多個(gè)狹縫6 8 。在變 形例7中，狹縫6 8沒(méi)有貫通至支撐臺(tái)6 h的里面，但也可以貫通至里面。通過(guò)設(shè) 置狹縫6 8，即使在設(shè)置有切入部6 6的支撐臺(tái)6 h上大量涂布有導(dǎo)電性粘合劑6 1,也不會(huì)擴(kuò)散至AT切割水晶振動(dòng)片4 Q或者音叉型水晶振動(dòng)片2 O的激發(fā)電極。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
以上，詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的最佳實(shí)施例，但本領(lǐng)域人員可知，在本發(fā)明的技術(shù) 范圍內(nèi)，在上述各實(shí)施例中可以實(shí)施種種變更以及變形。例如，在上述實(shí)施形態(tài)中， 說(shuō)明了AT切割水晶振動(dòng)片，水晶的切割方向也可以是B T切割、SC切割、IT切割等的切割方向。另外，也可以不使用導(dǎo)電性粘合劑61，由非導(dǎo)電性粘合劑固定 壓電振動(dòng)片的同時(shí)，由引線接合連接第三連接電極3 7和音叉型水晶振動(dòng)片2 0。
本發(fā)明的壓電振動(dòng)片除了水晶以外，可以還可以使用鈮酸鋰等的種種壓電單結(jié) 晶材料。
權(quán)利要求
1、一種壓電裝置，其特征在于，具有；底板，其具有與外部電極導(dǎo)通的第一連接電極，支撐部件，其具有形成在第一面且與所述第一連接電極連接的第二連接電極和形成在所述第一面的反對(duì)面且與所述第二連接電極導(dǎo)通的第三連接電極，且固定在所述底板上，壓電振動(dòng)片，其具有激發(fā)電極以及與該激發(fā)電極導(dǎo)通的引出電極的同時(shí)，通過(guò)涂布于所述第三連接電極的粘合劑固定于所述支撐部件；在所述第三連接電極的所定方向上形成有凹部，以便使所述粘合劑不會(huì)向所述壓電振動(dòng)片的所定區(qū)域擴(kuò)散。
2、 如權(quán)利要求l所述壓電裝置，其特征在于，所述支撐部件為矩形形狀，所述 第三連接電極設(shè)置在所述矩形形狀的四個(gè)角。
3、 如權(quán)利要求1所述壓電裝置，其特征在于，所述支撐部件為矩形形狀，所述 第三連接電極設(shè)置在所述矩形形狀的至少一邊。
4、 如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述壓電裝置，其特征在于，所述粘合劑為導(dǎo) 電性粘合劑，所述第三連接電極和所述引出電極通過(guò)所述導(dǎo)電性粘合劑導(dǎo)通。
5、 如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述壓電裝置，其特征在于，所述第三連接電 極和所述引出電極通過(guò)引線接合導(dǎo)通。
6、 如權(quán)利要求2或3所述壓電裝置，其特征在于，所述第一連接電極和所述第 三連接電極在所述支撐部件的矩形形狀的長(zhǎng)度方向上相隔該壓電裝置的長(zhǎng)度方向的 長(zhǎng)度的1 0%以上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種溫度特性、CI值以及頻率穩(wěn)定的壓電振動(dòng)裝置。壓電裝置(50)包括具有與外部電極(31)導(dǎo)通的第一連接電極(35)的底板(3)、具有形成在第一面且與第一連接電極連接的第二連接電極(36)和形成在第一面的反對(duì)面且與第二連接電極導(dǎo)通的第三連接電極(37)且固定在底板上的支撐部件(6a)、具有激發(fā)電極(23、25)的同時(shí)，通過(guò)涂布于第三連接電極(37)上的粘合劑(61)固定于支撐部件上的壓電振動(dòng)片(20)。壓電裝置在第三連接電極(37)的所定方向上形成有凹部，以便使粘合劑不會(huì)向壓電振動(dòng)片的所定區(qū)域擴(kuò)散。
文檔編號(hào)H03H9/02GK101557207SQ200910117899
公開(kāi)日2009年10月14日 申請(qǐng)日期2009年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月10日
發(fā)明者杉山利夫, 西村裕也 申請(qǐng)人:日本電波工業(yè)株式會(huì)社