專利名稱：制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶f:薄板的制作方法，屬于片式 頻率器件的制造工藝。
背景技術(shù)：
片式頻率器件依靠壓電振子通過機(jī)械振動的方式進(jìn)行工作，因此，它必須要有一個 振動空腔。 一般是將壓電振子用導(dǎo)電膠粘在一片具有電極的陶瓷基板上。然后，蓋上陶 瓷的或金屬的帽子封裝而成。這樣的結(jié)構(gòu)，不但體積大、氣密性不好，而且^i靠專用 機(jī)器進(jìn)行裝配，制造成本較高。
另一種方法是用兩片陶覺片作為上、下蓋板，中間夾一片帶孔的陶瓷夾板制作而成。 中間夾板的孔作為放置壓電振子的空腔，夾板的厚度就是振動空腔要求的高度。用這種 方法制作片式頻率器件時，需先制作一塊帶m x n列陣通孔的陶乾薄板。這種帶列陣通孔 的陶瓷薄板通常用模壓成型后再燒結(jié)的方法來制作，通孔的尺寸不夠精確、 一致性4交差。 無法適應(yīng)片式產(chǎn)品要求越來越小的趨勢。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提出一種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法，能保 i正通孔尺寸4青確、 一致。
這種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法包括下列步驟
(a) 將m塊陶瓷塊進(jìn)行研磨和端面研磨，加工到產(chǎn)品要求的尺寸；
(b) 在每塊陶瓷塊的一個面上用磨削的方法開出n條槽，槽的寬度、深度和槽的中 心距才艮據(jù)片式頻率器件結(jié)構(gòu)尺寸要求而定；
(c )將開好槽的m塊陶瓷塊按照前一塊的有槽面與后一塊的無槽的背面相疊合的順 序，用粘合劑粘結(jié)，最后一塊陶瓷塊的有槽面上粘合一塊較薄的無槽陶瓷塊，使其成為 帶mxn列陣深孔的粘合塊；
(d)用內(nèi)園切割的方法，沿與m x n列陣深孔的軸線相垂直的方向，按照片式頻率 器件中帶孔陶瓷夾板的厚度要求將粘合塊切割成帶m x n列陣通孔的陶瓷薄板。
這種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法中，由于列陣通孔的尺 寸是在燒制后的陶瓷板上用機(jī)械加工的方法形成的，因而其尺寸能精確控制，而且一致 性高。


附圖1為這種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法的流程示意圖； 附圖2為陶瓷下蓋板的內(nèi)電極圖； 附圖3為陶瓷下蓋板的外電極附圖4為使用這種帶列陣通孔陶瓷薄板制作片式頻率器件的示意圖； 附圖5為單個片式頻率器件的外形圖。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，這種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法包括下列 步驟
(a) 將m塊陶瓷塊進(jìn)行研磨和端面研磨，加工到產(chǎn)品要求的尺寸，即厚度等于單 個片式頻率器件的寬，寬度等于n個片式頻率器件的長度加切割縫；
(b) 在每塊陶瓷塊的一個面上用磨削的方法開出n條槽1，槽的寬度、深度和槽的 中心距根據(jù)片式頻率器件結(jié)構(gòu)的尺寸要求而定，即槽的寬度等片式頻率器件中空腔的長 度、槽的深度等于片式頻率器件中空腔的寬度，槽的中心距等于片式頻率器件的長度加 一^^刀割縫；
(c) 將開好槽的m塊陶瓷塊2按照前一塊的有槽面與后一塊的無槽的背面相疊合的 順序，用粘合劑粘結(jié)，最后一塊陶瓷塊的有槽面上粘合一塊較薄的無槽陶瓷塊3，使其成 為帶m x n列陣深孔的粘合塊；
(d) 用內(nèi)園切割的方法，沿與m x n列陣深孔的軸線相垂直的方向，按照片式頻率 器件的帶孔陶瓷夾板的厚度要求將粘合塊切割成帶m x n列陣通孔的陶瓷薄板。
這種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法中，陶瓷塊上的n條槽 是用磨削的方式加工而成，由于是在燒制后的陶瓷板上加工，并且用機(jī)械加工的方法形 成的，因而能精確控制其尺寸，定位精度也很高。
這種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的應(yīng)用過程如下
(1) 準(zhǔn)備兩塊與帶m x n列陣通孔陶瓷薄々反尺寸相一致的陶瓷片作為上蓋^^和下蓋 板。根據(jù)產(chǎn)品的尺寸要求，在下蓋板上，通過絲網(wǎng)印刷，用銀漿印上圖2所示的內(nèi)電極 和圖3所示的外電極，并進(jìn)行燒銀。電極的布局根據(jù)產(chǎn)品的大小而定。
(2) 如圖4所示，將帶m x n列陣通孔的陶瓷薄板5用粘結(jié)劑和下蓋板6粘牢，并 加壓加熱固化，形成帶空穴的粘合板。將壓電振子7用導(dǎo)電膠粘到粘合板的空穴中。壓 電振子的電極與下蓋板的內(nèi)電極相通。將上蓋板4用粘合劑和空穴中粘有壓電振子的粘 合板粘合，并加壓加熱固化，形成三片粘在一起的復(fù)合片。
(3) 用內(nèi)圓切割的辦法，將復(fù)合片按產(chǎn)品尺寸要求，切割成產(chǎn)品單元，引出產(chǎn)品單 元的內(nèi)電才及后，就制成了圖5所示的片式頻率器件產(chǎn)品。
本方法的特點(diǎn)是用機(jī)械加工的辦法制作m x n列陣通孔的陶瓷薄板，使振動空腔的 尺寸和定位精度都非常高，特別適用于制作超小型產(chǎn)品。由于是采用大片粘合的辦法， 一次可粘20 30只產(chǎn)品，不但效率高而且制造費(fèi)用低。片子粘結(jié)時加壓加熱，使片與片 之間粘結(jié)狀態(tài)良好，增加了片式產(chǎn)品的氣密性和可靠性。
權(quán)利要求
1、一種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法，其特征是它包括下列步驟(a)將m塊陶瓷塊進(jìn)行研磨和端面研磨，加工到產(chǎn)品要求的尺寸；(b)在每塊陶瓷塊的一個面上用磨削的方法開出n條槽，槽的寬度、深度和槽的中心距根據(jù)片式頻率器件結(jié)構(gòu)尺寸要求而定；(c)將開好槽的m塊陶瓷塊按照前一塊的有槽面與后一塊的無槽的背面相疊合的順序，用粘合劑粘結(jié)，并在最后一塊陶瓷塊的有槽面上粘合一塊較薄的無槽陶瓷塊，使其成為帶m×n列陣深孔的粘合塊；(d)用內(nèi)園切割的方法，沿與m×n列陣深孔的軸線相垂直的方向，按照片式頻率器件中帶孔陶瓷夾板的厚度要求將粘合塊切割成帶m×n列陣通孔的陶瓷薄板。
全文摘要
一種制造片式頻率器件用的帶列陣通孔陶瓷薄板的制作方法，包括下列步驟(a)將m塊陶瓷塊進(jìn)行研磨和端面研磨；(b)在每塊陶瓷塊的一個面上用磨削的方法開出n條槽；(c)將開好槽的m塊陶瓷塊按照前一塊的有槽面與后一塊的無槽的背面相疊合的順序，用粘合劑粘結(jié)，并在最后一塊陶瓷塊的有槽面上粘合一塊較薄的無槽陶瓷塊，成為帶m×n列陣深孔的粘合塊；(d)用內(nèi)園切割的方法，沿與m×n列陣深孔的軸線相垂直的方向?qū)⒄澈蠅K切割成帶m×n列陣通孔的陶瓷薄板。由于列陣通孔的尺寸是在燒制后的陶瓷板上用機(jī)械加工的方法形成的，因而其尺寸能精確控制，而且一致性高。特別適用于制作超小型產(chǎn)品。
文檔編號H03H3/02GK101345515SQ200810120388
公開日2009年1月14日 申請日期2008年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月25日
發(fā)明者琳 李, 陳以公 申請人:浙江嘉康電子股份有限公司