專(zhuān)利名稱(chēng)：包括諧振器的可調(diào)諧濾波器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可調(diào)諧濾波器裝置。本發(fā)明還涉及具有可調(diào)諧濾波器裝置的發(fā)射機(jī)、接收機(jī)、移動(dòng)電話裝置和無(wú)繩數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，以及涉及可調(diào)諧塊聲波諧振器。
移動(dòng)電話領(lǐng)域的迅猛發(fā)展和無(wú)繩電話裝置的持續(xù)小型化引起對(duì)分立元件施加的更高要求。因此，為了使接收機(jī)避免來(lái)自其它系統(tǒng)之增加的可能干擾信號(hào)的影響，高頻部件中的高選擇性是必須的。這是通過(guò)例如帶通濾波器實(shí)現(xiàn)的，該帶通濾波器僅僅傳輸所限定的頻帶而抑制在該頻帶之上和之下的所有頻率。
目前，帶有陶瓷電磁諧振器的濾波器是用于該目的的裝置。但是，這些濾波器的小型化受到電磁波長(zhǎng)的限制。由表面聲波諧振器建立起來(lái)的所謂表面聲波(SAW)濾波器能夠給予一個(gè)相當(dāng)小的結(jié)構(gòu)。這是因?yàn)槁暡ㄩL(zhǎng)小于電磁波長(zhǎng)4到5個(gè)量級(jí)。表面聲波諧振器包括壓電層，在其上提供了指形狀電極。施加到輸入電極的信號(hào)將壓電材料激發(fā)到機(jī)械振動(dòng)，其以聲波的形式在該層的上側(cè)傳播，并且通過(guò)輸出電極被再次變換回到電信號(hào)。
另一種方式是通過(guò)包括塊聲波諧振器的塊聲波(BAW)濾波器形成的。塊聲波濾波器在其大小、功率和IC兼容性方面具有優(yōu)點(diǎn)。塊聲波諧振器在原理上是由三個(gè)元件構(gòu)成的。第一個(gè)元件產(chǎn)生聲波和包括壓電層。在該壓電層上面和下面配置的兩個(gè)電極表示第二個(gè)元件。第三個(gè)元件具有聲學(xué)地將基片與由壓電層產(chǎn)生的振動(dòng)隔離開(kāi)的任務(wù)。
諧振器或者濾波器的特性能夠被改變是一個(gè)有趣的方面。這可以例如通過(guò)將諧振器或者濾波器與變?nèi)荻O管相耦合來(lái)實(shí)現(xiàn)。在諧振器或者濾波器制造期間有源元件可以被無(wú)源元件的材料污染是有源和無(wú)源元件組合的缺點(diǎn)。
另外的可能性在US5446306中公開(kāi)。這里說(shuō)明了半導(dǎo)體塊聲波諧振器和半導(dǎo)體塊聲波濾波器，其包括半導(dǎo)體基片、第一和第二電極、以及配置在它們之間的AlN或者ZnO的壓電層。諧振器的諧振頻率的變化是在于DC電壓被施加在電極上。
本發(fā)明的目的是提供一種可調(diào)諧濾波器裝置，其能夠以簡(jiǎn)單和便宜的方式制造。
該目的是利用可調(diào)諧濾波器裝置實(shí)現(xiàn)的，其包括基片和其上提供的至少兩個(gè)相互偶合諧振器配置，該諧振器中有至少一個(gè)包含有由鐵電材料制成的壓電元件，并且DC電壓源被連接其上。
當(dāng)DC電壓施加于諧振器的第一和第二電極時(shí)，諧振器的電特性、諧振頻率、和抗諧振頻率將改變。如果諧振器是濾波器裝置，上述將具有對(duì)整個(gè)濾波特性的影響。關(guān)于諸如AlN和ZnO之鐵電材料的介質(zhì)常數(shù)具有對(duì)所施加電壓的強(qiáng)烈依賴(lài)性。這意味著具有由鐵電材料制成的壓電元件之諧振器電特性被所施加電壓所強(qiáng)烈地影響，使得整個(gè)濾波器裝置的調(diào)諧范圍基本上較大。
特別優(yōu)選的是鐵電材料選自由下述材料構(gòu)成的類(lèi)有和沒(méi)有La、Nb或Mn摻雜劑和有和沒(méi)有過(guò)量鉛的PbTi1-xZrxO3(0≤x≤1)，LiNbO3，LiTaO3，PbNb2O6，Pb1-xCaxTiO3(0≤x≤1)，[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]x-[PbTiO3]1-x(0≤x≤1)，BaTiO3，有和沒(méi)有摻雜劑的Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)，有和沒(méi)有附加VOx(1≤x≤2.5)和/或SiO2的Ba1-xSrxTiO3，有MgO摻雜劑的Ba1-xSrxTiO3，[Ba1-xSrxTiO3]-Pb1-yCayTiO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有摻雜劑的Ba1-xSrxZryTi1-yO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量鉛的Ba1-xPbxTiO3(0≤x≤1)，Ba1-xCaxTiO3(0≤x≤1)，(Pb，Ba，Sr)(Mg1/3Nb2/3)xTiy(Zn1/3Nb2/3)1-x-yO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，K1-xNaxNbO3(0≤x≤1)，(Cd，Na)NbO3，(Bi，Na)TiO3，(Bi，Na，Pb，Ba)TiO3，Bi7Ti4NbO21，(Ba1-xSrx)2NaNb5O15(0≤x≤1)，(Ba1-xSrx)2KNb5O15(0≤x≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量Na+的(Ba1-x+y/8Srx+y/8)2Na1-yNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量K+的(Ba1-x+y/8Srx+y/8)2K1-yNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1)，(Ba1-xSrx)2K1-3ySEyNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1，SE＝選自稀土族離子)，SR2Ba4Ti2Nb8O30，a)Pb(Mg1/2W1/2)O3，b)Pb(Fe1/2Nb1/2)O3，c)Pb(Fe2/3W1/3)O3，d)Pb(Ni1/3Nb2/3)O3，e)Pb(Zn1/3Nb2/3)O3，f)Pb(Sc1/2Ta1/2)O3和化合物a)到f)與PbTiO3和/或有和沒(méi)有過(guò)量鉛的Pb(Mg1/3Nb2/3)O3的組合。
優(yōu)選地是，諧振器選自塊聲波諧振器和表面聲波諧振器。
具有塊聲波諧振器或者表面聲波諧振器的濾波器裝置能夠用高品質(zhì)因素Q和高耦合因數(shù)k制造。
特別優(yōu)選地是，諧振器用薄膜技術(shù)構(gòu)造。
在基片上用薄膜技術(shù)構(gòu)造諧振器使得有可能獲得具有小尺寸的這種濾波器裝置。
特別優(yōu)選地是，塊聲波諧振器每個(gè)都包括下和上電極的諧振器單元和在其間配置的壓電層及位于基片和諧振器單元之間的反射單元。
這種塊聲波諧振器能夠在沒(méi)有麻煩的光刻工藝的情況下制造，因?yàn)橹C振器的諧振頻率是由壓電層的層厚定義的。另外，這種塊聲波諧振器要比諸如單晶諧振器、具有隔膜的諧振器或者具有空氣隙的諧振器之其它類(lèi)型的塊聲波諧振器更硬。
本發(fā)明還涉及發(fā)射機(jī)、接收機(jī)、移動(dòng)電話裝置和無(wú)線數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)、提供有可調(diào)諧濾波器裝置，其包括基片和其上提供的彼此相互耦合的至少兩個(gè)諧振器的裝置，諧振器中至少要有一個(gè)具有由鐵電材料制成的并且其上連接DC電壓源的壓電元件。
本發(fā)明還涉及可調(diào)諧塊聲波諧振器，其包括基片和其上提供的具有上下電極和其間配置的壓電層的諧振器單元，以及位于基片和諧振器單元之間的反射單元，其上連接DC電壓源。
介質(zhì)常數(shù)ε對(duì)所加電壓的強(qiáng)烈依賴(lài)性意味著塊聲波諧振器的電特性能夠在寬范圍上調(diào)諧。
下面參考二個(gè)附圖和二個(gè)實(shí)施例來(lái)更詳細(xì)地解釋本發(fā)明。


圖1是表示可調(diào)諧塊聲波濾波器裝置實(shí)施例結(jié)構(gòu)的剖面圖，和圖2是可調(diào)諧濾波裝置的電路示意圖。
圖1中，包括兩個(gè)塊聲波諧振器的可調(diào)諧濾波器裝置具有基片1，其包括例如陶瓷材料，具有玻璃平面化層的陶瓷材料，玻璃陶瓷材料，玻璃材料，Si，GaAs，或者藍(lán)寶石。如果使用硅或GaAs，則例如SiO2或玻璃的附加無(wú)源層被提供在基片1上。基片1上，有反射單元2，其是由選自聚合物和多孔物質(zhì)的聲反射物質(zhì)層形成的。所用聲反射物質(zhì)可以是例如氣凝膠、干凝膠、玻璃泡沫、泡沫型粘合劑、合成泡沫、或者低密度合成樹(shù)脂。所用氣凝膠可以是例如由硅膠或者多孔SiO2結(jié)構(gòu)構(gòu)成的無(wú)機(jī)氣凝膠，或者是諸如例如間苯二酚甲醛氣凝膠、三聚氰胺甲醛氣凝膠、或者酚甲醛氣凝膠的有機(jī)氣凝膠。所用干凝膠可以是例如諸如高凝聚硅酸的無(wú)機(jī)干凝膠，或者是諸如膠或瓊脂的有機(jī)干凝膠。所用的泡沫物質(zhì)可以是例如化學(xué)泡沫或物理泡沫聚合物，例如為聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚氨酯、聚異氰酸酯、聚異氰尿酸、聚碳化二亞胺、聚甲基丙烯酰胺、聚丙烯酰胺、丙烯醛基-丁腈-苯乙烯共聚物、聚丙烯、或者聚酯。另外，可以使用諸如為酚甲醛樹(shù)脂或者呋喃樹(shù)脂的具有高孔隙率的歸于碳酸化作用的泡沫合成樹(shù)脂。所用低密度合成樹(shù)脂可以是例如交聯(lián)聚乙烯醚、交聯(lián)聚芳基醚、聚四氟乙烯、聚對(duì)二甲苯、聚乙氯對(duì)二甲苯、聚二氯對(duì)二甲苯、聚苯并環(huán)丁烷、苯乙烯-丁腈共聚物、乙烯-醋酸乙烯酯聚合物或者有機(jī)硅氧烷聚合物。包括第一電極3、壓電層4和第二電極5的諧振器單元被提供在反射單元2上。電極3和5優(yōu)選由具有低聲阻尼的良好導(dǎo)電材料制成和可以包括例如Ag1-xPtx(0≤x≤1)，50nm到1μm層厚的Pt，1到20nm層厚的Ti/20到600nm層厚的Pt，1到20nm層厚的Ti/20到600nm層厚的Pt/1到20nm層厚的Ti，Al，摻有幾個(gè)百分點(diǎn)Cu的Al，摻有幾個(gè)百分點(diǎn)Si的Al，摻有幾個(gè)百分點(diǎn)Mg的Al，W，Ni，Mo，Au，Cu，Ti/Pt/Al，Ti/Ag，Ti/Ag/Ti，Ti/Ag/Ir，Ti/Ir，Ti/Pd，Ti/Ag1-xPtx(0≤x≤1)，Ti/Ag1-xPdx(0≤x≤1)，Ti/Pt1-xAlx(0≤x≤1)，Pt1-xAlx(0≤x≤1)，Ti/Ag/Pt1-xAlx(0≤x≤1)，Ti/Ag/Ru，Ti/Ag/Ir/IrOx(0≤x≤2)，Ti/Ag/Ru/RuOx(0≤x≤2)，Ti/Ag/Ru/RuxPt1-x(0≤x≤1)，Ti/Ag/Ru/RuxPt1-x/RuOy(0≤x≤1，0≤y≤2)，Ti/Ag/Ru/RuOx/RuyPt1-y(0≤x≤2，0≤y≤1)，Ti/Ag/RuxPt1-x(0≤x≤1)，Ti/Ag/PtxAl1-x(0≤x≤1)，PtxAl1-x/Ag/PtyAl1-y(0≤x≤1，0≤y≤1)，Ti/Ag/Pty(RhOx)1-y(0≤x≤2，0≤y≤1)，Ti/Ag/Rh/RhOx(0≤x≤2)，Ti/Ag/PtxPh1-x(0≤x≤1)，Ti/Ag/Pty(RhOx)1-y/PtzRh1-z(0≤x≤2，0≤y≤1，0≤z≤1)，Ti/AgxPt1-x/Ir(0≤x≤1)，Ti/AgxPt1-x/Ir/IrOy(0≤x≤1，0≤y≤2)，Ti/AgxPt1-x/PtyAl1-y(0≤x≤1，0≤y≤1)，Ti/AgxPt1-x/Ru(0≤x≤1)，Ti≤AgxPt1-x/Ru/RuOy(0≤x≤1，0≤y≤2)，Ti/Ag/Cr，Ti/Ag/Ti/ITO，Ti/Ag/Cr/ITO，Ti/Ag/ITO，Ti/Ni/ITO，Ti/Rh，Ti/Ru，Rh，Rh/RhO2，Ti/Ni/Al/ITO，Ti/Ni，Ti/W/Ti，WxTi1-x(0≤x≤1)，WxTi1-x/Al(Cu)(0≤x≤1)，WxTi1-x/Al(Si)(0≤x≤1)，WxTi1-x/Al(0≤x≤1)或者Ti/Cu用于壓電層4的材料可以是例如有和沒(méi)有La、Nb或Mn摻雜劑和有和沒(méi)有過(guò)量鉛的PbTi1-xZrxO3(0≤x≤1)，LiNbO3，LiTaO3，PbNb2O6，Pb1-xCaxTiO3(0≤x≤1)，[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]x-[PbTiO3]1-x(0≤x≤1)，BaTiO3，有和沒(méi)有摻雜劑的Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)，有和沒(méi)有附加VOx(1≤x≤2.5)和/或SiO2的Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)，有MgO摻雜劑的Ba1-xSrxTiO3，[Ba1-xSrxTiO3]-Pb1-yCayTiO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有摻雜劑的Ba1-xSrxZryTi1-yO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量鉛的Ba1-xPbxTiO3(0≤x≤1)，Ba1-xCaxTiO3(0≤x≤1)，(Pb，Ba，Sr)(Mg1/3Nb2/3)xTiy(Zn1/3Nb2/3)1-x-yO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，K1-xNaxNbO3(0≤x≤1)，(Cd，Na)NbO3，(Bi，Ba)TiO3，(Bi，Na，Pb，Ba)TiO3，Bi7Ti4NbO21，(Ba1-xSrx)2NaNb5O15(0≤x≤1)，(Ba1-xSrx)2KNb5O15(0≤x≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量Na+的(Ba1-x+y/8Srx+y/8)2Na1-yNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量K+的(Ba1-x+y/8Srx+y/8)2K1-yNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1)，(Ba1-xSrx)2K1-3ySEyNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1，SE＝稀土族的離子)，SR2Ba4Ti2Nb8O30，a)Pb(Mg1/2W1/2)O3，b)Pb(Fe1/2Nb1/2)O3，c)Pb(Fe2/3W1/3)O3，d)Pb(Ni1/3Nb2/3)O3，e)Pb(Zn1/3Nb2/3)O3，f)Pb(Sc1/2Ta1/2)O3和化合物a)到f)與PbTiO3和/或有和沒(méi)有過(guò)量鉛的Pb(Mg1/3Nb2/3)O3的組合。
在本發(fā)明另一實(shí)施例中，第二反射單元6可以附加地提供在上電極5上。
有機(jī)或無(wú)機(jī)材料或者這些材料組合的保護(hù)層7可以被提供在整個(gè)濾波器裝置上。所用有機(jī)材料例如可以是聚苯并環(huán)丁烷，或者聚酰亞胺，和無(wú)機(jī)材料例如可以是Si3N4，SiO2，或者SixOyNz(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1)。
利用刻蝕，接觸孔可通過(guò)保護(hù)層7到達(dá)第一電極3和第二電極5。例如Cr/Cu，Cr/Cu/Ni/Sn，或者Cr/Cu/Ni/Au的沖擊端接觸在接觸孔中長(zhǎng)出。DC電壓能夠通過(guò)這些沖擊端接觸被施加到電極3和5。
另外，反射單元2和6可以每個(gè)都包括交替高阻和低阻的幾層，每層具有1/4諧振波長(zhǎng)λ的層厚。低阻材料例如可以是有機(jī)或無(wú)機(jī)的氣凝膠，有機(jī)或無(wú)機(jī)干凝膠，玻璃泡沫，泡沫類(lèi)型的粘合劑，合成泡沫，低密度合成樹(shù)脂或者SiO2。所用高聲阻材料可以例如是HfO2，Mo，Au，Ni，Cu，W，Ti/W/Ti，WxTi1-x(0≤x≤1)，金剛石，AlN，Ta2O5，Pt，Ti/Pt，或者諸如高密度聚乙烯(HDPE)的高密度合成樹(shù)脂。
如果需要，諸如單晶諧振器，具有隔膜的諧振器或者具有空氣隙的諧振器之其它類(lèi)型的塊聲波諧振器也可以被使用，或者表面聲波諧振器可以被用在具有電極3，5和壓電層4之對(duì)應(yīng)不同設(shè)計(jì)的可調(diào)諧濾波裝置中。
在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，第二反射單元可以被附加地提供在上電極5上。
另一個(gè)替換例是例如丙烯酸酯膠或者環(huán)氧膠的附加粘合劑層被提供在反射單元2和基片1之間。丙烯酸酯可以包括例如在固化工藝中聚合的丙烯醛基或者甲基丙烯醛基單體。而且，在多孔SiO2反射單元2的上面或下面，或者上面和下面，可以提供有具有30和300nm之間層厚的SiO2層。這些SiO2層，反射單元2和第二反射單元可以被提供在諧振器單元區(qū)域中之基片1的整個(gè)區(qū)域或者僅僅部分上。
另外，整個(gè)濾波器裝置可以被提供有至少第一和第二電流源接觸。所用電流源接觸例如可以是Cr/Cu，Ni/Sn，或者Cr/Cu，Cu/Ni/Sn，或者Cr/Ni，Pb/Sn，或者Cr/Cu，Ni/Au的電鍍SMD端接觸，或者沖擊端接觸，或者接觸填充(contact pad)。
有關(guān)結(jié)構(gòu)和集成的其它替換實(shí)施例對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員是公知的。因此包括諧振器的可調(diào)諧濾波器裝置可以具有超過(guò)兩個(gè)諧振器。
圖2表示具有兩個(gè)諧振器R1和R2的濾波器裝置。串聯(lián)諧振器R1出現(xiàn)在輸入8和輸出9之間。另外，濾波器裝置包括并聯(lián)諧振器R2，其第一連接端子位于諧振器R1和輸出9之間，其第二連接端子被連接到地。而且，兩個(gè)諧振器R1和R2每個(gè)都連接到DC電壓源。
下面將更詳細(xì)地解釋本發(fā)明的實(shí)施例，其代表本發(fā)明可以如何在實(shí)際中實(shí)現(xiàn)的例子。
兩諧振器R1和R2是如此相互調(diào)諧使得諧振器R1的諧振頻率對(duì)應(yīng)于諧振器R2的抗諧振頻率。濾波器裝置的濾波特性能夠通過(guò)將DC電壓加到兩諧振器被改變，因?yàn)閴弘妼?中的鐵電材料的介質(zhì)常數(shù)ε被由此減小?？烧{(diào)諧振器的諧振頻率和抗諧振頻率被由此偏移。
所得濾波器裝置被用于移動(dòng)電話，作為其濾波帶能夠被改變的可調(diào)諧帶通濾波器。
實(shí)施例2其上具有300nm厚SiO2層、多孔SiO2反射單元2和30nm厚SiO2層的丙烯酸酯膠粘合劑層出現(xiàn)在玻璃基片1上。Pt/Ti第一電極3提供在30nm厚SiO2層的某些部分上。PbZr0.35Ti0.65O3的壓電層4出現(xiàn)在第一電極3和反射單元2的某些部分上。Pt/Ti第二電極5被提供在壓電層4和反射單元2的某些部分上。壓電層4和兩電極3，5被沉積和構(gòu)造成使得創(chuàng)建具有兩個(gè)諧振器單元R1和R2的根據(jù)圖2的濾波器裝置。SiO2保護(hù)層7被提供在整個(gè)濾波器裝置上。利用刻蝕，接觸孔開(kāi)到通過(guò)保護(hù)層7到達(dá)第一電極3和第二電極5。Cr/Cu/Ni/Au沖擊端接觸在接觸孔中長(zhǎng)出。對(duì)諧振器R1區(qū)域中電極5的一個(gè)沖擊端接觸用作為對(duì)濾波器裝置輸入8的接觸，對(duì)諧振器R1區(qū)域中電極3的對(duì)應(yīng)沖擊端接觸用作為對(duì)濾波器裝置輸出9的接觸。另外，對(duì)諧振器R2區(qū)域中電極5的沖擊端接觸接地。DC電壓能夠經(jīng)過(guò)這些端接觸被施加到電極3和5。
兩個(gè)諧振器R1和R2被如此相互調(diào)諧使得諧振器R1的諧振頻率對(duì)應(yīng)于諧振器R2的抗諧振頻率。濾波器裝置的濾波特性能夠通過(guò)將DC電壓加到兩個(gè)諧振器被改變，因?yàn)閴弘妼?中鐵電材料的介質(zhì)常數(shù)ε被由此減小?？烧{(diào)諧振器的諧振頻率和抗諧振頻率被由此偏移。
所得濾波器裝置被用于移動(dòng)電話，作為其濾波器帶能夠被改變的可調(diào)諧帶通濾波器。
兩個(gè)諧振器R1和R2被如此相互調(diào)諧使得諧振器R1的諧振頻率對(duì)應(yīng)于諧振器R2的抗諧振頻率。濾波器裝置的濾波特性能夠通過(guò)將DC電壓加到兩個(gè)諧振器被改變，因?yàn)閴弘妼?中鐵電材料的介質(zhì)常數(shù)ε被由此減小。可調(diào)諧諧振器的諧振頻率和抗諧振頻率被由此偏移。
所得濾波器裝置被用于移動(dòng)電話，作為其濾波帶能夠被改變的可調(diào)諧帶通濾波器。
權(quán)利要求
1.一種可調(diào)諧濾波器裝置，其包括基片和其上提供的至少兩個(gè)相互耦合的諧振器裝置，這些諧振器中，有至少一個(gè)其包含鐵電材料的壓電元件，并且DC電壓源連接其上。
2.權(quán)利要求1的可調(diào)諧濾波器裝置，特征在于鐵電材料選自有和沒(méi)有La、Nb或Mn摻雜劑和有和沒(méi)有過(guò)量鉛的PbTi1-xZrxO3(0≤x≤1)，LiNbO3，LiTaO3，PbNb2O6，Pb1-xCaxTiO3(0≤x≤1)，[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]x-[PbTiO3]1-x(0≤x≤1)，BaTiO3，有和沒(méi)有摻雜劑的Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)，有和沒(méi)有附加VOx(1≤x≤2.5)和/或SiO2的Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)，有MgO摻雜劑的Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)，[Ba1-xSrxTiO3]-Pb1-yCayTiO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有摻雜劑的Ba1-xSrxZryTi1-yO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量鉛的Ba1-xPbxTiO3(0≤x≤1)，Ba1-xCaxTiO3(0≤x≤1)，(Pb，Ba，Sr)(Mg1/3Nb2/3)xTiy(Zn1/3Nb2/3)1-x-yO3(0≤x≤1，0≤y≤1)，K1-xNaxNbO3(0≤x≤1)，(Cd，Na)NbO3，(Bi，Na)TiO3，(Bi，Na，Pb，Ba)TiO3，Bi7Ti4NbO21，(Ba1-xSrx)2NaNb5O15(0≤x≤1)，(Ba1-xSrx)2KNb5O15(0≤x≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量Na+的(Ba1-x+y/8Srx+y/8)2Na1-yNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1)，有和沒(méi)有過(guò)量K+的(Ba1-x+y/8Srx+y/8)2K1-yNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1)，(Ba1-xSrx)2K1-3ySEyNb5O15(0≤x≤1，0≤y≤1，SE＝稀土族的離子)，SR2Ba4Ti2Nb8O30，a)Pb(Mg1/2W1/2)O3，b)Pb(Fe1/2Nb1/2)O3，c)Pb(Fe2/3W1/3)O3，d)Pb(Ni1/3Nb2/3)O3，e)Pb(Zn1/3Nb2/3)O3，f)Pb(Sc1/2Ta1/2)O3和化合物a)到f)與PbTiO3和/或有和沒(méi)有過(guò)量鉛的Pb(Mg1/3Nb2/3)O3的組合。
3.權(quán)利要求1的可調(diào)諧濾波器裝置，特征在于諧振器是選自塊聲波諧振器和表面聲波諧振器。
4.權(quán)利要求3的可調(diào)諧濾波器裝置，特征在于諧振器以薄膜技術(shù)構(gòu)造。
5.權(quán)利要求3的可調(diào)諧濾波器裝置，特征在于塊聲波諧振器每個(gè)都包括下和上電極的諧振器單元和在其間配置的壓電層以及定位在基片和諧振器單元之間的反射單元。
6.一種移動(dòng)電話裝置，安裝有可調(diào)諧濾波器裝置，其包括基片和在其上提供的至少兩個(gè)相互耦合的諧振器的裝置，諧振器中有至少一個(gè)具有由鐵電材料制成的壓電元件，并且DC電壓源被連接其上。
7.一種發(fā)射機(jī)，提供有可調(diào)諧濾波器裝置，其包括基片和其上提供的至少兩個(gè)相互耦合的諧振器的裝置，諧振器中有至少一個(gè)具有由鐵電材料制成的壓電元件，并且DC電壓源被連接其上。
8.一種無(wú)線數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，提供有可調(diào)諧濾波器裝置，其包括基片和其上提供有至少兩個(gè)相互耦合的諧振器的裝置，諧振器中有至少一個(gè)具有由鐵電材料制成的壓電元件，并且DC電壓被連接其上。
9.一種接收機(jī)，提供有可調(diào)諧濾波器裝置，其包括基片和其上提供的至少兩個(gè)相互耦合的諧振器的裝置，諧振器中有至少一個(gè)具有由鐵電材料制成的壓電元件，并且DC電壓源被連接其上。
10.一種可調(diào)諧塊聲波諧振器，其包括基片和其上提供的具有下和上電極及在其間配置的壓電層的諧振器單元，以及位于基片和諧振器單元之間的反射單元，DC電壓源被連接到該諧振器。
全文摘要
本發(fā)明說(shuō)明可調(diào)諧濾波器裝置,其具有相互耦各的多個(gè)諧振器,諧振器中有至少一個(gè)包括由鐵電材料制成的壓電元件并且DC電壓源被連接其上。DC電壓加于諧振器使其有可能改變其電特性并因此為整個(gè)濾波器特性。而且,也公開(kāi)了具有這種濾波器裝置的發(fā)射機(jī)、接收機(jī)裝置,和移動(dòng)電話裝置,以及可調(diào)諧塊聲波諧振器。
文檔編號(hào)H03H9/02GK1383610SQ01801595
公開(kāi)日2002年12月4日 申請(qǐng)日期2001年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月6日
發(fā)明者M·K·克里, R·F·米索姆, H·P·勒爾, R·基維特, U·馬肯斯, M·H·W·M·范德登, W·G·赫曼恩, O·溫尼克 申請(qǐng)人:皇家菲利浦電子有限公司