壓電驅(qū)動裝置、機器人及這些的驅(qū)動方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供一種高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置的適當(dāng)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的解決手段是壓電驅(qū)動裝置具備振動板和多個壓電驅(qū)動部，該多個壓電驅(qū)動部分別具有設(shè)置于振動板且能夠與被驅(qū)動體接觸的接觸部。
【專利說明】
壓電驅(qū)動裝置、機器人及這些的驅(qū)動方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及壓電驅(qū)動裝置及具備壓電驅(qū)動裝置的機器人等各種裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于使壓電體振動來對被驅(qū)動體進行驅(qū)動的壓電致動器(壓電驅(qū)動裝置)不需要磁鐵、線圈，因此用于多種領(lǐng)域(例如專利文獻I)。該壓電驅(qū)動裝置的基本結(jié)構(gòu)是在加強板的2個表面的每個面上以2行2列配置有4個壓電元件的結(jié)構(gòu)，共計8個壓電元件被設(shè)置于加強板的兩側(cè)。每個壓電元件是用每2片電極夾著壓電體的單元，加強板還被用作壓電元件的一側(cè)的電極。在加強板的一端設(shè)置有與作為被驅(qū)動體的轉(zhuǎn)子接觸來使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的突起部。若對4個壓電元件中的以對角配置的2個壓電元件施加交流電壓，則該2個壓電元件進行伸縮運動，與此相應(yīng)地，加強板的突起部進行往復(fù)運動或者橢圓運動。并且，根據(jù)該加強板的突起部的往復(fù)運動或者橢圓運動，作為被驅(qū)動體的轉(zhuǎn)子向規(guī)定的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)。另外，通過將施加交流電壓的2個壓電元件切換成其他2個壓電元件，能夠使轉(zhuǎn)子向反方向旋轉(zhuǎn)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻I:日本特開2004 — 320979號公報
[0006]專利文獻2:日本特開2008 — 227123號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]另外，作為提高壓電驅(qū)動裝置對被驅(qū)動體進行驅(qū)動的力(以下還稱為“驅(qū)動力”)的方法，簡單地能想到使用多個上述的現(xiàn)有壓電驅(qū)動裝置的方法。然而，在該情況下，將所使用的多個壓電驅(qū)動裝置以整體看做I個壓電驅(qū)動裝置，則存在與所使用的壓電驅(qū)動裝置的數(shù)成正比地作為壓電驅(qū)動裝置的整體的尺寸大型化的課題。因此，例如，由于如用于驅(qū)動機器人的關(guān)節(jié)的驅(qū)動裝置那樣，對驅(qū)動裝置的配置空間有限制，因此可能會難以實現(xiàn)作為被期望小型且高輸出的驅(qū)動裝置的應(yīng)用。因此，沒有對高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置的適當(dāng)結(jié)構(gòu)進行充分研討。
[0008]本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而提出的，可以以下述方式或適用例來實現(xiàn)。
[0009](I)根據(jù)發(fā)明的一方式，提供一種壓電驅(qū)動裝置。該壓電驅(qū)動裝置具備:振動板;多個壓電驅(qū)動部，其排列設(shè)置在上述振動板，并分別具有能夠與被驅(qū)動體接觸的接觸部。
[0010]根據(jù)該方式，由于在振動板排列設(shè)置有多個壓電驅(qū)動部，與如現(xiàn)有的那樣使用多個壓電驅(qū)動裝置的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0011](2)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述多個壓電驅(qū)動部也可以分別具有包括設(shè)置有電極的壓電體的壓電振動體。
[0012]根據(jù)該方式，由于包括包含設(shè)有電極的壓電體的壓電振動體的多個壓電驅(qū)動部排列設(shè)置在振動板，所以與現(xiàn)有的那樣使用多個壓電驅(qū)動裝置的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)高輸出且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0013](3)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述振動板可具有第一面、第二面、以及將上述第一面與上述第二面之間連接的第三面和第四面;上述壓電振動體可設(shè)置于上述振動板的上述第一面；上述接觸部可以是設(shè)置在上述振動板的上述第三面或上述第四面的突起部。
[0014]根據(jù)該方式，由于在振動板的第一面排列設(shè)置有包括壓電振動體的壓電驅(qū)動部，所以與現(xiàn)有的那樣使用多個壓電驅(qū)動裝置的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)高輸出且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0015](4)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述壓電驅(qū)動部可以具有設(shè)置在上述第二面的壓電振動體。
[0016]根據(jù)該方式，由于壓電驅(qū)動部隔著振動板具有2個壓電振動體，容易提高振動板的振動的效率。
[0017](5)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述接觸部在上述第三面和上述第四面的至少一個排成一列而設(shè)置。
[0018]根據(jù)該方式，能夠?qū)⑼ㄟ^各壓電驅(qū)動部的壓電振動體的振動產(chǎn)生的驅(qū)動力分別經(jīng)由接觸部有效地傳遞給被驅(qū)動體。
[0019](6)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，設(shè)置有上述多個壓電驅(qū)動部的上述振動板可以層疊多個。
[0020]根據(jù)該方式，由于不僅是沿著振動板設(shè)置多個壓電驅(qū)動部，還沿著與振動板垂直的方向設(shè)置有多個壓電驅(qū)動部，因此多個壓電驅(qū)動部有效地以二維方式設(shè)置，與現(xiàn)有的那樣使用多個壓電驅(qū)動裝置的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)更加高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0021](7)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述電極可以包括第一電極和第二電極，上述壓電振動體可以具有:基板、形成于上述基板的上述第一電極、形成于上述第一電極的上述壓電體、以及形成于上述壓電體的上述第二電極。
[0022]根據(jù)該方式，由于能夠?qū)弘娬駝芋w以小型形成，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0023](8)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述振動板可以由上述基板構(gòu)成。
[0024]根據(jù)該方式，由于壓電振動體的基板作為振動板構(gòu)成，所以能夠更有效地實現(xiàn)高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0025](9)在上述方式的壓電驅(qū)動裝置中，上述基板可以是硅基板。
[0026]根據(jù)該方式，使用硅基板，能夠更有效地實現(xiàn)高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。另外，壓電體的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值是數(shù)千，硅基板的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值是10萬左右。因此，根據(jù)該方式，能夠增大壓電振動體及振動板的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值，從而能夠增大壓電驅(qū)動裝置的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值。
[0027]本發(fā)明可以用多種方式實現(xiàn)，例如，除壓電驅(qū)動裝置之外，能夠以壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動方法、壓電驅(qū)動裝置的制造方法、搭載壓電驅(qū)動裝置的機器人、搭載壓電驅(qū)動裝置的機器人的驅(qū)動方法、送液栗、投藥栗等多種方式實現(xiàn)。
【附圖說明】
[0028]圖1是第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。
[0029I圖2是壓電驅(qū)動部的示意結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖3是振動板的俯視圖。
[0031]圖4是示出各壓電驅(qū)動部與驅(qū)動電路的電連接狀態(tài)的說明圖。
[0032]圖5是示出壓電驅(qū)動裝置的動作的例子的說明圖。
[0033]圖6是示出第一實施方式的變形例的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0034]圖7是示出第二實施方式的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0035]圖8是示出第三實施方式的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0036]圖9是第四實施方式的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。
[0037]圖10是示出第四實施方式的壓電驅(qū)動裝置的制造工序的一例的流程圖。
[0038]圖11是示出第四實施方式的變形例的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0039]圖12是第五實施方式的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。
[0040]圖13是示出第五實施方式的壓電驅(qū)動裝置的制造工序的一例的一部分的說明圖。
[0041]圖14是示出第五實施方式的壓電驅(qū)動裝置的制造工序的一例的另一部分的說明圖。
[0042]圖15是示出第五實施方式的壓電驅(qū)動裝置的制造工序的一例的又一部分的說明圖。
[0043]圖16是示出第六實施方式的壓電驅(qū)動裝置的示意結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0044]圖17是示出利用了壓電驅(qū)動裝置的機器人的一例的說明圖。
[0045]圖18是機器人的手腕部分的說明圖。
[0046]圖19是示出利用了壓電驅(qū)動裝置的送液栗的一例的說明圖。
【具體實施方式】
[0047]A.第一實施方式:
[0048]圖1是本發(fā)明的第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11的示意結(jié)構(gòu)圖。圖1(A)是壓電驅(qū)動裝置11的俯視圖，圖1(B)是其側(cè)視圖。壓電驅(qū)動裝置11具備振動板200和排列設(shè)置在振動板200的多個壓電驅(qū)動部10。排列有壓電驅(qū)動部10的振動板200被支承體30的支承部310支承并固定。壓電驅(qū)動部10具備分別配置在振動板200的雙面的2個壓電振動體100。此外，在圖1中，為便于圖示，使用影線示出振動板200及支承體30。
[0049]圖2是壓電驅(qū)動部10的示意結(jié)構(gòu)圖。圖2(A)是壓電驅(qū)動部10的俯視圖，圖2(B)是2
(A)的B — B剖視圖，圖2(C)是2(A)的C一C剖視圖。如上所述，壓電驅(qū)動部10具備分別配置在振動板200的雙面(第一面211(還稱為“表面”或“上表面”)和第二面212(還稱為“背面”或“下表面”))的2個壓電振動體100。壓電振動體100具備基板120、形成于基板120上的第一電極130、形成于第一電極130上的壓電體140、以及形成于壓電體140上的第二電極150。第一電極130和第二電極150夾持著壓電體140。2個壓電振動體100以為振動板200中心對稱配置。由于2個壓電振動體100具有相同結(jié)構(gòu)，故在下文中若沒有特別提及，則對位于振動板200上側(cè)的壓電振動體100的結(jié)構(gòu)進行說明。
[0050]壓電振動體100的基板120用作用于在成膜工藝中形成第一電極130、壓電體140和第二電極150的基板。另外，基板120還具有作為進行機械振動的振動板的功能?；?20可以由例如S1、Al203、Zr02等形成。作為Si (硅)制的基板120，例如可以利用半導(dǎo)體制造用Si晶片。在該實施方式中，基板120的平面形狀是長方形?；?20的厚度優(yōu)選在例如ΙΟμπι以上ΙΟΟμπι以下的范圍內(nèi)。若使基板120的厚度在ΙΟμπι以上，則能夠在基板120上進行成膜處理時比較容易操作基板120。另外，若使基板120的厚度在ΙΟΟμπι以下，則能夠根據(jù)由薄膜形成的壓電體140的伸縮，使基板120容易地振動。
[0051]第一電極130形成為在基板120上形成的一個連續(xù)的導(dǎo)電體層。另外，如圖2(A)所不，第二電極150被劃分為5個導(dǎo)電體層150a?150e(還稱為“第二電極150a?150e” )。位于中央的第二電極150e在基板120的寬度方向的中央，形成為遍及基板120的幾乎整個長度方向的長方形形狀。其余4個第二電極150a、150b、150c、150d具有相同的平面形狀，在基板120的四角位置形成。在圖2的例子中，第一電極130和第二電極150均具有長方形的平面形狀。第一電極130、第二電極150是通過例如濺射方式形成的薄膜。作為第一電極130、第二電極150的材料，可以利用例如Al(鋁)、Ni(鎳)、Au(金)、Pt(白金)、Ir(銥)等導(dǎo)電性高的任意材料。此外，可以代替將第一電極130設(shè)為I個連續(xù)的導(dǎo)電體層的方式，而將第一電極130劃分為與第二電極150a?150e實際上具有相同平面形狀的5個導(dǎo)電體層。此外，對用于第二電極150a?150e之間的電連接的布線(或布線層及絕緣層)和用于第一電極130及第二電極150a?150e與驅(qū)動電路之間的電連接的布線(或布線層及絕緣層)，在圖2中省略了圖示。
[0052]壓電體140形成為與第二電極150a?150e實際上具有相同平面形狀的5個壓電體層。也可以代替這種方式，將壓電體140形成為與第一電極130實際上具有相同平面形狀的I個連續(xù)的壓電體層。通過第一電極130、壓電體140、及第二電極150a?150e的層疊結(jié)構(gòu)構(gòu)成5個壓電元件IlOa?IlOe(圖2(A))。
[0053]壓電體140是通過例如溶膠凝膠法、濺射法形成的薄膜。作為壓電體140的材料，可以利用采用ABO3型的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的陶瓷材料等表現(xiàn)出壓電效應(yīng)的任意材料。作為采用ABO3型的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的陶瓷材料，例如可以使用鋯鈦酸鉛(PZT)、鈦酸鋇、鈦酸鉛、鈮酸鉀、鈮酸鋰、鉭酸鋰、鎢酸鈉、氧化鋅、鈦酸鍶鋇(BST)、鉭酸鍶鉍(SBT)、偏鈮酸鉛、鋅鈮酸鉛、鈧鈮酸鉛等。另外，還可以使用除陶瓷之外的表現(xiàn)出壓電效應(yīng)的材料，例如聚偏二氟乙烯、水晶等。壓電體140的厚度優(yōu)選在例如50nm(0.05ym)以上20μπι以下的范圍內(nèi)。具有該范圍內(nèi)的厚度的壓電體140的薄膜可以利用成膜工藝而容易地形成。若使壓電體140的厚度在0.05μπι以上，則能夠根據(jù)壓電體140的伸縮產(chǎn)生充分大的力。另外，若使壓電體140的厚度在20μπι以下，則能夠使壓電振動體100(壓電驅(qū)動部10)充分小型化。
[0054]圖3是振動板200的俯視圖。振動板200具有由多個貫通孔252形成的長方形形狀的多個振動體部210、從振動體部210的左右的長邊分別延伸各3個的連接部220、以及與左右三個連接部220分別連接的2個固定部230。其中，在相鄰的2個振動體部210的左側(cè)的振動體部210的右側(cè)的連接部220和右側(cè)的振動體部210的左側(cè)的連接部220共同連接于固定部230。此外，在圖3中，為便于圖示，對振動體部210使用了影線。固定部230用于通過粘合劑將壓電驅(qū)動裝置11固定于支承體30。振動板200可以用例如不銹鋼、鋁、鋁合金、鈦、鈦合金、銅、銅合金、鐵一鎳合金等金屬材料形成。另外，也可以用氧化鋯、氧化鈦、氧化鋁、氧化鋅等金屬氧化物材料形成。另外，也可以用陶瓷如3;[、3;[02、3;[(]、41203、21'02等形成，也可以用金剛石形成。
[0055]在振動體部210的上表面(第一面)及下表面(第二面)分別使用粘合劑粘合壓電振動體100 (圖2)。振動體部210的長度L和寬度W之比優(yōu)選為L: W =約7:2。該比是對用于使振動體部210進行沿著其平面向左右彎曲的超聲波振動(后述)而言優(yōu)選的值。振動體部210的長度L可以在例如0.1mm以上30mm以下的范圍內(nèi)，寬度W可以在例如0.05mm以上8mm以下的范圍內(nèi)。此外，為了使振動體部210進行超聲波振動，長度L優(yōu)選在50mm以下。振動體部210的厚度(振動板200的厚度)可以在例如20μπι以上700μπι以下的范圍內(nèi)。若使振動體部210的厚度在20μπι以上，則具有用于支承壓電振動體100的充分的剛性。另外，若使振動體部210的厚度在700μπι以下，則能夠根據(jù)壓電振動體100的變形產(chǎn)生充分大的變形。
[0056]在夾在振動板200的第一面211及第二面212之間的一個第三面213，一體設(shè)置有與各壓電驅(qū)動部10對應(yīng)的突起部20(還稱為“接觸部”或“作用部”)。突起部20是與被驅(qū)動體(未圖示)接觸，通過滑動對被驅(qū)動體賦予力的部件。突起部20由與振動板200相同的部件一體形成。但不限于此，可以利用其它部件通過粘合劑在振動板200的第三面粘合而一體設(shè)置。另外，突起部20優(yōu)選用陶瓷(例如S1、SiC、Al203、Zr02)等具有耐久性的材料形成。
[0057]如圖2(C)所示，振動板200的固定部230使用粘合劑粘合并固定于支承體30的支承部310。由此，固定有壓電振動體100的振動體部210、即壓電驅(qū)動部1以可振動的方式被左右的支承部310支承。
[0058]圖4是示出各壓電驅(qū)動部10與驅(qū)動電路300的電連接狀態(tài)的說明圖。在各壓電驅(qū)動部10中，壓電振動體100的5個第二電極150a?150e中，在對角上的一對第二電極150a、150d經(jīng)由布線151彼此電連接，在另一對角上的一對第二電極150b、150c也經(jīng)由布線152彼此電連接。這些布線151、152可通過成膜處理形成，或者可通過線狀的布線實現(xiàn)。在圖4的右側(cè)的各壓電驅(qū)動部10的3個第二電極150b、150d、150e和第一電極130(圖2)經(jīng)由布線310、312、314、320與驅(qū)動電路300電連接。驅(qū)動電路300在各壓電驅(qū)動部10的一對第二電極150a、150d和第一電極130之間共同供給周期性變化的交流電壓或脈動電壓，由此使各壓電驅(qū)動部10同樣地進行超聲波振動，從而能夠?qū)εc突起部20接觸的被驅(qū)動體進行驅(qū)動。例如，在被驅(qū)動體是轉(zhuǎn)子的情況下，能夠相對于轉(zhuǎn)子中心向規(guī)定的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)；另外在被驅(qū)動體是向規(guī)定方向可移動的移動體的情況下，可以使其向規(guī)定方向移動。其中，“脈動電壓”是指在交流電壓中加入了DC偏移的電壓，該電壓(電場)的朝向是從一個電極朝向另一個電極的單向。另外，通過在各壓電驅(qū)動部10的另一對第二電極150b、150c和第一電極130之間共同施加交流電壓或脈動電壓，可以使與突起部20接觸的作為被驅(qū)動體的轉(zhuǎn)子向反方向旋轉(zhuǎn)，并且可以使作為被驅(qū)動體的移動體向反方向移動。另外，還可以在各壓電驅(qū)動部10的一對第二電極150a、150d和第一電極130之間，各壓電驅(qū)動部10的另一對第二電極150b、150c和第一電極130之間施加彼此錯開180度相位的交流電壓或脈動電壓。在該情況下，對于上述彼此錯開180度相位的交流電壓或脈動電壓，在各壓電驅(qū)動部10的一個第二電極150e和第一電極130之間施加調(diào)整了相位的交流電壓或脈動電壓，可以根據(jù)所調(diào)整的相位改變被驅(qū)動體的旋轉(zhuǎn)方向、移動方向。這種電壓施加在設(shè)置于振動板200的雙面的各壓電振動體100同時進行。此外，對構(gòu)成圖4所示的布線151、152、310、312、314、320的布線(或布線層及絕緣層)，在圖2中省略了圖示。
[0059]圖5是示出壓電驅(qū)動裝置11的動作的例子的說明圖。各壓電驅(qū)動部10的突起部20與垂直于作為被驅(qū)動體的轉(zhuǎn)子50的中心51的旋轉(zhuǎn)面(朝直面垂直方向的面)52的外周側(cè)接觸。在圖5所示的例子中，驅(qū)動電路300(圖4)在各壓電驅(qū)動部10的一對第二電極150a、150d和第一電極130之間施加交流電壓或脈動電壓，壓電元件110a、IlOd在圖4的箭頭X的方向伸縮。與此相應(yīng)地，各壓電驅(qū)動部10的振動體部210在振動體部210的平面內(nèi)彎曲而變形為蛇形形狀(S字形狀)。由此，各壓電驅(qū)動部10的突起部20的前端22基于與轉(zhuǎn)子50的旋轉(zhuǎn)面52平行的方向的往復(fù)運動(以下還稱為“彎曲振動”)成分和垂直于旋轉(zhuǎn)面52的方向的往復(fù)運動(以下還稱為“縱振動”)成分在箭頭y的方向上進行橢圓運動。此時，在突起部20與旋轉(zhuǎn)面52接觸的期間，各壓電驅(qū)動部10根據(jù)基于從突起部20對旋轉(zhuǎn)面52賦予的力所產(chǎn)生的摩擦力，在旋轉(zhuǎn)面52上朝用粗箭頭表示的方向滑動。其結(jié)果為，轉(zhuǎn)子50根據(jù)從各壓電驅(qū)動部10被賦予的力的總和，繞其中心51向規(guī)定的方向z (在圖4中，從壓電驅(qū)動部10側(cè)看時逆時針方向)旋轉(zhuǎn)。此外，圖3中描述過的振動板200的3個連接部220被設(shè)置于這種振動體部210的振動的節(jié)的位置。此外，在驅(qū)動電路300對另一對第二電極150b、150c和第一電極130之間施加交流電壓或脈動電壓的情況下，突起部20的前端22向反方向進行橢圓移動，轉(zhuǎn)子50向反方向旋轉(zhuǎn)。此外，若對中央的第二電極150e施加與一對第二電極150a、150d(或另一對第二電極150b、150c)相同的電壓，則壓電驅(qū)動部10在長邊方向伸縮，因此可以進一步增大從突起部20對轉(zhuǎn)子50賦予的力。此外，對于壓電驅(qū)動部10(或壓電振動體100)的這種動作，已在上述現(xiàn)有技術(shù)文獻1(日本特開2004 — 320979號公報或?qū)?yīng)的美國專利第7224102號)中記載，其公開內(nèi)容以參照方式納入本文中。
[0060]以上，在本實施方式的壓電驅(qū)動裝置11中，多個壓電振動體100在振動板200的第一面211排成一列，并且多個壓電振動體100在第二面212以成對方式排成一列，由上下一對壓電振動體100構(gòu)成的多個壓電驅(qū)動部10具有在振動板200排成一列的結(jié)構(gòu)。由此，與像現(xiàn)有的那樣，使用與本實施方式的一個壓電驅(qū)動部10對應(yīng)的使用了多個壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動裝置相比，能夠?qū)崿F(xiàn)小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0061 ]另外，在本實施方式中，壓電體140的長度可以在0.1mm以上30mm以下的范圍內(nèi)，寬度W可以在例如0.05mm以上8mm以下的范圍內(nèi)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型的壓電驅(qū)動部10。此外，若使壓電體140的厚度在0.05μπι以上，則能夠根據(jù)壓電體140的伸縮產(chǎn)生充分大的力。另外，若使壓電體140的厚度在20μπι以下，則即使施加于壓電體140的電壓在600V以下也能夠產(chǎn)生充分大的力。因此，能夠用廉價的元件構(gòu)成用于對壓電驅(qū)動部10進行驅(qū)動的驅(qū)動電路300。但實際上，施加于壓電體140的電壓在20?40V的范圍內(nèi)已充分。此外，可使壓電體的厚度在400nm以上，在該情況下，能夠增大在壓電元件產(chǎn)生的力。
[0062]若將壓電體140通過溶膠凝膠法形成，則在容易形成薄壓電體這一點上優(yōu)選。另夕卜，容易使壓電體的結(jié)晶的晶格方向一致，因此能夠增大施加相同電壓時的壓電體的形狀的變形，并且在能夠增大耐壓這一點上優(yōu)選。此外，壓電體140也可以通過濺射法形成。通過濺射法也能夠得到與溶膠凝膠法相同的效果。
[0063]另外，在本實施方式中，壓電元件(IlOa?IlOe)在作為基板120的Si制的基板等機械質(zhì)量系數(shù)Qm值高的基板上形成，因此與沒有這種基板120的情況相比，能夠增加壓電驅(qū)動部10的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值。尤其是，Si制的基板的機械質(zhì)量系數(shù)Qm值是10萬左右，因此若使用Si制的基板120，則能夠增加壓電驅(qū)動部10的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值。
[0064]另外，雖然在本實施方式中，設(shè)置有從振動體部210的左右長邊分別延伸各3個的連接部220(參照圖3)，但連接部220的配置位置、數(shù)量并不限于此，可以采用多種配置位置、數(shù)量。例如，可以采用在振動體部210的突起部20與為相反側(cè)的短邊設(shè)置連接部，以懸臂梁方式支承振動體部210的結(jié)構(gòu)。在采用這種懸臂梁結(jié)構(gòu)的情況下，可以省略振動體部210的長邊的側(cè)方的固定部230(參照圖3)。
[0065]圖6是示出第一實施方式的變形例的壓電驅(qū)動裝置11A、11B的示意結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖6也與圖1相同地，為便于圖示，使用影線示出對振動板200及支承體30。在上述實施方式中，示出了在振動板200的雙面分別排列有多個壓電振動體100的結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動裝置11。然而，并不限于此，如圖6(A)所示，可以采用在振動板200的第一面211排列有多個壓電振動體100的結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動裝置11A，并且如圖6(B)所示，可以采用在振動板200的第二面212排列有多個壓電振動體100的結(jié)構(gòu)。這些壓電驅(qū)動裝置11A、IIB也能夠?qū)崿F(xiàn)與上述第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11相同的小型且輕量壓電驅(qū)動裝置。其中，采用在振動板200的雙面分別設(shè)置有壓電振動體100的結(jié)構(gòu)，在使振動板200的各振動體部210變形為在其平面內(nèi)彎曲的蛇形形狀更容易實現(xiàn)這一點優(yōu)選。此外，雖然省略了圖示，但也可以采用在振動板200的第一面211和第二面212交替排列多個壓電驅(qū)動部10的結(jié)構(gòu)、在第一面211和第二面適當(dāng)分配而排列的結(jié)構(gòu)。
[0066]B.第二實施方式:
[0067]圖7是示出第二實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlC的示意結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖7也與圖1相同地，為便于圖示，使用影線示出振動板200及支承體30。壓電驅(qū)動裝置IlC是將第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11(參照圖1)沿著與排列有壓電驅(qū)動部10的面(第一面211、第二面)垂直的方向?qū)盈B多個的結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動裝置。即，該壓電驅(qū)動裝置IlC是將排列有多個壓電振動體100的振動板200沿著與排列有壓電振動體100的面垂直的方向隔著支承體30層疊多個的層疊結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動裝置。各壓電驅(qū)動裝置11用粘合劑固定于在正下方的壓電驅(qū)動裝置11的支承體30設(shè)置的支承框312上。
[0068]以上，本實施方式的壓電驅(qū)動裝置IIC具有將在振動板200排列有多個壓電驅(qū)動部10的壓電驅(qū)動裝置11沿著與排列有多個壓電驅(qū)動部10的面垂直的方向?qū)盈B多個的結(jié)構(gòu)。由此，與如現(xiàn)有的那樣使用與本實施方式的一個壓電驅(qū)動部10對應(yīng)的使用了多個壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動裝置相比，能夠?qū)崿F(xiàn)小型且輕量壓電驅(qū)動裝置。另外，在第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11中，多個壓電驅(qū)動部10以線性排列的情況，在第二實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlC中，多個壓電驅(qū)動部10以二維形式排列。由此，能夠更有效地排列多個壓電驅(qū)動部10，因此能夠更有效地實現(xiàn)高輸出并且小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0069]C.第三實施方式:
[0070]圖8是示出第三實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlD的示意結(jié)構(gòu)的俯視圖。壓電驅(qū)動裝置IlD是在振動板200D的夾在第一面211及第二面212之間的第三面213具有突起部20的第一壓電驅(qū)動部10a、和在與第三面213對置的第四面214具有突起部20的第二壓電驅(qū)動部1b交替排列而成的結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動裝置。圖8也與圖1相同地，為便于圖示，使用影線示出振動板200D。另外，支承體30被省略。
[0071]第一壓電驅(qū)動部10a、第二壓電驅(qū)動部1b的結(jié)構(gòu)與第一實施方式的壓電驅(qū)動部10相同。另外，多個第一壓電驅(qū)動部1a各自的3個第二電極150b、150d、150e和第一電極130(參照圖2)經(jīng)由布線310a、312a、314a、320a與驅(qū)動電路300D電連接。另外，多個第二壓電驅(qū)動部1b各自的3個第二電極150b、150d、150e和第一電極130(參照圖2)經(jīng)由布線310b、312b、314b、320b與驅(qū)動電路300D電連接。并且，多個第一壓電驅(qū)動部1a及多個第二壓電驅(qū)動部1b的每個分別被驅(qū)動電路300D驅(qū)動。驅(qū)動電路300D的對多個第一壓電驅(qū)動部1a進行驅(qū)動的電路部分及對多個第二壓電驅(qū)動部1b進行驅(qū)動的電路部分與第一實施方式的驅(qū)動電路300相同。
[0072]本實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlD與現(xiàn)有的那樣，使用了與本實施方式的一個壓電驅(qū)動部10對應(yīng)的多個壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動裝置相比，也能夠?qū)崿F(xiàn)小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。
[0073]另外，在壓電驅(qū)動裝置IlD中，通過多個第一壓電驅(qū)動部1a被驅(qū)動電路300D驅(qū)動，能夠使被驅(qū)動體50a動作，并且通過多個第二壓電驅(qū)動部1b被驅(qū)動，能夠?qū)Ρ或?qū)動體50b進行驅(qū)動。由此，能夠用壓電驅(qū)動裝置IlD對于被驅(qū)動體50b的動作量和被驅(qū)動體50a對于壓電驅(qū)動裝置11D的動作量之和的動作量使被驅(qū)動體50a相對于被驅(qū)動體50b動作。
[0074]D.第四實施方式:
[0075]圖9是第四實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlE的示意結(jié)構(gòu)圖，是與第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11的圖2對應(yīng)的圖。圖9(A)是示出壓電驅(qū)動裝置IlE的I個壓電驅(qū)動部1E的示意結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖9(B)是圖9(A)的B—B剖視圖，圖9(C)是圖9(A)的C—C剖視圖。壓電驅(qū)動裝置IlE與第一實施方式的變形例的壓電驅(qū)動裝置11A(參照圖6)相同，是僅在振動板200E的第一面211排列有多個作為壓電驅(qū)動部1E的壓電振動體100E的壓電驅(qū)動裝置。與圖2作比較可知，壓電振動體100E為省略了基板120的結(jié)構(gòu)。這是因為，在壓電驅(qū)動裝置IlE中，通過在形成于基板120E的多個壓電振動體100E的周圍形成貫通孔252，在基板120E形成振動體部210、連接部220和固定部230，并且將基板120E的外形形狀形成為與振動板200E的外形形狀(參照圖3)及突起部20對應(yīng)的形狀，使基板120E作為振動板200E及突起部20發(fā)揮功能。此夕卜，其余結(jié)構(gòu)與第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11的變形例的壓電驅(qū)動裝置IlA相同。
[0076]圖10是示出壓電驅(qū)動裝置IlE的制造工序的一例的流程圖。在步驟SlO中，在作為基板120E的Si晶片120W上，通過成膜處理，對多個壓電驅(qū)動裝置IlE的每個形成與I個壓電驅(qū)動裝置IlE對應(yīng)的多個壓電元件110E，由此形成用于各壓電驅(qū)動裝置IlE而排列的多個壓電振動體100E。此外，壓電振動體10E的形成與第一實施方式的壓電振動體100(參照圖2)相同，因此在此省略對其的說明。Si (硅)的機械質(zhì)量系數(shù)Qm的值是10萬左右的較大值，因此能夠增加壓電振動體100E(壓電驅(qū)動部10E)及振動板200E的機械質(zhì)量系數(shù)Qm。在步驟S20中，在與Si晶片120W上的各壓電驅(qū)動裝置IlE對應(yīng)的基板120E的部分，經(jīng)蝕刻形成振動板200E的外形形狀及突起部20，并在各壓電振動體100E的周圍形成貫通孔252，由此形成振動體部210、連接部220和固定部230，并在Si晶片120W形成多個壓電驅(qū)動裝置11E。在步驟S30中，將形成于Si晶片120W的多個壓電驅(qū)動裝置IlE通過激光切割而分離。其結(jié)果，能夠從I片Si晶片120W同時制造多個壓電驅(qū)動裝置11E。
[0077]圖11是示出第四實施方式的變形例的壓電驅(qū)動裝置IlF的I個壓電驅(qū)動部1F的示意結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖11與圖9(B)的B — B剖視圖對應(yīng)。該壓電驅(qū)動裝置IlF是如下壓電驅(qū)動裝置:對于2個壓電驅(qū)動裝置11E(參照圖9)，將作為振動板200E的基板120E的第二面212貼在一起，以使2個壓電驅(qū)動裝置IlE各自的壓電驅(qū)動部1E上下對稱，該壓電驅(qū)動裝置IlF是與第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置11(參照圖2)對應(yīng)的壓電驅(qū)動裝置。
[0078]以上，在本實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlE中，通過成膜工藝，能夠在Si基板120E上一體形成多個作為使壓電驅(qū)動部1E的多個壓電振動體100E排列在振動板200E而得的壓電驅(qū)動裝置。另外，通過將壓電驅(qū)動裝置IlE貼在一起，能夠一體形成壓電驅(qū)動裝置11F。通過成膜工藝能夠在Si晶片120W上精確制造壓電驅(qū)動裝置IlE，因此與第一實施方式及其變形例的壓電驅(qū)動裝置11、11A?IlB相比，可以實現(xiàn)更為小型且輕量的壓電驅(qū)動裝置。另外，通過成膜處理，能夠在一片Si晶片120W上同時形成多個壓電驅(qū)動裝置11E，從而能夠提高制造效率。
[0079]對于變形例的壓電驅(qū)動裝置11F，作為將本實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlE貼在一起的壓電驅(qū)動裝置進行了說明，但在壓電驅(qū)動裝置IlE的基板120E的第二面212側(cè)也可以與第一面211側(cè)相同地，通過成膜處理形成壓電振動體100E，由此進行制造。
[0080]此外，在本實施方式及變形例中，對將Si制的基板作為壓電振動體的基板并作為振動板而發(fā)揮功能的情況進行了說明，但不限于此，可以利用能用作成膜處理的基板的多種基板，一體形成壓電振動體的基板及振動板。
[0081 ] E.第五實施方式:
[0082]在第四實施方式中，以將Si制的基板作為壓電振動體的基板并作為振動板發(fā)揮功能的方式，將使用成膜工藝一體形成壓電振動體和振動板的壓電驅(qū)動裝置以與支承體30的支承部310粘合而固定的壓電驅(qū)動裝置11E(參照圖9)示出。對此，如下所述，除使用成膜工序一體形成壓電振動體和振動板之外，還能夠一體形成支承體。
[0083]圖12是第五實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlG的示意結(jié)構(gòu)圖，是與第一實施方式的圖1對應(yīng)的圖。圖12(A)是壓電驅(qū)動裝置IlG的俯視圖，圖12(B)是其側(cè)視圖。此外，為了便于進行以下的圖示及說明，圖12中以在振動板200G排列有3個壓電驅(qū)動部1G的結(jié)構(gòu)為例示出，但不限于此，可以采用排列有多種個數(shù)的壓電驅(qū)動部10G。
[0084]壓電驅(qū)動裝置IlG與壓電驅(qū)動裝置11E(參照圖9)相同地，在振動板200G的上表面(第一面)一體形成有作為壓電驅(qū)動部1G的壓電振動體100G。另外，在與振動板200G的下表面(第二面)的固定部230對應(yīng)的位置一體形成有構(gòu)成支承體30G的支承部310。該壓電驅(qū)動裝置IlG與壓電驅(qū)動裝置IlE同樣地，可以使用成膜工藝來制造。
[0085]圖13?圖15是示出壓電驅(qū)動裝置IIG的制造工序的一例的說明圖。首先，如圖13
(B)的側(cè)視圖所示，通過使Si晶片120W的上表面氧化，形成成為振動板200G的S12層120G，在其上表面，如圖13(A)的俯視圖所示，形成壓電振動體100G。壓電振動體100G的形成與第一實施方式的壓電振動體100(參照圖2)相同，因此在此省略對其的說明。此外，可以通過在Si晶片120W的上表面形成氧化鋁等，形成振動板200G。
[0086]接下來，如圖14(A)的俯視圖、圖14(B)(即，圖14(A)的B — B剖視圖)、及圖14(C)(SP，圖14(A)的C一C剖視圖)所示，通過將各壓電振動體100G的周D的S12層120G(振動板200G)的一部用蝕刻等去除，形成突起部20、振動體部210、連接部220、及固定部230。
[0087]接下來，如圖15(A)的俯視圖、圖15(B)(即，圖15(A)的B— B剖視圖)、及15(C)(即，圖15 (A)的C 一 C剖視圖)所示，以將與沿著振動板200G (S i02層120G)的振動體部210的長邊方向的固定部230對應(yīng)的Si晶片120W的部分作為支承部310留下的方式，將其余部分以蝕刻方式去除，從而形成支承體30G。由此、能夠制造一體形成有支承體30G的壓電驅(qū)動裝置IlG(參照圖12)。
[0088]此外，雖然省略了圖示，但像在第四實施方式說明的那樣，能夠在Si晶片120W形成多個壓電驅(qū)動裝置11G，因此將這些多個壓電驅(qū)動裝置IlG通過激光切割而分離。由此，能夠從I片Si晶片120W同時制造多個壓電驅(qū)動裝置11G。
[0089]F.第六實施方式:
[0090]圖16是示出第六實施方式的壓電驅(qū)動裝置IlH的示意結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是與第二實施方式的圖7對應(yīng)的圖。壓電驅(qū)動裝置IlH是通過經(jīng)由支承體30G的支承部310將壓電驅(qū)動裝置11G(參照圖12)層疊在其他壓電驅(qū)動裝置11G，具有層疊有多個壓電驅(qū)動裝置IlG的層疊結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動裝置。在各壓電驅(qū)動裝置IlG中，上側(cè)的壓電驅(qū)動裝置IlG的支承部310的下表面和下側(cè)的壓電驅(qū)動裝置IlG的振動板200G之間用粘合劑粘合。
[0091]G.使用了壓電驅(qū)動裝置的裝置的實施方式:
[0092]上述壓電驅(qū)動裝置11?IlH是能夠通過利用諧振對被驅(qū)動體賦予較大的力裝置，可適用于各種裝置。壓電驅(qū)動裝置11?IlH例如可以用作機器人(也包括電子部件搬送裝置(IC處理器))、投藥用栗、表的送日歷裝置、印刷裝置(例如送紙機構(gòu)。其中，在用于頭部的壓電驅(qū)動裝置中，不使振動板諧振，因此不可以用于頭部。)等各種機器的驅(qū)動裝置。下文中，對代表性的實施方式進行說明。
[0093]圖17是示出利用上述壓電驅(qū)動裝置IlC的機器人2050的一例的說明圖。機器人2050具有臂2010(還稱為“腕部”)，臂2010具備多個連桿部2012(還稱為“連桿部件”)和多個關(guān)節(jié)部2020，多個關(guān)節(jié)部2020以可轉(zhuǎn)動或彎曲的狀態(tài)連接這些連桿部2012之間。每個關(guān)節(jié)部2020中內(nèi)置有上述壓電驅(qū)動裝置11C，可以使用壓電驅(qū)動裝置IlC使關(guān)節(jié)部2020轉(zhuǎn)動或彎曲任意角度。在臂2010的前端連接有機器人手2000。機器人手2000具備一對把持部2003。在機器人手2000中也內(nèi)置有壓電驅(qū)動裝置11C，可以使用壓電驅(qū)動裝置IlC對把持部2003進行開閉而把持物品。另外，在機器人手2000和臂2010之間也設(shè)置有壓電驅(qū)動裝置11C，可以使用壓電驅(qū)動裝置IlC使機器人手2000相對于臂2010旋轉(zhuǎn)。
[0094]圖18是圖17所示的機器人2050的手腕部分的說明圖。手腕的關(guān)節(jié)部2020夾持手腕轉(zhuǎn)動部2022，手腕的連桿部2012以繞手腕轉(zhuǎn)動部2022的中心軸O可轉(zhuǎn)動的方式安裝在手腕轉(zhuǎn)動部2022。手腕轉(zhuǎn)動部2022具備壓電驅(qū)動裝置11C，壓電驅(qū)動裝置IIC使手腕的連桿部2012及機器人手2000繞中心軸O轉(zhuǎn)動。機器人手2000立設(shè)有多個把持部2003。把持部2003的基端部在機器人手2000內(nèi)可移動，在該把持部2003的根部搭載有壓電驅(qū)動裝置11C。因此，通過使壓電驅(qū)動裝置IIC動作，能夠移動把持部2003而使其把持目標(biāo)。
[0095]此外，作為機器人，不限于單腕的機器人，在腕的個數(shù)在2以上的多腕機器人中也可以適用壓電驅(qū)動裝置11C。其中，在手腕的關(guān)節(jié)部2020、機器人手2000的內(nèi)部，除了壓電驅(qū)動裝置IlC之外，包含對力傳感器、陀螺儀傳感器等各種裝置供應(yīng)電力的電源線、傳遞信號的信號線等，從而需要非常多的布線。因此，在關(guān)節(jié)部2020、機器人手2000的內(nèi)部配置布線是非常困難的。然而，在上述實施方式的壓電驅(qū)動裝置11C，由于可以相比通常的電動馬達、現(xiàn)有的壓電驅(qū)動裝置減小驅(qū)動電流，所以在像關(guān)節(jié)部2020(尤其是臂2010的頂端的關(guān)節(jié)部)、機器人手2000這種小空間中也可以配置布線。另外，由于壓電驅(qū)動裝置IlC是小型且輕量結(jié)構(gòu)，與為了獲得相同輸出而使用多個現(xiàn)有的壓電驅(qū)動裝置的情況相比，更容易內(nèi)置于關(guān)節(jié)部2020、機器人手2000，并且容易產(chǎn)生為了使這些動作所需的輸出。
[0096]圖19是示出利用了上述壓電驅(qū)動裝置IlC的送液栗2200的一例的說明圖。在送液栗2200的殼體2230內(nèi)設(shè)置有容器2211、管2212、壓電驅(qū)動裝置11C、轉(zhuǎn)子2222、減速傳達機構(gòu)2223、凸輪2202、多個指狀物 2213、2214、2215、2216、2217、2218、2219。容器 2211 是用于收容作為運輸對象的液體的收容部。管2212是用于運輸從容器2211送出的液體的管。壓電驅(qū)動裝置IIC的多個突起部20以向轉(zhuǎn)子2222的側(cè)面按壓的狀態(tài)設(shè)置，壓電驅(qū)動裝置IIC使轉(zhuǎn)子2222旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。轉(zhuǎn)子2222的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由減速傳達機構(gòu)2223向凸輪2202傳遞。指狀物2213至2219是用于封閉管2212的部件。若凸輪2202旋轉(zhuǎn)，則通過凸輪2202的突起部2202A，指狀物2213至2219依次被推向放射方向外側(cè)。指狀物2213至2219從運輸方向上游側(cè)(容器2211側(cè))開始依次封閉管2212。由此，管2212內(nèi)的液體依次被運向下游側(cè)。這樣的話，可以以高精度運輸極少量的液體，而且還能夠?qū)崿F(xiàn)小型送液栗2200。此外，各部件的配置不限于圖示中的配置。另外，也可以采用不具備指狀物等部件而由設(shè)置于轉(zhuǎn)子2222的球等封閉管2212的結(jié)構(gòu)。上述送液栗2200可以用于將胰島等藥液投藥給人體的投藥裝置等。其中，由于通過使用上述實施方式的壓電驅(qū)動裝置11C，相比現(xiàn)有的壓電驅(qū)動裝置減小驅(qū)動電流，所以能夠抑制投藥裝置的電力消耗。因此，在對投藥裝置進行電池驅(qū)動的情況下尤其有效。
[0097]本發(fā)明并不限于上述的實施方式、實施例、變形例，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍的情況下能夠以各種結(jié)構(gòu)實現(xiàn)。例如，對于與記載在
【發(fā)明內(nèi)容】
一項的各方式中的技術(shù)特征對應(yīng)的實施方式、實施例、變形例中的技術(shù)特征，為了解決上述課題的一部分或全部，或者起到上述效果的一部分或全部，可進行適當(dāng)?shù)奶鎿Q、組合。另外，若在本說明書中沒有說明該技術(shù)特征是必要的，則可以適當(dāng)刪除。
[0098]附圖標(biāo)記說明
[0099]10、1(^."壓電驅(qū)動部；1(^、101^"壓電驅(qū)動部；11、11厶、118、11(:、110、1^、11卩、116、11!1‘"壓電驅(qū)動裝置;20‘"突起部(接觸部、作用部)；5(^_轉(zhuǎn)子(被驅(qū)動體)；50&、5013...轉(zhuǎn)子(被驅(qū)動體)；51…被驅(qū)動體的中心；100、100E、100G…壓電振動體；110、110a、110b、110(:、110(1、11(^"壓電元件；120、12(^"基板；1206"^02層；1201.^晶片；13(^.第一電極；140 …壓電體；150、15(^、15013、150(3、150(1、15(^."第二電極；151、152丨布線；200、20(?、200G…振動板;210…振動體部；211...第一面；212…第二面；213…第三面；214…第四面；220…連接部；230…固定部；300、300D...驅(qū)動電路；310、312、314、32(^.布線；31(^、312&、314a、320a …布線；310b、312b、314b、320b …布線；2000...機器人手；2003...把持部；2010...臂；2012…連桿部；2020…關(guān)節(jié)部；2022...手腕轉(zhuǎn)動部；2050…機器人；2200...送液栗；2202...凸輪;2202A …突起部；2211...容器;2212..?管；2213...指狀物;2222...轉(zhuǎn)子;2223...減速傳達機構(gòu);2230...殼體。
【主權(quán)項】
1.一種壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，具備: 振動板;和 多個壓電驅(qū)動部，設(shè)置于所述振動板，并分別具有能夠與被驅(qū)動體接觸的接觸部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 所述多個壓電驅(qū)動部分別具有包括壓電體的壓電振動體，所述壓電體設(shè)置有電極。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 所述振動板具有第一面、第二面、以及將所述第一面與所述第二面之間連接的第三面和第四面， 所述壓電振動體設(shè)置于所述振動板的所述第一面， 所述接觸部是設(shè)置于所述振動板的所述第三面或所述第四面的突起部。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 所述壓電驅(qū)動部具有設(shè)置于所述第二面的壓電振動體。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 多個所述接觸部排成一列地設(shè)置在所述第三面和所述第四面中的至少一個。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 設(shè)置有所述多個壓電驅(qū)動部的所述振動板被層疊多個。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 所述電極包括第一電極和第二電極， 所述壓電振動體具有基板、形成于所述基板的所述第一電極、形成于所述第一電極的所述壓電體、以及形成于所述壓電體的所述第二電極。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 所述振動板由所述基板構(gòu)成。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于， 所述基板是硅基板。10.一種機器人，其特征在于，具備: 多個連桿部； 關(guān)節(jié)部，其將所述多個連桿部連接；以及 權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動裝置，其用所述關(guān)節(jié)部使所述多個連桿部轉(zhuǎn)動。11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動方法，其特征在于， 通過對多個所述壓電振動體各自的所述電極施加周期性變化的電壓，來對所述被驅(qū)動體進行驅(qū)動。
【文檔編號】H02N2/14GK105897037SQ201610086752
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年2月16日
【發(fā)明人】宮澤修
【申請人】精工愛普生株式會社