1.一種遮擋邊框,其特征在于,由在厚度方向上、下設(shè)置的矩形的上框和下框組成,上框的矩形內(nèi)孔尺寸小于下框的矩形內(nèi)孔尺寸,從而在內(nèi)壁上形成臺(tái)階面;所述下框的矩形內(nèi)孔尺寸與待加工薄膜太陽(yáng)能電池的襯底邊緣尺寸相配合;所述上框的矩形內(nèi)孔尺寸與待加工薄膜太陽(yáng)能電池的待鍍膜層的邊緣尺寸相配合。
2.一種采用權(quán)利要求1所述遮擋邊框的超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,包括以下步驟:
a.取一超薄玻璃襯底,玻璃的厚度在0.70mm~0.05mm,對(duì)超薄玻璃進(jìn)行清洗;
b.在超薄玻璃襯底上沉積緩沖層;
c.在緩沖層上繼續(xù)沉積前電極,沉積前電極前,采用上述結(jié)構(gòu)的遮擋邊框覆蓋在超薄玻璃襯底上,遮擋邊框的下框與超薄玻璃襯底邊緣相互配合定位,遮擋邊框的上框?qū)㈦x超薄玻璃襯底邊緣D1距離的區(qū)域遮擋住,然后沉積形成前電極,使被遮擋住的部分不能形成鍍膜;
d.在前電極上繼續(xù)沉積吸收層,沉積前,采用另一種尺寸的遮擋邊框覆蓋,遮擋邊框的下框與超薄玻璃襯底邊緣相互配合定位,遮擋邊框的上框?qū)㈦x超薄玻璃襯底邊緣D2距離的區(qū)域遮擋住,D1大于D2,從而在上框與前電極側(cè)邊之間形成間隙,然后沉積吸收層,使被遮擋部分不能鍍上吸收層,同時(shí)使吸收層材料進(jìn)入上述間隙并包裹住前電極的側(cè)邊;
e.在吸收層上繼續(xù)沉積背電極,沉積背電極前,采用第三種尺寸的遮擋邊框覆蓋,遮擋邊框的下框與超薄玻璃襯底邊緣相互配合定位,遮擋邊框的上框?qū)㈦x超薄玻璃襯底邊緣D3距離的區(qū)域遮擋住,D3大于D2;然后沉積背電極,使被遮擋部分的襯底和吸收層不能鍍上背電極;
f.在上述背電極上引出一個(gè)電極,在前電極上引出相反的電極,再用一層玻璃或透光的高聚物通過(guò)透光的粘接材料將薄膜太陽(yáng)能電池粘結(jié)封裝,形成太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,步驟b中,緩沖層采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法沉積SiOx 20~100nm,采用SiH4和CO2作為反應(yīng)氣體,CO2/SiH4的比例在5~20之間,等離子功率密度在0.03~0.20W/cm2。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,步驟c中,前電極為金屬或透明導(dǎo)電氧化物薄膜;優(yōu)選為摻硼氧化鋅薄膜,薄膜厚度1.0~2.0um,可見(jiàn)光透過(guò)率大于80%,方塊電阻為10~20ohm/sq。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,步驟d中,所述吸收層為硅薄膜的PIN結(jié)構(gòu)或者NIP結(jié)構(gòu)、CIGS 薄膜電池、CdTe薄膜電池結(jié)構(gòu)、有機(jī)半導(dǎo)體薄膜這幾種結(jié)構(gòu)中的一種,或二至三種的串聯(lián)疊層組合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,吸收層為非晶硅薄膜的PIN結(jié)構(gòu),其中包括沉積在前電極上面的P型非晶硅,本征型非晶硅,N型非晶硅,以及這三層之間的過(guò)渡層。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,步驟e中,所述背電極為金屬或透明導(dǎo)電氧化物薄膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,尺寸D3 > D1 > D2+2mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,背電極為摻硼氧化鋅薄膜,薄膜厚度1.0~2.0um,可見(jiàn)光透過(guò)率大于80%,方塊電阻為10~20ohm/sq。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述超薄襯底薄膜太陽(yáng)能電池的制造方法,其特征在于,步驟f中,所述高聚物為聚碳酸酯(PC)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)之一;所述粘接材料為EVA、PVB、有機(jī)硅之一。