專利名稱：電動(dòng)機(jī)控制裝置和電動(dòng)機(jī)控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在工作機(jī)械、產(chǎn)業(yè)機(jī)械中驅(qū)動(dòng)伺服電動(dòng)機(jī)的控制裝置，尤其涉及芯片焊接機(jī)(die bonder)等半導(dǎo)體制造裝置的電動(dòng)機(jī)控制裝置和電動(dòng)機(jī)控制方法，其中伺服電動(dòng)機(jī)用于移動(dòng)作為被驅(qū)動(dòng)體的工件。
背景技術(shù)：
例如圖I所示，以往的伺服電動(dòng)機(jī)的控制裝置100，從動(dòng)作控制器來觀察是開環(huán)控制，使用當(dāng)前的指令位置和從電動(dòng)機(jī)130得到的實(shí)際位置和實(shí)際速度，僅在伺服組件120 (速度環(huán)控制部122和位置環(huán)控制部121)進(jìn)行位置和速度的補(bǔ)償。即，當(dāng)目標(biāo)位置速 度被輸入到控制裝置100時(shí)，根據(jù)指令速度波形部110的輸出波形111，指令脈沖串生成部112將位置指令值作為指令脈沖串依次輸出至伺服組件120。伺服組件120響應(yīng)所輸入的位置指令值，位置環(huán)控制部121和速度環(huán)控制部122向電動(dòng)機(jī)130輸出控制信號(hào)。S卩，電動(dòng)機(jī)130根據(jù)控制信號(hào)而旋轉(zhuǎn)，隨著旋轉(zhuǎn)，實(shí)際位置和實(shí)際速度反饋到位置環(huán)控制部121及速度環(huán)控制部122，進(jìn)行反饋控制。在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，在使電動(dòng)機(jī)高速動(dòng)作時(shí)，在伺服組件120內(nèi)不能掌握之后的指令波形。因此，要容易抑制對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、穩(wěn)定時(shí)間比較困難。而且，由于成為積存脈沖(或位置偏差脈沖，或錯(cuò)誤脈沖)方式的電動(dòng)機(jī)控制，因此在進(jìn)行同步控制等時(shí)要以理想的軌跡動(dòng)作較為困難。但是，以往在伺服電動(dòng)機(jī)控制中，需要平穩(wěn)地加速或減速來移動(dòng)工件，以避免對(duì)工件或支承工件的單元部件帶來機(jī)械沖擊。專利文獻(xiàn)I中記載了如下這樣的伺服電動(dòng)機(jī)的加減速控制方法在一邊基于目標(biāo)位置、目標(biāo)速度及加減速時(shí)間的指令值用實(shí)際時(shí)間運(yùn)算速度指令值一邊進(jìn)行速度和位置的控制的伺服電動(dòng)機(jī)中，將加減速時(shí)間分為加速度的增加、恒定、減少這三個(gè)區(qū)間，一邊在各區(qū)間用實(shí)際時(shí)間運(yùn)算速度指令值使之成為恒定，一邊進(jìn)行加減速。專利文獻(xiàn)2中記載了如下這樣的伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)控制裝置從給予伺服電動(dòng)機(jī)反復(fù)周期性位置指令的計(jì)算機(jī)數(shù)值控制裝置接受位置指令，并且從位置檢測(cè)器接受表示被驅(qū)動(dòng)體位置的信號(hào)，利用取得位置指令和被驅(qū)動(dòng)體位置的第一位置偏差的單元求出第一補(bǔ)正數(shù)據(jù)，基于第一位置偏差和第一補(bǔ)正數(shù)據(jù)來對(duì)被驅(qū)動(dòng)體進(jìn)行位置控制。專利文獻(xiàn)3記載了如下這樣的位置指令生成方法以及位置指令生成裝置在每一指令周期按照指定加速度，生成使作為位置指令的當(dāng)前值與前次值之差的位置指令差分速度加速到上述指定速度的上述位置指令，在此過程中，在若使位置指令差分速度進(jìn)一步加速則不能以減速度減速停止在指定位置的情況下，生成位置指令以使得成為以減速度減速停止在指定位置的位置指令差分速度，并且，在由位置指令差分速度與定位時(shí)間的關(guān)系形成的速度模型的頂點(diǎn)處的加加速度大于由程序預(yù)先確定的加加速度限制值時(shí)，以使加加速度為加加速度限制值以下的方式生成位置指令。專利文獻(xiàn)I :日本特開平3-36977號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2007-316702號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3 :日本特開2009-187521號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，在使電動(dòng)機(jī)高速工作時(shí)，在伺服組件120內(nèi)不能掌握以后的指令波形。因此，要容易地抑制相對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、穩(wěn)定時(shí)間比較困難。而且，由于成為積存脈沖方式的電動(dòng)機(jī)控制，因此在進(jìn)行同步控制等時(shí)要以理想的軌跡動(dòng)作較為困難。鑒于上述問題的存在，本發(fā)明的目的在于提供一種可以通過抑制動(dòng)作中相對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差來縮短穩(wěn)定時(shí)間的電動(dòng)機(jī)控制裝置和電動(dòng)機(jī)控制方法。利用本發(fā)明，能夠使電動(dòng)機(jī)以理想的軌跡動(dòng)作，而且，能夠始終監(jiān)視當(dāng)前位置，因此容易使多個(gè)軸同步地進(jìn)行動(dòng)作。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置及電動(dòng)機(jī)控制方法包括由對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)影響較大的加加速度數(shù)據(jù)生成指令波形的單元、和進(jìn)行實(shí)時(shí)實(shí)際位置控制的單元，該實(shí)時(shí)實(shí)際位置控制根據(jù)偏差量一邊始終限制加加速度一邊重新生成此后的指令波形，據(jù)此，抑制電動(dòng)機(jī)高速動(dòng)作時(shí)對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定時(shí)間的縮短。S卩，本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置，用伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體來進(jìn)行控制，其特征在于，該電動(dòng)機(jī)控制裝置包括理想波形生成部，其生成加加速度、加速度、速度及位置的理想指令波形；指令波形生成部，其讀出上述理想的波形，重新生成目標(biāo)指令位置以及加加速度、加速度、速度及位置的指令波形，輸出重新生成的速度的指令波形；數(shù)模轉(zhuǎn)換器，將上述重新生成的速度的指令波形變換為模擬數(shù)據(jù)；伺服電動(dòng)機(jī)，根據(jù)上述模擬數(shù)據(jù)的控制進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，將實(shí)際位置作為編碼器信號(hào)輸出，上述指令波形生成部包括根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置和上述目標(biāo)指令位置來生成加加速度相加波形，并將所生成的上述加加速度相加波形與上述前次的指令加加速度波形進(jìn)行相加來重新生成加加速度指令波形，并且重新生成指令加速度波形、指令速度波形以及指令位置波形的指令波形重新生成處理部；和保存上述生成的理想指令波形、上述重新生成加加速度指令波形、指令加速度波形、指令速度波形以及指令位置波形的指令波形輸入輸出部。優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置中，上述指令波形重新生成處理部具有加加速度相加波形生成部，其根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置與上述目標(biāo)指令位置之差即偏差量生成上述加加速度相加波形。還優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置中，上述指令波形重新生成處理部還包括加加速度限制部，在上述重新生成的指令加加速度波形大于預(yù)定的加加速度上限值或小于加加速度下限值時(shí)，將NG信息輸出至上述指令波形輸入輸出部，上述指令波形輸入輸出部在被輸入了上述NG信息時(shí)，將在上述前次的定時(shí)重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形復(fù)原，將復(fù)原后的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波 形、以及上述指令位置波形作為重新生成的指令加加速度波形、指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形，將重新生成的上述指令速度波形輸出至上述數(shù)模轉(zhuǎn)換器。
還優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置中，上述指令波形重新生成處理部還包括加加速度限制部和指令波形復(fù)原部，上述加加速度限制部在上述重新生成的指令加加速度波形大于預(yù)定的加加速度上限值或小于加加速度下限值時(shí)輸出NG信息，上述指令波形復(fù)原部在被輸入了上述NG信息時(shí)，將在上述前次的定時(shí)重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形復(fù)原，并輸出至上述指令波形輸入輸出部，
上述指令波形輸入輸出部將復(fù)原的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為重新生成的指令加加速度波形、指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形，將重新生成的上述指令速度波形輸出至上述數(shù)模轉(zhuǎn)換器。還優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置中，上述指令波形生成部將重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為在前次定時(shí)重新生成的指令波形而保存。本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的電動(dòng)機(jī)控制方法，用伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體來進(jìn)行控制，其特征在于，生成加加速度、加速度、速度及位置的理想指令波形；讀出上述理想的波形，重新生成目標(biāo)指令位置以及加加速度、加速度、速度及位置的指令波形，并將重新生成的速度的指令波形作為模擬數(shù)據(jù)而輸出；根據(jù)上述模擬數(shù)據(jù)的控制驅(qū)動(dòng)上述伺服電動(dòng)機(jī)，將實(shí)際位置作為編碼器信號(hào)輸出，根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置和上述目標(biāo)指令位置生成加加速度相加波形，將所生成的上述加加速度相加波形與上述指令波形生成部在前次定時(shí)重新生成的指令加加速度波形相加，重新生成加加速度指令波形，并且還重新生成指令加速度波形、指令速度波形以及指令位置波形。優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制方法中，根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置與上述目標(biāo)指令位置之差即偏差量生成上述加加速度相加波形。優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制方法中，在上述重新生成的指令加加速度波形大于預(yù)定的加加速度上限值或小于加加速度下限值時(shí)輸出NG信息，在被輸入了上述NG信息時(shí)，將在上述前次定時(shí)重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形復(fù)原，將復(fù)原后的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為重新生成的指令加加速度波形、指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形，將重新生成的上述指令速度波形作為模擬數(shù)據(jù)輸出，根據(jù)上述模擬數(shù)據(jù)的控制驅(qū)動(dòng)上述伺服電動(dòng)機(jī)。還優(yōu)選是在上述本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制方法中，將上述重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為在前次定時(shí)重新生成的指令波形而保存。根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制電動(dòng)機(jī)高速動(dòng)作時(shí)對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定時(shí)間的縮短。能夠使電動(dòng)機(jī)以理想的軌跡動(dòng)作，而且，能夠始終監(jiān)視當(dāng)前位置，因此容易使多個(gè)軸同步地進(jìn)行動(dòng)作。


圖I是表示以往的控制裝置的構(gòu)成的框圖。圖2是用于說明本發(fā)明的控制裝置的一實(shí)施例的基本原理的構(gòu)成框圖。圖3是用于說明由本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的動(dòng)作控制器中的理想波形生成部生成的理想的指令波形的一實(shí)施例的圖。圖4A是用于說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的一實(shí)施例的加加速度相加波形的圖。圖4B是表示本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的一實(shí)施例的構(gòu)成的框圖。圖4C是表示本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的一實(shí)施例的構(gòu)成的框圖。
圖5是表不實(shí)施本發(fā)明時(shí)的偏差量為I脈沖、2脈沖、4脈沖、8脈沖及16脈沖時(shí)各自的補(bǔ)償用相加的加加速度波形、加速度波形以及速度波形的圖。圖6是用于說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制方法的動(dòng)作的一實(shí)施例的步驟的流程圖。圖7是用于說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置及電動(dòng)機(jī)控制方法的一實(shí)施例的加加速度上限下線確認(rèn)處理動(dòng)作的圖。圖8是表示本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置及電動(dòng)機(jī)控制方法中的補(bǔ)償用的加加速度波形算出后的重新生成的指令波形的一實(shí)施例的圖。標(biāo)號(hào)說明100控制裝置110動(dòng)作控制器111指令速度波形生成部112指令脈沖串生成部120伺服組件121位置環(huán)控制部122速度環(huán)控制部130伺服電動(dòng)機(jī)200控制裝置210動(dòng)作控制器211理想波形生成部212指令波形生成部213數(shù)模轉(zhuǎn)換器220伺服組件221速度環(huán)控制部410指令波形輸入輸出部420指令波形重新生成處理部421減法器422加加速度相加波形生成部423 426加法器427加加速度限制部428加速度限制部429速度限制部
4210指令波形 復(fù)原部430編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器
具體實(shí)施例方式圖2是用于說明本發(fā)明的控制裝置的一實(shí)施例的基本原理的構(gòu)成框圖。200是控制裝置，210是動(dòng)作控制器，211是進(jìn)行理想的指令波形的生成處理的理想波形生成部，212是指令波形生成部，213是DAC (Digital to Analog Converter :數(shù)模轉(zhuǎn)換器)，220是伺服組件，221是速度環(huán)控制部，130是伺服電動(dòng)機(jī)。與圖I相同的設(shè)備標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略說明。如圖2所示，本發(fā)明的控制裝置200是由動(dòng)作控制器210和伺服組件220構(gòu)成閉環(huán)控制。因此，使用當(dāng)前的指令位置和從電動(dòng)機(jī)130獲得的實(shí)際位置及實(shí)際速度，在伺服組件220的速度環(huán)控制部221進(jìn)行速度控制。其中，速度環(huán)控制部221通過動(dòng)作控制器210 —邊獲得來自電動(dòng)機(jī)130的實(shí)際速度和實(shí)際位置來限制加加速度，一邊重新生成指令波形，據(jù)此進(jìn)行其速度控制。另外，指令波形生成部212例如是CPU (Central Processing Unit 中央處理器)。例如在圖2中，目標(biāo)位置速度被輸入到控制裝置200。然后，實(shí)際位置及實(shí)際速度經(jīng)由伺服組件220或者從電動(dòng)機(jī)130直接作為編碼器信號(hào)依次輸入到指令波形生成部212。動(dòng)作控制器210的理想波形生成部211分別將(a)加加速度波形、(b)加速度波形、(c)速度波形、(d)位置波形作為輸出信號(hào)的指令波形輸入到指令波形生成部212。指令波形生成部212根據(jù)從理想波形生成部211輸出的輸出信號(hào)波形和從電動(dòng)機(jī)130輸入的編碼器信號(hào)，一邊限制加加速度，一邊重新生成此后的指令波形，并依次輸出至DAC213。例如，指令波形生成部212進(jìn)行(I)指令波形輸入輸出處理、(2)編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)處理、以及(3)指令波形重新生成處理。DAC213將所輸入的數(shù)字指令值變換為模擬信號(hào)的速度指令值，輸出至伺服組件220的速度環(huán)控制部221。另外，編碼器信號(hào)是由編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器(后述的圖4B等)將位置偏差量作為脈沖而積蓄的。伺服組件220的速度環(huán)控制部221根據(jù)從動(dòng)作控制器210輸入的速度指令值和從電動(dòng)機(jī)130輸入的編碼器信號(hào)，控制電動(dòng)機(jī)130的旋轉(zhuǎn)速度。電動(dòng)機(jī)130以與從伺服組件220的速度環(huán)控制部221輸入的旋轉(zhuǎn)速度控制相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將實(shí)際位置和實(shí)際速度作為編碼器信號(hào)輸出至伺服組件220的速度環(huán)控制部221和動(dòng)作控制器210的指令波形生成部212。在圖2的實(shí)施例中，根據(jù)電動(dòng)機(jī)130的計(jì)數(shù)值(旋轉(zhuǎn)次數(shù)和旋轉(zhuǎn)角度)計(jì)算被驅(qū)動(dòng)體的實(shí)際位置，基于所算出的實(shí)際位置計(jì)算實(shí)際速度。但是，也可以具有用于直接檢測(cè)被驅(qū)動(dòng)體的位置的位置檢測(cè)裝置，將該位置檢測(cè)裝置檢測(cè)出的位置作為實(shí)際位置。接著，進(jìn)一步說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置和電動(dòng)機(jī)控制方法的一實(shí)施例。首先，如后述的圖3所示，根據(jù)目標(biāo)的加加速度JD、加速度AD、速度VD以及位置H)生成理想的指令波形。接著，如圖4B的控制框圖的處理所示，進(jìn)行指令輸出處理及指令波形重新生成處理。此時(shí)，對(duì)理想的指令波形(例如理想的加加速度波形)加上已加進(jìn)偏差量的加加速度相加波形，進(jìn)行指令波形重新生成處理。圖3是用于說明由本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的動(dòng)作控制器中的理想波形生成部生成的指令波形的一實(shí)施例的圖。圖3的(a)是指令加加速度波形，圖3的(b)是由指令加加速度波形生成的指令加速度波形，圖3的(C)是由指令加速度波形生成的指令速度波形，圖3的(d)是由指令加速度波形生成的指令位置。指令位置是指被驅(qū)動(dòng)體的移動(dòng)目的地的位置。另外，橫軸是時(shí)間，圖3的(a) 圖3的(d)中，Jobj是目標(biāo)加加速度，Aobj是目標(biāo)加速度，Vob j是目標(biāo)速度，Pob j是目標(biāo)位置。在圖3的(a)中，η是輸出I脈 沖的指令波形的指令輸出周期的次數(shù)，是8的倍數(shù)。如圖3所示，驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體的電動(dòng)機(jī)進(jìn)行加加速度控制自移動(dòng)開始到最初的期間Tl被逐漸加速，在中間部的期間Τ2為恒定速度(期間Τ2)，在最終移動(dòng)位置附近的期間Τ3，被逐漸減速為停止。在本實(shí)施例中，設(shè)為η是8的倍數(shù)，但也可以設(shè)定為在目標(biāo)位置為正方向時(shí)，加力口速度指令值變化為正值、負(fù)值、負(fù)值、正值的波形，或者在目標(biāo)位置為正方向時(shí)，加加速度指令值變化為正值、負(fù)值、正值的波形。這是由于在目標(biāo)移動(dòng)距離較短時(shí)，消除了加加速度指令值O的區(qū)間。首先，在圖4Β中，讀出預(yù)先生成的理想的指令波形(加加速度JD、加速度AD、速度VD以及位置H))。圖4B是表示本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的一實(shí)施例的構(gòu)成的框圖，是用于說明在本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的動(dòng)作控制器生成的指令波形的一實(shí)施例的圖。圖4A是用于說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的一實(shí)施例的加加速度相加波形的圖。在圖4A中，K是脈沖寬度，JC是脈沖高度，χ是脈沖序號(hào)(I < χ < η，χ和η是自然數(shù))。接著，在圖4Β中，動(dòng)作控制器210的理想波形生成部211將理想加加速度波形JD、理想加速度波形AD、理想速度波形VD及理想位置波形H)的脈沖分別作為理想的指令波形輸出至指令波形生成部212的指令波形輸入輸出部410。另外，指令波形輸入輸出部410保存在前次的指令輸出定時(shí)重新生成的指令加加速度波形JD’ I JD’ η、在前次的指令輸出定時(shí)重新生成的指令波形中一個(gè)指令輸出周期的各波形、即自跟前側(cè)起依次為指令加速度波形AD’O AD’n、指令速度波形VD’O VD’n、以及指令位置波形PD’ O PD’ η。指令波形輸入輸出部410對(duì)指令波形生成部212的指令波形重新生成處理部420的減法器421及加法器423、424、425及426輸出目標(biāo)指令位置PD’O及分別在前次的定時(shí)下重新生成的指令加速度波形JD’ I JD’η、一個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令加速度波形AD’ O AD’ η-I、一個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令速度波形VD’ O VD’ η-I、以及一個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令位置波形PD’ O PD，η-1。此時(shí)，指令波形生成部212的編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器430根據(jù)電動(dòng)機(jī)130的編碼器計(jì)數(shù)值取得當(dāng)前的實(shí)際位置ΡΑ0，并輸出至減法器421。加法器421從當(dāng)前的目標(biāo)指令位置PD’ O減去當(dāng)前的實(shí)際位置PAO算出偏差量Perr，并輸出至加加速度相加波形生成部422。加加速度相加波形生成部422生成在η次指令輸出周期后偏差量Perr終將成為“O”那樣的加加速度波形Cl Cn。
例如，加加速度波形Cl Cn按如下的步驟(I) (3)生成。在下述中，設(shè)位置偏差目標(biāo)補(bǔ)償量為P (將Perr作為P直接使用)、指令輸出周期為TC、偏差量補(bǔ)償目標(biāo)時(shí)間為TN、偏差量補(bǔ)償目標(biāo)指令輸出周期為η次、加加速度波形的寬度為K、加加速度相加波形的大小為JC來進(jìn)行說明。步驟(I):首先，如下所示，算出加加速度波形的寬度K。根據(jù)TN > (TCXn)，為了固定加加速度相加波形的形狀，η設(shè)為8的倍數(shù)。即，設(shè)為TN > (TCX8XK)，加加速度波形的寬度KSK < (TN/(TCX8))。步驟⑵ 接著，根據(jù)下式算出加加速度相加波形的大小JC。JC = (1/8) X (P/K3XTC3)步驟⑶接著，生成加加速度相加波形Cl Cn。用于補(bǔ)償偏差量的加加速度相加波形Cl Cn如下所示。其中，x表示I η的第X個(gè)波形。x/K ^ I 時(shí)，Cx = JCx/K < 2 時(shí)，Cx = Ox/K < 3 時(shí)，Cx = -JCx/K < 4 時(shí)，Cx = Ox/K < 5 時(shí)，Cx = -JCx/K < 6 時(shí)，Cx = Ox/K < 7 時(shí)，Cx = JCx/K < 8 時(shí)，Cx = O例如，K = I時(shí)，加加速度相加波形Cl Cn如下所示。Cl Cn = {JC，0，-JC,O, -JC,O, JC,0}BP, Cl = JC, C2 = O, C3 = -JC, C4 = O, C5 = -JC, C6 = O, C7 = JC, C8 = O。圖5表不用于補(bǔ)償偏差量P的加加速度相加波形的實(shí)施例。圖5是表不實(shí)施本發(fā)明時(shí)的偏差量為I脈沖、2脈沖、4脈沖、8脈沖及16脈沖時(shí)各自的補(bǔ)償用相加的加加速度波形、加速度波形以及速度波形的圖。如圖5所示，偏差量越大，加加速度波形的高度JC越大。接著，在圖4B中，加加速度相加波形生成部422將加加速度相加波形Cl Cn輸出至加法器423。加法器423將加加速度相加波形Cl Cn和在前次的定時(shí)生成的指令加加速度波形JD’ I JD’ η相加，重新生成η個(gè)指令輸出周期的所有的指令加加速度波形JD” I JD”n，輸出至加加速度限制部427和加法器424。例如，加法器423 的輸出為 JD ”1 = JD ’ 1+C1、JD ”2 = JD，2+C2、JD ”3 = JD，3+C3、 、JD ” n = JD，n+Cn。加法器424將重新生成的指令加加速度波形JD” I JD” η和在前次的定時(shí)生成的一個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令加速度波形AD’ O AD’ η-I相加，重新生成η個(gè)指令輸出周期的所有的指令加速度波形AD” I AD”n，輸出至加法器425和加加速度限制部 427。例如，加法器424 的輸出為 AD”1 = AD’ 0+JD，，l、AD” 2 = AD’ 1+JD”2、AD” 3 =AD，2+JD”3、 、AD”n = AD’(n_l)+JD”n。加法器425將重新生成的指令加速度波形AD” I AD”η和在前次的定時(shí)生成的一個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令速度波形VD’ O VD’ η-I相加，重新生成η個(gè)指令輸出周期的所有的指令速度波形VD”1 VD”n，輸出至加法器426和加加速度限制部427。例如，加法器425 的輸出為 VD”1 = VD，0+AD”l、VD，，2 = VD，I+AD” 2、VD，，3 =VD，2+AD”3、 、VD”n = VD，(n_l)+AD”n。加法器426將重新生成的指令速度波形VD” I VD” η和在前次的定時(shí)生成的一 個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令位置波形PD’ O PD’ η-I相加，重新生成η個(gè)指令輸出周期的所有的指令位置波形H)” I PD”η來輸出至加加速度限制部427。例如，加法器426 的輸出為 PD” I = PD，0+VD”l、PD” 2 = PD，1+VD”2、PD” 3 =PD’ 2+VD”3、 、PD”n = PD’ (n-1)+VD^η加加速度限制部427使用圖7確認(rèn)重新生成的指令加加速度波形JD” I JD”n是否超過了上限(或下限)。圖7是用于說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置及電動(dòng)機(jī)控制方法的一實(shí)施例的加加速度上限下限確認(rèn)處理動(dòng)作的圖。在圖7中，加加速度上限Jmax和加加速度下限-Jmax是預(yù)先設(shè)定的。在圖7中，加法器423對(duì)在前次的定時(shí)生成的指令加加速度波形JD’ I JD’ η加上虛線圓701內(nèi)的加加速度相加波形。即，相加波形脈沖C1、C2、C3及C4被加到粗線表示的加加速度波形(指令加加速度波形JD” I JD”n)。此時(shí)，加加速度限制部427檢測(cè)當(dāng)前時(shí)刻的脈沖波形C1、C2、C3及C4是否在上限Jmax和下限-Jmax之間，判斷是OK還是NG，分支輸出。例如，檢測(cè)在當(dāng)前時(shí)刻波形C2是否小于上限Jmax (JD" I JD，，n < Jmax)。然后，若為否(NG)，則對(duì)指令波形復(fù)原部4210輸出NG信息。若是0K，則檢測(cè)在當(dāng)前時(shí)刻波形C2是否大于下限Jmax (-Jmax < JD” I JD”n)。然后，若為否(NG)，則對(duì)指令波形復(fù)原部4210輸出NG信息。若為0K，則對(duì)加速度限制部428輸出指令加加速度波形JD” I JD”η、指令加速度波形AD” I AD”n、指令速度波形VD” I VD” η、指令位置波形PD” I PD” η。接著，在圖4Β中，加速度限制部428與加加速度限制部427同樣地檢測(cè)在當(dāng)前時(shí)刻的加速度波形是否小于上限Amax (AD"I AD”n < Amax)。然后，若是否(NG)，則對(duì)指令波形復(fù)原部4210輸出NG信息。若是0K，則檢測(cè)在當(dāng)前時(shí)刻波形是否大于下限Amax (-Amax<AD”l AD”n)。然后，若是否(NG)，則對(duì)指令波形復(fù)原部4210輸出NG信息。若是0K，則對(duì)速度限制部429輸出指令加加速度波形JD”1 JD”n、指令加速度波形AD”1 AD”n、指令速度波形VD” I VD” η、指令位置波形PD” I PD” η。接著，在圖4Β中，速度限制部429與加加速度限制部427同樣地檢測(cè)在當(dāng)前時(shí)刻的速度波形是否小于上限Vmax (VD ” I VD ” η < Vmax)。然后，若為否(NG)，則對(duì)指令波形復(fù)原部4210輸出NG信息。若為0Κ，則檢測(cè)在當(dāng)前時(shí)刻波形是否大于下限Vmax (-Vmax< VD"I VD”n)。然后，若為否(NG)，則對(duì)指令波形復(fù)原部4210輸出NG信息。若為0K，則對(duì)指令波形輸入輸出部410輸出指令加加速度波形JD”1 JD”n、指令加速度波形AD”1 AD”η、指令速度波形VD” I VD” η、指令位置波形PD” I PD” η。指令波形復(fù)原部4210在加加速度限制部427、加速度限制部428、或速度限制部429中任一被輸入了 NG信息時(shí)，將前次的指令波形復(fù)原，留待全偏差量的補(bǔ)正直到下次指令輸出(上限和下限的確認(rèn)處理)。即，將復(fù)原了的前次的指令波形輸出至指令波形輸入輸出部410。在上述實(shí)施例中，指令波形復(fù)原部4210復(fù)原了前次的指令波形，但也可以輸出NG信息，指令波形輸入輸出部410根據(jù)NG信息將保存著的前次的指令波形作為當(dāng)前的指令波 形。圖4C表不指令波形輸入輸出部410復(fù)原時(shí)的一實(shí)施例。此后，在圖4Β及圖4C中，將重新生成的指令波形JD”1 JD”n、AD”1 AD”n、VD” I VD”n、PD” I PD”η作為新的指令波形保存。指令波形的速度指令值VD ”1從指令波形輸入輸出部410被輸出至DAC213，DAC213將模擬變換后的速度指令值輸出至伺服組件220。在圖4Β中，DAC213將所輸入的速度指令值VD”1變換為模擬值而輸出至伺服組件220。伺服組件220根據(jù)所輸入的模擬數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)130旋轉(zhuǎn)，并且將電動(dòng)機(jī)130的旋轉(zhuǎn)位置(及旋轉(zhuǎn)速度)作為編碼器信號(hào)而輸出至指令波形生成部212。從電動(dòng)機(jī)130輸出的編碼器信號(hào)被輸入到指令波形生成部212的編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器 430。編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器430將以預(yù)定的循環(huán)計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)值PAtl輸出至指令波形重新生成處理部420。在指令波形重新生成處理部420，加法器421在其減法輸入端子輸入編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器430所輸出的計(jì)數(shù)值PA。。伺服組件220按照所輸入的速度指令值VD” I控制電動(dòng)機(jī)130。圖8表示重新生成所有指令波形的樣子。圖8是表示本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置及電動(dòng)機(jī)控制方法中的補(bǔ)償用的加加速度波形算出后的重新生成的指令波形的一實(shí)施例的圖。橫軸表示時(shí)間，縱軸表示脈沖高度。點(diǎn)劃線分別表示補(bǔ)償前的波形，在從當(dāng)前時(shí)刻到在指令加加速度中加上了補(bǔ)償用的加加速度波形的期間Tj之間以實(shí)線所示的波形控制電動(dòng)機(jī) 130。其結(jié)果，電動(dòng)機(jī)130旋轉(zhuǎn)，能夠利用該旋轉(zhuǎn)來抑制在電動(dòng)機(jī)高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)對(duì)被驅(qū)動(dòng)體行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定時(shí)間的縮短。另外，能夠使電動(dòng)機(jī)以理想的軌跡工作，而且能夠始終監(jiān)視當(dāng)前位置，因此，容易使多個(gè)軸同步進(jìn)行動(dòng)作。在圖8中，觀察到實(shí)際位置波形比當(dāng)前時(shí)刻向前錯(cuò)位。這表示相對(duì)于指令波形，直到當(dāng)前時(shí)刻的錯(cuò)位(位置偏差)。實(shí)際上以非常短的指令輸出周期的間隔持續(xù)補(bǔ)正，因此不會(huì)出現(xiàn)圖8那樣明顯的錯(cuò)位。在圖8中為了強(qiáng)調(diào)表現(xiàn)補(bǔ)正位置的樣子，而使當(dāng)前時(shí)刻的實(shí)際位置位于從指令波形錯(cuò)開一些的位置。圖6是用于說明本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制方法的動(dòng)作的一實(shí)施例的步驟的流程圖。利用圖6說明在指令輸出周期定時(shí)生成指令加加速度波形JD”、指令加速度波形AD”、指令速度波形VD”及指令位置波形H)”的步驟。在步驟601，根據(jù)編碼器計(jì)數(shù)值取得當(dāng)前的實(shí)際位置ΡΑ0。在步驟602，根據(jù)實(shí)際位置PAO和當(dāng)前的指令位置PD’ O算出偏差量Perr。
在步驟603，生成在η個(gè)指令輸出周期后偏差量Perr終將成為“O”那樣的加加速度波形Cl Cn。在步驟604，將加加速度相加波形Cl Cn與指令加加速度波形JD’ I JD’ η相力口，重新生成η個(gè)指令輸出周期的所有的指令加加速度波形JD” I JD”n。在步驟605，根據(jù)一個(gè)指令輸出周期的自跟前側(cè)起的指令加速度波形AD’ O AD’n-Ι和重新生成的指令加加速度波形JD”1 JD”n，重新生成η個(gè)指令輸出周期的所有的指令加速度波形AD” I AD”n。在步驟606，用與重新生成指令加速度波形AD”1 AD”n(步驟605)相同的方法，重新生成指令速度波形VD” I VD”n。在步驟607，用與重新生成指令加速度波形AD”1 AD”n (步驟605)或重新生成指令速度波形VD” I VD”n (步驟606)相同的方法，重新生成指令位置波形PD” I Η)”η。在步驟608，確認(rèn)重新生成的加加速度波形JD”1 JD”n是否小于上限Jmax。在大于上限Jmax時(shí)，移至步驟612進(jìn)行處理。在小于上限時(shí)，移至步驟609進(jìn)行處理。在步驟609，確認(rèn)重新生成的加速度波形AD”1 AD”n是否小于上限Amax。在大于上限Amax時(shí)，移至步驟612進(jìn)行處理。在小于上限時(shí)，移至步驟610進(jìn)行處理。在步驟610，確認(rèn)重新生成的速度波形VD”1 VD”n是否小于上限Vmax。在大于上限Vmax時(shí)，移至步驟612進(jìn)行處理。在小于上限時(shí)，移至步驟611進(jìn)行處理。在步驟611，將重新生成的指令加加速度波形JD” I JD”n、指令加速度波形AD” I AD”η、指令速度波形VD” I VD” η及指令位置波形PD” I PD”η作為新的指令波形保存。在步驟613，從DAC312輸出下次的速度指令值VD”1 VD”n，結(jié)束圖6的處理，移
至下一指令輸出周期定時(shí)的動(dòng)作。在步驟612，用前次的指令波形復(fù)原重新生成指令波形，移至步驟613進(jìn)行處理。即，使用前次的指令加加速度波形JD’ I JD’ η作為指令加加速度波形JD”1 JD”n。另夕卜，還使用前次的指令加速度波形AD’ I AD’n作為指令加速度波形AD”1 AD”n。還使用前次的指令速度波形VD’ I VD’ η作為指令速度波形VD”1 VD”n。另外,還使用前次的指令位置波形PD’ I PD’ η作為指令位置波形PD” I PD” η。以上，基于實(shí)施例詳細(xì)說明了本發(fā)明。本發(fā)明能夠適用于除旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)之外的實(shí)時(shí)監(jiān)視器。具體而言，在圖2中，伺服組件220的速度環(huán)控制部221根據(jù)從動(dòng)作控制器210輸入的速度指令值和從電動(dòng)機(jī)130輸入的編碼器信號(hào)控制電動(dòng)機(jī)130的移動(dòng)速度。電動(dòng)機(jī)130以與從伺服組件220的速度環(huán)控制部221輸入的移動(dòng)速度控制相應(yīng)的移動(dòng)速度進(jìn)行移動(dòng)，將實(shí)際位置和實(shí)際速度作為編碼器信號(hào)輸出至伺服組件220的速度環(huán)控制部221和動(dòng)作控制器210的指令波形生成部212。在圖2的實(shí)施例中，根據(jù)電動(dòng)機(jī)130的計(jì)數(shù)值算出被驅(qū)動(dòng)體的實(shí)際位置，基于所算出的實(shí)際位置算出實(shí)際速度。但是，也可以具有直接檢測(cè)被驅(qū)動(dòng)體位置的位置檢測(cè)裝置，將該位置檢測(cè)裝置檢測(cè)出的位置作為實(shí)際位置。例如，在圖4Β中，DAC213將所輸入的速度指令值VD” I變換為模擬值輸出至伺服 組件220。伺服組件220根據(jù)所輸入的模擬數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)130，并且將電動(dòng)機(jī)130的移動(dòng)位置(及移動(dòng)速度)作為編碼器信號(hào)輸出至指令波形生成部212。
從電動(dòng)機(jī)130輸出的編碼器信號(hào)被輸入到指令波形生成部212的編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器 430。編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器430將在預(yù)定的循環(huán)計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)值PAtl輸出至指令波形重新生成處理部420。在指令波形重新生成處理部420，加法器421在其減法輸入端子輸入編碼器信號(hào)計(jì)數(shù)器430所輸出的計(jì)數(shù)值PA。。圖8表示重新生成所有指令波形的樣子。圖8是表示本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置及電動(dòng)機(jī)控制方法中的補(bǔ)償用的加加速度波形算出后的重新生成的指令波形的一實(shí)施例的圖。橫軸表示時(shí)間，縱軸表示脈沖高度。點(diǎn)劃線分別表示補(bǔ)償前的波形，在從當(dāng)前時(shí)刻到指 令加加速度中加上了補(bǔ)償用的加加速度波形的期間Tj之間以實(shí)線所示的波形控制電動(dòng)機(jī)130。其結(jié)果，電動(dòng)機(jī)130移動(dòng)，能夠利用該移動(dòng)來抑制在電動(dòng)機(jī)高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)對(duì)被驅(qū)動(dòng)體行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定時(shí)間的縮短。另外，能夠使電動(dòng)機(jī)以理想的軌跡工作，而且能夠始終監(jiān)視當(dāng)前位置，因此，容易使多個(gè)軸同步進(jìn)行動(dòng)作。而且，對(duì)于具有編碼器計(jì)數(shù)功能的電動(dòng)機(jī)等所有電動(dòng)機(jī)均能適用本發(fā)明。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，不言而喻，在本發(fā)明所屬的技術(shù)領(lǐng)域，具有公知常識(shí)的技術(shù)人員基于本發(fā)明的思想和精神而對(duì)本發(fā)明做出修改或變更的發(fā)明，也包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。例如,在上述實(shí)施例中,指令波形輸入輸出部輸出速度指令值來控制電動(dòng)機(jī)。但是也可以代替速度指令值而輸出加速度指令值來控制電動(dòng)機(jī)。其結(jié)果，不僅可以進(jìn)行位置控制，也可以進(jìn)行負(fù)載控制。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的伺服控制裝置和伺服控制方法可以用于芯片焊接機(jī)等半導(dǎo)體制造裝置。
權(quán)利要求
1.一種電動(dòng)機(jī)控制裝置，其利用伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體來進(jìn)行控制，其特征在于，包括 理想波形生成部，其生成加加速度、加速度、速度、以及位置的理想指令波形； 指令波形生成部，其讀出上述理想指令波形，并重新生成目標(biāo)指令位置、加加速度、力口速度、速度、以及位置的指令波形，且輸出重新生成的速度的指令波形； 數(shù)模轉(zhuǎn)換器，其將上述重新生成的速度的指令波形變換為模擬數(shù)據(jù)；以及 伺服電動(dòng)機(jī)，其根據(jù)上述模擬數(shù)據(jù)的控制來進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，并將實(shí)際位置作為編碼器信號(hào)進(jìn)行輸出，其中， 上述指令波形生成部包括根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置和上述目標(biāo)指令位置來生成加加速度相加波形，并將所生成的上述加加速度相加波形與上述前次的指令加加速度波形進(jìn)行相加來重新生成加加速度指令波形，并且重新生成指令加速度波形、指令速度波形以及指令位置波形的指令波形重新生成處理部；和保存上述生成的理想指令波形、上述重新生成加加速度指令波形、指令加速度波形、指令速度波形以及指令位置波形的指令波形輸入輸出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電動(dòng)機(jī)控制裝置，其特征在于， 上述指令波形重新生成處理部具有加加速度相加波形生成部，該加加速度相加波形生成部根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置與上述目標(biāo)指令位置之差即偏差量來生成上述加加速度相加波形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電動(dòng)機(jī)控制裝置，其特征在于， 上述指令波形重新生成處理部還包括加加速度限制部，當(dāng)上述重新生成的指令加加速度波形大于預(yù)定的加加速度上限值或者小于加加速度下限值時(shí)，將NG信息輸出至上述指令波形輸入輸出部， 上述指令波形輸入輸出部在被輸入了上述NG信息的情況下，將在上述前次的定時(shí)重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形進(jìn)行復(fù)原，并將復(fù)原后的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為重新生成的指令加加速度波形、指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形，將重新生成的上述指令速度波形輸出給上述數(shù)模轉(zhuǎn)換器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電動(dòng)機(jī)控制裝置，其特征在于， 上述指令波形重新生成處理部還包括加加速度限制部和指令波形復(fù)原部，其中，上述加加速度限制部在上述重新生成的指令加加速度波形大于預(yù)定的加加速度上限值或者小于加加速度下限值時(shí)輸出NG信息，上述指令波形復(fù)原部在被輸入上述NG信息時(shí)將在上述前次的定時(shí)重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形進(jìn)行復(fù)原并將其輸出至上述指令波形輸入輸出部， 上述指令波形輸入輸出部將復(fù)原后的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為重新生成的指令加加速度波形、指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形，并將重新生成的上述指令速度波形輸出給上述數(shù)模轉(zhuǎn)換器。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電動(dòng)機(jī)控制裝置，其特征在于， 上述指令波形生成部將重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為在前次定時(shí)重新生成的指令波形來進(jìn)行保存。
6.一種電動(dòng)機(jī)控制裝置的電動(dòng)機(jī)控制方法，用伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體來進(jìn)行控制，其特征在于， 生成加加速度、加速度、速度、以及位置的理想指令波形；讀出上述理想指令波形，重新生成目標(biāo)指令位置、加加速度、加速度、速度、以及位置的指令波形，將重新生成的速度的指令波形作為模擬數(shù)據(jù)來進(jìn)行輸出；根據(jù)上述模擬數(shù)據(jù)的控制來驅(qū)動(dòng)上述伺服電動(dòng)機(jī)，將實(shí)際位置作為編碼器信號(hào)來進(jìn)行輸出，根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置和上述目標(biāo)指令位置來生成加加速度相加波形，將所生成的上述加加速度相加波形與上述指令波形生成部在前次定時(shí)重新生成的指令加加速度波形進(jìn)行相加來重新生成加加速度指令波形，并且重新生成指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電動(dòng)機(jī)控制方法，其特征在于，根據(jù)基于上述編碼器信號(hào)的實(shí)際位置與上述目標(biāo)指令位置之差即偏差量來生成上述加加速度相加波形。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電動(dòng)機(jī)控制方法，其特征在于， 在上述重新生成的指令加加速度波形大于預(yù)定的加加速度上限值或者小于加加速度下限值時(shí)輸出NG信息，在被輸入上述NG信息時(shí)將在上述前次定時(shí)重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形進(jìn)行復(fù)原，將復(fù)原后的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為重新生成的指令加加速度波形、指令加速度波形、指令速度波形、以及指令位置波形，將重新生成的上述指令速度波形作為模擬數(shù)據(jù)來進(jìn)行輸出，根據(jù)上述模擬數(shù)據(jù)的控制來驅(qū)動(dòng)上述伺服電動(dòng)機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電動(dòng)機(jī)控制裝置，其特征在于， 將上述重新生成的上述指令加加速度波形、上述指令加速度波形、上述指令速度波形、以及上述指令位置波形作為在前次定時(shí)重新生成的指令波形來進(jìn)行保存。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電動(dòng)機(jī)控制裝置和電動(dòng)機(jī)控制方法，能夠通過抑制動(dòng)作中的相對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差來縮短穩(wěn)定時(shí)間。包括根據(jù)對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)影響較大的加加速度數(shù)據(jù)生成指令波形的單元、和進(jìn)行實(shí)時(shí)實(shí)際位置控制的單元，該實(shí)時(shí)實(shí)際位置控制是根據(jù)偏差量一邊始終限制加加速度一邊重新生成此后的指令波形，據(jù)此，可以抑制在電動(dòng)機(jī)高速動(dòng)作時(shí)對(duì)行進(jìn)方向的振動(dòng)、偏差。根據(jù)本發(fā)明，能夠使電動(dòng)機(jī)以理想的軌跡動(dòng)作，而且能夠始終監(jiān)視當(dāng)前的位置，因此容易使多個(gè)軸同步進(jìn)行動(dòng)作。
文檔編號(hào)H02P29/00GK102647152SQ201110065009
公開日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2011年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月18日
發(fā)明者木原正道, 楯充明, 石井康 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)儀器