一種晶圓打墨印裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓打墨印裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測(cè)試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測(cè)試。晶圓的測(cè)試對(duì)該芯片的成本控制尤其重要，晶圓的測(cè)試可以將功能缺陷的芯片找出，不進(jìn)入后期較大成本的封裝中，節(jié)約了整體的成本。
[0003]全自動(dòng)針測(cè)機(jī)將晶圓從工作臺(tái)上移送到測(cè)試頭下面，并將探針卡上的針腳壓在晶粒上，形成良好的電氣接觸。全自動(dòng)針測(cè)機(jī)還要根據(jù)測(cè)試系統(tǒng)的測(cè)試結(jié)果，給不合格的晶粒打上墨印。墨印裝置固定在針測(cè)機(jī)主體部分前部，連接針測(cè)機(jī)信號(hào)。當(dāng)墨印裝置接收到針測(cè)機(jī)需要對(duì)晶粒打墨印的指令時(shí)，墨印裝置彈簧壓下墨印劑漁線后段，墨印劑前端頂針彈出漁線，漁線前端出墨口接觸晶粒時(shí)打上墨印。但是，現(xiàn)有的墨印劑傾斜固定在墨印裝置上，通過(guò)彈簧壓下可以出墨汁的漁線，漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作。漁線高度4mm;45度傾斜時(shí)垂直高度會(huì)降低至2.8_，使得墨印裝置頂針離晶圓距離相對(duì)較近常常刮傷晶圓。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的就是為了克服上述現(xiàn)有晶圓打墨印所用的斜角墨印裝置頂針離晶圓距離相對(duì)較近造成刮傷晶圓的問(wèn)題，提供了一種晶圓打墨印裝置，該打墨印裝置在水平底座上固定垂直底座，垂直底座上安裝墨印劑固定支架，墨印劑固定支架上安裝墨印劑鎖定夾，墨印器安裝在鎖定夾上，墨印器包括支桿、墨印劑、漁線，墨印劑垂直固定在支桿上，通過(guò)漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作。
[0005]本實(shí)用新型所要求解決的技術(shù)問(wèn)題可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0006]—種晶圓打墨印裝置，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過(guò)固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。
[0007]進(jìn)一步地，所述墨印器包括支桿、墨印劑、漁線、晶粒、晶圓。
[0008]進(jìn)一步地，所述墨印劑與支桿垂直連接。
[0009]進(jìn)一步地，所述水平底座上開(kāi)設(shè)有伸縮孔。
[0010]進(jìn)一步地，所述伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母。
[0011]進(jìn)一步地，所述垂直底座與固定支架通過(guò)固定螺母連接。
[0012]進(jìn)一步地，所述垂直底座與固定支架之間安裝有高度調(diào)節(jié)螺母。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果:一種晶圓打墨印裝置，通過(guò)在水平底座開(kāi)設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過(guò)安裝高度調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過(guò)漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作，比墨印劑與支桿傾斜連接高出大約1mm，一片晶圓平均厚度900um，相當(dāng)于多出I片晶圓的安全距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的特點(diǎn)，可以安裝在針測(cè)機(jī)空間比較開(kāi)闊的位置，方便人員操作。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型墨印裝置結(jié)構(gòu)圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型墨印器結(jié)構(gòu)圖；
[0016]相關(guān)元件符號(hào)說(shuō)明:
[0017]1、水平底座；2、伸縮孔；3、伸縮調(diào)節(jié)螺母；4、固定螺母；5、垂直底座；6、固定螺母；7、高度調(diào)節(jié)螺母；8、固定支架；9、墨印器鎖定夾；10、墨印器；11、支桿；12、墨印劑；13、漁線；14、晶粒；15、晶圓。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0019]具體實(shí)施時(shí)，結(jié)合圖1-2，一種晶圓打墨印裝置，包括水平底座1、固定螺母4、垂直底座5、固定支架8、墨印器鎖定夾9、墨印器10。水平底座I與垂直底座5通過(guò)固定螺母4進(jìn)行固定連接。垂直底座5上安裝有固定支架8，固定支架上安裝有兩個(gè)墨印器鎖定夾9，墨印器鎖定夾上安裝有墨印器10。墨印器包括支桿11、墨印劑12、漁線13、晶粒14、晶圓15。墨印劑12與支桿11垂直固定連接，漁線13安裝在墨印劑12內(nèi)部并通過(guò)彈簧連接，通過(guò)彈簧壓下可以出墨汁的漁線，漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作，漁線高度4_。比墨印劑與支桿傾斜連接高出大約1mm，一片晶圓平均厚度900um，相當(dāng)于多出I片晶圓的安全距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，有效避免了晶圓刮傷。
[0020]為了能夠調(diào)節(jié)打墨印裝置的位置，在水平底座上開(kāi)設(shè)有伸縮孔2，伸縮孔2上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母，從而完成水平位置的調(diào)節(jié)。為了安裝方便，垂直底座與固定支架通過(guò)固定螺母6固定連接。通過(guò)在錘直底座與固定支架之間安裝有高度調(diào)節(jié)螺母7，來(lái)調(diào)節(jié)打墨印裝置的高度。
[0021]—種晶圓打墨印裝置，通過(guò)在水平底座開(kāi)設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過(guò)安裝高度調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過(guò)漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作，增大了晶圓與打墨印裝置的安全距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的特點(diǎn)，可以安裝在針測(cè)機(jī)空間比較開(kāi)闊的位置，方便人員操作。
[0022]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等同物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓打墨印裝置，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過(guò)固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有墨印劑固定支架，其特征在于:所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。2.按照權(quán)利要求1所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于:所述墨印器包括支桿、墨印劑、漁線、晶粒、晶圓。3.按照權(quán)利要求2所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于:所述墨印劑與支桿垂直連接。4.按照權(quán)利要求1所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于:所述水平底座上開(kāi)設(shè)有伸縮孔。5.按照權(quán)利要求4所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于:所述伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母。6.按照權(quán)利要求1所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于:所述垂直底座與固定支架通過(guò)固定螺母連接。7.按照權(quán)利要求6所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于:所述垂直底座與固定支架之間安裝有高度調(diào)節(jié)螺母。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓打墨印裝置，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過(guò)固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。本實(shí)用新型晶圓打墨印裝置，通過(guò)在水平底座開(kāi)設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過(guò)安裝高度調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過(guò)漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作，增大了晶圓與打墨印裝置的距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的特點(diǎn)，可以安裝在針測(cè)機(jī)空間比較開(kāi)闊的位置，方便人員操作。
【IPC分類(lèi)】H01L21/66
【公開(kāi)號(hào)】CN205194660
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520870174
【發(fā)明人】沈順金
【申請(qǐng)人】安徽超元半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2015年10月29日